JP4083716B2 - プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
1a 基板と対向する壁面
2 電極
3 基板
4 電極用高周波電源
5 コイル
6 コイル用高周波電源
Claims (2)
- 真空容器内にガスを導入しつつ排気し、前記真空容器内の圧力を保ちながら、前記真空容器内の電極に対向して配設された誘導結合プラズマ源と容量結合プラズマ源が複合されたプラズマ源に高周波電力を印加することで前記電極に載置された基板を処理するプラズマ処理方法であって、前記プラズマ源は平面渦巻き状コイルで構成され、かつ、前記コイルの一端を接地するとともに、前記コイルの一端と他端との間の位置に高周波電力が印加され、さらに前記誘導結合プラズマ源は前記電極の基板載置部の周縁部より外側に配置され、かつ、前記容量結合プラズマ源は、前記電極の基板載置部を跨いで配置されたことを特徴とするプラズマ処理方法。
- 真空容器内に基板を載置する電極と、前記電極に高周波電圧を印加する電極用高周波電源と、前記電極に対向して配設された誘導結合プラズマ源と容量結合プラズマ源が複合されたプラズマ源と、前記プラズマ源に高周波電圧を印加するコイル用高周波電源とを有するプラズマ処理装置であって、前記プラズマ源は平面渦巻き状コイルで構成され、かつ、前記コイルの一端を接地するとともに、前記コイルの一端と他端との間の位置に高周波電力が印加され、さらに前記誘導結合プラズマ源は前記電極の基板載置部の周縁部より外側に配置され、かつ、前記容量結合プラズマ源は、前記電極の基板載置部を跨いで配置されたことを特徴とするプラズマ処理装置。
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