KR101736351B1 - Load port for transporting wafer - Google Patents

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Abstract

A load port for transporting a wafer according to the present invention includes: a vertical frame stood in a vertical direction and having a port door capable of being open; a support mounted on a lower side of a part of the vertical frame where the port door is formed to be lifted; a seating block formed into a structure wherein a wafer cassette is formed to be seated on a top surface and mounted on the support; a detecting unit detecting the number of the wafers inside the wafer cassette seated on the seating block; and an LCD screen mounted on a front surface of the vertical frame and outputting the number of the wafers detected by the detecting unit. The load port for transporting the wafer according to the present invention obtains the effect of stably transferring the wafers by accurately mounting a door of the wafer cassette in the door of the load port, providing user convenience by outputting various kinds of information such as the number of the wafers stacked on the wafer cassette, and reducing malfunction by informing a user when a wafer transferring robot wrongly enters.

Description

웨이퍼 이송용 로드포트 {Load port for transporting wafer}Load port for transporting wafer [0002]

본 발명은 웨이퍼 카세트 내에 적층된 다수 개의 웨이퍼를 이송하기 위한 로드포트에 관한 것으로, 더 상세하게는 웨이퍼 카세트가 안정적으로 안착될 수 있으며 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼 개수 및 작동불량 등 각종 정보 출력이 가능한 웨이퍼 이송용 로드포트에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a load port for transferring a plurality of wafers stacked in a wafer cassette, more specifically, to a wafer transfer apparatus capable of stably mounting a wafer cassette and transferring wafers capable of outputting various information, Lt; / RTI >

반도체 소자를 제조하기 위한 공정은 순차적으로 진행되는 다양한 단위공정을 통하여 수행되며 웨이퍼와 같은 반도체 기판은 단위공정을 수행하기 위한 공정설비들 사이에서 이송된다.A process for manufacturing a semiconductor device is performed through various unit processes sequentially performed, and a semiconductor substrate such as a wafer is transferred between process equipment for performing a unit process.

반도체 제조에 요구되는 높은 청정도를 유지하고 이송단계에서의 기판 오염을 방지하기 위해 단위 공정 설비로의 기판 공급은 외부와 밀폐되는 웨이퍼 카세트와 로드포트를 통하여 수행된다. 전방 개방형 일체식 용기(front opening unified pod, FOUP)와 같은 웨이퍼 카세트는 외부와 밀폐되는 내부공간에 다수의 기판을 적재하여 단위 공정 설비들 사이에서 기판을 이동한다. 각 단위 공정설비로 전송된 웨이퍼 카세트는 상기 공정설비의 일측에 배치된 로드포트 모듈의 상면에 안착되고 상기 내부공간을 외부와 밀폐시키면서 웨이퍼 카세트도어를 개방한다. 이에 따라, 공정대상 기판은 외부환경으로부터의 오염이 방지되면서 단위 공정 설비 사이를 이동할 수 있다.In order to maintain the high cleanliness required for semiconductor manufacturing and to prevent contamination of the substrate in the transfer step, the supply of the substrate to the unit process facility is performed through the wafer cassette and the load port which are sealed with the outside. A wafer cassette, such as a front opening unified pod (FOUP), moves a substrate between unit processing facilities by loading multiple substrates into an enclosed interior space. The wafer cassette transferred to each unit processing facility is seated on the upper surface of the load port module disposed at one side of the processing facility and opens the wafer cassette door while sealing the inside space to the outside. Thus, the substrate to be processed can move between unit processing facilities while preventing contamination from the external environment.

한편, 웨이퍼 카세트가 로드포트의 상면에 안착되면, 웨이퍼 카세트의 도어가 로드포트의 도어에 일체로 결합되어 개폐되는데, 이때 상기 웨이퍼 카세트의 도어와 로드포트의 도어가 정확하게 일치하지 아니하면 웨이퍼 카세트의 도어가 정상적으로 개방되지 못하여 웨이퍼 카세트에 적층된 웨이퍼가 안정적으로 이송되지 못하는 문제가 발생된다.When the wafer cassette is seated on the upper surface of the load port, the door of the wafer cassette is integrally coupled to the door of the load port and opened and closed. If the door of the wafer cassette and the door of the load port do not exactly coincide, The door can not be normally opened and the wafer stacked on the wafer cassette can not be stably transported.

또한, 종래의 로드포트는 웨이퍼 카세트에 안착된 웨이퍼의 개수 등과 같은 여러 가지 정보를 표시하는 기능이 없어 사용에 불편함이 있고, 웨이퍼 카세트 내로 로봇암이 진입할 때 상기 로봇암이 정상적인 경로로 진입하고 있는지를 판단하는 기능이 없으므로 로봇암 및 웨이퍼의 손상이 발생될 수 있다는 문제점도 있다.In addition, the conventional load port is inconvenient to use because it has no function of displaying various kinds of information such as the number of wafers placed on the wafer cassette. When the robot arm enters the wafer cassette, the robot arm enters the normal path There is a problem that the robot arm and the wafer may be damaged.

KR 10-0638539 B1KR 10-0638539 B1

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 웨이퍼 카세트의 도어가 로드포트의 도어에 정확하게 장착될 수 있고, 웨이퍼 카세트에 적층된 웨이퍼의 개수 등과 같은 각종 정보를 출력할 수 있으며, 웨이퍼 이송로봇이 잘못 진입될 때 이를 알릴 수 있는 웨이퍼 이송용 로드포트를 제공하는 데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a wafer cassette which can accurately mount a door of a wafer cassette on a door of a load port, output various information such as the number of wafers stacked on a wafer cassette, And to provide a load port for transferring wafers, which can inform the transfer robot when the robot is inadvertently entered.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트는, 수직으로 세워지되 개폐 가능한 포트도어(110)를 구비하는 수직프레임(100); 상기 수직프레임(100) 중 상기 포트도어(110)가 구비된 지점의 하측에 승강 가능한 구조로 장착되는 받침대(200); 웨이퍼 카세트(20)가 상면에 안착 가능한 구조로 형성되어 상기 받침대(200)에 장착되는 안착블록(300); 상기 안착블록(300)에 안착된 웨이퍼 카세트(20) 내의 웨이퍼(10) 개수를 감지하는 감지부(116); 상기 수직프레임(100)의 전면에 장착되어 상기 감지부(116)에 의해 감지된 웨이퍼(10) 개수를 출력하는 LCD창(120); 을 포함하고, 상기 감지부(116)는 수직방향 회전축을 중심으로 회전 가능한 구조로 상기 포트도어(110) 상면에 장착되어, 상기 포트도어(110)의 하강이 진행될 때 끝단이 상기 웨이퍼 카세트(20) 내의 웨이퍼(10)를 향하도록 회전된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a load port for transferring wafers, comprising: a vertical frame 100 having a port door 110 vertically erected and openable and closable; A pedestal (200) mounted on the vertical frame (100) so as to be vertically movable below a point where the port door (110) is provided; A mounting block 300 formed on the upper surface of the wafer cassette 20 and mounted on the pedestal 200; A sensing unit (116) for sensing the number of wafers (10) in the wafer cassette (20) placed on the seating block (300); An LCD window 120 mounted on the front surface of the vertical frame 100 and outputting the number of wafers 10 sensed by the sensing unit 116; The sensing unit 116 is mounted on the upper surface of the port door 110 so as to be rotatable around a vertical axis of rotation so that when the port door 110 descends, To the wafer 10 within the wafer 10.

상기 포트도어는, 상기 웨이퍼 카세트의 카세트도어에 삽입된 후 일측방향으로 회전되었을 때 상기 카세트도어에 결합되는 래치키를 더 포함하되,The port door further includes a latch key which is inserted into the cassette door of the wafer cassette and then coupled to the cassette door when rotated in one direction,

상기 래치키는, 상기 카세트도어에 삽입된 후 일측방향으로 회전되었을 때 후방으로 이송되어 상기 카세트도어를 상기 포트도어의 전면에 밀착시키도록 구성된다.The latch key is inserted into the cassette door, and then, when the latch key is rotated in one direction, it is conveyed rearward so that the cassette door is brought into close contact with the front surface of the port door.

상기 래치키가 타측방향으로 회전되었을 때 상기 래치키에 전방 탄성력을 인가하는 스프링을 더 포함한다.And a spring for applying a forward elastic force to the latch key when the latch key is rotated in the other direction.

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상기 안착블록은, 상기 포트도어와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능한 구조로 상기 받침대에 장착된다.The seating block is mounted on the pedestal in such a structure that it can move in a direction approaching or away from the port door.

상기 수직프레임의 후면 중 상기 포트도어에 의해 개방된 개구부에 장착되어, 상기 개구부로 진입하는 로봇암의 진입높이를 감지하는 리미트센서를 더 포함한다.And a limit sensor mounted on an opening portion opened by the port door of the rear surface of the vertical frame to detect an entry height of the robot arm entering the opening.

상기 리미트센서는 상기 개구부의 좌우측에 각각 장착되는 발광부와 수광부로 구성된다.The limit sensor is composed of a light emitting portion and a light receiving portion which are respectively mounted on right and left sides of the opening portion.

본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트는, 웨이퍼 카세트의 도어가 로드포트의 도어에 정확하게 장착될 수 있어 안정적인 웨이퍼 이송이 가능해지고, 웨이퍼 카세트에 적층된 웨이퍼의 개수 등과 같은 각종 정보가 출력되므로 사용이 편리하며, 웨이퍼 이송로봇이 잘못 진입될 때 이를 작업자에게 알릴 수 있어 작업불량률을 감소시킬 수 있다는 장점이 있다.The door of the wafer transfer cassette according to the present invention can accurately mount the door of the wafer cassette on the door of the load port to enable stable wafer transfer and output various information such as the number of wafers stacked on the wafer cassette, And it is advantageous that the operator can inform the operator when the wafer transfer robot enters the wrong way, thereby reducing the defective operation rate.

도 1은 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트에 안착되는 웨이퍼 카세트의 분해사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 웨이퍼 카세트의 잠금장치 사시도이다.
도 4는 안착블록에 웨이퍼 카세트가 안착된 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트의 사시도이다.
도 5 및 도 6은 카세트도어가 포트도어에 밀착되도록 안착블록이 이송된 형상을 도시한다.
도 7 및 도 8은 도 6에 도시된 상태에서 포트도어가 개방되는 과정을 순차적으로 도시한다.
도 9는 리미트센서가 장착된 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트의 후면사시도이다.1 is a perspective view of a load port for wafer transfer according to the present invention.
2 is an exploded perspective view of a wafer cassette that is seated on a load port for wafer transfer according to the present invention.
3 is a perspective view of the locking device of the wafer cassette shown in Fig.
4 is a perspective view of a wafer transferring load port according to the present invention in which a wafer cassette is seated in a seating block.
Figs. 5 and 6 show a configuration in which the seating block is transported so that the cassette door is brought into close contact with the port door.
FIGS. 7 and 8 sequentially show the process of opening the port door in the state shown in FIG.
9 is a rear perspective view of a wafer transferring load port according to the present invention equipped with a limit sensor.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트의 실시예를 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a load port for transferring wafers according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트의 사시도이고, 도 2는 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트에 안착되는 웨이퍼 카세트의 분해사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 웨이퍼 카세트의 잠금장치 사시도이다.2 is an exploded perspective view of a wafer cassette mounted on a load port for transferring wafers according to the present invention, Fig. 3 is an exploded perspective view of the wafer cassette shown in Fig. 2, Fig. Fig.

본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트는 웨이퍼 카세트(20) 내에 적층된 다수 개의 웨이퍼(10)를 하나씩 이송시키기 위한 반도체장비의 일종으로서, 웨이퍼 카세트(20)가 보다 안정적으로 안착될 수 있으면서 외력이 인가되더라도 안착위치가 변경되지 아니하도록 구성된다는 점에 첫 번째 특징이 있다.The wafer transporting rod port according to the present invention is a kind of semiconductor equipment for transferring a plurality of wafers 10 stacked in the wafer cassette 20 one by one so that the wafer cassette 20 can be stably installed, And the seat position is not changed even if the seat is applied.

즉, 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트는, 수직으로 세워지되 개폐 가능한 포트도어(110)를 구비하는 수직프레임(100)과, 상기 수직프레임(100) 중 상기 포트도어(110)가 구비된 지점의 하측에 승강 가능한 구조로 장착되는 받침대(200)와, 웨이퍼 카세트(20)가 상면에 안착 가능한 구조로 형성되어 상기 받침대(200)에 장착되는 안착블록(300)을 포함하되, 상기 안착블록(300)은 상기 포트도어(110)와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능한 구조로 장착된다. 이때 상기 포트도어(110)의 전방면에는 상기 웨이퍼 카세트(20)의 카세트도어(24)에 삽입된 후 회전되는 래치키(114)가 구비되는바, 웨이퍼 카세트(20)의 카세트도어(24)가 포트도어(110) 전방에 위치한 상태에서 상기 래치키(114)가 회전되면 상기 카세트도어(24)와 포트도어(110)는 일체로 결합된다.That is, the load port for transferring wafers according to the present invention includes a vertical frame 100 having a port door 110 vertically erected and openable and closable, and a vertical frame 100 having the port door 110 And a mounting block 300 mounted on the pedestal 200. The pedestal 200 includes a pedestal 200 mounted on a lower side of the pedestal 200 and a wafer cassette 20 mounted on the pedestal 200, (300) is mounted in a structure movable toward or away from the port door (110). The cassette door 24 of the wafer cassette 20 is rotated and then the latch key 114 is inserted into the cassette door 24. The cassette door 24 of the wafer cassette 20, The cassette door 24 and the port door 110 are integrally coupled when the latch key 114 is rotated in a state where the cassette door 24 is positioned in front of the port door 110.

한편, 래치키(114)가 삽입홈(26)에 삽입되어 회전되었을 때 카세트도어(24)가 포트도어(110)의 전방면(더 명확하게는 카세트도어(24)를 향하는 면)에 밀착될 수 있도록, 상기 래치키(114)는 전후방으로 이송 가능한 구조로 결합될 수 있다. 즉, 상기 래치키(114)는, 상기 카세트도어(24)에 삽입된 후 일측방향으로 회전되었을 때 후방으로 이송되어 상기 카세트도어(24)를 상기 포트도어(110)의 전면에 밀착시키도록 구성될 수 있다. On the other hand, when the latch key 114 is inserted into the insertion groove 26 and rotated, the cassette door 24 is brought into close contact with the front surface (more specifically, the surface facing the cassette door 24) of the port door 110 The latch key 114 can be coupled in a forward and backwardly movable structure. That is, when the latch key 114 is inserted into the cassette door 24 and then rotated in one direction, the latch key 114 is retreated to closely contact the cassette door 24 to the front surface of the port door 110 .

이와 같이 래치키(114)가 회전 시 전후방으로 이동 가능하도록 구성되면, 카세트도어(24)를 포트도어(110)에 결합시킬 때 상기 카세트도어(24)가 포트도어(110)에 밀착되는바, 별도의 흡착판이 필요하지 아니하게 된다는 장점이 있다.The cassette door 24 is in close contact with the port door 110 when the cassette door 24 is coupled to the port door 110. When the cassette door 24 is coupled to the port door 110, There is an advantage that a separate adsorption plate is not required.

한편, 상기 래치키(114)가 타측방향으로 회전되어 카세트도어(24)와의 결합이 해제되었을 때 원위치될 수 있도록, 상기 래치키(114)에 전방 탄성력을 인가하는 스프링(113)이 추가로 구비될 수 있다.A spring 113 for applying a forward elastic force to the latch key 114 may be additionally provided so that the latch key 114 may be retracted when the latch key 114 is rotated in the other direction and the coupling with the cassette door 24 is released. .

이때, 상기 래치키(114)의 회전방향에 따라 상기 래치키(114)를 전방 또는 후방으로 이동시키는 작동은, 전동모터나 솔레노이드와 같은 별도의 구동장치에 의해 구현될 수도 있고, 가이드판(111)과 회동블록(112)이 캠운동을 하도록 제작하여 기구적인 방법으로도 구현될 수 있다. 즉, 상기 래치키(114)의 회전방향에 따라 상기 래치키(114)가 전진 또는 후진되는 구조는, 종래의 어떠한 방식으로도 적용될 수 있는바, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.At this time, the operation of moving the latch key 114 forward or backward in accordance with the rotation direction of the latch key 114 may be realized by a separate driving device such as an electric motor or a solenoid, And the rotation block 112 are made to perform the cam movement and can also be realized by a mechanical method. That is, the structure in which the latch key 114 is advanced or retracted according to the rotational direction of the latch key 114 can be applied to any conventional method, and a detailed description thereof will be omitted.

상기 언급한 바와 같이 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트는, 웨이퍼(10) 캐리어가 안착블록(300)에 안착되었을 때 웨이퍼(10) 캐리어의 캐리어 도어가 포트도어(110)에 밀착되도록 안착블록(300)이 후방으로 이동하는 구조로 구성되는바, 최초 웨이퍼(10) 캐리어가 안착블록(300)에 안착되었을 때 카세트도어(24)가 포트도어(110)에 밀착되지 아니하더라도 안착블록(300) 이동을 통해 카세트도어(24)가 항상 포트도어(110)에 밀착될 수 있다는 장점이 있다. 즉, 최초 웨이퍼(10) 캐리어의 안착위치에 약간의 오차가 있더라도 카세트도어(24)와 포트도어(110)가 항상 안정적으로 결합될 수 있어 카세트도어(24)가 정상적으로 개방될 수 있고, 상기 웨이퍼(10) 캐리어에 일정 수준의 외부 충격이 인가되더라도 웨이퍼(10) 캐리어의 안착위치가 변경되지 아니하게 된다는 장점이 있다.The load port for transferring wafers according to the present invention is configured such that the carrier door of the carrier 10 of the wafer 10 is brought into close contact with the port door 110 when the carrier 10 of the wafer 10 is seated on the seating block 300, Even if the cassette door 24 is not in close contact with the port door 110 when the carrier of the first wafer 10 is seated in the seating block 300, The cassette door 24 can always be brought into close contact with the port door 110. That is, even if there is a slight error in the seating position of the carrier of the first wafer 10, the cassette door 24 and the port door 110 can always be stably engaged so that the cassette door 24 can be opened normally, (10) Even if a certain level of external impact is applied to the carrier, there is an advantage that the seat position of the carrier of the wafer 10 is not changed.

한편, 카세트도어(24) 내부에는 카세트몸체(22)에 착탈 가능한 구조로 결합될 수 있도록 잠금장치가 구비되는데, 상기 잠금장치는 도 3에 도시된 바와 같이 자전 가능한 구조로 카세트도어(24) 내에 결합되되 중심부에는 래치키(114)가 삽입 가능한 삽입홈(26)이 형성되고 가장자리 부위에는 나선형의 캠홈(27)이 형성되는 회전캠(25)과, 일단이 상기 캠홈(27)에 슬라이딩 가능한 구조로 결합되어 상기 회전캠(25)의 자전에 따라 승강하는 승강바(28)를 포함하여 구성된다. 따라서 카세트도어(24)가 포트도어(110)에 적층 구조로 밀착되어 래치키(114)가 삽입홈(26)에 삽입된 상태에서 상기 래치키(114)가 회전하면, 상기 승강바(28)가 승강됨에 따라 카세트도어(24)와 카세트몸체(22)가 결합 또는 해제된다.The cassette door 24 is provided with a locking device to be detachably coupled to the cassette body 22. The locking device is rotatable in the cassette door 24 as shown in FIG. A rotation cam 25 having an insertion groove 26 into which a latch key 114 can be inserted and a spiral cam groove 27 formed at an edge thereof and a rotation cam 25 having one end slidable in the cam groove 27 And a lift bar 28 which is coupled with the rotation cam 25 and moves up and down according to the rotation of the rotation cam 25. When the cassette door 24 is brought into close contact with the port door 110 in a laminated structure and the latch key 114 is rotated while the latch key 114 is inserted into the insertion groove 26, The cassette door 24 and the cassette body 22 are engaged or disengaged.

이와 같이 래치키(114)의 회전에 따라 카세트도어(24)와 포트도어(110)가 결합되고 카세트도어(24)가 카세트몸체(22)로부터 탈거되는 구조는, 종래의 웨이퍼 카세트(20)에도 유사하게 적용되고 있는바, 상기 카세트도어(24)의 착탈에 대한 상세한 설명은 생략한다.The structure in which the cassette door 24 and the port door 110 are coupled and the cassette door 24 is detached from the cassette body 22 in accordance with the rotation of the latch key 114 is also applied to the conventional wafer cassette 20 A detailed description of the attachment / detachment of the cassette door 24 will be omitted.

한편 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트는, 상기 안착블록(300)에 안착된 웨이퍼 카세트(20) 내의 웨이퍼(10) 개수를 감지하는 감지부(116)(도 7 및 8 참조)와, 상기 수직프레임(100)의 전면에 장착되어 상기 감지부(116)에 의해 감지된 웨이퍼(10) 개수를 출력하는 LCD창(120)을 더 포함한다는 점에 또 다른 특징이 있다.The load port for wafer transfer according to the present invention includes a sensing unit 116 (see FIGS. 7 and 8) for sensing the number of wafers 10 in the wafer cassette 20 seated in the seating block 300, And an LCD window 120 mounted on the front surface of the vertical frame 100 and outputting the number of wafers 10 sensed by the sensing unit 116.

웨이퍼(10) 제조과정에는 여러 가지 변수가 있으므로, 하나의 웨이퍼 카세트(20)에 적재되는 웨이퍼(10)의 개수에는 차이가 있을 수 있다. 이때, 종래의 로드포트는 웨이퍼 카세트(20)에 적재된 웨이퍼(10)의 개수를 외부로 표시할 수 없으므로 작업 관리자가 각 웨이퍼 카세트(20) 내에 존재하고 있는 웨이퍼(10)의 개수를 실시간으로 정확하게 파악할 수 없다는 단점이 있다.The number of wafers 10 to be loaded on one wafer cassette 20 may vary because there are various variables in the process of manufacturing the wafers 10. At this time, since the conventional load port can not display the number of wafers 10 loaded on the wafer cassette 20 externally, the operation manager can set the number of wafers 10 existing in each wafer cassette 20 in real time There is a disadvantage in that it can not be accurately grasped.

그러나 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트를 사용하면, 상기 LCD창(120)을 통해 현재 웨이퍼 카세트(20) 내의 웨이퍼(10) 개수가 실시간으로 출력되는바, 작업 관리자는 각각의 로드포트 별 웨이퍼(10) 개수를 정확하게 파악할 수 있고, 이에 따라 웨이퍼(10) 제조공정을 전체적으로 조율할 수 있다는 장점이 있다. 또한, 상기 LCD창(120)에는 웨이퍼(10) 개수뿐만 아니라 각 로드포트의 고유번호나 제조라인넘버 등 여러 가지 정보가 출력되도록 활용될 수 있다. 즉, 상기 LCD창(120)에 출력되는 정보의 종류는 사용자의 선택에 따라 다양하게 변경될 수 있으므로, 상기 LCD창(120)에 출력되는 정보에 대한 상세한 설명은 생략한다.However, when the load port for transferring wafers according to the present invention is used, the number of wafers 10 in the current wafer cassette 20 is outputted in real time through the LCD window 120, The number of the wafer 10 can be accurately grasped, and thus the manufacturing process of the wafer 10 can be adjusted in its entirety. In addition, various information such as the number of the wafers 10, the unique number of each load port, and the manufacturing line number may be output to the LCD window 120. That is, the type of information output to the LCD window 120 can be variously changed according to the user's selection, so detailed description of the information output to the LCD window 120 will be omitted.

도 4는 안착블록(300)에 웨이퍼 카세트(20)가 안착된 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트의 사시도이고, 도 5 및 도 6은 카세트도어(24)가 포트도어(110)에 밀착되도록 안착블록(300)이 이송된 형상을 도시하며, 도 7 및 도 8은 도 6에 도시된 상태에서 포트도어(110)가 개방되는 과정을 순차적으로 도시한다.4 is a perspective view of the wafer transferring load port according to the present invention in which the wafer cassette 20 is seated in the seating block 300 and FIGS. 5 and 6 are perspective views showing the cassette door 24 being brought into close contact with the port door 110 FIGS. 7 and 8 sequentially illustrate the process of opening the port door 110 in the state shown in FIG. 6. FIG.

본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트를 이용하여 웨이퍼 카세트(20) 내의 웨이퍼(10)를 이송하고자 하는 경우에는, 먼저 도 4에 도시된 바와 같이 안착블록(300) 상에 웨이퍼 카세트(20)를 안착시킨다. 이때, 안착블록(300)이 장착된 받침대(200)는 승강 가능한 구조로 수직프레임(100)에 결합되므로, 작업자는 안착블록(300)에 안착되는 웨이퍼 카세트(20)의 규격에 맞추어 받침대(200)의 높이를 사전에 미리 세팅해 둠으로써, 카세트도어(24)의 높이와 포트도어(110)의 높이를 정확하게 일치시킬 수 있게 된다.When the wafer 10 in the wafer cassette 20 is to be transferred using the wafer transferring rod port according to the present invention, the wafer cassette 20 is first placed on the mounting block 300 as shown in FIG. Rest. Since the pedestal 200 on which the seating block 300 is mounted is coupled to the vertical frame 100 in a vertically movable structure, the operator can adjust the position of the pedestal 200 The height of the cassette door 24 and the height of the port door 110 can be precisely matched.

이와 같이 웨이퍼 카세트(20)의 안착이 완료되면, 안착블록(300)을 후방(더 명확하게는 포트도어(110)를 향하는 방향)으로 이송시켜 카세트도어(24)를 포트도어(110)에 밀착시킨다. 카세트도어(24)가 포트도어(110)에 밀착되면 래치키(114)는 삽입홈(26)(도 3 참조)에 삽입되는바, 래치키(114)를 회전시키는 조작으로 카세트도어(24)를 카세트몸체(22)로부터 분리시키고 상기 카세트도어(24)를 포트도어(110)에 결합시킬 수 있게 된다.When the seating of the wafer cassette 20 is completed as described above, the seating block 300 is transferred rearward (more specifically, toward the port door 110) so that the cassette door 24 is brought into close contact with the port door 110 . When the cassette door 24 is brought into close contact with the port door 110, the latch key 114 is inserted into the insertion groove 26 (see FIG. 3), and the cassette door 24 is rotated by the operation of rotating the latch key 114, To separate the cassette door 22 from the cassette body 22 and to couple the cassette door 24 to the port door 110.

카세트도어(24)와 포트도어(110)가 일체로 결합되면, 상기 포트도어(110)를 후방으로 일정 수준 이동시켜 도 7에 도시된 바와 같이 포트도어(110) 및 카세트도어(24)가 수직프레임(100)의 후면보다 더 후방에 위치되도록 한 후, 상기 포트도어(110)를 하강시켜 카세트몸체(22) 내의 웨이퍼(10)가 수직프레임(100) 개구부를 통해 후방으로 노출되도록 한다.When the cassette door 24 and the port door 110 are integrally coupled to each other, the port door 110 is moved backward by a predetermined level so that the port door 110 and the cassette door 24 are moved vertically The port door 110 is lowered so that the wafer 10 in the cassette body 22 is exposed rearward through the opening of the vertical frame 100 after the port door 110 is positioned further rear than the rear surface of the frame 100. [

이와 같이 카세트몸체(22) 내의 웨이퍼(10)가 수직프레임(100) 후방으로 노출되면, 상기 웨이퍼(10)를 하나씩 이송시켜가면서 웨이퍼(10)를 가공할 수 있게 되는데, 이와 같이 웨이퍼(10)를 하나씩 이송시키는 과정은 현재까지 다양한 방식으로 구현되고 있는바, 웨이퍼(10)를 이송시키는 과정에 대한 상세한 설명은 생략한다.When the wafer 10 in the cassette body 22 is exposed to the rear of the vertical frame 100, the wafer 10 can be processed while transferring the wafer 10 one by one. The process of transferring the wafer 10 is not described in detail.

한편 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트는, 카세트몸체(22) 내에 적재된 웨이퍼(10)의 개수를 보다 정확하게 카운팅할 수 있도록, 상기 감지부(116)의 구조를 개선한다는 점에 또 다른 특징이 있다.Meanwhile, the wafer transferring load port according to the present invention improves the structure of the sensing unit 116 so as to more accurately count the number of wafers 10 loaded in the cassette body 22, .

즉, 상기 감지부(116)는 수직방향 회전축을 중심으로 회전 가능한 구조로 상기 포트도어(110) 상면에 장착되어, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 포트도어(110)의 하강이 진행될 때 끝단이 상기 웨이퍼 카세트(20) 내의 웨이퍼(10)를 향하도록 회전하는 구조로 제작된다. 상기 감지부(116)의 끝단이 웨이퍼(10)의 가장자리를 향하고 있는 상태에서 상기 포트도어(110)가 하강하면, 상기 감지부(116)의 끝단은 웨이퍼(10)의 가장자리를 향해 빛이나 초음파, 자기장 등을 조사하여 웨이퍼(10)의 존재 여부를 감지하고, 이에 따라 웨이퍼(10)의 개수를 카운팅하도록 구성될 수 있다.That is, the sensing unit 116 is mounted on the upper surface of the port door 110 so as to be rotatable about a vertical rotation axis. When the port door 110 descends as shown in FIG. 8, And is rotated to face the wafer 10 in the wafer cassette 20. When the port door 110 is lowered with the end of the sensing unit 116 facing the edge of the wafer 10, the end of the sensing unit 116 is moved toward the edge of the wafer 10, A magnetic field or the like to detect the presence of the wafer 10, and to count the number of the wafers 10 accordingly.

이와 같이 감지부(116)가 구성되면, 포트도어(110)의 개방을 시작하는 시점에서 감지부(116)를 회전시키는 조작만으로, 카세트몸체(22) 내에 적재된 웨이퍼(10)의 개수를 간편하고 정확하게 카운팅할 수 있다는 장점이 있다.The number of the wafers 10 loaded in the cassette body 22 can be easily changed by simply rotating the sensing unit 116 at the time when the port door 110 starts opening. And can count accurately.

이때, 상기 감지부(116)는 빛이나 초음파, 자기장 등을 조사하여 웨이퍼(10)의 존재 여부를 감지하는 구조로 한정되지 아니하고, 상호 이격되도록 적재된 웨이퍼(10)의 개수를 카운팅할 수 있다면 어떠한 구조로도 변경될 수 있다.At this time, the sensing unit 116 is not limited to the structure for sensing the presence or absence of the wafer 10 by irradiating light, ultrasonic waves, magnetic fields, or the like, and may count the number of the wafers 10 to be spaced apart from each other It can be changed into any structure.

도 9는 리미트센서(400)가 장착된 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트의 후면사시도이다.9 is a rear perspective view of the wafer transferring load port according to the present invention in which the limit sensor 400 is mounted.

도 9에 도시된 바와 같이 수직프레임(100)의 개구부가 완전히 개방되면 별도의 로봇암(30)을 이용하여 카세트몸체(22) 내의 웨이퍼(10)를 하나씩 이송하게 되는데, 이때, 상기 로봇암(30)이 잘못된 지점으로 진입하면 웨이퍼(10)를 하나씩 정확하게 잡을 수 없을 뿐만 아니라, 로봇암(30)에 의해 웨이퍼(10)가 파손되거나, 로봇암(30)이 수직프레임(100)에 부딪혀 파손되는 현상이 발생될 수 있다. 9, when the opening of the vertical frame 100 is completely opened, the wafer 10 in the cassette body 22 is transferred one by one using the separate robot arm 30. At this time, The wafer 10 is damaged by the robot arm 30 or the robot arm 30 strikes the vertical frame 100 to break the wafer 10, May occur.

따라서 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 로드포트는, 상기 수직프레임(100)의 후면 중 상기 포트도어(110)에 의해 개방된 개구부에 장착되어 상기 개구부로 진입하는 로봇암(30)의 진입높이를 감지하는 리미트센서(400)를 더 포함할 수 있다. 이와 같이 리미트센서(400)가 구비되면, 로봇암(30)이 잘못된 지점으로 진입할 때 이를 경광등이나 경고음으로 알림으로써 상기 언급한 각종 사고를 미연에 방지할 수 있다는 장점이 있다.Therefore, the load port for wafer transfer according to the present invention is mounted on the opening portion opened by the port door 110 in the rear surface of the vertical frame 100 to sense the entry height of the robot arm 30 entering the opening The limit sensor 400 may be further provided. When the limit sensor 400 is provided, it is possible to prevent the above-mentioned various accidents by informing the robot arm 30 of a warning light or a warning sound when the robot arm 30 enters a wrong spot.

또한, 로봇암(30)이 잘못된 지점으로 진입할 때 이를 경고만 하는 것이 아니라 로봇암(30)의 동작이 정지되도록 로봇암(30) 동작을 설정할 수도 있다.In addition, when the robot arm 30 enters the wrong point, it may not only warn the robot arm 30 but also set the operation of the robot arm 30 so that the operation of the robot arm 30 is stopped.

한편, 상기 리미트센서(400)는 개구부를 향해 진입하는 로봇암(30)의 위치를 보다 정확하고 확실하게 감지할 수 있도록, 상기 개구부의 좌우측에 각각 장착되는 발광부와 수광부로 구성될 수 있다. 즉, 발광부에서 발광된 빛이 수광부로 모두 전달되는 동안에는 해당 지점으로 로봇암(30)의 진입이 없는 것으로 판단하고, 발광부에서 발광된 빛이 수광부로 전달되지 못할 때에는 해당 지점으로 로봇암(30)이 진입하고 있는 것으로 판단하도록 설정될 수 있다. 물론, 로봇암(30)의 진입여부와 진입위치를 정확하게 감지할 수 있다면, 상기 리미트센서(400)는 어떠한 구조로도 선택될 수 있다.The limit sensor 400 may include a light emitting unit and a light receiving unit mounted on the left and right sides of the opening so as to more accurately and reliably detect the position of the robot arm 30 entering the opening. That is, when light emitted from the light emitting unit is transmitted to the light receiving unit, it is determined that there is no entry of the robot arm 30 to the corresponding point. When the light emitted from the light emitting unit is not transmitted to the light receiving unit, 30) is entering. Of course, the limit sensor 400 can be selected to have any structure as long as it can accurately detect whether the robot arm 30 enters or exits.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the scope of the present invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will also be appreciated that many modifications and variations will be apparent to those skilled in the art without departing from the scope of the invention.

10 : 웨이퍼 20 : 웨이퍼 카세트
22 : 카세트몸체 24 : 카세트도어
30 : 로봇암 100 : 수직프레임
110 : 포트도어 111 : 가이드판
112 : 회동블록 113 : 스프링
114 : 래치키 116 : 감지부
120 : LCD창 200 : 받침대
300 : 안착블록 400 : 리미트센서10: wafer 20: wafer cassette
22: cassette body 24: cassette door
30: Robot arm 100: Vertical frame
110: port door 111: guide plate
112: Rotation block 113: Spring
114: latch key 116: sensing unit
120: LCD window 200: pedestal
300: Seat block 400: Limit sensor

Claims (7)

수직으로 세워지되 개폐 가능한 포트도어(110)를 구비하는 수직프레임(100);
상기 수직프레임(100) 중 상기 포트도어(110)가 구비된 지점의 하측에 승강 가능한 구조로 장착되는 받침대(200);
웨이퍼 카세트(20)가 상면에 안착 가능한 구조로 형성되어 상기 받침대(200)에 장착되는 안착블록(300);
상기 안착블록(300)에 안착된 웨이퍼 카세트(20) 내의 웨이퍼(10) 개수를 감지하는 감지부(116);
상기 수직프레임(100)의 전면에 장착되어 상기 감지부(116)에 의해 감지된 웨이퍼(10) 개수를 출력하는 LCD창(120);
을 포함하고,
상기 감지부(116)는 수직방향 회전축을 중심으로 회전 가능한 구조로 상기 포트도어(110) 상면에 장착되어, 상기 포트도어(110)의 하강이 진행될 때 끝단이 상기 웨이퍼 카세트(20) 내의 웨이퍼(10)를 향하도록 회전되는 웨이퍼 이송용 로드포트.
A vertical frame (100) having a port door (110) vertically erected and openable and closable;
A pedestal (200) mounted on the vertical frame (100) so as to be vertically movable below a point where the port door (110) is provided;
A mounting block 300 formed on the upper surface of the wafer cassette 20 and mounted on the pedestal 200;
A sensing unit (116) for sensing the number of wafers (10) in the wafer cassette (20) placed on the seating block (300);
An LCD window 120 mounted on the front surface of the vertical frame 100 and outputting the number of wafers 10 sensed by the sensing unit 116;
/ RTI >
The sensing unit 116 is mounted on the upper surface of the port door 110 so as to be rotatable around a vertical axis of rotation so that when the port door 110 is lowered, 10). ≪ / RTI >
청구항 1에 있어서,
상기 포트도어(110)는, 상기 웨이퍼 카세트(20)의 카세트도어(24)에 삽입된 후 일측방향으로 회전되었을 때 상기 카세트도어(24)에 결합되는 래치키(114)를 더 포함하되,
상기 래치키(114)는, 상기 카세트도어(24)에 삽입된 후 일측방향으로 회전되었을 때 후방으로 이송되어 상기 카세트도어(24)를 상기 포트도어(110)의 전면에 밀착시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로드포트.
The method according to claim 1,
The port door 110 further includes a latch key 114 coupled to the cassette door 24 when inserted into the cassette door 24 of the wafer cassette 20 and then rotated in one direction,
The latch key 114 is inserted into the cassette door 24 and then is transported rearward when rotated in one direction so that the cassette door 24 is brought into close contact with the front surface of the port door 110 Load port for wafer transfer.
청구항 2에 있어서,
상기 래치키(114)가 타측방향으로 회전되었을 때 상기 래치키(114)에 전방 탄성력을 인가하는 스프링(113)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로드포트.
The method of claim 2,
Further comprising a spring (113) for applying a forward elastic force to the latch key (114) when the latch key (114) is rotated in the other direction.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 안착블록(300)은, 상기 포트도어(110)와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능한 구조로 상기 받침대(200)에 장착되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로드포트.
The method according to claim 1,
Wherein the mounting block (300) is mounted on the pedestal (200) in a structure that is movable in a direction approaching or away from the port door (110).
청구항 1에 있어서,
상기 수직프레임(100)의 후면 중 상기 포트도어(110)에 의해 개방된 개구부에 장착되어, 상기 개구부로 진입하는 로봇암(30)의 진입높이를 감지하는 리미트센서(400)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로드포트.
The method according to claim 1,
And a limit sensor 400 mounted on an opening of the rear side of the vertical frame 100 to be opened by the port door 110 and detecting an entry height of the robot arm 30 entering the opening Features a load port for wafer transfer.
청구항 6에 있어서,
상기 리미트센서(400)는 상기 개구부의 좌우측에 각각 장착되는 발광부와 수광부로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로드포트.
The method of claim 6,
Wherein the limit sensor (400) comprises a light emitting portion and a light receiving portion which are respectively mounted on right and left sides of the opening portion.
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