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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a placement apparatus that corresponds to various kinds of accommodating equipment for accommodating substrates of various sizes. SOLUTION: In the placement apparatus having an FOUP opener function, an FOUP is directly placed on a placement plate 10. Contrarily, an open cassette is placed on the placement plate 10 where an adaptor 20 is fitted.

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板処理設備において、基板処理装置へ搬送される基板を一時載置する載置装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
基板処理設備において、基板処理装置へ基板を搬送する場合、複数の基板を収納したFOUPと呼ばれる密閉型の収納器や、オープンカセットと呼ばれる開放型の収納器が用いられている。FOUPとは、一般に、開閉可能な蓋を備え、基板が収納される内部空間を気密に維持するように構成されたポッドであり、基板の受け渡し時には蓋が開放されることとなる。一方、オープンカセットは、一般に、基板を略等間隔で整列支持するスロットが複数設けられており、基板は周辺雰囲気に開放された状態となる。
【0003】
そして、基板処理装置の近傍にはこのような収納器を一時載置する載置装置が設けられており、基板処理装置は、載置装置に載置された収納器から基板を取り出して処理を行い、処理後には再び収納器に戻すように構成されている。
【0004】
近年では、基板の収納器としてFOUPを採用したものが主流となりつつあり、FOUP用の載置装置では、FOUPの蓋を開閉する機構を備えたものが提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、基板のサイズは複数種類が存在し、FOUPでは収納できないサイズの基板も存在する。この場合、FOUP用の載置装置を用いることはできず、例えば、オープンカセット用の載置装置に変更するといった措置を採る必要があり、面倒であった。
【0006】
現在、基板処理設備におけるクリーンルーム環境が変化の過程にあり、今後の設備においては基板搬送に関し、オープンカセットを取り扱う場合とFOUPを取り扱う場合とが発生する。いずれにおいても、基板処理装置については、異サイズの基板に対応可能としておくことにより、そのような環境の変化にも対応できるが、オープンカセットとFOUPとはそれぞれ規格が異なるために、これが載置される載置装置を適宜変更することが余儀なくされる。
【0007】
従って、本発明の目的は、各種サイズの基板を収納する各種の収納器に対応した載置装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、開閉可能な蓋を備え、基板を収納する密閉型の収納器が載置される載置部と、前記載置部に載置された前記密閉型の収納器の前記蓋を開閉する開閉手段と、基板を収納する開放型の収納器が載置され、前記載置部に着脱自在に設けられたアダプタと、前記アダプタ上に突出し、前記アダプタ上に前記開放型の収納器が載置されることにより押し下げられるアダプタ側ピン部と、前記載置部上に突出し、前記載置部に前記アダプタが装着されることにより押し下げられる第1ピン部と、前記第1ピン部が押し下げられたことを検出する第1センサと、前記載置部上に突出し、前記載置部に前記アダプタが装着された状態では押し下げられず、前記載置部に前記アダプタが装着された状態で前記開放型の収納器が載置されて前記アダプタ側ピン部が押し下げられることにより押し下げられる第2ピン部と、前記第2ピン部が押し下げられたことを検出する第2センサと、前記載置部上に前記開放型の収納器が載置されているか否か判定する判定手段と、を備え、前記判定手段は、前記第1センサにより前記第1ピン部が押し下げられたことが検出され、かつ、前記第2センサにより前記第2ピン部が押し下げられたことが検出された場合に、前記載置部上に前記開放型の収納器が載置されていると判定することを特徴とする載置装置が提供される。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態について説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る載置装置Aの外観図である。載置装置Aは、ウエハ等の基板を処理する処理装置の近傍に配置され、その処理装置で処理される基板を収納した収納器が一時載置される装置である。本実施形態では、収納器としてFOUP及びオープンカセットの双方を載置可能とする。
【0010】
載置装置Aは、本体1の棚部2上に設けられ、基板を収納する収納器が載置される載置プレート10と、載置プレート10上に着脱自在に設置可能なアダプタ20と、を備える。
【0011】
載置プレート10には、収納器が載置されているか否かを検出するためのピン11a乃至11cが、その上面から突出するように設けられている。アダプタ20には、アダプタ20上に載置される収納器の位置決めのための4つの位置決めブロック21がその上面に設けられている。この位置決めブロック21は、例えば、樹脂から構成される。
【0012】
また、アダプタ20には、載置プレート10との間隔を一定に保つスペーサ22a乃至22cが、その下面から突出するように設けられている。更に、アダプタ20には、アダプタ20上に収納器が載置されているか否かを検出するためのピン23a及び23bが、その上面から突出するように設けられている。ハンドル24は、作業者がアダプタ20を取り扱うための把持具である。
【0013】
本体1の背部3には開口部3aが設けられており、処理装置が備える基板搬送用のハンドは、この開口部3aを通して載置プレート10上に載置された収納器内の基板の受け渡しを行う。
【0014】
本体1の背部3には、赤外線等の光線を発光する2つの発光器4aが設けられており、また、本体1の棚部2には、発光器4aからの光線を受光する2つの受光器4bが設けられている。これらの2組の発光器4a及び受光器4bは、載置プレート10上にFOUPが載置された場合に、FOUPが所定位置に載置されているか否かを検出するためのものである。
【0015】
次に、載置装置AにFOUP及びオープンカセットを載置した態様について説明する。図2は、載置装置AにFOUP100を載置した態様を示す図であり、図3は、載置装置Aにオープンカセット200を載置した態様を示す図である。FOUP100は、開閉可能な蓋を備え、基板を収納する密閉型の収納器であり、例えば、300mm用のものを想定している。オープンカセット200は、基板を収納する開放型の収納器であり、例えば、200mm用のものを想定している。FOUP100は、蓋の閉鎖時に内部の気密性が保たれ、基板が周辺雰囲気に触れることはないが、オープンカセット200は常時基板が周辺雰囲気に触れることとなる。
【0016】
図2を参照して、FOUP100を載置する場合、アダプタ20は用いられず、FOUP100は直接載置プレート10上に載置される。なお、FOUP100が載置される場合、発光器4aから破線で示す光線が受光器4bへ向けて発光され、FOUP100が所定位置に載置されているか否かが検出される(第2の検出手段)。
【0017】
発光器4aからの光線は、FOUP100が所定位置に載置されている場合、FOUP100の側面に衝突し、光線が遮断されるように発光される。すなわち、FOUP100が所定位置に載置される場合、発光器4aからの光線はFOUP100に遮断され、受光器4bまでは届かない。従って、2つの受光器4bがそれぞれ光線を受光しない場合には、FOUP100が所定位置に載置されていると判定されることとなる。一方、いずれかの受光器4bが光線を受光した場合は、FOUP100が傾いている等、所定位置に載置されていないと判定されることとなる。
【0018】
図3を参照して、オープンカセット200を載置する場合、アダプタ20を載置プレート10上に装着した上で、アダプタ20上にオープンカセット200が載置される。アダプタ20は、載置プレート10上に単に載置することにより装着することもできるが、アダプタ20を本体1と解除自在に係合するような機構を設けてもよい。そのような機構を用いた一例を図14及び図15を参照して説明する。
【0019】
図14は、本体1と係合させる場合のアダプタ20の構成例を示した外観図である。また、図15は、アダプタ20を載置プレート10上に載置し、係合した態様を示す要部断面図である。なお、アダプタ20のスペーサ22a乃至22cの存在により、載置時にはアダプタ20の平板部分と載置プレート10との間には一定の間隔がある。
【0020】
図14において、アダプタ20の略中央部には、開口部26aと、薄肉部分26bとが設けられている。図15(a)を参照して、載置プレート10には、開口部10aが設けられており、この開口部10aを通って、先端に爪部を有するクランプ10bが設けられている。このクランプ10bは、載置プレート10の下側の軸10cを介して棚部2内部に取り付けられており、軸10c回りに回動可能となっている。
【0021】
そして、図15(a)のように、クランプ10bの先端をアダプタ20の開口部26aに突出させるようにしてアダプタ20を載置プレート10上に載置した後、クランプ10bをモータ等の図示しない付勢手段により回動させると、図15(b)の態様に至る。図15(b)の態様では、クランプ10bの先端の爪部がアダプタ20の棚部26bに係止しており、これによりアダプタ20を本体1に係合させ、固定することが可能である。
【0022】
クランプ10bを図15(a)の態様から図15(b)の態様へ回動させる条件としては、例えば、アダプタ20が載置プレート10上に載置されたことが後述するセンサにより検出された場合、或いは、アダプタ20上に更にオープンカセットが載置されたことが後述するセンサにより検出された場合、等が挙げられる。
【0023】
なお、FOUP100を本体1と係合させる場合も同様の構成が採用可能であり、この場合は、FOUP100の底面に、クランプ10bが係止するための窪み等を設けておくことになる。なお、FOUP100の規格品にはこのような窪みが設けてある。
【0024】
以上説明したとおり、本実施形態では、FOUP100を載置する場合はアダプタ20を用いずに直接載置プレート10に載置する一方で、アダプタ20を載置プレート10に装着することにより、オープンカセット200を載置することもできる。従って、一つの載置装置により、FOUPとオープンカセットの双方に対応することができ、各種サイズの基板を収納する各種の収納器に対応することができる。
【0025】
次に、載置装置AにおけるFOUP100の開閉機構について説明する。図4は、載置装置Aの開閉機構を示した破断図である。
【0026】
開閉保持ユニット30は、FOUP100の蓋101を開閉し、また、保持するものである。このために開閉保持ユニット30は、蓋101とFOUP100の本体との係合又は解除を行う機構(図示せず)を備える。また、FOUP100から取り外した蓋101を保持するため、例えば、吸着機構(図示せず)等も備える。
【0027】
開閉保持ユニット30は、支持部材31を介してリニアガイド32のスライダ32aに連結されている。リニアガイド32は、エアシリンダ等の付勢によりスライダ32aを図4の左右方向にスライドさせる装置である。
【0028】
リニアガイド32は、ボールねじ34に螺合するボールナット33に連結されている。ボールナット33は、モータ37の出力軸に連結されたボールねじ34を回転させることにより、図4の上下方向に昇降する。ボールナット33には、レールガイド35が連結されており、レールガイド35を案内するレール36に沿って安定して昇降する。
【0029】
次に、FOUP100の開閉動作について図5乃至図7を参照して説明する。図5乃至図7は、載置装置Aの開閉機構の各動作態様を示した図である。
【0030】
まず、図4の態様から、モータ37によりボールねじ34を回転させ、ボールナット33を介して開閉保持ユニット30を上昇させる。図5は、開閉保持ユニット30を上昇させた態様を示している。
【0031】
次に、リニアガイド32のスライダ32aを移動させ、開閉保持ユニット30をFOUP100の蓋101へ向けて前進させる。図6は、開閉保持ユニット30を蓋101へ前進させた態様を示している。その後、開閉保持ユニット30によりFOUP100本体と蓋101との係合を解除し、取り外した蓋101を開閉保持ユニット30に保持させる。
【0032】
次に、リニアガイド32のスライダ32aを移動させ、蓋101を保持した開閉保持ユニット30をFOUP100から後退させ、更に、モータ37によりボールねじ34を回転させ、ボールナット33を介して開閉保持ユニット30を下降させる。これによりFOUP100の前面が完全に開放したこととなる。その態様を示したのが図7であり、処理装置のハンド300がFOUP100内に収納された基板を受け取ることとなる。
【0033】
処理装置において基板の処理が終了すると、再びFOUP100内に基板が返送され、上述した手順と逆の手順により蓋101がFOUP100本体に取り付けられることとなる。なお、オープンカセットの場合、蓋の開閉という作業は必要とされないので、載置装置Aにオープンカセットが載置されている場合上述した開閉動作は行われず、開閉保持ユニット30は、図4の位置に維持されることとなる。
【0034】
次に、載置装置Aにおける収納器の載置検出機能について図8乃至図11を参照して説明する。上述した蓋101の開閉動作や処理装置による基板の受け渡し動作は、収納器が載置装置Aに載置されていることが前提となる。このため、載置装置Aでは載置プレート10上にFOUPやオープンカセットが載置されているか否かを検出する機能を備えている。図8は、載置装置Aを正面方向から見た載置プレート10周辺及びアダプタ20の破断図(一部省略)である。
【0035】
ピン11a乃至11cは、それぞれ載置プレート10を貫通して上下に移動可能に設けられており、その上端が載置プレート10の上面から突出する一方、その下端は載置プレート10の裏面に取り付けられた板ばね12a乃至12cの中央部付近に接触し、それぞれ上方へ付勢されている。
【0036】
板ばね12a乃至12cは、その上端が載置プレート10の裏面に取り付けられ、その下端は開放されていると共に下方に向いた直線状部分を有する。板ばね12a乃至12cの下方には、載置プレート10上にFOUP又はオープンカセットが載置されているか否かを検出するフォトセンサ2a乃至2c(第1の検出手段)が棚部2に設けられている。フォトセンサ2a乃至2cは、上方が開放したスリットを有するコ型をなし、スリットに物体が存在するか否かでON/OFFとなる。
【0037】
一方、アダプタ20の下面から突出したスペーサ22a乃至22cのうち、スペーサ22aは、アダプタ20を載置プレート10に装着する際に、載置プレート10のピン11aの略真上に位置するように配置されている一方、スペーサ22b及び22cは、載置プレート10の表面に当接するように配置されている。
【0038】
アダプタ20のピン23a及び23bは、それぞれアダプタ20を貫通して上下に移動可能に設けられており、その上端がアダプタ20の上面から突出する一方、その下端は、アダプタ20の下面と略面一になるように配置されている。また、ピン23a及び23bは、アダプタ20の下面側を切り欠いて形成した凹部に取り付けられた板ばね25の端部に取り付けられており、それぞれ上方へ付勢されている。更に、ピン23a及び23bは、アダプタ20を載置プレート10に装着する際に、載置プレート10のピン11b及び11cの略真上にそれぞれ位置するように配置されている
次に、収納器の載置検出手順について説明する。まず、アダプタ20を介してオープンカセットを載置プレート10上に載置する場合について説明する。
【0039】
図8の態様から、アダプタ20を載置プレート10上に載置すると、スペーサ22a乃至22cが載置プレート10に当接することとなる。この時、スペーサ22aは、載置プレート10のピン11aの略真上に位置するように配置されているため、板ばね12aの付勢力に対抗しつつピン11aが下方へ押し込まれることとなる。その結果、板ばね12aは弾性変形して、その下端がフォトセンサ2aのスリットへ侵入し、フォトセンサ2aがこれを検出することとなる。この態様を示したのが図9である。図9において、ピン11aは下方へ押し込まれており、また、ピン11aに押されて板ばね12aが弾性変形し、その下端がフォトセンサ2aのスリットへ侵入していることがわかる。一方、ピン11a及び11bは、下方へ押し込まれておらず、板ばね12b及び12cの下端もフォトセンサ2b及び2cのスリットに侵入していない。
【0040】
すなわち、アダプタ20を載置プレート10に装着した時点では、フォトセンサ2aのみがON(又はOFF)となり、アダプタ20が装着されていることが確認される。
【0041】
次に、アダプタ20上へオープンカセットを載置すると、ピン23a及び23bが下方へ押し込まれることとなる。この時、ピン23a及び23bは、載置プレート10のピン11b及び11cの略真上に位置するようにそれぞれ配置されているため、板ばね12b及び12cの付勢力に対抗しつつピン11b及び11cが下方へ押し込まれることとなる。その結果、板ばね12b及び12cは弾性変形して、その下端がフォトセンサ2b及び2cのスリットへそれぞれ侵入し、フォトセンサ2b及び2cがこれを検出することとなる。この態様を示したのが図10である。板ばね12a乃至12cの下端が、フォトセンサ2a乃至2cのスリットへそれぞれ侵入していることが分かる。
【0042】
以上により、フォトセンサ2a乃至2cが全てON(又はOFF)になった場合に、アダプタ20及びオープンカセットが載置プレート10上に載置されていることとなり、いずれかのフォトセンサ2a乃至2cがONになっていない場合は、オープンカセットが載置されていないと判定されることとなる。
【0043】
次に、FOUPを載置プレート10上に載置する場合について説明する。FOUPを載置プレート10上に載置する場合、アダプタ20を用いずに直接FOUPが載置プレート10上に載置される。載置時の態様を示したのが図11である。載置プレート10のピン11a乃至11cは、いずれもFOUPにより下方へ押し込まれている。この結果、板ばね12a乃至12cはいずれも弾性変形して、その下端がフォトセンサ2a乃至2cのスリットへそれぞれ侵入し、フォトセンサ2a乃至2cがこれを検出することとなる。なお、全てのフォトセンサ2a乃至2cがON(又はOFF)になった場合にFOUPが載置されたと判定され、いずれか一つでもOFFの場合には、FOUPが載置されていないか、或いは、所定位置に載置されておらず、ずれて載置されていると判定されることとなる。
【0044】
このように本実施形態では、FOUPを載置する場合とオープンカセットを載置する場合とで、共通のフォトセンサ2a乃至2c等を用いて載置の検出を行っており、部品削減、コスト低減が実現される。
【0045】
なお、上記実施形態では、アダプタ20のピン23a及び23bの上下動によりFOUP又はオープンカセットの載置を検出したが、これに代えて図16の構成を採用することもできる。図16は、ピン23bに代えてレバー23b’を採用した場合の載置プレート10周辺及びアダプタ20の一部を示す破断図であり、(a)は、オープンカセットの非載置時、(b)は、その載置時の態様を示している。なお、ピン23a側の構成も同様に以下の構成を採用できることはいうまでもない。
【0046】
図16において、レバー23b’は、アダプタ20に設けたスリット内において、アダプタ20に設けられた軸23b”回りに回動自在に設けられている。載置プレート10を貫通して上下に移動可能に設けられたピン11c’が、板ばね12cにより常時上方へ付勢されており、レバー23b’は、その下側の凸部がこのピン11c’の上端に当接、押圧されて、非載置時には、図16(a)の態様となっている。図16(a)の態様では、板ばね12cの下端がフォトセンサ2cのスリットへ侵入していない。
【0047】
そして、図16(a)の態様から、アダプタ20上にオープンカセットを載置すると、レバー23b’の上側の凸部がオープンカセットの下面に当接、押圧され、レバー23b’が軸23b”回りに回動する。この時、レバー23b’の下側の凸部が、板ばね12cの付勢力に対抗しつつ、ピン11c’を下方へ押圧する。この結果、板ばね12cが弾性変形して、その下端がフォトセンサ2cのスリットへ侵入し図16(b)の態様に至る。フォトセンサ2cが板ばね12cの下端の侵入を検出し、オープンカセットの載置が検出されることとなる。
【0048】
このように構成することで、オープンカセットは一般に重量が比較的軽いところ、その載置時にはレバー23b’が略確実に回動して、オープンカセットの載置を検出することができる。なお、本例の場合、ピン11c’の先端の形状を矢印型のよりもどし形状とすることにより、載置プレート10からの脱落防止を図っている。 次に、載置装置Aに対して収納器が搬送された場合の載置装置Aの全体の制御処理の流れについて説明する。図12は、載置装置Aの制御ブロック図である。図13は、載置装置Aに対して収納器が搬送された場合の載置装置Aの全体の制御処理を示すフローチャートである。
【0049】
図12において、制御回路50は、載置装置Aの制御全体を司る電子回路であり、例えば、プログラマブルコントローラである。制御回路50は、フォトセンサ2a乃至2c及び受光器4bの検出結果を参照して、所定の処理、例えば、FOUPの開閉を行う上述した開閉機構の制御や処理装置に対して収納器が載置されていることの通知等を行う。なお、制御回路50は載置装置Aの内部に配置されてもよいし、外部に配置されてもよい。また、制御回路50を独立して設けずに、その機能を処理装置の制御回路に負担させることも可能である。
【0050】
次に、図13を参照して、S131では、載置装置Aに対して収納器が搬送されることの通知を受信する。この通知は、例えば、収納器を搬送する搬送装置により行われる。
【0051】
S132では、載置装置Aに設定されているモードが、FOUPモードかオープンカセットモードかを判定する。このモードは、作業者が予め設定するもので、載置装置Aを、FOUPを載置するために使用する場合はFOUPモードに、オープンカセットを載置するために使用する場合はオープンカセットモードにされる。
【0052】
オープンカセットモードの場合、S133へ進み、フォトセンサ2a乃至2cの検出状態をチェックする。S134では、フォトセンサ2a乃至2cの全てがON(又はOFF)か否かを判定し、全てONの場合は、オープンカセットがアダプタ20を介して載置プレート10上に載置されていると判定してS136へ進む。S136では、処理装置に対して、オープンカセットが載置装置Aに載置されており、基板の取り出しが可能であることを通知し、その後この処理を終了する。
【0053】
一方、S134において、いずれか1つでもONでないフォトセンサがあった場合は、オープンカセットが正常に載置されていないと判定してS135へ進み、エラー処理を行う。このエラー処理では、例えば、警告音による報知、搬送装置に対する動作停止命令等が挙げられる。
【0054】
次に、S132でFOUPモードの場合、S137へ進み、フォトセンサ2a乃至2c及び受光器4bの検出状態をチェックする。S138では、フォトセンサ2a乃至2c及び2つの受光器4bの全てがON(又はOFF)か否かを判定し、全てONの場合は、FOUPが載置プレート10上の所定位置に載置されていると判定してS139へ進む。S139では、上述した開閉機構を作動して、FOUPの蓋を取り外す。そして、S141では、処理装置に対して、FOUPが載置装置Aに載置されており、基板の取り出しが可能であることを通知し、その後この処理を終了する。
【0055】
一方、S138において、いずれか1つでもONでないフォトセンサ又は受光器があった場合は、FOUPが載置プレート10上に載置されていないか、若しくは、載置されていたとしても、所定位置に載置されていないと判定してS140へ進み、エラー処理を行う。このエラー処理では、上述した開閉機構の動作を禁止した上で、警告音による報知、搬送装置に対する動作停止命令等を行う。以上により、図13に示した処理が終了する。
【0056】
なお、S135及びS140のエラー処理では、上述した処理の他にも、載置装置Aの種々の動作を禁止することもできる。例えば、図15を参照して説明したクランプ10bの回動禁止や、或いは、マッピング動作の禁止等も挙げられる。マッピング動作とは、オープンカセットやFOUPに収納された基板が整列配置されているかを検出したり、これを整列配置させる動作であり、処理装置のハンドが収納された基板を正確に取り出すための動作である。
【0057】
なお、このようなクランプ10bによる係合動作や、マッピング動作は、正常時には、例えば、S136の処理装置への通知前、又は、S139の開閉機構の作動前に行われる。
【0058】
【発明の効果】
以上述べてきたとおり、本発明によれば、各種サイズの基板を収納する各種の収納器に対応することができる。この結果、クリーンルーム環境の変化にも対応することができる。また、オープンカセットがアダプタを介して載置されていることを検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る載置装置Aの外観図である。
【図2】載置装置AにFOUP100を載置した態様を示す図である。
【図3】載置装置Aにオープンカセット200を載置した態様を示す図である。
【図4】載置装置Aの開閉機構を示した破断図である。
【図5】載置装置Aの開閉機構の各動作態様を示した図である。
【図6】載置装置Aの開閉機構の各動作態様を示した図である。
【図7】載置装置Aの開閉機構の各動作態様を示した図である。
【図8】載置装置Aを正面方向から見た載置プレート10周辺及びアダプタ20の破断図(一部省略)である。
【図9】図8の態様からアダプタ20を載置プレート10上に載置した態様を示す図である。
【図10】図9の態様からオープンカセットをアダプタ20上に載置した態様を示す図である。
【図11】図8において、FOUPを載置プレート10上に載置した態様を示す図である。
【図12】載置装置Aの制御ブロック図である。
【図13】、載置装置Aに対して収納器が搬送された場合の載置装置Aの全体の制御処理を示すフローチャートである。
【図14】アダプタ20の他の構成例を示す外観図である。
【図15】アダプタ20を載置プレート10上に載置し、係合した態様を示す要部断面図であり、(a)は係合前、(b)は係合後を示す。
【図16】図16は、ピン23bに代えてレバー23b’を採用した場合の載置プレート10周辺及びアダプタ20の一部を示す破断図であり、(a)は、オープンカセットの非載置時、(b)は、その載置時の態様を示している。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a mounting apparatus for temporarily mounting a substrate to be transferred to a substrate processing apparatus in a substrate processing facility.
[0002]
[Prior art]
In a substrate processing facility, when a substrate is transported to a substrate processing apparatus, a sealed container called FOUP storing a plurality of substrates or an open container called an open cassette is used. The FOUP is a pod that is generally provided with a lid that can be opened and closed, and is configured to keep the internal space in which the substrate is stored airtight, and the lid is opened when the substrate is delivered. On the other hand, the open cassette is generally provided with a plurality of slots for aligning and supporting the substrates at substantially equal intervals, and the substrates are opened to the ambient atmosphere.
[0003]
A placing device for temporarily placing such a container is provided in the vicinity of the substrate processing apparatus, and the substrate processing apparatus takes out the substrate from the container placed on the placing device and performs processing. It is configured to return to the container again after processing.
[0004]
In recent years, FOUPs that employ FOUPs are becoming mainstream as substrate storage units, and FOUP placement devices have been proposed that have a mechanism for opening and closing the FOUP lid.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, there are a plurality of types of substrate sizes, and there are substrates of a size that cannot be stored by FOUP. In this case, the mounting device for FOUP cannot be used, and for example, it is necessary to take measures such as changing to a mounting device for an open cassette, which is troublesome.
[0006]
Currently, the clean room environment in the substrate processing facility is in the process of changing, and in future facilities, there are cases where an open cassette is handled and a FOUP is handled for substrate transport. In any case, the substrate processing apparatus can cope with such environmental changes by making it possible to deal with substrates of different sizes. However, the open cassette and the FOUP have different standards. It is necessary to change the mounting device to be appropriately changed.
[0007]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a mounting apparatus corresponding to various storage units that store substrates of various sizes.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
  According to the present invention, there is provided a mounting portion that includes a lid that can be opened and closed, and on which a sealed container that stores a substrate is mounted, and the lid of the sealed container that is mounted on the mounting portion. An opening / closing means for opening and closing, an open type storage device for storing a substrate, and an adapter provided detachably on the mounting portion,An adapter-side pin portion that protrudes on the adapter and is pushed down by placing the open-type container on the adapter, and protrudes on the placement portion, and the adapter is mounted on the placement portion. A first pin portion that is pushed down, a first sensor that detects that the first pin portion has been pushed down, and a protrusion that protrudes above the placement portion and is pushed down when the adapter is attached to the placement portion. A second pin portion that is pushed down by placing the open-type container in a state where the adapter is mounted on the placement portion and pushing down the adapter-side pin portion; and the second pin portion A second sensor for detecting that is depressed;Determination means for determining whether or not the open-type container is placed on the placement section, wherein the determination means includes the firstSensorBy the aboveThe first pin part was pushed downAnd the secondSensorBy the aboveThe second pin was pushed downIs detected, it is determined that the open-type storage device is placed on the placement portion. The placement device is provided.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an external view of a mounting apparatus A according to an embodiment of the present invention. The mounting apparatus A is an apparatus that is placed in the vicinity of a processing apparatus that processes a substrate such as a wafer, and in which a storage unit that stores the substrate to be processed by the processing apparatus is temporarily mounted. In this embodiment, both a FOUP and an open cassette can be placed as a container.
[0010]
The mounting device A is provided on the shelf portion 2 of the main body 1, a mounting plate 10 on which a container for storing a substrate is mounted, an adapter 20 that can be detachably mounted on the mounting plate 10, Is provided.
[0011]
The mounting plate 10 is provided with pins 11a to 11c for detecting whether or not the container is mounted so as to protrude from the upper surface thereof. The adapter 20 is provided with four positioning blocks 21 on the upper surface thereof for positioning a container placed on the adapter 20. The positioning block 21 is made of resin, for example.
[0012]
Further, the adapter 20 is provided with spacers 22a to 22c that keep a constant distance from the mounting plate 10 so as to protrude from the lower surface thereof. Furthermore, the adapter 20 is provided with pins 23a and 23b for detecting whether or not the container is placed on the adapter 20 so as to protrude from the upper surface thereof. The handle 24 is a gripping tool for an operator to handle the adapter 20.
[0013]
The back portion 3 of the main body 1 is provided with an opening 3a, and the substrate transporting hand provided in the processing apparatus transfers the substrate in the container placed on the placement plate 10 through the opening 3a. Do.
[0014]
The back portion 3 of the main body 1 is provided with two light emitters 4a that emit light rays such as infrared rays, and the shelf portion 2 of the main body 1 has two light receivers that receive the light rays from the light emitter 4a. 4b is provided. These two sets of the light emitter 4a and the light receiver 4b are for detecting whether or not the FOUP is placed at a predetermined position when the FOUP is placed on the placement plate 10.
[0015]
Next, a mode in which the FOUP and the open cassette are placed on the placement device A will be described. FIG. 2 is a diagram illustrating a mode in which the FOUP 100 is mounted on the mounting device A, and FIG. 3 is a diagram illustrating a mode in which the open cassette 200 is mounted on the mounting device A. The FOUP 100 is a hermetic container that includes a lid that can be opened and closed, and that accommodates a substrate. For example, a FOUP 100 is assumed to be for 300 mm. The open cassette 200 is an open-type storage device that stores a substrate. For example, an open cassette 200 for 200 mm is assumed. The FOUP 100 maintains its internal airtightness when the lid is closed, and the substrate does not come into contact with the surrounding atmosphere. However, the open cassette 200 always comes into contact with the surrounding atmosphere.
[0016]
Referring to FIG. 2, when mounting FOUP 100, adapter 20 is not used, and FOUP 100 is mounted directly on mounting plate 10. When the FOUP 100 is placed, a light beam indicated by a broken line is emitted from the light emitter 4a toward the light receiver 4b to detect whether the FOUP 100 is placed at a predetermined position (second detection means). ).
[0017]
When the FOUP 100 is placed at a predetermined position, the light beam from the light emitter 4a collides with the side surface of the FOUP 100 and is emitted so that the light beam is blocked. That is, when the FOUP 100 is placed at a predetermined position, the light beam from the light emitter 4a is blocked by the FOUP 100 and does not reach the light receiver 4b. Accordingly, when the two light receivers 4b do not receive the light beam, it is determined that the FOUP 100 is placed at a predetermined position. On the other hand, when any one of the light receivers 4b receives a light beam, it is determined that the FOUP 100 is not placed at a predetermined position, for example, tilted.
[0018]
Referring to FIG. 3, when mounting open cassette 200, adapter 20 is mounted on mounting plate 10, and then open cassette 200 is mounted on adapter 20. The adapter 20 can be mounted simply by being placed on the placement plate 10, but a mechanism for releasably engaging the adapter 20 with the main body 1 may be provided. An example using such a mechanism will be described with reference to FIGS.
[0019]
FIG. 14 is an external view showing a configuration example of the adapter 20 when engaged with the main body 1. FIG. 15 is a cross-sectional view of a principal part showing a state in which the adapter 20 is placed on the placement plate 10 and engaged. Note that, due to the presence of the spacers 22 a to 22 c of the adapter 20, there is a certain distance between the flat plate portion of the adapter 20 and the mounting plate 10 during mounting.
[0020]
In FIG. 14, an opening 26 a and a thin portion 26 b are provided in a substantially central portion of the adapter 20. Referring to FIG. 15A, the mounting plate 10 is provided with an opening 10a, and a clamp 10b having a claw at the tip is provided through the opening 10a. The clamp 10b is attached to the inside of the shelf portion 2 via a shaft 10c on the lower side of the mounting plate 10, and is rotatable around the shaft 10c.
[0021]
Then, as shown in FIG. 15A, after the adapter 20 is placed on the placement plate 10 so that the tip of the clamp 10b protrudes from the opening 26a of the adapter 20, the clamp 10b is not shown such as a motor. When it is rotated by the urging means, the state shown in FIG. In the mode of FIG. 15 (b), the claw portion at the tip of the clamp 10b is locked to the shelf portion 26b of the adapter 20, whereby the adapter 20 can be engaged with the main body 1 and fixed.
[0022]
As a condition for rotating the clamp 10b from the mode shown in FIG. 15A to the mode shown in FIG. 15B, for example, a sensor described later detects that the adapter 20 is mounted on the mounting plate 10. In the case, or when it is detected by an after-mentioned sensor that an open cassette is further placed on the adapter 20, for example.
[0023]
Note that the same configuration can be adopted when the FOUP 100 is engaged with the main body 1. In this case, a recess or the like for locking the clamp 10 b is provided on the bottom surface of the FOUP 100. In addition, such a dent is provided in the standard product of FOUP100.
[0024]
As described above, in this embodiment, when the FOUP 100 is mounted, the adapter 20 is mounted directly on the mounting plate 10 without using the adapter 20, while the adapter 20 is mounted on the mounting plate 10, thereby opening the cassette. 200 can also be mounted. Therefore, it is possible to deal with both FOUP and open cassette with a single loading device, and it is possible to deal with various storage devices that store substrates of various sizes.
[0025]
Next, the opening / closing mechanism of the FOUP 100 in the mounting apparatus A will be described. FIG. 4 is a cutaway view showing the opening / closing mechanism of the mounting apparatus A. FIG.
[0026]
The open / close holding unit 30 opens / closes and holds the lid 101 of the FOUP 100. For this purpose, the open / close holding unit 30 includes a mechanism (not shown) for engaging or releasing the lid 101 and the main body of the FOUP 100. Further, in order to hold the lid 101 removed from the FOUP 100, for example, a suction mechanism (not shown) is also provided.
[0027]
The open / close holding unit 30 is connected to a slider 32 a of the linear guide 32 via a support member 31. The linear guide 32 is a device that slides the slider 32a in the left-right direction in FIG. 4 by urging the air cylinder or the like.
[0028]
The linear guide 32 is connected to a ball nut 33 that is screwed into the ball screw 34. The ball nut 33 moves up and down in the vertical direction of FIG. 4 by rotating a ball screw 34 connected to the output shaft of the motor 37. A rail guide 35 is connected to the ball nut 33 and moves up and down stably along a rail 36 that guides the rail guide 35.
[0029]
Next, the opening / closing operation of the FOUP 100 will be described with reference to FIGS. 5 to 7 are views showing each operation mode of the opening / closing mechanism of the mounting apparatus A. FIG.
[0030]
First, from the embodiment of FIG. 4, the ball screw 34 is rotated by the motor 37, and the open / close holding unit 30 is raised via the ball nut 33. FIG. 5 shows a mode in which the open / close holding unit 30 is raised.
[0031]
Next, the slider 32 a of the linear guide 32 is moved, and the open / close holding unit 30 is advanced toward the lid 101 of the FOUP 100. FIG. 6 shows a state in which the open / close holding unit 30 is advanced to the lid 101. Thereafter, the engagement between the main body of the FOUP 100 and the lid 101 is released by the opening / closing holding unit 30, and the removed lid 101 is held by the opening / closing holding unit 30.
[0032]
Next, the slider 32a of the linear guide 32 is moved, the opening / closing holding unit 30 holding the lid 101 is moved backward from the FOUP 100, the ball screw 34 is further rotated by the motor 37, and the opening / closing holding unit 30 via the ball nut 33. Is lowered. As a result, the front surface of the FOUP 100 is completely opened. FIG. 7 shows this aspect, and the hand 300 of the processing apparatus receives the substrate stored in the FOUP 100.
[0033]
When the processing of the substrate is completed in the processing apparatus, the substrate is returned to the FOUP 100 again, and the lid 101 is attached to the FOUP 100 main body by a procedure reverse to the above-described procedure. In the case of an open cassette, since the operation of opening and closing the lid is not required, the open / close operation described above is not performed when the open cassette is placed on the mounting device A, and the open / close holding unit 30 is positioned as shown in FIG. Will be maintained.
[0034]
Next, the placement detection function of the container in the placement device A will be described with reference to FIGS. The above-described opening / closing operation of the lid 101 and the substrate transfer operation by the processing apparatus are based on the assumption that the container is mounted on the mounting apparatus A. For this reason, the mounting apparatus A has a function of detecting whether a FOUP or an open cassette is mounted on the mounting plate 10. FIG. 8 is a cutaway view (partially omitted) of the periphery of the mounting plate 10 and the adapter 20 when the mounting apparatus A is viewed from the front.
[0035]
Each of the pins 11 a to 11 c is provided so as to be movable up and down through the mounting plate 10, and its upper end protrudes from the upper surface of the mounting plate 10, while its lower end is attached to the back surface of the mounting plate 10. The plate springs 12a to 12c are in contact with the vicinity of the center and are urged upward.
[0036]
The top ends of the leaf springs 12a to 12c are attached to the back surface of the mounting plate 10, and the bottom ends thereof are open and have straight portions facing downward. Photosensors 2a to 2c (first detection means) for detecting whether or not a FOUP or an open cassette is placed on the placement plate 10 are provided on the shelf 2 below the leaf springs 12a to 12c. ing. Each of the photosensors 2a to 2c has a U-shape having a slit opened upward, and is turned ON / OFF depending on whether an object exists in the slit.
[0037]
On the other hand, among the spacers 22 a to 22 c protruding from the lower surface of the adapter 20, the spacer 22 a is disposed so as to be positioned substantially directly above the pin 11 a of the mounting plate 10 when the adapter 20 is mounted on the mounting plate 10. On the other hand, the spacers 22 b and 22 c are arranged so as to contact the surface of the mounting plate 10.
[0038]
The pins 23 a and 23 b of the adapter 20 are provided so as to be vertically movable through the adapter 20, and their upper ends protrude from the upper surface of the adapter 20, while their lower ends are substantially flush with the lower surface of the adapter 20. It is arranged to be. The pins 23a and 23b are attached to end portions of a leaf spring 25 attached to a recess formed by cutting out the lower surface side of the adapter 20, and are urged upward. Further, the pins 23 a and 23 b are arranged so as to be positioned substantially directly above the pins 11 b and 11 c of the mounting plate 10 when the adapter 20 is mounted on the mounting plate 10.
Next, the placement detection procedure of the container will be described. First, the case where an open cassette is mounted on the mounting plate 10 via the adapter 20 will be described.
[0039]
When the adapter 20 is placed on the placement plate 10 from the aspect of FIG. 8, the spacers 22 a to 22 c come into contact with the placement plate 10. At this time, since the spacer 22a is disposed so as to be positioned almost directly above the pin 11a of the mounting plate 10, the pin 11a is pushed downward while opposing the urging force of the leaf spring 12a. As a result, the leaf spring 12a is elastically deformed, and the lower end thereof enters the slit of the photosensor 2a, and the photosensor 2a detects this. FIG. 9 shows this aspect. In FIG. 9, it can be seen that the pin 11a is pushed downward, the leaf spring 12a is elastically deformed by being pushed by the pin 11a, and the lower end thereof enters the slit of the photosensor 2a. On the other hand, the pins 11a and 11b are not pushed downward, and the lower ends of the leaf springs 12b and 12c also do not enter the slits of the photosensors 2b and 2c.
[0040]
That is, when the adapter 20 is mounted on the mounting plate 10, only the photosensor 2a is turned on (or off), and it is confirmed that the adapter 20 is mounted.
[0041]
Next, when the open cassette is placed on the adapter 20, the pins 23a and 23b are pushed downward. At this time, since the pins 23a and 23b are arranged so as to be positioned almost directly above the pins 11b and 11c of the mounting plate 10, respectively, the pins 11b and 11c are opposed to the urging force of the leaf springs 12b and 12c. Will be pushed downward. As a result, the leaf springs 12b and 12c are elastically deformed, and the lower ends thereof enter the slits of the photosensors 2b and 2c, respectively, and the photosensors 2b and 2c detect this. This mode is shown in FIG. It can be seen that the lower ends of the leaf springs 12a to 12c have entered the slits of the photosensors 2a to 2c, respectively.
[0042]
As described above, when the photosensors 2a to 2c are all turned on (or off), the adapter 20 and the open cassette are placed on the placement plate 10, and any one of the photosensors 2a to 2c is installed. When it is not ON, it is determined that the open cassette is not placed.
[0043]
Next, a case where the FOUP is placed on the placement plate 10 will be described. When the FOUP is placed on the placement plate 10, the FOUP is placed directly on the placement plate 10 without using the adapter 20. FIG. 11 shows a mode at the time of mounting. All of the pins 11a to 11c of the mounting plate 10 are pushed downward by the FOUP. As a result, the leaf springs 12a to 12c are all elastically deformed, and the lower ends thereof enter the slits of the photosensors 2a to 2c, respectively, and the photosensors 2a to 2c detect this. When all the photosensors 2a to 2c are turned on (or off), it is determined that the FOUP is placed. When any one of them is turned off, the FOUP is not placed, or Therefore, it is determined that it is not placed at a predetermined position and is placed at a deviation.
[0044]
As described above, in the present embodiment, when the FOUP is placed and when the open cassette is placed, the placement is detected by using the common photosensors 2a to 2c, etc., thereby reducing parts and cost. Is realized.
[0045]
In the above-described embodiment, the placement of the FOUP or the open cassette is detected by the vertical movement of the pins 23a and 23b of the adapter 20, but the configuration shown in FIG. 16 may be employed instead. FIG. 16 is a cutaway view showing the periphery of the mounting plate 10 and a part of the adapter 20 when the lever 23b ′ is used instead of the pin 23b, and FIG. ) Shows a mode at the time of mounting. In addition, it cannot be overemphasized that the following structures can be similarly employ | adopted for the structure by the side of the pin 23a.
[0046]
In FIG. 16, the lever 23 b ′ is provided so as to be rotatable around a shaft 23 b ″ provided in the adapter 20 in a slit provided in the adapter 20. The lever 23 b ′ can move up and down through the mounting plate 10. The pin 11c 'provided on the pin 11b is always urged upward by the leaf spring 12c, and the lever 23b' has its lower convex portion abutted against and pressed against the upper end of the pin 11c '. 16A, the lower end of the leaf spring 12c does not penetrate the slit of the photosensor 2c.
[0047]
16A, when the open cassette is placed on the adapter 20, the upper convex portion of the lever 23b ′ is brought into contact with and pressed against the lower surface of the open cassette, and the lever 23b ′ is rotated around the shaft 23b ″. At this time, the convex portion on the lower side of the lever 23b ′ presses the pin 11c ′ downward against the urging force of the leaf spring 12c, so that the leaf spring 12c is elastically deformed. 16B, the lower end of the photosensor 2c enters the slit of the photosensor 2c, and the photosensor 2c detects the intrusion of the lower end of the leaf spring 12c, thereby detecting the placement of the open cassette.
[0048]
With such a configuration, the open cassette generally has a relatively light weight. However, when the open cassette is placed, the lever 23b 'rotates substantially reliably so that the placement of the open cassette can be detected. In the case of this example, the tip of the pin 11c 'is shaped like a reverse arrow so as to prevent the pin 11c' from falling off the mounting plate 10. Next, the flow of overall control processing of the mounting apparatus A when the container is transported to the mounting apparatus A will be described. FIG. 12 is a control block diagram of the mounting apparatus A. FIG. 13 is a flowchart showing overall control processing of the mounting apparatus A when the container is transported to the mounting apparatus A.
[0049]
In FIG. 12, a control circuit 50 is an electronic circuit that governs overall control of the mounting apparatus A, and is, for example, a programmable controller. The control circuit 50 refers to the detection results of the photosensors 2a to 2c and the light receiver 4b, and controls the opening / closing mechanism that opens and closes the FOUP, for example, and mounts the container on the processing device. Notification of what is being done. The control circuit 50 may be disposed inside the mounting apparatus A or may be disposed outside. Further, it is possible to place the function on the control circuit of the processing apparatus without providing the control circuit 50 independently.
[0050]
Next, referring to FIG. 13, in S <b> 131, a notification that the container is transported to the mounting apparatus A is received. This notification is performed, for example, by a transport device that transports the container.
[0051]
In S132, it is determined whether the mode set for the mounting apparatus A is the FOUP mode or the open cassette mode. This mode is preset by the operator. When the mounting apparatus A is used for mounting the FOUP, the mode is set to the FOUP mode. When the mounting apparatus A is used for mounting the open cassette, the mode is set to the open cassette mode. Is done.
[0052]
In the case of the open cassette mode, the process proceeds to S133, and the detection state of the photosensors 2a to 2c is checked. In S134, it is determined whether or not all of the photosensors 2a to 2c are ON (or OFF). If all are ON, it is determined that the open cassette is mounted on the mounting plate 10 via the adapter 20. Then, the process proceeds to S136. In S136, the processing apparatus is notified that the open cassette is mounted on the mounting apparatus A and the substrate can be taken out, and then this processing is terminated.
[0053]
On the other hand, if any one of the photosensors is not ON in S134, it is determined that the open cassette is not normally placed, and the process proceeds to S135 to perform error processing. In this error processing, for example, a warning sound notification, an operation stop command for the transport device, and the like can be given.
[0054]
Next, in the case of the FOUP mode in S132, the process proceeds to S137, and the detection states of the photosensors 2a to 2c and the light receiver 4b are checked. In S138, it is determined whether or not all of the photosensors 2a to 2c and the two light receivers 4b are ON (or OFF). If all are ON, the FOUP is placed at a predetermined position on the placement plate 10. It judges that there is, and progresses to S139. In S139, the opening / closing mechanism described above is operated to remove the FOUP lid. In step S141, the processing apparatus is notified that the FOUP is mounted on the mounting apparatus A and the substrate can be taken out, and then the process ends.
[0055]
On the other hand, in S138, if any one of the photosensors or light receivers is not ON, even if the FOUP is not placed on the placement plate 10 or is placed, the predetermined position If it is not mounted, the process proceeds to S140 and error processing is performed. In this error processing, after the operation of the opening / closing mechanism described above is prohibited, a warning sound is notified, an operation stop command is given to the transport device, and the like. Thus, the process illustrated in FIG. 13 ends.
[0056]
In the error processing in S135 and S140, various operations of the mounting apparatus A can be prohibited in addition to the above-described processing. For example, the rotation of the clamp 10b described with reference to FIG. 15 or the prohibition of the mapping operation may be mentioned. The mapping operation is an operation for detecting whether the substrates accommodated in the open cassette or the FOUP are aligned and arranging them, and for accurately taking out the substrate accommodating the processing apparatus hand. It is.
[0057]
Note that such engagement operation and mapping operation by the clamp 10b are performed in a normal state, for example, before notification to the processing device in S136 or before the opening / closing mechanism in S139 is activated.
[0058]
【The invention's effect】
  As described above, according to the present invention, it is possible to deal with various types of containers that store substrates of various sizes. As a result, it is possible to cope with changes in the clean room environment.Moreover, it can detect that the open cassette is mounted via the adapter.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an external view of a mounting apparatus A according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing a mode in which the FOUP 100 is placed on the placement device A. FIG.
FIG. 3 is a view showing a mode in which an open cassette 200 is placed on the placement device A. FIG.
FIG. 4 is a cutaway view showing an opening / closing mechanism of the mounting device A.
FIG. 5 is a view showing each operation mode of the opening / closing mechanism of the mounting apparatus A;
6 is a view showing each operation mode of an opening / closing mechanism of the mounting apparatus A. FIG.
7 is a view showing each operation mode of the opening / closing mechanism of the mounting apparatus A. FIG.
FIG. 8 is a cutaway view (partially omitted) of the periphery of the mounting plate 10 and the adapter 20 when the mounting device A is viewed from the front.
9 is a view showing a mode in which the adapter 20 is mounted on the mounting plate 10 from the mode of FIG.
10 is a view showing a mode in which an open cassette is placed on an adapter 20 from the mode of FIG.
11 is a diagram showing a state in which the FOUP is placed on the placement plate 10 in FIG.
12 is a control block diagram of the mounting apparatus A. FIG.
FIG. 13 is a flowchart showing overall control processing of the mounting apparatus A when the container is transported to the mounting apparatus A.
14 is an external view showing another configuration example of the adapter 20. FIG.
FIGS. 15A and 15B are main part cross-sectional views showing a state in which the adapter 20 is placed on the placement plate 10 and engaged, wherein FIG. 15A shows before engagement and FIG. 15B shows after engagement.
FIG. 16 is a cutaway view showing the periphery of the mounting plate 10 and a part of the adapter 20 when the lever 23b ′ is employed instead of the pin 23b, and FIG. (B) shows the mode of the placement.

Claims (2)

開閉可能な蓋を備え、基板を収納する密閉型の収納器が載置される載置部と、
前記載置部に載置された前記密閉型の収納器の前記蓋を開閉する開閉手段と、
基板を収納する開放型の収納器が載置され、前記載置部に着脱自在に設けられたアダプタと、
前記アダプタ上に突出し、前記アダプタ上に前記開放型の収納器が載置されることにより押し下げられるアダプタ側ピン部と、
前記載置部上に突出し、前記載置部に前記アダプタが装着されることにより押し下げられる第1ピン部と、
前記第1ピン部が押し下げられたことを検出する第1センサと、
前記載置部上に突出し、前記載置部に前記アダプタが装着された状態では押し下げられず、前記載置部に前記アダプタが装着された状態で前記開放型の収納器が載置されて前記アダプタ側ピン部が押し下げられることにより押し下げられる第2ピン部と、
前記第2ピン部が押し下げられたことを検出する第2センサと、
前記載置部上に前記開放型の収納器が載置されているか否か判定する判定手段と、
を備え、
前記判定手段は、前記第1センサにより前記第1ピン部が押し下げられたことが検出され、かつ、前記第2センサにより前記第2ピン部が押し下げられたことが検出された場合に、前記載置部上に前記開放型の収納器が載置されていると判定することを特徴とする載置装置。
A mounting portion having a lid that can be opened and closed, on which a sealed container for storing a substrate is mounted;
Opening and closing means for opening and closing the lid of the sealed container placed on the placing portion,
An open-type storage device that stores a substrate is placed, and an adapter that is detachably provided on the mounting portion,
An adapter-side pin portion that protrudes on the adapter and is pushed down by placing the open-type container on the adapter;
A first pin portion protruding on the mounting portion and being pushed down by mounting the adapter on the mounting portion;
A first sensor for detecting that the first pin portion is pushed down;
It protrudes on the mounting part and is not pushed down when the adapter is mounted on the mounting part, and the open-type container is mounted on the mounting part with the adapter mounted on the mounting part. A second pin portion pushed down by pushing down the adapter side pin portion;
A second sensor for detecting that the second pin portion is pushed down;
Determination means for determining whether or not the open-type storage device is mounted on the mounting portion;
With
The determination means is described above when the first sensor detects that the first pin portion is pushed down and the second sensor detects that the second pin portion is pushed down. It is determined that the open-type container is placed on a placement unit.
前記アダプタを、前記載置部に解除自在に係合する係合機構を更に備え、
前記係合機構は、前記第1センサにより前記第1ピン部が押し下げられたことが検出された場合に前記アダプタを前記載置部に係合することを特徴とする請求項1に記載の載置装置。
An engagement mechanism for releasably engaging the adapter with the mounting portion;
The mounting mechanism according to claim 1, wherein the engagement mechanism engages the adapter with the mounting portion when the first sensor detects that the first pin portion is pushed down. Device.
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