JP5621451B2

JP5621451B2 - Cassette adapter and seating sensor mechanism

Info

Publication number: JP5621451B2
Application number: JP2010208848A
Authority: JP
Inventors: 隆一幡野; 斎藤　省吾; 省吾斎藤
Original assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Current assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Priority date: 2010-09-17
Filing date: 2010-09-17
Publication date: 2014-11-12
Anticipated expiration: 2030-09-17
Also published as: JP2012064828A

Description

本発明は、３００ｍｍのウエハを収容する第１カセットに対応のロードポートを使用して、２００ｍｍのウエハを収容する第２カセットをセット可能にするためにキャリアベースに固定されるカセットアダプタにおいて、当該アダプタに対して第２カセットが正しい位置に着座されたことを検出するカセットアダプタ、及び着座センサ機構に関するものである。なお、本明細書において、「３００ｍｍのウエハ」及び「２００ｍｍのウエハ」とは、それぞれ直径３００ｍｍ及び直径２００ｍｍの円形のウエハを指す。 The present invention relates to a cassette adapter fixed to a carrier base so that a second cassette accommodating a 200 mm wafer can be set using a load port corresponding to the first cassette accommodating a 300 mm wafer. The present invention relates to a cassette adapter for detecting that a second cassette is seated at a correct position with respect to the adapter, and a seating sensor mechanism. In this specification, “300 mm wafer” and “200 mm wafer” refer to circular wafers having a diameter of 300 mm and a diameter of 200 mm, respectively.

３００ｍｍのウエハの処理を主体にした処理装置においては、当該処理装置に対してウエハの搬入・搬出を行うために、多数枚のウエハを収容した第１カセットを設置するためのロードポートが、前記処理装置の外側におけるウエハの搬入・搬出を行う各部分にそれぞれ取付けられている。 In a processing apparatus mainly for processing 300 mm wafers, a load port for installing a first cassette containing a large number of wafers in order to carry in / out wafers to / from the processing apparatus includes: It is attached to each part that carries in and out the wafer outside the processing apparatus.

このように、３００ｍｍのウエハの処理を主体にした処理装置において、２００ｍｍのウエハの処理を行う必要が生ずることがある。このような場合に、処理装置の外側に設置した各ロードポート自体を、２００ｍｍのウエハを収容する第２カセットに対応したロードポートに変更すれば問題はない。この方法では、３００ｍｍのウエハに比較して使用頻度の少ない２００ｍｍのウエハの処理のために、第２カセットに対応した専用のロードポートを多数製作・準備しておいて、ロードポート自体を取り替える必要がある。 As described above, in a processing apparatus mainly for processing a 300 mm wafer, it may be necessary to process a 200 mm wafer. In such a case, there is no problem if each load port itself installed outside the processing apparatus is changed to a load port corresponding to the second cassette that accommodates a 200 mm wafer. In this method, in order to process a 200 mm wafer that is less frequently used than a 300 mm wafer, it is necessary to prepare and prepare a large number of dedicated load ports corresponding to the second cassette and replace the load port itself. There is.

上記の方法では、使用頻度の少ない第２カセット専用のロードポートの製作のみならず、ロードポートの取り替えのための作業をも必要とし、極めて不経済であると共に、ロードポートの交換のために、ウエハの処理能率も低下する。 The above method requires not only the production of a load port dedicated to the second cassette, which is less frequently used, but also a work for replacing the load port, which is extremely uneconomical. The wafer processing efficiency also decreases.

そこで、本発明者は、３００ｍｍのウエハを収容可能な第１カセットに対応のロードポートに対して２００ｍｍのウエハを収容する第２カセットを設置可能にするためのカセットアダプタを使用する着想を得た。この着想の下では、３００ｍｍのウエハを収容する第１カセットのロードポートのキャリアベースに対して前記カセットアダプタがしっかりと固定され、しかも第２カセット全体が前記キャリアベースに対して固定されたカセットカバー内に収容されて、当該カセットカバーの手前側の開口は、前記カセットアダプタを構成するプレート体で覆われている。このためには、ロードポート側を大きく改造することなく、前記カセットアダプタを構成しているアダプタベースに対して回動軸を中心に回動可能に支持されたアダプタ本体の配置位置、及び当該アダプタ本体に対する第２カセットの着座位置の双方を検出するための着座センサ機構が不可欠となる。なお、当業界では、３００ｍｍの第１ウエハを収容可能な第１カセットは、ＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）と称され、２００ｍｍの第２ウエハを収容可能な第２カセットは、オープンカセットと称されている。 Accordingly, the present inventor has come up with the idea of using a cassette adapter for enabling installation of a second cassette that accommodates a 200 mm wafer with respect to a load port corresponding to the first cassette that can accommodate a 300 mm wafer. . Under this concept, a cassette cover in which the cassette adapter is firmly fixed to the carrier base of the load port of the first cassette accommodating a 300 mm wafer, and the entire second cassette is fixed to the carrier base. The opening on the near side of the cassette cover is covered with a plate body constituting the cassette adapter. For this purpose, the adapter main body is disposed so as to be rotatable about a rotation shaft with respect to the adapter base constituting the cassette adapter without greatly modifying the load port side, and the adapter. A seating sensor mechanism for detecting both the seating position of the second cassette with respect to the main body is indispensable. In the industry, a first cassette capable of accommodating a 300 mm first wafer is referred to as a FOUP (Front Open Unified Pod), and a second cassette capable of accommodating a 200 mm second wafer is referred to as an open cassette. ing.

上記の目的を達成するための先行技術としては、特許文献１，２があるが、いずれも標準のロードポートではなくて、専用のロードポートが必要であるという共通の問題があった。 As prior arts for achieving the above object, there are Patent Documents 1 and 2, but there is a common problem that both are not standard load ports but require dedicated load ports.

特許第４３８５０５号公報Japanese Patent No. 435505 特表２００３−５０４８８７号公報JP-T-2003-504887

本発明は、３００ｍｍのウエハを収容する第１カセットに対応のロードポートのキャリアベースにカセットアダプタを取付けて、前記ロードポートに２００ｍｍのウエハを収容する第２カセットを設置する際に、当該第２カセットが正しい位置に着座されたことを検出する着座センサ機構の提供を課題としている。 In the present invention, when the cassette adapter is attached to the carrier base of the load port corresponding to the first cassette that accommodates the 300 mm wafer, and the second cassette that accommodates the 200 mm wafer is installed in the load port, the second cassette An object of the present invention is to provide a seating sensor mechanism for detecting that the cassette is seated at a correct position.

上記課題を解決するための請求項１の発明は、３００ｍｍの第１ウエハを収容可能な第１カセットを設置して、処理装置に対して当該第１ウエハを搬入・搬出させるためのキャリアベースと、当該キャリアベースに対して第１カセットが正しい位置に着座されたことを検出する複数の第１カセット用着座センサとを備えたロードポートの前記キャリアベースに装着されて、２００ｍｍの第２ウエハを収容可能な第２カセットを設置するためのカセットアダプタであって、前記カセットアダプタは、前記キャリアベースに固定されるアダプタベースと、二枚のプレート体が側面視でＬ字状となるように直交して一体化されて、当該アダプタベースに対して水平配置された回動軸を中心にして（９０°−θ）の角度で回動可能に支持されるアダプタ本体とから成り、前記アダプタ本体は、前記回動軸心の側が低くなるように、水平面に対して角度（θ）だけ傾斜配置された状態で、前記ロードポートのカセットテーブルに対する第２カセットの設置及び取出しの双方が可能であるカセット受台と、傾斜姿勢から水平姿勢への移行により、前記カセット受台で支持されていた第２カセットを（９０°−θ）だけ回動させて、前記処理装置との間で第２ウエハの搬入・搬出が可能な姿勢で、当該第２カセットを載置可能なアダプタプレートとから成り、前記アダプタ本体のアダプタプレートの裏面には、当該アダプタ本体がカセット受台の傾斜配置位置から（９０°−θ）だけ回動されて当該アダプタプレートを水平配置させるためのストッパ部材と、前記キャリアベースに設けられた複数の第１カセット用着座センサのうち特定の一つを作動させて、当該アダプタプレートが水平配置されたことを検出するセンサ作動部材とがそれぞれ取付けられ、前記アダプタプレートの上面には、前記複数の第１カセット用着座センサのうち前記センサ作動部材により作動される特定の第１カセット用着座センサを除く残りの第１カセット用着座センサを無効にした状態で、前記アダプタプレートの上面に第２カセットがセットされて正しい位置に着座されたことを検出する複数の第２カセット用着座センサが設けられていることを特徴としている。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a carrier base for installing a first cassette capable of accommodating a 300 mm first wafer and loading / unloading the first wafer to / from a processing apparatus. A 200 mm second wafer is mounted on the carrier base of the load port having a plurality of first cassette seating sensors for detecting that the first cassette is seated at a correct position with respect to the carrier base. A cassette adapter for installing a second cassette that can be accommodated, wherein the cassette adapter is orthogonal to the adapter base fixed to the carrier base so that the two plate bodies are L-shaped in a side view. And an adapter that is supported so as to be rotatable at an angle of (90 ° −θ) around a rotation shaft that is horizontally disposed with respect to the adapter base. Consists of a body, said adapter body, said as the side of the pivot axis is lowered, in a state of being arranged obliquely at an angle (theta) for the horizontal plane, the installation of the second cassette for a cassette table of the load port And the cassette cassette that can be taken out and the second cassette supported by the cassette holder by the transition from the inclined posture to the horizontal posture, and rotate the second cassette by (90 ° −θ) to perform the processing. An adapter plate on which the second cassette can be placed in a posture in which the second wafer can be carried in and out of the apparatus, and the adapter main body receives the cassette on the back surface of the adapter plate of the adapter main body. A stopper member for horizontally arranging the adapter plate by being rotated by (90 ° −θ) from the inclined arrangement position of the base, and a plurality of first members provided on the carrier base A sensor operating member for detecting that the adapter plate is horizontally disposed by operating a specific one of the cassette seating sensors is attached to each of the plurality of first cassettes. The second cassette is set on the upper surface of the adapter plate in a state where the remaining first cassette seating sensors other than the specific first cassette seating sensor operated by the sensor actuating member among the seating sensors for use are disabled. And a plurality of second cassette seating sensors for detecting the seating at the correct position.

請求項１の発明では、ロードポートのキャリアベースに設けられた複数の第１カセット用着座センサのうち前記センサ作動部材により作動される特定の第１カセット用着座センサのみを有効にしておいて、他の全ての第１カセット用着座センサを無効にしておいて、アダプタ本体を構成するカセット受台が、回動軸の側が低くなるようにして、水平面に対して角度（θ）だけ傾斜した状態で、第２ウエハがほぼ垂直に収容された第１カセットを前記カセット受台に位置決めした状態で載せる。この状態で、アダプタ本体を（９０°−θ）だけ回動させて傾転させると、当該アダプタ本体を構成するアダプタプレートの裏面側に取付けられたストッパ部材がアダプタベースに当接して、カセット受台に載せられていた第２カセットは、（９０°−θ）だけ回動されて水平配置されたアダプタプレートに載せ替えられる。 In the invention of claim 1, only a specific first cassette seating sensor operated by the sensor actuating member among the plurality of first cassette seating sensors provided on the carrier base of the load port is enabled, state keep disable all other first seating sensor cassette, the cassette cradle constituting the adapter body, as the side of the rotation shaft is low, is inclined by an angle (theta) for the horizontal plane Then, the first cassette in which the second wafer is accommodated substantially vertically is placed in a state where it is positioned on the cassette cradle. In this state, when the adapter main body is rotated by (90 ° −θ) and tilted, the stopper member attached to the back side of the adapter plate constituting the adapter main body comes into contact with the adapter base and receives the cassette. The second cassette placed on the table is rotated by (90 ° −θ) and transferred to the horizontally arranged adapter plate.

水平配置されたアダプタプレートに設けられた複数の第２カセット用着座センサの全てが第２カセットによりＯＮになると、当該アダプタプレートの正しい位置に第２カセットが正しい姿勢で着座されたことが検出される。一方、ロードポートのキャリアベースに設けられた複数の第１カセット用着座センサのうち有効となっている特定の第１カセット用着座センサが、アダプタプレートの裏面に取付けられているセンサ作動部材により作動されてＯＮとなると、当該アダプタプレートが水平に配置されていることが検出される。これにより、水平配置されたアダプタプレートの上面に、第２カセットが正しい位置に正しい姿勢で着座されたことが検出されて、恰も、キャリアベースにカセットアダプタを介して第２カセットが正しい位置に着座されたことが検出されるのと同様となる。 When all of the plurality of second cassette seating sensors provided on the horizontally arranged adapter plate are turned on by the second cassette, it is detected that the second cassette is seated in the correct position on the adapter plate. The On the other hand, a specific first cassette seating sensor that is valid among the plurality of first cassette seating sensors provided on the carrier base of the load port is operated by a sensor operating member attached to the back surface of the adapter plate. When it is turned ON, it is detected that the adapter plate is arranged horizontally. As a result, it is detected that the second cassette is seated at the correct position and in the correct posture on the upper surface of the adapter plate arranged horizontally, and the second cassette is seated at the correct position via the cassette adapter on the carrier base. It is the same as detecting that it has been done.

また、請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記複数の第１カセット用着座センサのうち前記センサ作動部材により作動される特定の第１カセット用着座センサは、アダプタ本体の回動軸から最も離れた位置に配置されたものであることを特徴としている。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the specific first cassette seating sensor operated by the sensor actuating member among the plurality of first cassette seating sensors is a rotation of the adapter body. It is characterized by being arranged at a position farthest from the axis.

請求項２の発明によれば、第２ウエハをほぼ垂直にして収容された第２カセットを載せた状態で、アダプタ本体を（９０°−θ）だけ回動させて、当該アダプタ本体を構成するアダプタプレートを水平配置させる際に、当該アダプタプレートの水平配置の精度が高められる。 According to the second aspect of the present invention, the adapter main body is rotated by (90 ° −θ) in a state where the second cassette accommodated with the second wafer placed substantially vertically is placed, thereby configuring the adapter main body. When the adapter plate is horizontally arranged, the accuracy of the horizontal arrangement of the adapter plate is improved.

また、請求項３の発明は、請求項１の発明において、前記ストッパ部材は、前記アダプタ本体の回動軸から最も離れた位置に当該回動軸の軸心方向に沿って一対配置されていることを特徴としている。 According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, a pair of the stopper members are arranged along the axial direction of the rotation shaft at a position farthest from the rotation shaft of the adapter body. It is characterized by that.

請求項３の発明によれば、アダプタ本体を（９０°−θ）だけ回動させて、当該アダプタ本体を構成するアダプタプレートを水平配置させる際に、当該アダプタプレートの水平配置の状態を安定させられる。 According to the invention of claim 3, when the adapter main body is rotated by (90 ° −θ) and the adapter plate constituting the adapter main body is horizontally arranged, the state of the horizontal arrangement of the adapter plate is stabilized. It is done.

請求項４の発明は、３００ｍｍの第１ウエハを収容可能な第１カセットを設置して、処理装置に対して当該第１ウエハを搬入・搬出させるためのキャリアベースと、当該キャリアベースに対して第１カセットが正しい位置に着座されたことを検出する複数の第１カセット用着座センサとを備えたロードポートの前記キャリアベースに装着されて、２００ｍｍの第２ウエハを収容可能な第２カセットを設置するためのカセットアダプタであって、請求項１ないし３のいずれかの着座センサ機構を備えていることを特徴としており、それぞれ請求項１ないし３に記載の各発明の作用効果が奏される。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a carrier base for installing a first cassette capable of accommodating a 300 mm first wafer, and loading / unloading the first wafer with respect to a processing apparatus, and the carrier base. A second cassette that is mounted on the carrier base of the load port and includes a plurality of first cassette seating sensors that detect that the first cassette is seated at a correct position and can accommodate a second wafer of 200 mm. A cassette adapter for installation, comprising the seating sensor mechanism according to any one of claims 1 to 3, wherein the effects of the inventions according to claims 1 to 3 are achieved respectively. .

本発明によれば、２００ｍｍのウエハを収容する第２カセットを設置可能にするためのカセットアダプタを、３００ｍｍのウエハを収容する第１カセットに対応のロードポートのキャリアベースに装着することにより、第２カセットが前記カセットアダプタの正しい着座位置に配置されたことを高精度で検出して、第１カセット用のロードポートを用いて、処理装置に対する第２カセットに収容された第２ウエハの搬入・搬出を行える。 According to the present invention, the cassette adapter for enabling the installation of the second cassette that accommodates the 200 mm wafer is mounted on the carrier base of the load port corresponding to the first cassette that accommodates the 300 mm wafer. It is detected with high accuracy that the two cassettes are arranged at the correct seating position of the cassette adapter, and the loading / unloading of the second wafer accommodated in the second cassette with respect to the processing apparatus is performed using the load port for the first cassette. Can be carried out.

ロードポートＰのカセットテーブル４のキャリアベース５に対するカセットアダプタＡの固定位置の関係を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a relationship of a fixed position of the cassette adapter A with respect to the carrier base 5 of the cassette table 4 of the load port P. キャリアベース５にカセットアダプタＡが固定された状態の斜視図である。4 is a perspective view of a state in which a cassette adapter A is fixed to a carrier base 5. FIG. カセットアダプタＡの斜視図である。2 is a perspective view of a cassette adapter A. FIG. カセットアダプタＡとカセットカバーＣとの分離状態の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of the cassette adapter A and the cassette cover C in a separated state. 異なる方向から見たカセットアダプタＡとカセットカバーＣとの分離状態の斜視図である。It is a perspective view of the separation state of cassette adapter A and cassette cover C seen from different directions. アダプタ本体Ｄを手前側に倒して、カセット受台Ｂで第２カセットＫ₂を受ける状態の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a state in which the adapter body D is tilted forward and the second cassette K ₂ is received by the cassette base B. 同様の側面図である。It is the same side view. カセット受台Ｂで第２カセットＫ₂を受けた状態で、アダプタ本体Ｄを（９０°−θ）だけ回動させて、アダプタベースＶ上にアダプタ本体Ｄを配置した状態の側面断面図である。FIG. 6 is a side cross-sectional view of a state where the adapter body D is rotated on the adapter base V by rotating the adapter body D by (90 ° −θ) in a state where the second cassette K ₂ is received by the cassette cradle B. . 同様の状態において、キャリアベース５に対してアダプタ本体Ｄがロックされた状態を主体に示す側面断面図である。6 is a side cross-sectional view mainly showing a state where the adapter main body D is locked with respect to the carrier base 5 in the same state. FIG. （ａ），（ｂ）は、それぞれキャリアベース５に第１カセットＫ₁及び第２カセットＫ₂をセットする場合の各着座センサＳ₁〜Ｓ₅の有効・無効の状態を示す図である。(A), (b) is a diagram illustrating a valid or invalid state of each seat sensor S ₁ to S ₅ in the case of setting the first cassette K ₁ and the second cassette K ₂ to the carrier base 5, respectively. （ａ）は、ロック時及び非ロック時におけるロック用エアシリンダ１４のロック爪１２と、アダプタプレートＥの裏面に取付けられた被ロック部材３５との関係を示す平面図であり、（ｂ）は、同じく側面断面図である。(A) is a top view which shows the relationship between the lock nail | claw 12 of the air cylinder 14 for a lock | rock at the time of locking, and the time of locking, and the to-be-locked member 35 attached to the back surface of the adapter plate E, (b) FIG. 第２カセットＫ₂を下側から見た斜視図である。The second cassette K ₂ is a perspective view from below. アダプタ本体Ｄに設けられた第１及び第２の各位置決め機構Ｆ₁，Ｆ₂と、第２カセットＫ₂の被位置決め部となる各リブの関係を示す図である。First and second respective positioning mechanism F _1, F ₂ provided in the adapter body D, a diagram showing the relationship of each rib serving as the second portion to be positioned in the cassette K _2. （ａ），（ｂ）は、それぞれロードポートＰのキャリアベース５にセットされた第１カセットＫ₁の異なる部分の断面図である。(A), (b) is a cross-sectional view of a first different portions of the cassette K ₁ set in the carrier base 5 of the load port P, respectively.

以下、最良の実施例を挙げて、本発明を更に詳細に説明する。最初に、図１、図２及び図１４を参照して、３００ｍｍの第１ウエハを収容する第１カセットＫ₁をセットして、処理装置１００に対して当該３００ｍｍのウエハの搬入・搬出を行うロードポートＰに関して、本発明の理解に必要な部分についてのみ説明し、その後に、本発明に係るカセットカバーＣを備えたカセットアダプタＡについて説明する。ロードポートＰは、処理装置１００の特定位置の外壁面に接した状態で垂直に配置されるロードポート本体１と、当該ロードポート本体１の背面側に配置されて、第１カセットＫ₁の蓋体（図示せず）を着脱するために、当該蓋体を保持する蓋体保持板２を備えた蓋体着脱装置３と、前記ロードポート本体１の手前側に水平に設けられて、第１カセットＫ₁をセットするためのカセットテーブル４とを備えている。前記蓋体保持板２の手前側には、第１カセットＫ₁の蓋体（図示せず）のロック及びその解除をロック爪、並びに当該蓋体保持板２の吸着を行う吸盤が設けられているが、これらは、いずれも図示されていない。ロードポート本体１におけるカセットテーブル４よりも上方の部分には、処理装置１００に対するウエハの搬入・搬出を行う方形状のウエハ移載窓１ａが設けられている。当該カセットテーブル４には、処理装置１００に対するウエハを搬入・搬出方向である第１水平方向Ｘと、当該第１水平方向Ｘと直交する水平方向である第２水平方向Ｙとの双方に対する位置決めを行った状態で、前記第１カセットＫ₁をセットするためのキャリアベース５が前記第１水平方向Ｘに沿って前進・後退可能に配置されている。キャリアベース５は、キャリアカバー６で全体が覆われていて、第１カセットＫ₁の裏面に形成された３個の位置決め孔７に対応する位置にそれぞれ位置決め突起８が設けられている。前記位置決め孔７は、第１カセットＫ₁の裏面に下方に突出して一体に形成された各凸部９の下面に形成されている。また、計３個の各位置決め突起８の近傍には、キャリアベース５に位置決め状態で第１カセットＫ₁をセット（着座）することにより、当該カセットＫ₁の裏面に設けられた各凸部９により下方に押圧されて下動することにより、前記キャリアベース５に対して当該第１カセットＫ₁がセット（着座）されたことを検出する計３つの第１カセット用着座センサＳ₁〜Ｓ₃がそれぞれキャリアベース５の上面から突出して設けられている。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the best examples. First, referring to FIGS. 1, 2, and 14, a first cassette K ₁ that accommodates a 300 mm first wafer is set, and the 300 mm wafer is carried into and out of the processing apparatus 100. Regarding the load port P, only the parts necessary for understanding the present invention will be described, and then the cassette adapter A provided with the cassette cover C according to the present invention will be described. The load port P, a load port body 1 arranged vertically in a state of being in contact with the outer wall surface of the particular position of the processing apparatus 100 is disposed on the rear side of the load port body 1, a first lid of the cassette K ₁ In order to attach and detach a body (not shown), a lid body attaching / detaching device 3 having a lid body holding plate 2 for holding the lid body is provided horizontally on the front side of the load port main body 1, and a first body and a cassette table 4 for setting the cassette K _1. On the front side of the lid holding plate 2, a lock claw for locking and releasing the lid (not shown) of the first cassette K ₁ and a suction cup for sucking the lid holding plate 2 are provided. None of these are shown. A rectangular wafer transfer window 1 a for loading / unloading a wafer to / from the processing apparatus 100 is provided in a portion of the load port body 1 above the cassette table 4. The cassette table 4 is positioned in both the first horizontal direction X which is the loading / unloading direction of the wafer with respect to the processing apparatus 100 and the second horizontal direction Y which is a horizontal direction orthogonal to the first horizontal direction X. The carrier base 5 for setting the first cassette K ₁ in the state of being carried out is arranged along the first horizontal direction X so as to be able to advance and retract. The carrier base 5 is entirely covered with a carrier cover 6, and positioning protrusions 8 are provided at positions corresponding to the three positioning holes 7 formed on the back surface of the first cassette K ₁ . The positioning hole 7 is formed on the lower surface of each convex portion 9 that protrudes downward and is integrally formed on the back surface of the first cassette K ₁ . Further, in the vicinity of each of the three positioning protrusions 8, the first cassette K ₁ is set (seats) on the carrier base 5 in a positioned state, whereby each convex portion 9 provided on the back surface of the cassette K _1. The first cassette seating sensors S _{1 to} S ₃ in total are detected by detecting that the first cassette K ₁ is set (seated) with respect to the carrier base 5 by being pressed downward and moved downward. Are protruded from the upper surface of the carrier base 5.

また、第１カセットＫ₁の裏面における前面（蓋体の側）に近い部分には、側面視で逆Ｌ字状をした被ロック部１１が一体に設けられている。一方、キャリアベース５の側には、第１カセットＫ₁の被ロック部１１に係合可能なロック爪１２が先端に取付けられたロッド１３を有するロック用エアシリンダ１４が垂直線に対して傾斜して配置され、当該ロック爪１２は、キャリアベース５に設けられた貫通孔１７を通って当該キャリアベース５の上面から上方に突出して配置されている。ロック用エアシリンダ１４を上記のように傾斜配置したのは、第１カセットＫ₁の底面と干渉することなく、当該ロック用エアシリンダ１４のロッド１３の必要可動長を確保するためである。ロック用エアシリンダ１４のロッド１３は、進退と９０°の範囲内での回動とを行うことにより、当該ロック用エアシリンダ１４のロッド１３の先端のロック爪１２と、第１カセットＫ₁の被ロック部１１とが解除可能に係合して、キャリアベース５に位置決めされてセット（着座）された第１カセットＫ₁は、当該キャリアベース５に対する浮き上がりを防止された状態でロックされる。この状態で、駆動手段（図示せず）によりキャリアベース５がウエハ移載窓１ａの側に向けて前進すると、当該キャリアベース５にセットされた第１カセットＫ₁の前面の開口の周縁に設けられたフランジ１５（図１３参照）が、ロードポート本体１のウエハ移載窓１ａの周縁に密着して、前記蓋体着脱装置３の蓋体保持板２による処理装置１００の側からのロードポート本体１のウエハ移載窓１ａの閉塞状態が解除されても、ウエハ移載窓１ａの部分の気密は保持されて、エアークリーン度の高い処理装置１００内の気密が保持される。また、キャリアベース５には、計３個の位置決め突起８を利用して、当該キャリアベース５の上面に第１カセットＫ₁をセットする際に、第１カセットＫ₁の位置が正規の位置より大きくずれている場合には、当該第１カセットＫ₁の底面と干渉してその旨を知らしめれるための計３本のノックアウトピン（図示せず）を螺合させるねじ孔１６が形成されている。 Further, in a portion closer to the front (the side of the lid) in the first back surface of the cassette K _1, the locked portions 11 with an inverted L-shape in a side view it is integrally provided. On the other hand, on the carrier base 5 side, a locking air cylinder 14 having a rod 13 having a locking claw 12 that can be engaged with the locked portion 11 of the first cassette K _{1 at} the tip is inclined with respect to the vertical line. The lock claw 12 is disposed so as to protrude upward from the upper surface of the carrier base 5 through a through hole 17 provided in the carrier base 5. The locking air cylinder 14 is inclined disposed as described above, without interfering with the first bottom surface of the cassette K _1, in order to secure the necessary movable length of the rod 13 of the locking air cylinder 14. The rod 13 of the locking air cylinder 14 advances and retreats and rotates within a range of 90 °, so that the locking claw 12 at the tip of the rod 13 of the locking air cylinder 14 and the first cassette K ₁ The first cassette K ₁ positioned and set (seats) on the carrier base 5 is releasably engaged with the locked portion 11 and locked in a state in which the first cassette K ₁ is prevented from being lifted with respect to the carrier base 5. In this state, when the driving means (not shown) the carrier base 5 is moved forward toward the side of the wafer transfer Nomad 1a, provided on the periphery of the first front surface of the cassette K ₁ opening set in the carrier base 5 The formed flange 15 (see FIG. 13) is in close contact with the periphery of the wafer transfer window 1a of the load port main body 1, and the load port from the processing apparatus 100 side by the lid holding plate 2 of the lid attaching / detaching apparatus 3 is provided. Even if the closed state of the wafer transfer window 1a of the main body 1 is released, the hermeticity of the wafer transfer window 1a is maintained, and the airtightness in the processing apparatus 100 having a high air cleanliness is maintained. Further, when the first cassette K ₁ is set on the upper surface of the carrier base 5 using a total of three positioning protrusions 8 on the carrier base 5, the position of the first cassette K ₁ is less than the normal position. If you are deviated largely, it is threaded holes 16 for screwing the total of three knockout pin (not shown) for the tightening known that fact interfere with the first bottom surface of the cassette K ₁ is formed Yes.

次に、図１ないし図１１を参照して、本発明に係るカセットアダプタＡについて説明する。図１は、ロードポートＰのカセットテーブル４のキャリアベース５に対するカセットアダプタＡの固定位置の関係を示す斜視図であり、図２は、キャリアベース５にカセットアダプタＡが固定された状態の斜視図であり、図３は、カセットアダプタＡの斜視図であり、図４は、カセットアダプタＡとカセットカバーＣとの分離状態の斜視図であり、図５は、異なる方向から見たカセットアダプタＡとカセットカバーＣとの分離状態の斜視図であり、図６は、アダプタ本体Ｄを手前側に倒して、カセット受台Ｂで第２カセットＫ₂を受ける状態の斜視図であり、図７は、同様の側面図であり、図８は、カセット受台Ｂで第２カセットＫ₂を受けた状態で、アダプタ本体Ｄを（９０°−θ）だけ回動させて、アダプタベースＶ上にアダプタ本体Ｄを配置した状態の側面断面図であり、図９は、同様の状態において、キャリアベース５に対してアダプタ本体Ｄがロックされた状態を主体に示す側面断面図であり、図１０（ａ），（ｂ）は、それぞれキャリアベース５に第１カセットＫ₁及び第２カセットＫ₂をセットする場合の各着座センサＳ₁〜Ｓ₅の有効・無効の状態を示す図であり、図１１（ａ）は、ロック時及び非ロック時におけるロック用エアシリンダ１４のロック爪１２と、アダプタプレートＥの裏面に取付けられた被ロック部材３５との関係を示す平面図であり、同（ｂ）は、同じく側面断面図である。なお、以下の説明において、アダプタ本体Ｄを構成するカセット受台Ｂ及びアダプタプレートＥには、種々の部材がボルトを介して固定されているが、当該ボルトによる固定自体には何の特徴もないので、図面を簡略化して本発明に必要な部分の理解を容易にするために、本発明において必要なボルトを除いて、全図においてボルトの図示を略す。 Next, the cassette adapter A according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view showing the relationship of the fixing position of the cassette adapter A with respect to the carrier base 5 of the cassette table 4 of the load port P, and FIG. 2 is a perspective view of the cassette base A fixed to the carrier base 5. 3 is a perspective view of the cassette adapter A, FIG. 4 is a perspective view of the cassette adapter A and the cassette cover C in a separated state, and FIG. 5 is a perspective view of the cassette adapter A viewed from different directions. FIG. 6 is a perspective view of a state separated from the cassette cover C. FIG. 6 is a perspective view of a state in which the adapter body D is tilted forward and the second cassette K ₂ is received by the cassette cradle B. FIG. FIG. 8 is a similar side view, and FIG. 8 shows the adapter body D on the adapter base V by rotating the adapter body D by (90 ° −θ) in a state where the second cassette K ₂ is received by the cassette base B. D FIG. 9 is a side sectional view mainly showing a state in which the adapter main body D is locked with respect to the carrier base 5 in the same state, and FIG. FIG. 11B is a diagram showing valid / invalid states of the seating sensors S _{1 to} S ₅ when the first cassette K ₁ and the second cassette K ₂ are set on the carrier base 5, respectively. These are the top views which show the relationship between the lock nail | claw 12 of the air cylinder 14 for lock | rock at the time of a lock | rock, and the time of a lock | rock, and the to-be-locked member 35 attached to the back surface of the adapter plate E, (b) is the same. It is side surface sectional drawing. In the following description, various members are fixed to the cassette base B and the adapter plate E constituting the adapter main body D through bolts, but the fixing with the bolts has no characteristics. Therefore, in order to simplify the drawings and make it easy to understand the parts necessary for the present invention, the bolts are omitted from all the drawings except for the bolts necessary for the present invention.

図４ないし図７に示されるように、カセットアダプタＡは、前記キャリアベース５に固定されるプレート状のアダプタベースＶと、二枚のプレート体が側面視でＬ字状となるように直交して一体化されて、当該アダプタベースＶに対して回動軸２１を中心にして、（９０°−θ）の角度内において手動により回動されるアダプタ本体Ｄとから成る。前記アダプタベースＶにおける第１水平方向Ｘに沿った後端部であって、その両端部には、ディスクダンパー２２を支持するための左右一対のダンパー支持ブラケット２３が固定され、各ダンパー支持ブラケット２３の外側には、前記回動軸２１を支持するための軸支持ブラケット２４がそれぞれ固定されている。回動軸２１の両端部は、ダンパー支持ブラケット２３及びディスクダンパー２２をそれぞれ貫通して軸支持ブラケット２４に支持され、当該回動軸２１における左右の各ダンパー支持ブラケット２３の間には、プレート取付けブラケット２５が外側に一体に嵌め込まれていて、当該回動軸２１とプレート取付けブラケット２５とは、一体となって回動する構造となっている。 4 to 7, the cassette adapter A is orthogonal to the plate-shaped adapter base V fixed to the carrier base 5 so that the two plate bodies are L-shaped in a side view. And an adapter body D that is manually rotated with respect to the adapter base V around the rotation shaft 21 within an angle of (90 ° −θ). A pair of left and right damper support brackets 23 for supporting the disk damper 22 are fixed to both ends of the adapter base V along the first horizontal direction X. A shaft support bracket 24 for supporting the rotating shaft 21 is fixed to the outside of the shaft. Both ends of the rotating shaft 21 pass through the damper support bracket 23 and the disk damper 22 and are supported by the shaft support bracket 24. Between the left and right damper support brackets 23 on the rotating shaft 21, a plate is attached. The bracket 25 is integrally fitted to the outside, and the rotation shaft 21 and the plate mounting bracket 25 are configured to rotate integrally.

アダプタ本体Ｄは、前記回動軸２１の側が僅かに低くなるように、角度（θ）（図７参照）だけ傾斜した状態で、２００ｍｍのウエハを収容可能な第２カセットＫ₂の設置、及び取出しを行うためのカセット受台Ｂと、傾斜姿勢から水平姿勢への移行により、前記カセット受台Ｂで支持されていた第２カセットＫ₂の姿勢をほぼ９０°変更して、前記処理装置１００との間でウエハの搬入・搬出が可能な姿勢に変更して、載置し直すためのアダプタプレートＥとから成って、当該カセット受台Ｂ及びアダプタプレートＥが互いに直交するようにして、前記プレート取付けブラケット２５に一体に取付けられている。カセット受台Ｂの背面には、二枚のプレート体が側面視でＬ字状となるように直交して一体化された前記アダプタ本体Ｄを手動操作により回動させる際に、作業者の一方の手で掴むことの可能なグリップ２０が設けられている。 The adapter body D is provided with a second cassette K ₂ capable of accommodating a 200 mm wafer in a state inclined by an angle (θ) (see FIG. 7) so that the rotation shaft 21 side is slightly lowered, and a cassette cradle B for performing the extraction, the transition from the inclined posture to the horizontal posture, the second posture of the cassette K ₂ which has been supported by the cassette cradle B by approximately 90 ° change, the processing unit 100 And an adapter plate E for re-loading the wafer, so that the cassette holder B and the adapter plate E are orthogonal to each other. The plate mounting bracket 25 is integrally attached. When the adapter body D, in which the two plate bodies are orthogonally integrated so as to be L-shaped in a side view, is rotated by a manual operation, A grip 20 that can be gripped by the hand is provided.

また、前記カセット受台ＢとアダプタプレートＥの各内面には、それぞれ異なる姿勢で第２カセットＫ₂を位置決めした状態で支持可能とするための第１及び第２の各位置決め機構Ｆ₁，Ｆ₂が取付けられており、当該第１及び第２の各位置決め機構Ｆ₁，Ｆ₂は、第２カセットＫ₂の形状に依拠している。従って、図３、図１２及び図１３を参照して、第１及び第２の各位置決め機構Ｆ₁，Ｆ₂との関係において、第２カセットＫ₂の形状について簡単に説明する。図１２は、第２カセットＫ₂を下側から見た斜視図であり、図１３は、アダプタ本体Ｄに設けられた第１及び第２の各位置決め機構Ｆ₁，Ｆ₂と、第２カセットＫ₂の被位置決め部となる各リブの関係を示す図である。２００ｍｍのウエハを収容する第２カセットＫ₂は、一対の対向側壁部１１０が上板部１１１、下板部１１２及び下側連結板部１１３とで連結されて、各対向側壁部１１０の内側面にウエハの周縁部を挿入して支持するためのウエハ挿入溝１１４が上下方向に一定ピッチをおいて多数設けられ、前記下側連結板部１１３の下面に一対の対向側壁部１１０の対向方向に沿って位置決め突条１１５が設けられている。当該位置決め突条１１５の両端の形成端には、当該位置決め突条１１５と直交し、しかも当該突条１１５よりも僅かに突出するようにして、一対のセンサ作動リブ１１６が互いに平行に形成されている。一方、挿入されたウエハを垂直にして支持可能なように、ウエハ挿脱開口１１７と反対の側には、一対のセンサ作動リブ１１６が前記一対のセンサ作動リブ１１６と直交し、しかも互いに平行に形成されている。また、上板部１１１には、当該第２キャリアＫ₂を手で持ち上げるための把手１１９（図６参照）が設けられている。 Further, first and second positioning mechanisms F ₁ and F for enabling the second cassette K ₂ to be supported in different positions on the inner surfaces of the cassette base B and the adapter plate E, respectively. ₂ is attached, and the first and second positioning mechanisms F ₁ and F ₂ depend on the shape of the second cassette K ₂ . Therefore, with reference to FIGS. 3, 12 and 13, the shape of the second cassette K ₂ will be briefly described in relation to the first and second positioning mechanisms F ₁ and F ₂ . FIG. 12 is a perspective view of the second cassette K ₂ as viewed from below. FIG. 13 shows the first and second positioning mechanisms F ₁ and F ₂ provided on the adapter body D, and the second cassette. is a diagram showing the ribs of relation of the positioning portion of K _2. In the second cassette K ₂ that accommodates a 200 mm wafer, a pair of opposing side wall portions 110 are connected by an upper plate portion 111, a lower plate portion 112, and a lower connection plate portion 113, so A plurality of wafer insertion grooves 114 for inserting and supporting the peripheral edge of the wafer at a constant pitch in the vertical direction are provided in the lower surface of the lower connecting plate portion 113 in the opposing direction of the pair of opposing side wall portions 110. A positioning protrusion 115 is provided along the line. A pair of sensor operating ribs 116 are formed in parallel to each other at the formation ends at both ends of the positioning protrusion 115 so as to be orthogonal to the positioning protrusion 115 and slightly protrude from the protrusion 115. Yes. On the other hand, on the side opposite to the wafer insertion / removal opening 117, a pair of sensor operation ribs 116 are orthogonal to the pair of sensor operation ribs 116 and parallel to each other so that the inserted wafer can be supported vertically. Is formed. Further, the upper plate 111, handle 119 for lifting the second carrier K ₂ by hand (see FIG. 6) is provided.

そして、回動軸２１の側が僅かに低くなるように傾斜配置されたカセット受台Ｂ及び水平配置されたアダプタプレートＥの双方に対して前記第２カセットＫ₂を位置決めしてセットできるように、カセット受台Ｂ及びアダプタプレートＥには、それぞれ第１及び第２の各位置決め機構Ｆ₁，Ｆ₂が設けられている。カセット受台Ｂに設けられた第１位置決め機構Ｆ₁は、第２カセットＫ₂の一対の起立板部１１８の各位置を外側から規制するための細長ブロック状の一対の第１位置決め部材２６と、第２カセットＫ₂の一対のセンサ作動リブ１１６がアダプタプレートＥの上面に当接した状態で、前記一対の起立板部１１８におけるアダプタプレートＥから離れた側の端面を規制するための細長ブロック状の第２位置決め部材２７とから成る。一方、アダプタプレートＥに対して第２カセットＫ₂を位置決めするための第２位置決め機構Ｆ₂は、上記のようにして、カセット受台Ｂに対して第１位置決め機構Ｆ₁により第２カセットＫ₂が位置決めされた状態において、当該第２カセットＫ₂の位置決め突条１１５が挿入される位置決め挿入溝２８を形成するための細長ブロック状の一対の第３位置決め部材２９により構成される。これにより、回動軸２１の側が僅かに低くなるように配置されたカセット受台Ｂに対して、収容されたウエハがほぼ垂直姿勢となったままで第２カセットＫ₂をカセット受台Ｂに載せて、そのままアダプタプレートＥの側に僅かにスライドさせると、第２カセットＫ₂の一対の起立板部１１８がカセット受台Ｂの一対の第１位置決め部材２６と第２位置決め部材２７の間に入り込むと共に、第２カセットＫ₂の位置決め突条１１５が一対の第３位置決め部材２９の間の位置決め挿入溝２８に挿入されて、第２カセットＫ₂は、カセット受台Ｂ及びアダプタプレートＥの双方に対して位置決めされる。このため、カセット受台Ｂの第２カセットＫ₂に載せられた状態で、アダプタ本体Ｄを（９０°−θ）だけ回動させて、アダプタプレートＥを水平にした状態においても、（９０°−θ）だけ回動された第２カセットＫ₂は、当該アダプタプレートＥに対して第１及び第２の各水平方向Ｘ，Ｙの双方向に位置決めされた状態を保持する。なお、図３、図１３等において、３１は、一対の第３位置決め部材２９のそれぞれ外側に平行に配置されていて、当該第３位置決め部材２９よりも大きな厚さを有していて、第２位置決め機構Ｆ₂に対する第２カセットＫ₂の位置決めの案内、及び位置決めされた状態において第２カセットＫ₂が第１水平方向Ｘに移動するのを防止する案内・規制部材を示す。 Then, the second cassette K ₂ can be positioned and set with respect to both the cassette holder B and the adapter plate E that are horizontally arranged so that the side of the rotating shaft 21 is slightly lowered. The cassette base B and the adapter plate E are provided with first and second positioning mechanisms F ₁ and F ₂ , respectively. The first positioning mechanism F ₁ provided on the cassette base B includes a pair of first positioning members 26 in the form of elongated blocks for regulating the positions of the pair of upright plate portions 118 of the second cassette K ₂ from the outside. The elongated block for restricting the end surfaces of the pair of upright plate portions 118 away from the adapter plate E in a state where the pair of sensor operating ribs 116 of the second cassette K ₂ is in contact with the upper surface of the adapter plate E. And a second positioning member 27 having a shape. On the other hand, the second positioning mechanism F ₂ for positioning the second cassette K ₂ with respect to the adapter plate E is the second cassette K with respect to the cassette base B by the first positioning mechanism F ₁ as described above. _In a state where ₂ is positioned, it is constituted by a pair of elongated block-shaped third positioning members 29 for forming a positioning insertion groove 28 into which the positioning protrusion 115 of the second cassette K ₂ is inserted. As a result, the second cassette K ₂ is placed on the cassette holder B with the wafer being accommodated in a substantially vertical position with respect to the cassette holder B arranged so that the rotation shaft 21 side is slightly lowered. Then, when it is slightly slid to the adapter plate E side, the pair of upright plate portions 118 of the second cassette K ₂ enters between the pair of first positioning members 26 and the second positioning member 27 of the cassette base B. together, the second positioning protrusion 115 of the cassette K ₂ is inserted into the positioning insertion groove 28 between the pair of the third positioning member 29, the second cassette K ₂ are both cassettes cradle B and adapter plate E Positioned against. For this reason, even when the adapter plate D is rotated by (90 ° −θ) and the adapter plate E is horizontal while being placed on the second cassette K ₂ of the cassette base B, (90 ° The second cassette K ₂ rotated by −θ) maintains a state in which the second cassette K ₂ is positioned in both the first and second horizontal directions X and Y with respect to the adapter plate E. In FIGS. 3 and 13, 31 is arranged in parallel to the outside of each of the pair of third positioning members 29 and has a thickness larger than that of the third positioning member 29. second guide positioning the cassette K ₂ relative to the positioning mechanism F _2, and in the positioning state and the second cassette K ₂ shows a guide-regulating member for preventing the movement in the first horizontal direction X.

また、第２カセットＫ₂においても、アダプタプレートＥに対して当該第２カセットＫ₂が正しい平行姿勢でセット（着座）されたことを検出する必要があり、図３及び図４に示されるように、アダプタプレートＥに対して第２カセットＫ₂が第２位置決め機構Ｆ₂により位置決めされてセットされた状態で、当該第２カセットＫ₂の下板部１１２の裏面を当接させて前記水平姿勢を検出する第２カセット用着座センサＳ₄，Ｓ₅が当該アダプタプレートＥの一方の対角線方向に沿って出入り可能に配置されている。第２カセット用着座センサＳ₄，Ｓ₅は、アダプタプレートＥに第２カセットＫ₂を位置決めしてセットすることにより、センサ作動リブ１１６により作動される。なお、図４において、３２は、第２カセット用着座センサＳ₄，Ｓ₅を出入り可能に支持するためのセンサホルダーを示す。 Further, also in the second cassette K ₂ , it is necessary to detect that the second cassette K ₂ is set (sitting) in the correct parallel posture with respect to the adapter plate E, as shown in FIGS. 3 and 4. In the state in which the second cassette K ₂ is positioned and set with respect to the adapter plate E by the second positioning mechanism F ₂ , the rear surface of the lower plate portion 112 of the second cassette K ₂ is brought into contact with the horizontal axis The second cassette seating sensors S ₄ and S ₅ for detecting the posture are arranged so as to be able to enter and exit along one diagonal direction of the adapter plate E. The second cassette seating sensors S ₄ and S ₅ are operated by the sensor operating rib 116 by positioning and setting the second cassette K ₂ on the adapter plate E. In FIG. 4, reference numeral 32 denotes a sensor holder for supporting the second cassette seating sensors S ₄ and S _{5 so as} to be able to enter and exit.

また、第２カセット用着座センサＳ₄，Ｓ₅のいずれもが作動して、アダプタ本体Ｄを構成するアダプタプレートＥに対して第２カセットＫ₂が正しく水平に設置されても、当該アダプタプレートＥが水平に設置されていない場合には、結果として、アダプタプレートＥに載せられた第２カセットＫ₂は、水平に設置されていないことになって、処理前に、当該第２カセットＫ₂からウエハを取り出したり、処理後においてウエハを当該第２カセットＫ₂に収容するのに支障を来す。このため、図４及び図８に示されるように、アダプタプレートＥの裏面における自由端側の両コーナー部に近い部分に、前記アダプタプレートＥが水平の状態でアダプタベースＶに当接する左右一対のストッパボルト３３がそれぞれ設けられていると共に、アダプタベースＶが水平の状態で、当該アダプタベースＶの下方に配置された前記第１カセット用着座センサＳ₁を作動させるためのセンサ作動ボルト３４が、前記アダプタプレートＥの裏面における第１カセット用着座センサＳ₁の配置位置に対応した位置に取付けられている。この構成により、アダプタプレートＥに対して第２カセットＫ₂が正しく水平に設置されたこと、及び当該アダプタプレートＥが水平に設置されたことの双方を検出可能となる。また、アダプタプレートＥが水平に配置された状態において、当該アダプタプレートＥの裏面における第１カセットＫ₁に設けられた被ロック部１１に対応する位置には、同じく上下方向に長いＬ字形をした被ロック部材３５が取付けられており、図９及び図１１に示されるように、当該被ロック部材３５の先端の被ロック部３５ａとロック用エアシリンダ１４のロッド１３の先端のロック爪１２と係合して、キャリアベース５に対してアダプタ本体Ｄがロックされる構成になっている。なお、図４及び図８において、３６は、ロック用エアシリンダ１４のロッド１３の先端のロック爪１２及び前記被ロック部材３５とアダプタベースＶとの干渉を回避するための逃げ孔を示し、３７は、キャリアベース５に設けられた第１カセット用着座センサＳ₁〜Ｓ₃と、アダプタベースＶとの干渉を避けるために、当該アダプタベースＶに設けられた逃げ孔を示す。 Further, even if both of the second cassette seating sensors S ₄ and S ₅ are operated and the second cassette K ₂ is correctly placed horizontally with respect to the adapter plate E constituting the adapter body D, the adapter plate If E is not installed horizontally, as a result, the second cassette K ₂ placed on the adapter plate E is supposed to be not installed horizontally, the pretreatment, the second cassette K ₂ The wafer is taken out from the wafer, and it becomes difficult to accommodate the wafer in the second cassette K ₂ after processing. For this reason, as shown in FIGS. 4 and 8, a pair of left and right abutting against the adapter base V in a state where the adapter plate E is in a horizontal state in a portion near both free corners on the back surface of the adapter plate E. Each of the stopper bolts 33 is provided, and a sensor operating bolt 34 for operating the first cassette seating sensor S ₁ disposed below the adapter base V when the adapter base V is horizontal. The adapter plate E is attached at a position corresponding to the arrangement position of the first cassette seating sensor S ₁ on the back surface. With this configuration, it is possible to detect both that the second cassette K ₂ is correctly installed with respect to the adapter plate E and that the adapter plate E is installed horizontally. Further, in a state where the adapter plate E is horizontally disposed, the position corresponding to the locked portion 11 provided in the first cassette K ₁ on the back surface of the adapter plate E is similarly formed in an L shape that is long in the vertical direction. A locked member 35 is attached. As shown in FIGS. 9 and 11, the locked member 35 a at the tip of the locked member 35 and the lock claw 12 at the tip of the rod 13 of the locking air cylinder 14 are engaged. In addition, the adapter main body D is configured to be locked with respect to the carrier base 5. 4 and 8, reference numeral 36 denotes a locking claw 12 at the tip of the rod 13 of the locking air cylinder 14 and a clearance hole for avoiding interference between the locked member 35 and the adapter base V. These indicate escape holes provided in the adapter base V in order to avoid interference between the first cassette seating sensors S _{1 to} S ₃ provided in the carrier base 5 and the adapter base V.

また、アダプタベースＶには、第１カセットＫ₁のロードポートＰのキャリアベース５に設けられた計３個の位置決め突起８をそれぞれ嵌合させて、当該キャリアベース５に対してアダプタベースＶを位置決めしてセットするための計３つのセット孔３８が形成されている。 Further, a total of three positioning protrusions 8 provided on the carrier base 5 of the load port P of the first cassette K ₁ are respectively fitted to the adapter base V, and the adapter base V is attached to the carrier base 5. A total of three set holes 38 for positioning and setting are formed.

次に、図２ないし図５を参照して、アダプタ本体ＤのアダプタプレートＥにセットされた状態で、当該アダプタ本体Ｄ及び第２カセットＫ₂の双方を収容するために、アダプタベースＶに取付けられるカセットカバーＣについて説明する。第１カセットＫ₂は、アダプタ本体ＤのアダプタプレートＥに対しては第１及び第２の各水平方向Ｘ，Ｙに位置決めされた状態で載せられているのみであって、ロックされていない。そこで、処理装置１００に対する第２ウエハＷ₂の搬入及び搬出時、即ち、処理装置１００内に配置されたウエハ移載用のロボットの作動中、及びその前後において、アダプタプレートＥに位置決め状態で載せられている第２カセットＫ₂を周囲から触れられないように保護するために、当該第２カセットＫ₂の全体がカセットカバーＣで覆われる。カセットカバーＣは、内部が透視可能なように透明樹脂で形成されて、第２カセットＫ₂を操作する作業者からみて手前側面、奥側面、及び底面の計３面が開口されて、それぞれ手前側開口４１、奥側開口４２及び底面開口４３となっていて、全体が略立方体状となっている。カセットカバーＣの各側板部４４の先端面には、天板部４５の先端面と同一面となるように、それぞれフランジ部４６が外側方に一体に設けられていて、第２カセットＫ₂が前進端まで前進されて、第２ウエハの搬入・搬出位置に位置した状態において、ロードポートＰのウエハ移載窓１ａの周縁に当接して、当該ウエハ移載窓１ａを閉塞可能なようになっている。このフランジ部４６は、フランジ板部４６ａの周縁部に枠体部４６ｂが嵌め込まれ、ウエハ移載窓１ａの両側縁部では、左右の各枠体部４６ｂが当接する構成となっている。また、各側板部４４の下端部であって、手前側の略半分の部分には、アダプタベースＶに固定されたディスクダンパー２２、ダンパー支持及び軸支持の各ブラケット２３，２４を覆うための突出カバー部４７が側方に突出して設けられている。天板部４５は、起立したカセット受台Ｂを収容可能なように、手前側が高くなるような段差状に形成されている。前記カセットカバーＣは、各側板部４４の下端に外側に水平に受けられた取付けフランジ部４４ａ及び前記突出カバー部４７の側板部４７ａが、それぞれアダプタベースＶの上面周縁部、及び側端面にそれぞれ複数本のビス４８を介して着脱可能に取付けられる。 Next, referring to FIGS. 2 to 5, the adapter base D is attached to the adapter base V in order to accommodate both the adapter main body D and the second cassette K _{2 while} being set on the adapter plate E of the adapter main body D. The cassette cover C to be used will be described. The first cassette K ₂ is only placed on the adapter plate E of the adapter main body D while being positioned in the first and second horizontal directions X and Y, and is not locked. Therefore, when the second wafer W ₂ is carried into and out of the processing apparatus 100, that is, during the operation of the wafer transfer robot disposed in the processing apparatus 100 and before and after that, the adapter is mounted on the adapter plate E in a positioning state. The entire second cassette K ₂ is covered with a cassette cover C in order to protect the second cassette K ₂ from being touched from the surroundings. The cassette cover C is formed of a transparent resin so that the inside can be seen through, and the front side, the back side, and the bottom side are opened in front of the operator who operates the second cassette K _2. A side opening 41, a back side opening 42, and a bottom surface opening 43 are formed, and the whole has a substantially cubic shape. A flange portion 46 is integrally provided on the front end surface of each side plate portion 44 of the cassette cover C so as to be flush with the front end surface of the top plate portion 45, and the second cassette K ₂ The wafer transfer window 1a can be closed by coming into contact with the peripheral edge of the wafer transfer window 1a of the load port P in the state of being advanced to the advance end and positioned at the loading / unloading position of the second wafer. ing. The flange portion 46 is configured such that the frame body portion 46b is fitted into the peripheral edge portion of the flange plate portion 46a, and the left and right frame body portions 46b abut on both side edges of the wafer transfer window 1a. Further, at the lower end portion of each side plate portion 44, a substantially half portion on the near side is a protrusion for covering the disk damper 22 fixed to the adapter base V and the brackets 23, 24 for supporting the damper and the shaft. A cover portion 47 is provided so as to protrude laterally. The top plate portion 45 is formed in a stepped shape such that the front side is raised so that the upright cassette holder B can be accommodated. The cassette cover C includes a mounting flange portion 44a horizontally received at the lower end of each side plate portion 44 and a side plate portion 47a of the protruding cover portion 47 on the upper peripheral edge portion and side end surface of the adapter base V, respectively. A plurality of screws 48 are detachably attached.

また、図６及び図７に示されるように、第２ウエハＷ₂がほぼ垂直に収容された第２カセットＫ₂をカセット受台Ｂにセットする場合には、当該カセット受台Ｂは、回動軸２１の側が僅かに低くなるように、傾斜配置させるために、アダプタベースＶにおける前記回動軸２１が配置される部分には、当該回動軸２１の外側に嵌合されたプレート取付けブラケット２５を当接させるための左右一対の当接体３９が取付けられている。カセット受台Ｂの傾斜角度（θ）は、５〜１０°である。なお、図３ないし図５において、Ｓ₆は、第２カセットＫ₂内から第２ウエハＷ₂の搬出（取出し）の開始時において、当該第２カセットＫ₂から一定量を超えて突出している第２ウエハＷ₂を検出するための一対一組のウエハ飛出検出センサの一方を示し、アダプタプレートＥの先端部中央の裏面にブラケットを介して突出状態で取付けられている。 As shown in FIGS. 6 and 7, when the second cassette K _{2 in} which the second wafer W ₂ is accommodated substantially vertically is set on the cassette holder B, the cassette holder B is rotated. A plate mounting bracket that is fitted to the outside of the rotating shaft 21 at a portion where the rotating shaft 21 is disposed in the adapter base V so as to be inclined so that the side of the moving shaft 21 is slightly lowered. A pair of left and right contact bodies 39 for contacting 25 are attached. The inclination angle (θ) of the cassette cradle B is 5 to 10 °. Note that, in FIGS. 3 to 5, S _6, at the beginning of the second inner cassette K ₂ out of the second wafer W ₂ (extraction) and projects beyond a fixed amount from the second cassette K ₂ One of the pair of wafer pop-up detection sensors for detecting the second wafer W ₂ is shown, and is attached to the rear surface at the center of the tip of the adapter plate E in a protruding state via a bracket.

そして、第１カセットＫ₁のロードポートＰのキャリアベース５に対してカセットアダプタＡを取付けるには、図１に示されるように、当該キャリアベース５に形成されたロックアウトピン（図示）の複数本のねじ孔１６と、同数の固定ボルト５２を用いて、カセットカバーＣが取付けられていない状態のアダプタベースＶを前記キャリアベース５に固定する。アダプタベースＶにおける前記複数本のねじ孔１６に対応する部分には、それぞれボルト挿通孔５３（図１及び図９参照）が貫通されていて、キャリアベース５の直上にカセットアダプタＡのアダプタベースＶを配置して下降させて、当該アダプタベースＶの複数のセット孔３８に対してキャリアベース５に設けられた各位置決め突起８を嵌合させ、この状態において、アダプタベースＶのボルト挿通孔５３に挿通された各固定ボルト５２をキャリアベース５の各ねじ孔１６に螺合させると、当該キャリアベース５に対してアダプタベースＶが第１及び第２の各水平方向Ｘ，Ｙにそれぞれ位置決めされた状態で、当該キャリアベース５に対してアダプタベースＶが固定される（図９参照）。これにより、第１カセットＫ₁のロードポートＰのキャリアベース５にカセットアダプタＡを構成するアダプタ本体Ｄが回動軸２１を回動中心として、（９０°−θ）の角度で回動可能に装着される。この状態で、複数本のビス４８を用いて、アダプタベースＶにカセットカバーＣを取付けると、カセット受台Ｂが垂直となった姿勢で、アダプタ本体Ｄの全体がカセットカバーＣにより覆われる（図２参照）。 In order to attach the cassette adapter A to the carrier base 5 of the load port P of the first cassette K ₁ , as shown in FIG. 1, a plurality of lockout pins (shown) formed on the carrier base 5 are used. The adapter base V in a state where the cassette cover C is not attached is fixed to the carrier base 5 by using the same number of the fixing holes 52 and the screw holes 16. Bolt insertion holes 53 (see FIGS. 1 and 9) are respectively penetrated in portions corresponding to the plurality of screw holes 16 in the adapter base V, and the adapter base V of the cassette adapter A is directly above the carrier base 5. The positioning protrusions 8 provided on the carrier base 5 are fitted into the plurality of set holes 38 of the adapter base V, and in this state, the bolts are inserted into the bolt insertion holes 53 of the adapter base V. When the inserted fixing bolts 52 are screwed into the screw holes 16 of the carrier base 5, the adapter base V is positioned with respect to the carrier base 5 in the first and second horizontal directions X and Y, respectively. In this state, the adapter base V is fixed to the carrier base 5 (see FIG. 9). As a result, the adapter body D constituting the cassette adapter A can be rotated at an angle of (90 ° −θ) with the rotation shaft 21 as the rotation center on the carrier base 5 of the load port P of the first cassette K _1. Installed. In this state, when the cassette cover C is attached to the adapter base V using a plurality of screws 48, the entire adapter body D is covered with the cassette cover C in a posture in which the cassette base B is vertical (see FIG. 2).

次に、図６ないし図１１を参照して、第２ウエハＷ₂が収容された第２カセットＫ₂を傾斜配置されたカセット受台Ｂにセットした後に、アダプタ本体Ｄを（９０°−θ）だけ回動させて、全体がカセットカバーＣで覆われた状態において、当該アダプタ本体ＤのアダプタプレートＥを、ロードポートＰのキャリアベース５にロックさせるまでの作用について順次説明する。第１カセットＫ₁のロードポートＰのキャリアベース５にカセットアダプタＡを装着して、第２カセットＫ₂をセット可能にするためのカセットアダプタＡを使用するには、ロードポートＰのキャリアベース５に設けられた第１カセット用着座センサＳ₁〜Ｓ₃のうち、第１カセット用着座センサＳ₁のみを有効にして、残りの第１カセット用着座センサＳ₂，Ｓ₃を無効にしておくと共に、カセットアダプタＡのアダプタプレートＥに取付けられた第２カセット用着座センサＳ₄，Ｓ₅を有効にしておく（図１０参照）。なお、図１０において、６１は、カセットアダプタＡの作動を制御する制御盤を示し、６２，６３は、それぞれ着座センサＳ₁〜Ｓ₅の配線、コネクタを示す。 Next, with reference to FIGS. 6 to 11, after setting the cassette cradle B a second cassette K ₂ are arranged obliquely to the second wafer W ₂ is housed, the adapter body D (90 ° -θ ) And the operation until the adapter plate E of the adapter main body D is locked to the carrier base 5 of the load port P in the state where the whole is covered with the cassette cover C. To mount the cassette adapter A on the carrier base 5 of the load port P of the first cassette K ₁ so that the second cassette K ₂ can be set, the carrier base 5 of the load port P is used. the first of the cassette seat sensor S ₁ to S ₃ provided in, and enable only the seating sensor S ₁ for the first cassette, you disable first cassette seating sensor S _2, S ₃ remaining At the same time, the second cassette seating sensors S ₄ and S ₅ attached to the adapter plate E of the cassette adapter A are enabled (see FIG. 10). In FIG. 10, reference numeral 61 denotes a control panel for controlling the operation of the cassette adapter A, and 62 and 63 denote wirings and connectors for the seating sensors S _{1 to} S ₅ , respectively.

まず、図６及び図７に示されるようにして、アダプタ本体Ｄを手動により手前側に倒すと、プレート取付けブラケット２５の両端ブラケットが、アダプタベースＶに取付けられた左右一対の当接体３９に当接して、当該アダプタ本体Ｄのカセット受台Ｂは、回動軸２１の側が低くなるようにして、水平面に対して角度（θ）だけ傾斜して配置される。このように、手動によりアダプタ本体Ｄを回動させる際は、回動軸２１の両端部に配置された各ディスクダンパー２２が回動抵抗となるため、自重により速い速度で回動するのが防止されて、ゆっくりと回動するために、アダプタ本体Ｄが回動停止する際に、第２カセットＫ₂に支持されている第２ウエハＷ₂がウエハ挿入溝１１４から突出するのが防止される。この状態で、収容された第２ウエハＷ₂がほぼ垂直にして、第２カセットＫ₂の左右一対の起立板部１１８を、第１位置決め機構Ｆ₁を構成する左右一対の第１位置決め部材２６と、別の第２位置決め部材２７との間に挿入すると、カセット受台Ｂが傾斜配置されているために、当該第２カセットＫ₂は、起立姿勢のアダプタプレートＥの側に押し付けられて、下側連結板部１１３の裏面に設けられた位置決め突条１１５は、第２位置決め機構Ｆ₂を構成する２本の第３位置決め部材２９の間に形成された位置決め挿入溝２８に挿入される。これにより、アダプタ本体Ｄを（９０°−θ）だけ回動させて、図８及び図９に示されるように、（９０°−θ）だけ回動された当該第２カセットＫ₂がアダプタプレートＥの上に載せられた状態において、当該第２カセットＫ₂は、第１及び第２の各水平方向Ｘ，Ｙに対して位置決めされる。 First, as shown in FIGS. 6 and 7, when the adapter body D is manually tilted to the near side, both end brackets of the plate mounting bracket 25 are brought into contact with the pair of left and right contact bodies 39 attached to the adapter base V. The cassette cradle B of the adapter main body D is disposed so as to be inclined by an angle (θ) with respect to the horizontal plane so that the rotating shaft 21 side is lowered. As described above, when the adapter body D is manually rotated, the disk dampers 22 disposed at both ends of the rotation shaft 21 serve as a rotation resistance, so that the adapter body D is prevented from rotating at a high speed due to its own weight. In order to rotate slowly, the second wafer W ₂ supported by the second cassette K ₂ is prevented from protruding from the wafer insertion groove 114 when the adapter body D stops rotating. . In this state, the accommodated second wafer W ₂ is substantially vertical, and the pair of left and right upright plate portions 118 of the second cassette K ₂ is replaced with the pair of left and right first positioning members 26 constituting the first positioning mechanism F _1. And the other second positioning member 27, the cassette cradle B is inclined, so that the second cassette K ₂ is pressed against the adapter plate E in the standing posture, positioning protrusion 115 provided on the back surface of the lower connecting plate 113 is inserted into the positioning insertion groove 28 formed between the two third positioning member 29 constituting the second positioning mechanism F _2. As a result, the adapter body D is rotated by (90 ° −θ), and the second cassette K ₂ rotated by (90 ° −θ) is moved to the adapter plate as shown in FIGS. In the state of being placed on E, the second cassette K ₂ is positioned with respect to the first and second horizontal directions X and Y.

アダプタ本体Ｄの（９０°−θ）の回動により、傾斜配置されたカセット受台Ｂから水平配置されたアダプタプレートＥに移載せられた第２カセットＫ₂の各センサ作動リブ１１６により、当該アダプタプレートＥに設けられた第２カセット用着座センサＳ₄，Ｓ₅の双方が「ＯＮ」となると、当該アダプタプレートＥに対して第２カセットＫ₂が正しい姿勢でセット（着座）されたことが検出される。また、アダプタ本体Ｄの（９０°−θ）の回動により、アダプタプレートＥの裏面に設けられた左右一対のストッパボルト３３がアダプタベースＶに当接して、当該アダプタプレートＥが水平に配置されると、当該アダプタプレートＥの裏面に取付けられたセンサ作動ボルト３４が、当該アダプタプレートＥの逃げ孔３７を通ってキャリアベース５に取付けられた第１着座センサＳ₁を「ＯＮ」にすると、当該アダプタプレートＥが水平に配置されたことが検出される。 By rotation of the adapter main body D by (90 ° −θ), the sensor operating ribs 116 of the second cassette K ₂ transferred from the inclined cassette receiving base B to the horizontally arranged adapter plate E When both of the second cassette seating sensors S ₄ and S ₅ provided on the adapter plate E are “ON”, the second cassette K ₂ is set (seats) in the correct posture with respect to the adapter plate E. Is detected. Further, as the adapter body D is rotated by (90 ° −θ), the pair of left and right stopper bolts 33 provided on the back surface of the adapter plate E abut against the adapter base V, and the adapter plate E is disposed horizontally. Then, when the sensor operating bolt 34 attached to the back surface of the adapter plate E turns on the first seating sensor S ₁ attached to the carrier base 5 through the escape hole 37 of the adapter plate E, It is detected that the adapter plate E is arranged horizontally.

このように、第１カセット用着座センサＳ₁及び第２カセット用着座センサＳ₄，Ｓ₅が全てＯＮになることは、アダプタプレートＥに対して第２カセットＫ₂が正しい姿勢で着座されたこと、及び当該アダプタプレートＥが水平に配置されたことの双方が確認されることになって、水平配置されたアダプタプレートＥの上面に第２カセットＫ₂が正しい位置に着座されたことを意味する。また、左右一対のストッパボルト３３は、アダプタ本体Ｄの回動軸２１から最も離れた位置が選択され、センサ作動ボルト３４は、回動軸２１から大きく離れた第１カセット用着座センサＳ₁，Ｓ₂の一方（Ｓ₁）を選択してあるので、アダプタプレートＥの水平配置の精度が高められる。 Thus, the fact that the first cassette seating sensor S ₁ and the second cassette seating sensors S ₄ and S ₅ are all turned on means that the second cassette K ₂ is seated in the correct posture with respect to the adapter plate E. And that the adapter plate E is horizontally arranged means that the second cassette K ₂ is seated at the correct position on the upper surface of the horizontally arranged adapter plate E. To do. The pair of left and right stopper bolts 33 are selected at positions farthest from the rotation shaft 21 of the adapter body D, and the sensor operating bolt 34 is a first cassette seating sensor S ₁ , which is far away from the rotation shaft 21. Since one of S ₂ (S ₁ ) is selected, the accuracy of the horizontal arrangement of the adapter plate E is improved.

その後に、ロック用エアシリンダ１４のロッド１３を突出端まで突出させて、図１１（ａ）に示されるように、当該ロッド１３の先端のロック爪１２が第２水平方向Ｙに沿って配置された状態で、当該ロッド１３を９０°だけ回転させた後に引っ込めると、図９及び図１１（ｂ）に示されるように、アダプタベースＶの逃げ孔３７に入り込んでいるアダプタプレートＥの裏面の被ロック部材３５の被ロック部３５ａは、前記ロック爪１２によりロックされる。これにより、アダプタ本体Ｄは、ロードポートＰのキャリアベース５に対してロックされて、回動できなくなる。このように、第１カセットＫ₁のロードポートＰのキャリアベース５に設けられたロック部材であるロック用エアシリンダ１４を利用して、第２カセットＫ₂を操作させるためのカセットアダプタＡを前記キャリアベース５に対してロック可能となる。 Thereafter, the rod 13 of the locking air cylinder 14 is protruded to the protruding end, and the lock claw 12 at the tip of the rod 13 is disposed along the second horizontal direction Y as shown in FIG. In this state, when the rod 13 is rotated by 90 ° and then retracted, as shown in FIGS. 9 and 11B, the cover of the back surface of the adapter plate E entering the escape hole 37 of the adapter base V is covered. The locked portion 35 a of the lock member 35 is locked by the lock claw 12. As a result, the adapter body D is locked with respect to the carrier base 5 of the load port P and cannot rotate. In this way, the cassette adapter A for operating the second cassette K ₂ is used by using the locking air cylinder 14 which is a locking member provided on the carrier base 5 of the load port P of the first cassette K _1. The carrier base 5 can be locked.

そして、処理装置１００の内部のロボットのハンドにより第２カセットＫ₂内の第２ウエハＷ₂の搬出及び搬入が可能な位置まで、キャリアベース５を前進させると、第２カセットＫ₂の全体を覆っているカセットカバーＣの前端の左右一対のフランジ部を含めて当該カセットカバーＣの前端面が、ロードポートＰのウエハ移載窓１ａの周縁に密着することにより、当該ウエハ移載窓１ａを処理装置１００の側から覆っている蓋体保持板２を取り外して、第２ウエハＷ₂の移載が可能な状態にしても、当該ウエハ移載窓１ａの部分の気密が保持されて、処理装置１００内のエアクリーン度が維持される。 When the carrier base 5 is advanced to a position where the second wafer W ₂ in the second cassette K ₂ can be unloaded and loaded by the robot hand inside the processing apparatus 100, the entire second cassette K ₂ is moved. When the front end surface of the cassette cover C including the pair of left and right flanges at the front end of the covering cassette cover C is in close contact with the peripheral edge of the wafer transfer window 1a of the load port P, the wafer transfer window 1a is opened. Even when the cover holding plate 2 covering from the processing apparatus 100 side is removed and the second wafer W ₂ can be transferred, the air-tightness of the portion of the wafer transfer window 1a is maintained and the processing is performed. The air cleanliness in the apparatus 100 is maintained.

また、第２カセットＫ₂は、第１及び第２の各水平方向Ｘ，Ｙの双方に位置決めされた状態で、水平配置されたアダプタプレートＥにセットされているのみであって、固定されてはいないが、当該第２カセットＫ₂の全体がカセットカバーＣにより覆われ、しかも当該カセットカバーＣの手前側開口４１は、起立姿勢のカセット受台Ｂにより覆われているので、誤って人手が第２カセットＫ₂に触れて、当該第２カセットＫ₂がセット位置からずらされる恐れはない。また、カセット受台Ｂが透明体で構成されているため、当該カセット受台Ｂを透視して第２ウエハの搬入・搬出の状態が目視できるため、第２ウエハの搬入・搬出に係る何らかの不具合が発生した場合には、即座に分かる。 Further, the second cassette K ₂ is only set on the adapter plate E that is horizontally arranged in a state of being positioned in both the first and second horizontal directions X and Y, and is fixed. However, since the entire second cassette K ₂ is covered with the cassette cover C and the front opening 41 of the cassette cover C is covered with the cassette base B in the standing posture, a human hand is accidentally There is no possibility of touching the second cassette K ₂ and shifting the second cassette K ₂ from the set position. In addition, since the cassette cradle B is made of a transparent body, the state of loading / unloading of the second wafer can be visually observed through the cassette cradle B. Therefore, some troubles related to loading / unloading of the second wafer. If this happens, it is immediately known.

なお、処理を終えた第２ウエハＷ₂は、第２カセットＫ₂の各ウエハ挿入溝１１４に戻された後に、アダプタ本体ＤがカセットカバーＣの外部に向けて（９０°−θ）だけ回動させ（図６及び図７参照）、この状態で、アダプタ本体Ｄから第２カセットＫ₂を取り出して、次の工程に搬送する。 After the processing, the second wafer W ₂ is returned to each wafer insertion groove 114 of the second cassette K ₂ , and then the adapter body D is rotated (90 ° -θ) toward the outside of the cassette cover C. It is moving (see FIGS. 6 and 7), in this state, the adapter body D is taken out of the second cassette K _2, to be conveyed to a subsequent step.

Ａ：カセットアダプタ
Ｂ：カセット受台
Ｃ：カセットカバー
Ｄ：アダプタ本体
Ｅ：アダプタプレート
Ｋ₁：第１カセット
Ｋ₂：第２カセット
Ｓ₁〜Ｓ₃：第１カセット用着座センサ
Ｓ₄，Ｓ₅：第２カセット用着座センサ
Ｗ₂：第２ウエハ
Ｘ：第１水平方向
Ｙ：第２水平方向
θ：カセット受台の傾斜配置角度
５：キャリアベース
１２：ロック爪
１３：ロック用エアシリンダのロッド
１４：ロック用エアシリンダ
３３：ストッパボルト
３４：センサ作動ボルト
３５：被ロック部材
３５ａ：被ロック部
A: Cassette adapter B: Cassette cradle C: Cassette cover D: Adapter body E: Adapter plate K ₁ : First cassette K ₂ : Second cassette S _{1 to} S ₃ : First cassette seating sensors S ₄ and S ₅ : Second cassette seating sensor W ₂ : second wafer X: first horizontal direction Y: second horizontal direction θ: inclined angle of the cassette holder 5: carrier base 12: lock claw 13: rod of air cylinder for lock 14: Air cylinder for locking 33: Stopper bolt 34: Sensor operating bolt 35: Locked member 35a: Locked portion

Claims

A first cassette capable of accommodating a first wafer having a diameter of 300 mm is installed, a carrier base for loading / unloading the first wafer to / from the processing apparatus, and a first cassette for the carrier base. A second cassette capable of accommodating a second wafer having a diameter of 200 mm is mounted on the carrier base of the load port having a plurality of first cassette seating sensors for detecting the seating at a correct position. Cassette adapter for
The cassette adapter is integrated with the adapter base fixed to the carrier base and orthogonally so that the two plate bodies are L-shaped in a side view, and is horizontally disposed with respect to the adapter base. An adapter body supported so as to be rotatable at an angle of (90 ° −θ) around the rotation axis,
It said adapter body, said as the side of the pivot axis is lowered, in a state of being arranged obliquely at an angle (theta) for the horizontal plane, both the installation and removal of the second cassette for a cassette table of the load port The cassette base that is possible and the second cassette supported by the cassette base is rotated by (90 ° −θ) by the transition from the inclined position to the horizontal position, and between the processing apparatus The posture is such that the second wafer can be loaded and unloaded, and comprises an adapter plate on which the second cassette can be placed,
On the back surface of the adapter plate of the adapter body, a stopper member for horizontally positioning the adapter plate by rotating the adapter body by (90 ° -θ) from the inclined position of the cassette cradle, and the carrier base A sensor actuating member for detecting that the adapter plate is horizontally disposed by operating a specific one of the plurality of seating sensors for the first cassette provided in
On the upper surface of the adapter plate, the remaining first cassette seating sensors other than the specific first cassette seating sensor operated by the sensor actuating member among the plurality of first cassette seating sensors are disabled. A seating sensor mechanism for a cassette adapter, wherein a plurality of seating sensors for the second cassette for detecting that the second cassette is set on the upper surface of the adapter plate and seated at a correct position are provided.

Among the plurality of first cassette seating sensors, the specific first cassette seating sensor that is actuated by the sensor actuating member is disposed at a position farthest from the rotation shaft of the adapter main body. A seating sensor mechanism for a cassette adapter according to claim 1.

2. The seating sensor for a cassette adapter according to claim 1, wherein a pair of the stopper members are arranged along the axial direction of the rotation shaft at a position farthest from the rotation shaft of the adapter body. mechanism.

A first cassette capable of accommodating a first wafer having a diameter of 300 mm is installed, a carrier base for loading / unloading the first wafer to / from the processing apparatus, and a first cassette for the carrier base. A second cassette capable of accommodating a second wafer having a diameter of 200 mm is mounted on the carrier base of the load port having a plurality of first cassette seating sensors for detecting the seating at a correct position. Cassette adapter for
A cassette adapter comprising the seating sensor mechanism according to claim 1.