JP6853396B2 - Load port - Google Patents

Load port Download PDF

Info

Publication number
JP6853396B2
JP6853396B2 JP2020039149A JP2020039149A JP6853396B2 JP 6853396 B2 JP6853396 B2 JP 6853396B2 JP 2020039149 A JP2020039149 A JP 2020039149A JP 2020039149 A JP2020039149 A JP 2020039149A JP 6853396 B2 JP6853396 B2 JP 6853396B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dock plate
plate
dock
pin
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020039149A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2020167397A (en
Inventor
欣也 加々見
欣也 加々見
清二 松田
清二 松田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hirata Corp
Original Assignee
Hirata Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hirata Corp filed Critical Hirata Corp
Priority to TW109108769A priority Critical patent/TWI807177B/en
Priority to US16/822,094 priority patent/US11094570B2/en
Priority to CN202010226904.1A priority patent/CN111755370B/en
Priority to KR1020200037446A priority patent/KR102370527B1/en
Publication of JP2020167397A publication Critical patent/JP2020167397A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6853396B2 publication Critical patent/JP6853396B2/en
Priority to US17/348,816 priority patent/US11532496B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67775—Docking arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Paper (AREA)
  • Exchange Systems With Centralized Control (AREA)

Description

本発明はロードポートに関する。 The present invention relates to a load port.

半導体ウエハ等の基板を収容するＦＯＵＰ等の容器が知られている。こうした容器は、処理設備に備えられたロードポートにおいて開閉され、内部の基板の出し入れがなされる。ロードポートには容器が載置されるドックプレートとドックプレートを移動する機構が設けられ、容器が載置されたドックプレートが所定の位置に移動することで、容器が開閉される。 A container such as FOUP for accommodating a substrate such as a semiconductor wafer is known. These containers are opened and closed at the load port provided in the processing equipment, and the internal substrate is taken in and out. The load port is provided with a dock plate on which the container is placed and a mechanism for moving the dock plate, and the container is opened and closed by moving the dock plate on which the container is placed to a predetermined position.

ロードポートは、基板の搬送を行う基板搬送ロボットを内部に有する基板搬送装置に接続して取り付けられる。ロードポートは、基板搬送装置内の作業空間と外部とを仕切るポートプレートを備えており、ポートプレートに形成される開口部はポートドアにより開閉自在とされる。ポートプレートの開口部にＦＯＵＰがドッキングしていない状態で意図せず開口部が開放されると、作業空間が外部に曝された状態となる。このような場合、ポートドアの移動中にポートプレートとポートドアとの間に異物の挟み込みを招く可能性があるため、好ましくない。また、基板搬送ロボットの動作によって、その一部が開口部から突出することも避けなければならない。 The load port is attached by connecting to a board transfer device having a board transfer robot inside which transfers the board. The load port is provided with a port plate that separates the work space inside the substrate transfer device from the outside, and the opening formed in the port plate can be opened and closed by a port door. If the opening is unintentionally opened while the FOUP is not docked in the opening of the port plate, the work space is exposed to the outside. In such a case, foreign matter may be caught between the port plate and the port door while the port door is moving, which is not preferable. In addition, it must be avoided that a part of the substrate transfer robot protrudes from the opening due to the operation of the substrate transfer robot.

特許文献１には、ポートプレートの開口部を開閉するドアと、別のドアの二重構造とし、これらが同時に開状態とならないようにしたロードポートが開示されている。また、特許文献２にはロードポートにカセットが載置されていることが検知されたことを条件として、ポートプレートの開口部を開放するようにしたロードポートが開示されている。 Patent Document 1 discloses a load port having a double structure of a door that opens and closes an opening of a port plate and another door so that these are not opened at the same time. Further, Patent Document 2 discloses a load port in which the opening of the port plate is opened on condition that it is detected that the cassette is mounted on the load port.

特開２００２−１１０７５６号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-10756 特許第３９５４７１４号公報Japanese Patent No. 3954714

したがって、ロードポートおよび基板搬送ロボット（基板搬送装置）の意図しない駆動を確実に防止し、周囲の安全性を確保する必要がある。周囲の安全性を確保するためには、ロードポートの各部の状態を複数のセンサで検知し、その検知結果が所定の条件を満たす場合にのみ、ポートドアおよび基板搬送ロボットの駆動を許可する方式が考えられる。しかし、センサ数が増大するとコストアップの要因にもなる。 Therefore, it is necessary to surely prevent unintended driving of the load port and the board transfer robot (board transfer device) and ensure the safety of the surroundings. In order to ensure the safety of the surroundings, the state of each part of the load port is detected by multiple sensors, and the port door and the board transfer robot are allowed to be driven only when the detection result satisfies a predetermined condition. Can be considered. However, if the number of sensors increases, it also becomes a factor of cost increase.

本発明の目的は、ドックプレート上の容器の在席およびドックプレートがドック位置にあることを検知する機構を備えたロードポートを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a load port provided with a mechanism for detecting the presence of a container on the dock plate and the dock plate being in the dock position.

本発明によれば、
基板の出し入れが可能な開口部を有するポートプレートと、
前記基板が収容される容器が載置される載置台と、
前記開口部を開閉すると共に前記容器のドア部を保持可能なポートドアと、
前記ポートドアの開閉動作を行う駆動機構と、
を備えたロードポートであって、
前記載置台は、
ベース部と、
前記容器が載置されるドックプレートと、
前記ベース部に設けられるとともに前記ドックプレートを支持し、該ドックプレートを、前記ポートドアが前記ドア部を保持可能な前記ポートプレート側に近接した第一の位置と、前記ポートプレートから離間した第二の位置との間で移動させる移動機構と、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第一のピンと、
前記ベース部に設けられ、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置していることを検知する第一の検知手段と、を備え、
前記第一の検知手段は、
前記ベース部に対して、前記移動機構による前記ドックプレートの移動方向に変位可能な可動部材と、該可動部材の変位を検知する第一のセンサと、を備え、
前記可動部材は、
前記ドックプレートが前記第二の位置から前記第一の位置へ移動する過程で、押し下げられた状態の前記第一のピンと当接する位置に配置されている、
ことを特徴とするロードポートが提供される。 According to the present invention
A port plate with an opening that allows the board to be taken in and out,
A mounting table on which the container in which the substrate is housed is placed, and
A port door that can open and close the opening and hold the door of the container,
A drive mechanism that opens and closes the port door,
It is a load port equipped with
The above-mentioned stand is
With the base part
The dock plate on which the container is placed and
A first position provided on the base portion and supporting the dock plate, and the dock plate is separated from the port plate at a first position close to the port plate side where the port door can hold the door portion. A moving mechanism that moves between the two positions,
A first pin that is push-downly provided on the dock plate and projects onto the dock plate.
The base portion is provided with a first detecting means for detecting that the dock plate is located at the first position.
The first detection means is
A movable member that can be displaced in the moving direction of the dock plate by the moving mechanism and a first sensor that detects the displacement of the movable member are provided with respect to the base portion.
The movable member is
In the process of moving the dock plate from the second position to the first position, the dock plate is arranged at a position where it comes into contact with the first pin in a pressed state.
A load port characterized by that is provided.

また、本発明の別側面によれば、
基板の出し入れが可能な開口部を有するポートプレートと、
前記基板が収容される容器が載置される載置台と、
前記開口部を開閉すると共に前記容器のドア部を保持可能なポートドアと、
前記ポートドアの開閉動作を行う駆動機構と、
を備えたロードポートであって、
前記載置台は、
ベース部と、
前記容器が載置されるドックプレートと、
前記ベース部に設けられるとともに前記ドックプレートを支持し、該ドックプレートを、前記ポートドアが前記ドア部を保持可能な前記ポートプレート側に近接した第一の位置と、前記ポートプレートから離間した第二の位置との間で移動させる移動機構と、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第一のピンと、
前記ベース部に設けられ、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置していることを検知する第一の検知手段と、を備え、
前記第一の検知手段は、前記ドックプレートが前記第二の位置から前記第一の位置へ移動する過程で、押し下げられた状態の前記第一のピンを検知する非接触センサである、
ことを特徴とするロードポートが提供される。 Further, according to another aspect of the present invention,
A port plate with an opening that allows the board to be taken in and out,
A mounting table on which the container in which the substrate is housed is placed, and
A port door that can open and close the opening and hold the door of the container,
A drive mechanism that opens and closes the port door,
It is a load port equipped with
The above-mentioned stand is
With the base part
The dock plate on which the container is placed and
A first position provided on the base portion and supporting the dock plate, and the dock plate is separated from the port plate at a first position close to the port plate side where the port door can hold the door portion. A moving mechanism that moves between the two positions,
A first pin that is push-downly provided on the dock plate and projects onto the dock plate.
The base portion is provided with a first detecting means for detecting that the dock plate is located at the first position.
The first detection means is a non-contact sensor that detects the first pin in a pressed state in the process of moving the dock plate from the second position to the first position.
A load port characterized by that is provided.

本発明によれば、ドックプレート上の容器の在席およびドックプレートがドック位置にあることを検知する機構を備えたロードポートを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a load port provided with a mechanism for detecting the presence of a container on the dock plate and the presence of the dock plate in the dock position.

本発明の一実施形態に係るロードポートの外観図。The external view of the load port which concerns on one Embodiment of this invention. 図１のロードポートの内部機構及び使用例を示す図。The figure which shows the internal mechanism and the use example of the load port of FIG. （Ａ）及び（Ｂ）はドックプレートの変位態様を示す図。(A) and (B) are diagrams showing the displacement mode of the dock plate. ドックプレート上のピン配置の説明図。Explanatory drawing of pin arrangement on a dock plate. ドックプレートの移動機構等の説明図。Explanatory drawing of a moving mechanism of a dock plate and the like. ドックプレートの移動機構等の説明図。Explanatory drawing of a moving mechanism of a dock plate and the like. （Ａ）は検知ユニットの説明図、（Ｂ）は図７（Ａ）のＡ−Ａ線断面図、（Ｃ）は検知ユニットの動作説明図。(A) is an explanatory view of the detection unit, (B) is a sectional view taken along line AA of FIG. 7 (A), and (C) is an operation explanatory view of the detection unit. （Ａ）は検知ユニットの斜視図、（Ｂ）はピン支持部の断面図。(A) is a perspective view of the detection unit, and (B) is a cross-sectional view of the pin support portion. （Ａ）乃至（Ｄ）は図８（Ａ）の検知ユニットの動作説明図。(A) to (D) are operation explanatory views of the detection unit of FIG. 8 (A). 制御部の処理例を示すフローチャート。The flowchart which shows the processing example of the control part. （Ａ）乃至（Ｄ）は図８（Ａ）の検知ユニットの別の使用例による動作説明図。(A) to (D) are operation explanatory views according to another usage example of the detection unit of FIG. 8 (A). （Ａ）乃至（Ｄ）は別例の検知ユニットの動作説明図。(A) to (D) are operation explanatory diagrams of another example detection unit. 容器が傾いて載置された例を示す図。The figure which shows the example which the container was placed tilted. 容器が傾いて載置された場合の検知ユニットの検知例を示す図。The figure which shows the detection example of the detection unit when a container is placed tilted. 位置調整用ブラケットの斜視図。Perspective view of the position adjustment bracket. 検知ユニットの別の例を示す説明図。Explanatory drawing which shows another example of the detection unit. 検知ユニットの別の例を示す説明図。Explanatory drawing which shows another example of the detection unit.

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明に必須のものとは限らない。実施形態で説明されている複数の特徴のうち二つ以上の特徴が任意に組み合わされてもよい。また、同一若しくは同様の構成には同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments do not limit the invention according to the claims, and not all combinations of features described in the embodiments are essential to the invention. Two or more of the plurality of features described in the embodiments may be arbitrarily combined. Further, the same or similar configuration will be given the same reference number, and duplicate description will be omitted.

＜第一実施形態＞
＜装置の概要＞
図１は本発明の一実施形態に係るロードポート１の外観図である。図２はロードポート１の内部機構及び使用例を示す図である。各図において矢印Ｘ及びＹは互いに直交する水平方向を示し、矢印Ｚは上下方向を示す。また、Ｘ方向のうち、ＰＰはポートプレート２の側を示している。これらの矢印の意味は他の図においても同様である。 <First Embodiment>
<Outline of the device>
FIG. 1 is an external view of a load port 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing an internal mechanism and a usage example of the load port 1. In each figure, arrows X and Y indicate horizontal directions orthogonal to each other, and arrows Z indicate vertical directions. Further, in the X direction, PP indicates the side of the port plate 2. The meanings of these arrows are the same in other figures.

ロードポート１は、ＦＯＵＰ等の容器５を開閉する装置である。容器５は、半導体ウエハ等の基板Ｗを出し入れする開口部５０ａを側部に有する箱状の容器本体５０と、開口部５０ａに着脱自在に装着され、開口部５０ａを塞ぐ蓋（ドア）５１と、を有する。なお、図２は、ロードポート１により蓋５１を取り外し、容器５内の基板Ｗに基板搬送ロボット６がアクセス可能な状態（開放状態）を示している。 The load port 1 is a device that opens and closes a container 5 such as a FOUP. The container 5 includes a box-shaped container body 50 having an opening 50a on the side for inserting and removing a substrate W such as a semiconductor wafer, and a lid (door) 51 that is detachably attached to the opening 50a and closes the opening 50a. Has. Note that FIG. 2 shows a state in which the lid 51 is removed from the load port 1 and the board transfer robot 6 can access the board W in the container 5 (open state).

ロードポート１は、ポートプレート２と、容器５が載置される載置台３と、載置台３を支持する支持部４とを含む。ポートプレート２はＺ方向に延びる板状体である。ポートプレート２は、取り外された蓋５１がＸ方向に通過可能な開口部２ａを含む。ロードポート１は、基板Ｗの搬送を行う基板搬送ロボット６を内部に有する基板搬送装置ＰＡに少なくとも１台取り付けられる。基板搬送ロボット６はロードポート１上の容器５に対して、基板Ｗの搬出および搬入を行う。基板搬送ロボット６は、基板Ｗを保持するエンドエフェクタ６０と、エンドエフェクタ６０を少なくとも進退移動自在に保持する多関節アーム６１と、多関節アーム６１の進退移動、旋回および昇降を行う駆動ユニット６２とを含む。前述した開放状態にあるとき、基板搬送ロボット６を基板搬送装置（基板搬送モジュール）ＰＡと連通する容器本体５０の内部に進入させることで、基板Ｗの搬出および搬入が行われる。 The load port 1 includes a port plate 2, a mounting table 3 on which the container 5 is mounted, and a support portion 4 for supporting the mounting table 3. The port plate 2 is a plate-like body extending in the Z direction. The port plate 2 includes an opening 2a through which the removed lid 51 can pass in the X direction. At least one load port 1 is attached to a substrate transfer device PA having a substrate transfer robot 6 for transporting the substrate W inside. The board transfer robot 6 carries in and out the board W with respect to the container 5 on the load port 1. The substrate transfer robot 6 includes an end effector 60 that holds the substrate W, an articulated arm 61 that holds the end effector 60 at least so as to be able to move forward and backward, and a drive unit 62 that moves, turns, and moves up and down the articulated arm 61. including. When the substrate transfer robot 6 is in the open state described above, the substrate W is carried in and out by allowing the substrate transfer robot 6 to enter the inside of the container body 50 that communicates with the substrate transfer device (board transfer module) PA.

載置台３は、容器５が載置されるドックプレート３０を備える。ドックプレート３０には、容器５を位置決めしつつ支持する複数の位置決めピン３１や、容器５の在席を検知するための複数の検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ、３２Ｒが設けられている。載置台３には、ドックプレート３０をＸ方向に変位させる駆動機構３４が内蔵されている。また、載置台３の前面には操作パネル３３が設けられている。作業者は操作パネル３３を介して、ロードポート１の設定や動作指示を行うことができる。 The mounting table 3 includes a dock plate 30 on which the container 5 is mounted. The dock plate 30 is provided with a plurality of positioning pins 31 that support the container 5 while positioning it, and a plurality of detection pins 32F, 32L, 32R for detecting the presence of the container 5. The mounting table 3 has a built-in drive mechanism 34 that displaces the dock plate 30 in the X direction. An operation panel 33 is provided on the front surface of the mounting table 3. The operator can set the load port 1 and give an operation instruction via the operation panel 33.

支持部４は直方体形状の中空体である。支持部４には駆動機構４０が設けられている。駆動機構４０はポートドア４１の開閉動作を行う。ポートドア４１は開口部２ａを開閉すると共に容器５の蓋５１を保持して容器５の開閉動作を行う。駆動機構４０は、蓋５１を保持するポートドア４１を蓋５１が開口部５０ａを塞ぐ閉位置、蓋５１が開口部２ａを通り抜けて後退した後退位置、および蓋５１が開口部２ａの下縁よりも下方に退避した開位置（図２の開放状態の位置）との間で移動させる機構を備える。ポートドア４１は例えば吸着機構を備え、これによりポートドア４１は蓋５１を吸着保持することができる。また、ポートドア４１には蓋５１が備えるロック機構の開閉を操作する操作機構（ラッチキー）が設けられ、これにより容器本体５０と蓋５１との取り外し、取り付けが可能である。 The support portion 4 is a rectangular parallelepiped hollow body. The support portion 4 is provided with a drive mechanism 40. The drive mechanism 40 opens and closes the port door 41. The port door 41 opens and closes the opening 2a and holds the lid 51 of the container 5 to open and close the container 5. The drive mechanism 40 has a closed position in which the lid 51 closes the opening 50a of the port door 41 holding the lid 51, a retracted position in which the lid 51 passes through the opening 2a and retracts, and a lid 51 from the lower edge of the opening 2a. Is also provided with a mechanism for moving the lid downward from the open position (the open position in FIG. 2). The port door 41 is provided with, for example, a suction mechanism, whereby the port door 41 can suck and hold the lid 51. Further, the port door 41 is provided with an operation mechanism (latch key) for operating the opening / closing of the lock mechanism provided on the lid 51, whereby the container body 50 and the lid 51 can be removed and attached.

駆動機構４０は以下の構成を備えている。すなわち、ポートドア４１はＺ方向に延びる連結部材４２に支持されている。連結部材４２は、ステージ部材４３にＸ方向にスライド自在に支持されており、ボールねじや電動シリンダ等のアクチュエータ４４によってＸ方向に移動される。また、ステージ部材４３には、上下方向に延びるボールねじ軸４５と係合するボールナット４８が固定されている。ボールねじ軸４５をモータ４７で回転させることで、ポートドア４１、連結部材４２及びステージ部材４３が一体的に昇降する。 The drive mechanism 40 has the following configuration. That is, the port door 41 is supported by a connecting member 42 extending in the Z direction. The connecting member 42 is slidably supported in the X direction by the stage member 43, and is moved in the X direction by an actuator 44 such as a ball screw or an electric cylinder. Further, a ball nut 48 that engages with a ball screw shaft 45 extending in the vertical direction is fixed to the stage member 43. By rotating the ball screw shaft 45 with the motor 47, the port door 41, the connecting member 42, and the stage member 43 are integrally raised and lowered.

以上の構成により、駆動機構４０は、ポートドア４１をＸ方向とＺ方向に移動させることができ、これにより蓋５１は、閉位置、後退位置および開位置との間で移動される。なお、ポートドア４１を移動させる機構はこれに限られず、種々の機構を採用可能である。 With the above configuration, the drive mechanism 40 can move the port door 41 in the X and Z directions, whereby the lid 51 is moved between the closed position, the retracted position, and the open position. The mechanism for moving the port door 41 is not limited to this, and various mechanisms can be adopted.

ロードポート１には、制御部１ａが設けられている。制御部１ａは、例えば、ＣＰＵに代表される処理部、ＲＡＭ、ＲＯＭ等の記憶部、外部デバイスと処理部との間の入出力インターフェース、通信回線１ｂを介してホストコンピュータ等のコンピュータや周辺装置（基板搬送装置ＰＡ、基板搬送ロボット６等）との通信を行う通信インターフェースを含む。駆動機構３４、アクチュエータ４４、モータ４７は制御部１ａにより制御され、また、センサ群１ｃに含まれる各センサの検知結果や、作業者の操作パネル３３を介した操作が制御部１ａにおいて認識される。センサ群１ｃには、後述するセンサ１０ａ、１１ａ、９０等が含まれる。 The load port 1 is provided with a control unit 1a. The control unit 1a is, for example, a processing unit represented by a CPU, a storage unit such as a RAM or ROM, an input / output interface between an external device and the processing unit, a computer such as a host computer, or a peripheral device via a communication line 1b. Includes a communication interface for communicating with (board transfer device PA, board transfer robot 6, etc.). The drive mechanism 34, the actuator 44, and the motor 47 are controlled by the control unit 1a, and the detection result of each sensor included in the sensor group 1c and the operation via the operator's operation panel 33 are recognized by the control unit 1a. .. The sensor group 1c includes sensors 10a, 11a, 90 and the like, which will be described later.

＜ドックプレートの変位態様＞
図３（Ａ）及び図３（Ｂ）はドックプレート３０の変位態様を示す図であり、ロードポート１の平面図である。本実施形態では、駆動機構３４により、ドックプレート３０のＸ方向の移動が可能である。 <Displacement mode of dock plate>
3A and 3B are views showing the displacement mode of the dock plate 30, and are a plan view of the load port 1. In the present embodiment, the drive mechanism 34 allows the dock plate 30 to move in the X direction.

図３（Ａ）はドックプレート３０がポートプレート２に対してＸ方向ＰＰ側に最も近接した位置（以下、ドック位置ともいう。）にある状態を示している。容器５の開閉はこのドック位置において行う。図３（Ｂ）はドックプレート３０がポートプレート２から離間した位置（以下、受渡位置ともいう。）にある状態を示している。ドックプレート３０への容器５の搬入、ドックプレート３０からの容器５の搬出は、この受渡位置で行う。 FIG. 3A shows a state in which the dock plate 30 is closest to the port plate 2 on the PP side in the X direction (hereinafter, also referred to as a dock position). The container 5 is opened and closed at this dock position. FIG. 3B shows a state in which the dock plate 30 is at a position separated from the port plate 2 (hereinafter, also referred to as a delivery position). The container 5 is carried into the dock plate 30 and the container 5 is carried out from the dock plate 30 at this delivery position.

＜移動機構の構造＞
駆動機構３４の構造について説明する。図４は、ドックプレート３０及び駆動機構３４の平面図である。図５はドックプレート３０を透過して図示した駆動機構３４の平面図である。図６は駆動機構３４の右側面図である。いずれも、ドックプレート３０がドック位置に位置している状態を示している。 <Structure of moving mechanism>
The structure of the drive mechanism 34 will be described. FIG. 4 is a plan view of the dock plate 30 and the drive mechanism 34. FIG. 5 is a plan view of the drive mechanism 34 which is shown through the dock plate 30. FIG. 6 is a right side view of the drive mechanism 34. In each case, the dock plate 30 is located at the dock position.

駆動機構３４は、ベース部７及び移動機構８を備える。ベース部７は駆動機構３４の全体の支持体であり、本実施形態の場合、板状の部材である。 The drive mechanism 34 includes a base portion 7 and a moving mechanism 8. The base portion 7 is the entire support of the drive mechanism 34, and in the case of the present embodiment, it is a plate-shaped member.

移動機構８は、ベース部７とドックプレート３０との間に配置されている。移動機構８は、レール部材８０と、レール部材８０上を移動するスライダ８１とを含む。レール部材８０は、ベース部７のＹ方向の中央部においてＸ方向に延設され、ベース部７に固定されている。スライダ８１は、複数の支柱８１ｂを介してドックプレート３０を支持し、ドックプレート３０と共に移動する。スライダ８１の移動範囲は、ドックプレート３０のＸ方向の移動範囲であるドック位置と受渡位置との範囲に対応している。スライダ８１は、レール部材８０と係合し、レール部材８０に沿ってスライドする複数の係合部材８１ａ上に固定されている。 The moving mechanism 8 is arranged between the base portion 7 and the dock plate 30. The moving mechanism 8 includes a rail member 80 and a slider 81 that moves on the rail member 80. The rail member 80 extends in the X direction at the central portion of the base portion 7 in the Y direction and is fixed to the base portion 7. The slider 81 supports the dock plate 30 via the plurality of columns 81b and moves together with the dock plate 30. The moving range of the slider 81 corresponds to the range between the dock position and the delivery position, which is the moving range of the dock plate 30 in the X direction. The slider 81 engages with the rail member 80 and is fixed on a plurality of engaging members 81a that slide along the rail member 80.

移動機構８は駆動機構８２を含む。駆動機構８２はスライダ８１をＸ方向に移動させる機構である。駆動機構８２は、駆動ユニット８２０を含む。駆動ユニット８２０は、その駆動源としてモータ８２０ａを含み、モータ８２０ａの駆動力は駆動ユニット８２０内の伝達機構（歯車機構、ベルト伝動機構等）を介して出力軸８２０ｂに伝達される。出力軸８２０ｂはＺ方向の軸回りに回転する。出力軸８２０ｂにはアーム部材８２１の一方端部が固定されている。アーム部材８２１の他方端部にはカムフォロワ８２２が設けられている。出力軸８２０ｂの回転によりアーム部材８２１はＸ−Ｙ平面上で回動する。 The moving mechanism 8 includes a driving mechanism 82. The drive mechanism 82 is a mechanism for moving the slider 81 in the X direction. The drive mechanism 82 includes a drive unit 820. The drive unit 820 includes a motor 820a as a drive source thereof, and the driving force of the motor 820a is transmitted to the output shaft 820b via a transmission mechanism (gear mechanism, belt transmission mechanism, etc.) in the drive unit 820. The output shaft 820b rotates about an axis in the Z direction. One end of the arm member 821 is fixed to the output shaft 820b. A cam follower 822 is provided at the other end of the arm member 821. The rotation of the output shaft 820b causes the arm member 821 to rotate on the XY plane.

移動機構８はカムプレート８２３を含む。カムプレート８２３は、レール部材８０と係合し、レール部材８０に沿ってスライドする係合部材８２３ａ上に固定されている。カムプレート８２３はカム溝８２３ｂを有する。カム溝８２３ｂは、Ｙ方向に延設された貫通穴である。カム溝８２３ｂにはカムフォロワ８２２が係合する。アーム部材８２１の回動により、カムフォロワ８２２が出力軸８２０ｂを中心とした円弧軌道上を移動すると、カムプレート８２３がＸ方向に移動する。 The moving mechanism 8 includes a cam plate 823. The cam plate 823 engages with the rail member 80 and is fixed on the engaging member 823a that slides along the rail member 80. The cam plate 823 has a cam groove 823b. The cam groove 823b is a through hole extending in the Y direction. A cam follower 822 engages with the cam groove 823b. When the cam follower 822 moves on the arc trajectory centered on the output shaft 820b due to the rotation of the arm member 821, the cam plate 823 moves in the X direction.

カムプレート８２３は連結部８２３ｃを有し、スライダ８１は連結部８１ｃを有する。連結部８２３ｃ及び８１ｃは、カムプレート８２３とスライダ８１とを連結する部分である。カムプレート８２３とスライダ８１とは剛結合されていてもよいが、本実施形態の場合、カムプレート８２３とスライダ８１との間に弾性部材８２６が介在しており、弾性部材８２６が両者の駆動力伝達を緩衝する。すなわち、カムプレート８２３とスライダ８１とはＸ方向に相対変位が可能となっている。これにより、例えばカムプレート８２３が、ドック位置に向かって移動される際、ポートプレート２と容器５との間に異物が挟み込まれたとしても、弾性部材が弾性変形することにより、作業者が負傷をしない程度の所定の値以下の荷重しか掛からない。また、このとき、容器５、カムプレート８２３及びスライダ８１は、これ以上、ポートプレート２に近づく方向に変位することができない。その結果、作業の安全を確保することができる。
弾性部材８２６はゴム等でもよいが、本実施形態ではコイルスプリングである。連結部８２３ｃ及び８１ｃ並びに弾性部材８２６には、ロッド８２４が挿通している。連結部８２３ｃ及び８１ｃはＺ方向に起立した垂直壁であり、ロッド８２４が挿通する穴を有している。ロッド８２４の各端部にはストッパ８２５が設けられている。弾性部材８２６は連結部８２３ｃ及び８１ｃが離れる方向に付勢力を発揮し、また、連結部８２３ｃ及び８１ｃは２つのストッパ８２５の範囲内で近接、離間が可能である。つまり、カムプレート８２３とスライダ８１は２つのストッパ８２５の範囲内で近接、離間が可能であるもの、弾性部材８２６の付勢で、通常時は２つのストッパ８２５の距離だけ離間し、何らかの外的負荷が作用したときに近接可能となっている。 The cam plate 823 has a connecting portion 823c, and the slider 81 has a connecting portion 81c. The connecting portions 823c and 81c are portions that connect the cam plate 823 and the slider 81. The cam plate 823 and the slider 81 may be rigidly coupled, but in the case of the present embodiment, the elastic member 826 is interposed between the cam plate 823 and the slider 81, and the elastic member 826 is the driving force of both. Buffer transmission. That is, the cam plate 823 and the slider 81 can be relatively displaced in the X direction. As a result, for example, when the cam plate 823 is moved toward the dock position, even if a foreign substance is caught between the port plate 2 and the container 5, the elastic member is elastically deformed and the operator is injured. Only a load less than or equal to a predetermined value is applied. Further, at this time, the container 5, the cam plate 823, and the slider 81 cannot be further displaced in the direction closer to the port plate 2. As a result, work safety can be ensured.
The elastic member 826 may be made of rubber or the like, but in the present embodiment, it is a coil spring. A rod 824 is inserted through the connecting portions 823c and 81c and the elastic member 826. The connecting portions 823c and 81c are vertical walls that stand up in the Z direction and have holes through which the rod 824 is inserted. Stoppers 825 are provided at each end of the rod 824. The elastic member 826 exerts an urging force in the direction in which the connecting portions 823c and 81c are separated from each other, and the connecting portions 823c and 81c can be brought close to each other and separated from each other within the range of the two stoppers 825. That is, the cam plate 823 and the slider 81 can be approached and separated within the range of the two stoppers 825, and the elastic member 826 is urged to separate the cam plate 823 and the slider 81 by the distance between the two stoppers 825. It is possible to approach when a load is applied.

ドックプレート３０には、３つの検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ及び３２Ｒが設けられている。これらの検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ及び３２Ｒは、容器５がドックプレート３０上に在席しているか否か（載置されているか否か）を検知するための在席センサである。容器５がドックプレート３０に適切に載置されると、全ての検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ及び３２Ｒが押し下げられる。検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ及び３２Ｒは、ドックプレート３０の平面視で（図４）、鋭角三角形の頂点に位置するように配置されており、容器５が不適切な状態で傾いて載置された場合や、位置がずれて載置された場合には、検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ及び３２Ｒの内の少なくとも一つの検知ピンは、後述するセンサによって検知される位置まで押し下げられることはない。 The dock plate 30 is provided with three detection pins 32F, 32L and 32R. These detection pins 32F, 32L, and 32R are presence sensors for detecting whether or not the container 5 is present on the dock plate 30 (whether or not it is placed). When the container 5 is properly placed on the dock plate 30, all detection pins 32F, 32L and 32R are pushed down. The detection pins 32F, 32L, and 32R are arranged so as to be located at the vertices of an acute triangle in the plan view of the dock plate 30 (FIG. 4), and when the container 5 is placed at an inappropriate position. Or, when the detection pins are misaligned, at least one of the detection pins 32F, 32L, and 32R is not pushed down to the position detected by the sensor described later.

ドックプレート３０の下面には、検知ピン３２Ｆの押し下げを検知するセンサ１０ａが設けられている。検知ピン３２Ｆ及びセンサ１０ａは容器５が載置されているか否かを検知する検知ユニット１０を構成する。検知ユニット１０の詳細は図７（Ａ）〜図７（Ｃ）を参照して後述する。ドックプレート３０の下面には、検知ピン３２Ｌの押し下げを検知するセンサ１１ａが設けられている。検知ピン３２Ｌ及びセンサ１１ａは容器５が載置されているか否かを検知する検知ユニット１１を構成する。検知ユニット１１の構成は検知ユニット１０と同様である。検知ピン３２Ｒの押し下げは、検知ユニット９により検知される。検知ユニット９はブラケット９ａによりベース部７に固定されている。検知ユニット９の詳細は図９（Ａ）〜図１０（Ｄ）を参照して説明する。 A sensor 10a for detecting the push-down of the detection pin 32F is provided on the lower surface of the dock plate 30. The detection pin 32F and the sensor 10a constitute a detection unit 10 that detects whether or not the container 5 is mounted. Details of the detection unit 10 will be described later with reference to FIGS. 7 (A) to 7 (C). A sensor 11a for detecting the push-down of the detection pin 32L is provided on the lower surface of the dock plate 30. The detection pin 32L and the sensor 11a constitute a detection unit 11 that detects whether or not the container 5 is mounted. The configuration of the detection unit 11 is the same as that of the detection unit 10. Pushing down of the detection pin 32R is detected by the detection unit 9. The detection unit 9 is fixed to the base portion 7 by the bracket 9a. Details of the detection unit 9 will be described with reference to FIGS. 9 (A) to 10 (D).

図７（Ａ）〜図７（Ｃ）を参照して検知ユニット１０の構成について説明する。図７（Ａ）は検知ピン３２Ｆの近傍におけるドックプレート３０の下面図であり、図７（Ｂ）は図７（Ａ）のＡ−Ａ線断面図である。ドックプレート３０の下面にはＬ字型の凹部３６が形成されており、検知ピン３２Ｆは凹部３６においてドックプレート３０を貫通している。凹部３６には、Ｌ字型の板バネ３７が配置されており、板バネ３７はその一端部のみがボルト３８でドックプレート３０に固定されている。つまり、板バネ３７は片持ち支持されている。検知ピン３２Ｆの下端は板バネ３７の途中部位（本実施形態では板バネ３７の屈曲部）に当接している。板バネ３７は、検知ピン３２Ｆを上方へ付勢するリターンスプリングとして機能する。 The configuration of the detection unit 10 will be described with reference to FIGS. 7 (A) to 7 (C). 7 (A) is a bottom view of the dock plate 30 in the vicinity of the detection pin 32F, and FIG. 7 (B) is a sectional view taken along line AA of FIG. 7 (A). An L-shaped recess 36 is formed on the lower surface of the dock plate 30, and the detection pin 32F penetrates the dock plate 30 in the recess 36. An L-shaped leaf spring 37 is arranged in the recess 36, and only one end of the leaf spring 37 is fixed to the dock plate 30 with a bolt 38. That is, the leaf spring 37 is cantilevered. The lower end of the detection pin 32F is in contact with an intermediate portion of the leaf spring 37 (in the present embodiment, a bent portion of the leaf spring 37). The leaf spring 37 functions as a return spring that urges the detection pin 32F upward.

板バネ３７の他端部は、曲折されてセンサドグ３７ａが形成されている。センサ１０ａはフォトインタラプタであり、センサドグ３７ａが受光素子と発光素子との間に介在することを検知する。なお、センサ１０ａはフォトインタラプタ以外のセンサ（例えば、レバー型のアクチュエータを備えたマイクロスイッチセンサ）も採用可能であり、また、板バネ３７を用いない構造も採用可能であり、フォトインタラプタとマイクロスイッチセンサとを併用してもよい。 The other end of the leaf spring 37 is bent to form a sensor dog 37a. The sensor 10a is a photo interrupter, and detects that the sensor dog 37a is interposed between the light receiving element and the light emitting element. As the sensor 10a, a sensor other than the photo interrupter (for example, a micro switch sensor provided with a lever type actuator) can be adopted, and a structure that does not use the leaf spring 37 can also be adopted, and the photo interrupter and the micro switch can be adopted. It may be used in combination with a sensor.

図７（Ｃ）は検知ピン３２Ｆが押し下げられた状態を示している。容器５がドックプレート３０上に適切に載置されると、図７（Ｃ）に示すように検知ピン３２Ｆは容器５の重量によって押し下げられる。これにより、板バネ３７も下方に押し下げられ、センサドグ３７ａがセンサ１０ａの受光素子と発光素子との間に進入し、センサ１０ａがこれを検知する。容器５がドックプレート３０から搬出されると、板バネ３７の弾性付勢力により検知ピン３２Ｆが図７（Ｂ）の位置に戻る。 FIG. 7C shows a state in which the detection pin 32F is pushed down. When the container 5 is properly placed on the dock plate 30, the detection pin 32F is pushed down by the weight of the container 5 as shown in FIG. 7 (C). As a result, the leaf spring 37 is also pushed downward, the sensor dog 37a enters between the light receiving element and the light emitting element of the sensor 10a, and the sensor 10a detects this. When the container 5 is carried out from the dock plate 30, the detection pin 32F returns to the position shown in FIG. 7B due to the elastic urging force of the leaf spring 37.

図８（Ａ）を参照して検知ユニット９について説明する。検知ユニット９は、センサ９０と、可動部材９１と、を含み、ロードポート１や基板搬送ロボット６の意図しない動作を未然に防ぐ安全機構或いはセーフティコンポーネントとして機能する。 The detection unit 9 will be described with reference to FIG. 8A. The detection unit 9 includes a sensor 90 and a movable member 91, and functions as a safety mechanism or a safety component that prevents unintended operations of the load port 1 and the board transfer robot 6.

センサ９０は本実施形態の場合、回動式のリミットスイッチである。センサ９０の内部には、マイクロスイッチが内蔵されており、マイクロスイッチのスイッチ機構により、電気回路の開閉（電気的接点のＯＮとＯＦＦ）が行われる。可動部材９１に外力が加わり入力軸９０ａが所定のＹ方向と平行な回転中心線Ｙ１回りに所定角度だけ回転すると、入力軸９０ａに形成されたカム機構とカム機構に当接しＸ方向に可動可能なプランジャによってマイクロスイッチが付勢されＯＮとなる。センサ９０の内部には、プランジャを介して入力軸９０ａをＯＦＦの位置へ付勢する弾性部材が内蔵されているので、可動部材９１に加わる外力が取り除かれると、初期位置であるＯＦＦの位置に復帰する。 In the case of this embodiment, the sensor 90 is a rotary limit switch. A micro switch is built in the sensor 90, and the switch mechanism of the micro switch opens and closes an electric circuit (turns on and off electrical contacts). When an external force is applied to the movable member 91 and the input shaft 90a rotates around the rotation center line Y1 parallel to the predetermined Y direction by a predetermined angle, it comes into contact with the cam mechanism and the cam mechanism formed on the input shaft 90a and can move in the X direction. The micro switch is urged and turned on by a new plunger. Since an elastic member for urging the input shaft 90a to the OFF position via the plunger is built in the sensor 90, when the external force applied to the movable member 91 is removed, the sensor 90 is moved to the OFF position which is the initial position. Return.

可動部材９１は、その一端部が入力軸９０ａに固定され、回転中心線Ｙ１回りに回動可能なレバー部材であり、その他端部に回転自在に設けられたローラ部９１ａを有している。可動部材９１に外力が加わり、可動部材９１がＸ方向におけるＰＰ側に所定量以上変位（傾倒）すると、センサ９０がＯＮとなる。ローラ部９１ａのＹ方向における位置が検知ピン３２ＲのＹ方向における位置と同じとなるように、検知ユニット９がベース部７等に取り付けられる。なお、回動部材９１としては、ローラ部９１ａが無い構成も採用可能である。 The movable member 91 is a lever member whose one end is fixed to the input shaft 90a and can rotate around the rotation center line Y1, and has a roller portion 91a rotatably provided at the other end. When an external force is applied to the movable member 91 and the movable member 91 is displaced (tilted) by a predetermined amount or more toward the PP side in the X direction, the sensor 90 is turned on. The detection unit 9 is attached to the base portion 7 or the like so that the position of the roller portion 91a in the Y direction is the same as the position of the detection pin 32R in the Y direction. As the rotating member 91, a configuration without the roller portion 91a can also be adopted.

図８（Ｂ）は検知ピン３２Ｒの支持構造を示す断面図である。検知ピン３２Ｒは、他の検知ピン３２Ｆ、３２Ｌとは異なり、軸方向の長さが長尺のピンである。ドックプレート３０には、検知ピン３２Ｒを支持する筒状の支持部３５が固定されている。支持部３５の内部空間３５ａには弾性部材３５ｂが配置されている。本実施形態の場合、弾性部材３５ｂは検知ピン３２Ｒに挿通されるコイルばねである。検知ピン３２Ｒはドックプレート３０及び支持部３５を貫通しており、また、検知ピン３２Ｒには、ストッパ３２ａが固定されている。ストッパ３２ａは、弾性部材３５ｂによって常時上方向に付勢される。 FIG. 8B is a cross-sectional view showing a support structure of the detection pin 32R. Unlike the other detection pins 32F and 32L, the detection pin 32R is a pin having a long axial length. A tubular support portion 35 that supports the detection pin 32R is fixed to the dock plate 30. An elastic member 35b is arranged in the internal space 35a of the support portion 35. In the case of this embodiment, the elastic member 35b is a coil spring inserted through the detection pin 32R. The detection pin 32R penetrates the dock plate 30 and the support portion 35, and a stopper 32a is fixed to the detection pin 32R. The stopper 32a is always urged upward by the elastic member 35b.

図９（Ａ）〜図９（Ｄ）は、検知ピン３２Ｒ及び検知ユニット９の動作説明図である。図９（Ｄ）にあるように、ローラ部９１ａは、押し下げられた状態の検知ピン３２Ｒと当接するように配置されている。本実施形態の場合、図９（Ｂ）にあるようにローラ部９１ａは、押し下げられていない状態の検知ピン３２Ｒとも当接するように配置されているが、当接部位が異なるため、可動部材９１の変位量（傾倒角度）が異なっている。 9 (A) to 9 (D) are operation explanatory views of the detection pin 32R and the detection unit 9. As shown in FIG. 9D, the roller portion 91a is arranged so as to come into contact with the detection pin 32R in the pressed state. In the case of the present embodiment, as shown in FIG. 9B, the roller portion 91a is arranged so as to come into contact with the detection pin 32R in a state where it is not pushed down, but since the contact portion is different, the movable member 91 The amount of displacement (tilt angle) is different.

図９（Ａ）はドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。ドックプレート３０上に容器５は在席しておらず（載置されておらず）、検知ピン３２Ｒは上記の弾性部材３５ｂの付勢により初期位置に位置している。可動部材９１は初期位置にある。図９（Ｂ）は図９（Ａ）の状態からドックプレート３０がドック位置に移動した状態を示している。ドックプレート３０上に容器５は載置されておらず、検知ピン３２Ｒは上記の弾性部材３５ｂの付勢により初期位置に位置したままである。検知ピン３２Ｒとローラ部９１ａとの当接によって可動部材９１は初期位置からＸ方向でポートプレート２の側に僅かに傾倒するが、検知ピン３２Ｒの下端はローラ部９１ａの中心よりも上側に、浅く当接するだけであることから、可動部材９１は大きく傾くことは無く、傾倒角度θ１は小さい。このとき、可動部材９１のセンサ９０はＯＮとならず、ＯＦＦのままである。 FIG. 9A shows a state in which the dock plate 30 is located at the delivery position. The container 5 is not present (not mounted) on the dock plate 30, and the detection pin 32R is located at the initial position due to the urging of the elastic member 35b. The movable member 91 is in the initial position. FIG. 9B shows a state in which the dock plate 30 has moved to the dock position from the state shown in FIG. 9A. The container 5 is not placed on the dock plate 30, and the detection pin 32R remains in the initial position due to the urging of the elastic member 35b. The movable member 91 is slightly tilted toward the port plate 2 in the X direction from the initial position due to the contact between the detection pin 32R and the roller portion 91a, but the lower end of the detection pin 32R is above the center of the roller portion 91a. Since the movable member 91 only abuts shallowly, the movable member 91 does not tilt significantly, and the tilt angle θ1 is small. At this time, the sensor 90 of the movable member 91 is not turned on, but remains turned off.

図９（Ｃ）はドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。図９（Ｃ）はドックプレート３０上に容器５が適切に在席された状態が想定されており、容器５の重量によって検知ピン３２Ｒが押し下げられ、支持部３５から下方への突出量が長くなっている。図９（Ｄ）は図９（Ｃ）の状態からドックプレート３０がドック位置に移動した状態を示している。検知ピン３２Ｒとローラ部９１ａとの当接によって可動部材９１は初期位置からＸ方向でポートプレート２の側に傾倒している。検知ピン３２Ｒはローラ部９１ａの中心と同じ高さでローラ部９１ａに深く当接するため、可動部材９１の傾倒角度θ２（＞θ１）は大きくなる。このとき、可動部材９１のセンサ９０がＯＮとなる。 FIG. 9C shows a state in which the dock plate 30 is located at the delivery position. In FIG. 9C, it is assumed that the container 5 is properly seated on the dock plate 30, the detection pin 32R is pushed down by the weight of the container 5, and the amount of protrusion downward from the support portion 35 is long. It has become. FIG. 9D shows a state in which the dock plate 30 has moved to the dock position from the state shown in FIG. 9C. The movable member 91 is tilted toward the port plate 2 in the X direction from the initial position due to the contact between the detection pin 32R and the roller portion 91a. Since the detection pin 32R abuts deeply on the roller portion 91a at the same height as the center of the roller portion 91a, the tilt angle θ2 (> θ1) of the movable member 91 becomes large. At this time, the sensor 90 of the movable member 91 is turned on.

以上の通り、本実施形態の検知ユニット９によれば、容器５がドックプレート３０に在席されているか（適切に載置されているか）否かだけではなく、容器５がドックプレート３０に在席され、かつ、ドックプレート３０がドック位置に位置しているか否かを検知することができる。２つの状態を一つの検知ユニット９で検知することができるので、ドックプレート３０への容器５の載置とドックプレート３０の位置とを比較的低コストで検知することができる。 As described above, according to the detection unit 9 of the present embodiment, not only whether the container 5 is seated on the dock plate 30 (whether it is properly placed), but also the container 5 is present on the dock plate 30. It is possible to detect whether or not the dock plate 30 is seated and is located at the dock position. Since the two states can be detected by one detection unit 9, the placement of the container 5 on the dock plate 30 and the position of the dock plate 30 can be detected at a relatively low cost.

検知ユニット９は検知ピン３２Ｒに対応して配置されている。検知ピン３２Ｒは、３つの検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ、３２Ｒの中で、ポートプレート２の側に配置され、かつ、ドックプレート３０の移動方向と交差するＹ方向に離間した２つの検知ピン３２Ｌ、３２Ｒのうちの一つである。検知ピン３２Ｒは容器が傾いてドックプレート３０に搭載されている場合に、これを検知し易い位置に配置されているため、検知ピン３２Ｒを検知ユニット９で検知することで、容器５の載置検知の信頼性を高めることが可能である。 The detection unit 9 is arranged corresponding to the detection pin 32R. Of the three detection pins 32F, 32L, 32R, the detection pins 32R are arranged on the side of the port plate 2 and are separated from each other in the Y direction intersecting the moving direction of the dock plate 30. It is one of them. Since the detection pin 32R is arranged at a position where it is easy to detect when the container is tilted and mounted on the dock plate 30, the detection pin 32R is detected by the detection unit 9 to mount the container 5. It is possible to increase the reliability of detection.

また、ドックプレート３０のＹ方向の一端側に偏った位置に配置されている検知ピン３２Ｒを、検知ユニット９で検知することで、検知ユニット９がベース部７上のＹ方向の一端側に偏った位置に配置することができる。ベース部７のＹ方向の一端側は比較的他の機構が存在しない空きのスペースであり、検知ユニット９を空きのスペースに配置することができる。無論、検知ユニット９は検知ピン３２Ｌに対応して配置してもよく、検知ピン３２Ｆに対応して配置してもよい。 Further, by detecting the detection pin 32R arranged at a position biased toward one end side in the Y direction of the dock plate 30 by the detection unit 9, the detection unit 9 is biased toward one end side in the Y direction on the base portion 7. Can be placed in a different position. One end side of the base portion 7 in the Y direction is an empty space in which no other mechanism exists, and the detection unit 9 can be arranged in the empty space. Of course, the detection unit 9 may be arranged corresponding to the detection pin 32L, or may be arranged corresponding to the detection pin 32F.

なお、本実施形態では、図９（Ｂ）の状態ではセンサ９０がＯＮとならない構成としたが、センサ９０として、ＯＮ接点を複数備えたセンサであって、図９（Ｂ）の状態と図９（Ｄ）の状態とで、それぞれ区別してＯＮとなるセンサを使用してもよい。図９（Ｂ）の状態において、容器５がドックプレート３０に載置されていない状態で、ドックプレート３０がドック位置に移動されたことを制御部１ａが認識することが可能となる。 In the present embodiment, the sensor 90 is not turned on in the state of FIG. 9B, but the sensor 90 is a sensor provided with a plurality of ON contacts, and the state and the figure of FIG. 9B are shown. A sensor that turns ON separately from the state of 9 (D) may be used. In the state of FIG. 9B, the control unit 1a can recognize that the dock plate 30 has been moved to the dock position when the container 5 is not placed on the dock plate 30.

＜制御部の処理例＞
制御部１ａの処理例について説明する。ポートプレート２の開口部２ａが不必要に開状態となると、作業空間Ｓが外部に曝された状態となり、基板搬送ロボット６のエンドエフェクタ６０が外部に突出する等、好ましくない。また、ポートドア４１についても、ポートドア４１の移動中にポートドア４１が外部に曝される状態とすることは、ポートプレート２とポートドア４１の間に異物が挟み込まれる原因となるため、好ましくない。 <Processing example of control unit>
A processing example of the control unit 1a will be described. When the opening 2a of the port plate 2 is unnecessarily opened, the work space S is exposed to the outside, and the end effector 60 of the substrate transfer robot 6 projects to the outside, which is not preferable. Further, regarding the port door 41, it is preferable that the port door 41 is exposed to the outside while the port door 41 is moving because it causes foreign matter to be caught between the port plate 2 and the port door 41. Absent.

本実施形態では、ドックプレート３０に容器５が適切に在席され、かつ、ドックプレート３０がドック位置に位置していることを少なくとも条件として、ポートドア４１を移動させる。これにより、開口部２ａが開放されても、その正面に容器５が存在して塞がれている状態となり、ポートドア４１と作業空間Ｓが外部に曝されることを防止できる。図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）は制御部１ａの処理例を示すフローチャートである。 In the present embodiment, the port door 41 is moved, at least on condition that the container 5 is properly seated on the dock plate 30 and the dock plate 30 is located at the dock position. As a result, even if the opening 2a is opened, the container 5 is present in front of the opening 2a and is closed, so that the port door 41 and the work space S can be prevented from being exposed to the outside. 10 (A) and 10 (B) are flowcharts showing a processing example of the control unit 1a.

図１０（Ａ）の処理例は、例えば、ドックプレート３０に容器５が載置された状態で、ポートドア４１の開動作を行う場合に実行される。開動作の指示は、例えば、ホストコンピュータから通信回線１ｂを介して制御部１ａに送信される。 The processing example of FIG. 10A is executed, for example, when the port door 41 is opened with the container 5 placed on the dock plate 30. The opening operation instruction is transmitted from the host computer to the control unit 1a via the communication line 1b, for example.

Ｓ１ではセンサ群１ｃのうち、所定のセンサの検知結果を取得する。所定のセンサには、少なくとも、センサ１０ａ、１１ａ及び９０が含まれる。Ｓ２ではＳ１で取得した検知結果が所定の検知結果であるか否かを判定する。ここで所定の検知結果であるとは、少なくともセンサ１０ａ、１１ａ及び９０がいずれもＯＮの場合、すなわち、容器５がドックプレート３０に適切に在席され、かつ、ドックプレート３０が受渡位置からドック位置に達していることが条件となる。Ｓ２で所定の検知結果であった場合はＳ３へ進み、所定の検知結果でなかった場合はＳ４へ進む。 In S1, the detection result of a predetermined sensor in the sensor group 1c is acquired. Predetermined sensors include at least sensors 10a, 11a and 90. In S2, it is determined whether or not the detection result acquired in S1 is a predetermined detection result. Here, the predetermined detection result means that at least the sensors 10a, 11a, and 90 are all ON, that is, the container 5 is properly seated on the dock plate 30, and the dock plate 30 is docked from the delivery position. The condition is that the position has been reached. If the detection result is a predetermined value in S2, the process proceeds to S3, and if the detection result is not a predetermined value, the process proceeds to S4.

Ｓ４ではエラー処理を行う。ここでは、例えば、通信回線１ｂを介してホストコンピュータに、動作条件が整っていないことを示す通知を送信する。或いは、作業者に対して音声或いは表示により警告を報知する。 In S4, error processing is performed. Here, for example, a notification indicating that the operating conditions are not met is transmitted to the host computer via the communication line 1b. Alternatively, a warning is notified to the operator by voice or display.

Ｓ３では、ポートドア４１の動作許可信号が制御部１ａに送信される。これにより、ポートドア４１に蓋５１を保持させ、ポートドア４１を開位置へ移動する。Ｓ２において、容器５は、ドックプレート３０に適切に在席され、かつ、ドック位置において開口部２ａが塞さがっていることが確認されているので、動作中のポートドア４１と作業空間Ｓが外部に曝される状態となることがない。すなわち、容器５によって開口部２ａが塞がっているので、開口部２ａにより作業空間Ｓが外部に曝されることはない。 In S3, the operation permission signal of the port door 41 is transmitted to the control unit 1a. As a result, the port door 41 holds the lid 51 and moves the port door 41 to the open position. In S2, it is confirmed that the container 5 is properly seated on the dock plate 30 and the opening 2a is closed at the dock position, so that the operating port door 41 and the work space S are external. You will not be exposed to. That is, since the opening 2a is closed by the container 5, the work space S is not exposed to the outside by the opening 2a.

Ｓ５ではセンサ群１ｃのうち、所定のセンサの検知結果を取得する。これは主に動作確認を目的とする。所定のセンサには、少なくとも、ポートドア４１が開位置に移動しているか否かを検知するセンサが含まれる。また、Ｓ１での検知結果の取得対象に含まれているが、センサ１０ａ、１１ａ及び９０の検知結果を再び含んでもよい。 In S5, the detection result of a predetermined sensor in the sensor group 1c is acquired. This is mainly for the purpose of checking the operation. The predetermined sensor includes at least a sensor that detects whether or not the port door 41 has moved to the open position. Further, although it is included in the acquisition target of the detection result in S1, the detection results of the sensors 10a, 11a and 90 may be included again.

図１０（Ａ）の処理例は、ドックプレート３０に容器５が載置された状態で、ポートドア４１の閉動作を行う場合にも適用される。閉動作の指示は、例えば、ホストコンピュータから通信回線１ｂを介して制御部１ａに送信される。 The processing example of FIG. 10A is also applied to the case where the port door 41 is closed while the container 5 is placed on the dock plate 30. The closing operation instruction is transmitted from the host computer to the control unit 1a via the communication line 1b, for example.

Ｓ１ではセンサ群１ｃのうち、所定のセンサの検知結果を取得する。所定のセンサには、少なくとも、センサ１０ａ、１１ａ及び９０が含まれる。Ｓ２ではＳ１で取得した検知結果が所定の検知結果であるか否かを判定する。ここで所定の検知結果であるとは、少なくともセンサ１０ａ、１１ａ及び９０がいずれもＯＮの場合、すなわち、容器５がドックプレート３０に適切に在席され、かつ、ドックプレート３０が受渡位置からドック位置に達していることが条件となる。Ｓ２で所定の検知結果であった場合はＳ３へ進み、所定の検知結果でなかった場合はＳ４へ進む。 In S1, the detection result of a predetermined sensor in the sensor group 1c is acquired. Predetermined sensors include at least sensors 10a, 11a and 90. In S2, it is determined whether or not the detection result acquired in S1 is a predetermined detection result. Here, the predetermined detection result means that at least the sensors 10a, 11a, and 90 are all ON, that is, the container 5 is properly seated on the dock plate 30, and the dock plate 30 is docked from the delivery position. The condition is that the position has been reached. If the detection result is a predetermined value in S2, the process proceeds to S3, and if the detection result is not a predetermined value, the process proceeds to S4.

Ｓ３では、ポートドア４１の動作許可信号が制御部１ａに送信される。これにより、ポートドア４１を閉位置へ移動する。Ｓ２において、容器５は、ドックプレート３０に適切に在席され、かつ、ドック位置において開口部２ａが塞さがっていることが確認されているので、動作中のポートドア４１と作業空間Ｓが外部に曝される状態となることがない。すなわち、容器５によって開口部２ａが塞がっているので、ポートドア４１が異物を挟むことが防止される。 In S3, the operation permission signal of the port door 41 is transmitted to the control unit 1a. As a result, the port door 41 is moved to the closed position. In S2, it is confirmed that the container 5 is properly seated on the dock plate 30 and the opening 2a is closed at the dock position, so that the operating port door 41 and the work space S are external. You will not be exposed to. That is, since the opening 2a is closed by the container 5, the port door 41 is prevented from pinching foreign matter.

Ｓ５ではセンサ群１ｃのうち、所定のセンサの検知結果を取得する。所定のセンサには、少なくとも、ポートドア４１が閉位置に移動しているか否かを検知するセンサが含まれる。また、Ｓ１での検知結果の取得対象に含まれているが、センサ１０ａ、１１ａ及び９０を再び含んでもよい。 In S5, the detection result of a predetermined sensor in the sensor group 1c is acquired. The predetermined sensor includes at least a sensor that detects whether or not the port door 41 has moved to the closed position. Further, although it is included in the acquisition target of the detection result in S1, the sensors 10a, 11a and 90 may be included again.

図１０（Ｂ）の処理例は、例えば、ドックプレート３０に容器５が載置された状態で、基板搬送ロボット６の動作を行う場合に実行される。動作の指示は、例えば、ホストコンピュータから基板搬送ロボット６の制御部に送信される。 The processing example of FIG. 10B is executed, for example, when the substrate transfer robot 6 is operated with the container 5 placed on the dock plate 30. The operation instruction is transmitted from the host computer to the control unit of the board transfer robot 6, for example.

Ｓ６ではセンサ群１ｃのうち、所定のセンサの検知結果を取得する。所定のセンサには、少なくとも、センサ１０ａ、１１ａ及び９０が含まれる。Ｓ７ではＳ６で取得した検知結果が所定の検知結果であるか否かを判定する。所定の検知結果であった場合はＳ８へ進み、所定の検知結果でなかった場合はＳ９へ進む。Ｓ９ではエラー処理を行う。Ｓ４と同様の処理である。 In S6, the detection result of a predetermined sensor in the sensor group 1c is acquired. Predetermined sensors include at least sensors 10a, 11a and 90. In S7, it is determined whether or not the detection result acquired in S6 is a predetermined detection result. If it is a predetermined detection result, the process proceeds to S8, and if it is not a predetermined detection result, the process proceeds to S9. In S9, error processing is performed. This is the same process as in S4.

Ｓ８では基板搬送ロボット６の制御部又はホストコンピュータへ、通信回線１ｃを介して基板搬送ロボット６の動作許可信号を送信する。これにより、基板搬送ロボット６の動作が開始される。基板搬送ロボット６は、少なくとも、容器５によって開口部２ａが塞がれている状態でしか動作許可がなされないので、周囲の安全性を確保することができる。 In S8, the operation permission signal of the board transfer robot 6 is transmitted to the control unit of the board transfer robot 6 or the host computer via the communication line 1c. As a result, the operation of the substrate transfer robot 6 is started. Since the substrate transfer robot 6 is permitted to operate only when the opening 2a is closed by the container 5, the safety of the surroundings can be ensured.

なお、容器５が載置されていなくても、ポートドア４１が閉位置にあれば、基板搬送ロボット６の動作許可信号を送信してもよい。また、本実施形態の場合、何らかの事情でポートドア４１が開位置に位置している状態で、容器５が載置されていないことが検知された場合、エラー処理を行って基板搬送ロボット６の動作を禁止してもよい。 Even if the container 5 is not placed, if the port door 41 is in the closed position, the operation permission signal of the board transfer robot 6 may be transmitted. Further, in the case of the present embodiment, when it is detected that the container 5 is not placed in the state where the port door 41 is located in the open position for some reason, error processing is performed and the substrate transfer robot 6 is subjected to error processing. The operation may be prohibited.

＜第二実施形態＞
第一実施形態では、図９（Ｂ）の状態において、押し下げられていない検知ピン３２Ｒがローラ部９１ａと当接するように検知ユニット９を配置しているが、当接しないように検知ユニット９を配置してもよい。図１１（Ａ）〜図１１（Ｄ）はその一例を示す、検知ピン３２Ｒ及び検知ユニット９の動作説明図である。 <Second embodiment>
In the first embodiment, in the state of FIG. 9B, the detection unit 9 is arranged so that the detection pin 32R that is not pushed down comes into contact with the roller portion 91a, but the detection unit 9 is arranged so as not to come into contact with the roller portion 91a. It may be arranged. 11 (A) to 11 (D) are operation explanatory views of the detection pin 32R and the detection unit 9 showing an example thereof.

図１１（Ａ）はドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。ドックプレート３０上に容器５は載置されておらず、検知ピン３２Ｒは上記の弾性部材３５ｂの付勢により初期位置に位置している。可動部材９１は初期位置にある。図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）の状態からドックプレート３０がドック位置に移動した状態を示している。ドックプレート３０上に容器５は載置されておらず、検知ピン３２Ｒは上記の弾性部材３５ｂの付勢により初期位置に位置したままである。検知ピン３２Ｒとローラ部９１ａとは当接せず、可動部材９１は初期位置のままである。このとき、センサ９０はＯＮにならず、ＯＦＦのままである。 FIG. 11A shows a state in which the dock plate 30 is located at the delivery position. The container 5 is not placed on the dock plate 30, and the detection pin 32R is located at the initial position due to the urging of the elastic member 35b. The movable member 91 is in the initial position. FIG. 11B shows a state in which the dock plate 30 has moved to the dock position from the state shown in FIG. 11A. The container 5 is not placed on the dock plate 30, and the detection pin 32R remains in the initial position due to the urging of the elastic member 35b. The detection pin 32R and the roller portion 91a do not come into contact with each other, and the movable member 91 remains in the initial position. At this time, the sensor 90 does not turn on and remains off.

図１１（Ｃ）はドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。図１１（Ｃ）はドックプレート３０上に容器５が載置された状態が想定されており、容器５の重量によって検知ピン３２Ｒが押し下げられ、支持部３５から下方への突出量が長くなっている。図１１（Ｄ）は図１１（Ｃ）の状態からドックプレート３０がドック位置に移動した状態を示している。検知ピン３２Ｒがローラ部９１ａに深く当接することによって可動部材９１は初期位置からＸ方向のＰＰ側に、傾倒角度θ３（≒θ２）で傾く。このとき、可動部材９１のセンサ９０がＯＮとなる。 FIG. 11C shows a state in which the dock plate 30 is located at the delivery position. FIG. 11C assumes a state in which the container 5 is placed on the dock plate 30, the detection pin 32R is pushed down by the weight of the container 5, and the amount of protrusion downward from the support portion 35 becomes long. There is. FIG. 11D shows a state in which the dock plate 30 has moved to the dock position from the state shown in FIG. 11C. When the detection pin 32R is deeply in contact with the roller portion 91a, the movable member 91 is tilted from the initial position toward the PP side in the X direction at an inclination angle θ3 (≈θ2). At this time, the sensor 90 of the movable member 91 is turned on.

＜第三実施形態＞
第一実施形態では、センサ９０として回動式のリミットスイッチを用いたが、直動式のリミットスイッチを用いてもよい。図１２（Ａ）〜図１２（Ｄ）はその一例を示す動作説明図である。図示の例では、センサ９０に代わり、センサ１２が用いられている。センサ１２は、可動部材であるプランジャ１２ａのＸ方向の変位を検知する直動式のリミットスイッチである。 <Third Embodiment>
In the first embodiment, a rotary limit switch is used as the sensor 90, but a linear motion limit switch may be used. 12 (A) to 12 (D) are operation explanatory views showing an example thereof. In the illustrated example, the sensor 12 is used instead of the sensor 90. The sensor 12 is a direct-acting limit switch that detects the displacement of the plunger 12a, which is a movable member, in the X direction.

図１２（Ａ）はドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。ドックプレート３０上に容器５は載置されておらず、検知ピン３２Ｒは上記の弾性部材３５ｂの付勢により初期位置に位置している。プランジャ１２ａは初期位置にある。図１２（Ｂ）は図１２（Ａ）の状態からドックプレート３０がドック位置に移動した状態を示している。ドックプレート３０上に容器５は載置されておらず、検知ピン３２Ｒは上記の弾性部材３５ｂの付勢により初期位置に位置したままである。検知ピン３２Ｒとプランジャ１２ａとはＺ方向のずれにより当接せず、プランジャ１２ａは初期位置のままである。センサ１２はＯＮにならない。 FIG. 12A shows a state in which the dock plate 30 is located at the delivery position. The container 5 is not placed on the dock plate 30, and the detection pin 32R is located at the initial position due to the urging of the elastic member 35b. The plunger 12a is in the initial position. FIG. 12B shows a state in which the dock plate 30 has moved to the dock position from the state shown in FIG. 12A. The container 5 is not placed on the dock plate 30, and the detection pin 32R remains in the initial position due to the urging of the elastic member 35b. The detection pin 32R and the plunger 12a do not come into contact with each other due to the deviation in the Z direction, and the plunger 12a remains in the initial position. The sensor 12 does not turn on.

図１２（Ｃ）はドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。図１２（Ｃ）はドックプレート３０上に容器５が載置された状態が想定されており、容器５の重量によって検知ピン３２Ｒが押し下げられ、支持部３５から下方への突出量が長くなっている。図１２（Ｄ）は図１２（Ｃ）の状態からドックプレート３０がドック位置に移動した状態を示している。検知ピン３２Ｒとプランジャ１２ａとの当接によってプランジャ１２ａは初期位置からＸ方向でポートプレート２の側に変位している。センサ１２がＯＮとなり、容器５がドックプレート３０に載置され、かつ、ドックプレート３０がドック位置にあることが検知される。 FIG. 12C shows a state in which the dock plate 30 is located at the delivery position. FIG. 12C assumes a state in which the container 5 is placed on the dock plate 30, the detection pin 32R is pushed down by the weight of the container 5, and the amount of protrusion downward from the support portion 35 becomes long. There is. FIG. 12D shows a state in which the dock plate 30 has moved to the dock position from the state shown in FIG. 12C. Due to the contact between the detection pin 32R and the plunger 12a, the plunger 12a is displaced toward the port plate 2 in the X direction from the initial position. It is detected that the sensor 12 is turned on, the container 5 is placed on the dock plate 30, and the dock plate 30 is in the dock position.

＜第四実施形態＞
第一実施形態で述べた通り、容器５がドックプレート３０に傾いて載置された場合、検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ及び３２Ｒの内の少なくとも一つの検知ピンが押し下げられないので、このような不適切な載置状態が検知される。しかし、容器５の傾きが僅かである場合、例えば、検知ピン３２Ｒがある程度、押し下げられる場合がある。図１３はその一例を示している。同図において、二点鎖線で示す容器５は適切にドックプレート３０に載置された例を示しており、実線で示す容器５は、Ｙ方向に傾いて載置された例（同図で左側が下がり、右側が上がっている）を示している。 <Fourth Embodiment>
As described in the first embodiment, when the container 5 is placed at an angle on the dock plate 30, at least one of the detection pins 32F, 32L and 32R cannot be pushed down, which is inappropriate. The mounting state is detected. However, if the container 5 is slightly tilted, for example, the detection pin 32R may be pushed down to some extent. FIG. 13 shows an example thereof. In the figure, the container 5 shown by the alternate long and short dash line shows an example of being properly placed on the dock plate 30, and the container 5 shown by the solid line is an example of being placed at an angle in the Y direction (left side in the figure). Is down and the right side is up).

図１４は、図１３に示すように容器５がＹ方向に傾いて載置され、かつ、検知ピン３２Ｒが押し下げられた場合の検知ユニット９の挙動を例示している。二点鎖線Ｌ１は、容器５が適切にドックプレート３０に載置された場合における検知ピン３２Ｒの下端位置の軌跡を示している。 FIG. 14 illustrates the behavior of the detection unit 9 when the container 5 is placed at an angle in the Y direction and the detection pin 32R is pushed down as shown in FIG. The alternate long and short dash line L1 shows the locus of the lower end position of the detection pin 32R when the container 5 is properly placed on the dock plate 30.

状態ＳＴ１は、ドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。不図示の容器５が傾いてドックプレート３０に載置され、検知ピン３２Ｒの下端が下端位置Ｌ１に到達していない。 The state ST1 indicates a state in which the dock plate 30 is located at the delivery position. The container 5 (not shown) is tilted and placed on the dock plate 30, and the lower end of the detection pin 32R does not reach the lower end position L1.

状態ＳＴ２は、ドックプレート３０が状態ＳＴ１からドック位置に移動した状態を示している。検知ピン３２Ｒとローラ部９１ａとの当接によって可動部材９１は初期位置からＸ方向でポートプレート２の側に傾倒角度θ４だけ傾倒している。 The state ST2 indicates a state in which the dock plate 30 has moved from the state ST1 to the dock position. Due to the contact between the detection pin 32R and the roller portion 91a, the movable member 91 is tilted toward the port plate 2 in the X direction from the initial position by a tilt angle θ4.

容器５の傾きが許容範囲内である場合は、基板Ｗの移載に支障は生じないが、容器５の傾きが許容範囲を超えると基板搬送ロボット６のエンドエフェクタ６０により基板Ｗを適切に移載することができないといった支障が生じる場合がある。そこで、基板Ｗの移載が可能な容器５の傾きを区別できることが望ましい。例えば、可動部材９１の傾倒角度がθ４（＜θ２）の場合は、センサ９０がＯＮ信号を発生しないようにすればよい。しかし、検知ユニット９の個体差や、取付誤差によって、ロードポート１毎に、検知ピン３２Ｒの押し下げ量と、センサ９０がＯＮとなる可動部材９１の傾倒角度と、が一定の関係にならない場合がある。 If the inclination of the container 5 is within the allowable range, the transfer of the substrate W is not hindered, but if the inclination of the container 5 exceeds the allowable range, the substrate W is appropriately transferred by the end effector 60 of the substrate transfer robot 6. There may be a problem that it cannot be placed. Therefore, it is desirable to be able to distinguish the inclination of the container 5 to which the substrate W can be transferred. For example, when the tilt angle of the movable member 91 is θ4 (<θ2), the sensor 90 may not generate an ON signal. However, due to individual differences in the detection unit 9 and mounting errors, the amount of pushing down of the detection pin 32R and the tilt angle of the movable member 91 in which the sensor 90 is turned on may not have a constant relationship for each load port 1. is there.

そこで、検知ユニット９の位置調整機構を備えてもよい。ロードポート１毎に検知ユニット９の位置調整を可能とすることで、検知ピン３２Ｒの押し下げ量と、センサ９０がＯＮとなる可動部材９１の傾倒角度と、を一定に調整することができ、容器５が許容範囲を超えて傾いた姿勢でドックプレート３０上に載置されたことを確実に検知できる。 Therefore, a position adjusting mechanism for the detection unit 9 may be provided. By making it possible to adjust the position of the detection unit 9 for each load port 1, the amount of pushing down of the detection pin 32R and the tilt angle of the movable member 91 in which the sensor 90 is turned on can be adjusted to be constant, and the container can be adjusted. It can be reliably detected that 5 is placed on the dock plate 30 in an inclined posture exceeding the permissible range.

位置調整機構はどのような機構であってもよいが、一例として、ブラケット９ａが取付位置の調整機能を有する構成が簡便である。図１５は、位置調整機能を有するブラケット９ａの斜視図である。 The position adjusting mechanism may be any mechanism, but as an example, a configuration in which the bracket 9a has a mounting position adjusting function is simple. FIG. 15 is a perspective view of the bracket 9a having a position adjusting function.

ブラケット９ａはＬ字型の金具であり、ブラケット９ａに検知ユニット９を取り付けるための取付穴Ｈ１と、ベース部７にブラケット９ａを取り付けるための取付穴Ｈ２と、を有する。検知ユニット９は、そのセンサ９０の筐体にねじ穴（不図示）が形成され、ねじを取付穴Ｈ１に通してねじ穴と締結することで検知ユニット９がブラケット９ａに固定される。ベース部７にもねじ穴（不図示）が形成され、ねじを取付穴Ｈ２を通してねじ穴と締結することでブラケット９ａがベース部７に固定される。 The bracket 9a is an L-shaped metal fitting, and has a mounting hole H1 for mounting the detection unit 9 on the bracket 9a and a mounting hole H2 for mounting the bracket 9a on the base portion 7. A screw hole (not shown) is formed in the housing of the sensor 90 of the detection unit 9, and the detection unit 9 is fixed to the bracket 9a by passing the screw through the mounting hole H1 and fastening the screw hole to the screw hole. A screw hole (not shown) is also formed in the base portion 7, and the bracket 9a is fixed to the base portion 7 by fastening the screw to the screw hole through the mounting hole H2.

取付穴Ｈ１は、Ｚ方向に延びる長穴である。したがって、ブラケット９ａに対する検知ユニット９のＺ方向の取付位置を調整できる。取付穴Ｈ２はＸ方向に延びる長穴である。したがって、ベース部７に対するブラケット９ａのＸ方向の取付位置を調整できる。したがって、検知ユニット９の検知ピン３２Ｒに対するＺ方向及びＸ方向の位置を調整することができる。 The mounting hole H1 is an elongated hole extending in the Z direction. Therefore, the mounting position of the detection unit 9 in the Z direction with respect to the bracket 9a can be adjusted. The mounting hole H2 is an elongated hole extending in the X direction. Therefore, the mounting position of the bracket 9a with respect to the base portion 7 in the X direction can be adjusted. Therefore, the positions of the detection unit 9 in the Z direction and the X direction with respect to the detection pin 32R can be adjusted.

検知ユニット９の位置調整の際には、検知ユニット９がブラケット９ａを介してベース部３０に仮固定される。そして、テストとして意図的に、容器５を許容範囲を超えて傾いた姿勢でドックプレート３０に載置し、ドックプレート３０を受渡位置からドック位置へ移動させたときのセンサ９０の出力を監視する。センサ９０がＯＮ信号を出力した場合、検知ユニット９の位置が適切ではない。そこで、例えば、検知ユニット９のＸ方向の位置をＰＰ側に調整する、或いは、検知ユニット９のＺ方向の位置を下げる。 When adjusting the position of the detection unit 9, the detection unit 9 is temporarily fixed to the base portion 30 via the bracket 9a. Then, as a test, the container 5 is intentionally placed on the dock plate 30 in an inclined posture exceeding the permissible range, and the output of the sensor 90 when the dock plate 30 is moved from the delivery position to the dock position is monitored. .. When the sensor 90 outputs an ON signal, the position of the detection unit 9 is not appropriate. Therefore, for example, the position of the detection unit 9 in the X direction is adjusted to the PP side, or the position of the detection unit 9 in the Z direction is lowered.

また、テストとして、容器５を正常な姿勢（許容範囲内の傾き）でドックプレート３０に載置し、ドックプレート３０を受渡位置からドック位置へ移動させたときのセンサ９０の出力を監視する。センサ９０がＯＮ信号を出力しない場合、検知ユニット９の位置が適切ではない。そこで、例えば、検知ユニット９のＸ方向の位置をＰＰ側と逆側に調整する、或いは、検知ユニット９のＺ方向の位置を上げる。こうして、検知ユニット９の位置を適切に調整でき、容器５が不適切な姿勢で載置されている状態をより確実に検知できる。 Further, as a test, the container 5 is placed on the dock plate 30 in a normal posture (tilt within an allowable range), and the output of the sensor 90 when the dock plate 30 is moved from the delivery position to the dock position is monitored. If the sensor 90 does not output an ON signal, the position of the detection unit 9 is not appropriate. Therefore, for example, the position of the detection unit 9 in the X direction is adjusted to the opposite side to the PP side, or the position of the detection unit 9 in the Z direction is raised. In this way, the position of the detection unit 9 can be appropriately adjusted, and the state in which the container 5 is placed in an inappropriate posture can be detected more reliably.

＜第五実施形態＞
上記の各実施形態では、検知ユニット９として、検知ピン３２Ｒと接触する接触式の検知ユニットを採用した。しかし、非接触式の検知ユニットも採用可能である。図１６は、検知ユニット９に代わる非接触式の検知ユニット１３を例示している。 <Fifth Embodiment>
In each of the above embodiments, as the detection unit 9, a contact-type detection unit that comes into contact with the detection pin 32R is adopted. However, a non-contact detection unit can also be adopted. FIG. 16 illustrates a non-contact detection unit 13 instead of the detection unit 9.

検知ユニット１３は、被検知体１３ａが接近したことを非接触で検出可能な近接センサであり、例えば、磁気式近接センサ、静電容量式近接センサ、或いは、電磁誘導式近接センサである。被検知体１３ａは検知ピン３２Ｒの下端部に一体的に設けられるが、好適には後述するように、近接センサの種類に応じて適宜選択されるものであって、検知ピン３２Ｒと同じ材質の金属（鉄、アルミなど）で一体形成されるか、被検知体１３ａの部分のみを磁石で形成する。 The detection unit 13 is a proximity sensor capable of non-contactly detecting that the object to be detected 13a is approaching, and is, for example, a magnetic proximity sensor, a capacitance type proximity sensor, or an electromagnetic induction type proximity sensor. The detected body 13a is integrally provided at the lower end of the detection pin 32R, but is preferably selected as appropriate according to the type of proximity sensor as described later, and is made of the same material as the detection pin 32R. It is integrally formed of metal (iron, aluminum, etc.), or only the portion of the object to be detected 13a is formed of a magnet.

磁気式近接センサは、リードスイッチ、ホール素子、磁気抵抗素子のいずれかを使用したもので、リードスイッチを用いたものであれば、被検知体１３aを磁石で形成し、磁力によってリードスイッチを物理的に作動させることにより被検知体１３aが接近したことを検出することができる。また、ホール素子、磁気抵抗素子を用いたものであれば、磁石からなる被検知体１３aが接近したときの磁界や磁束の変化を利用して検出することができる。 The magnetic proximity sensor uses any of a reed switch, a Hall element, and a magnetoresistive element. If a reed switch is used, the object to be detected 13a is formed of a magnet, and the reed switch is physically controlled by magnetic force. It is possible to detect that the object to be detected 13a is approaching by operating the object 13a. Further, if a Hall element or a magnetoresistive element is used, the detection can be performed by utilizing changes in the magnetic field or magnetic flux when the object to be detected 13a made of a magnet approaches.

静電容量式センサは、検出電極と、該検出電極の静電容量の変化を検出する回路として発振回路とを備えている。発振回路は、金属からなる被検知体１３aが接近すると、検出電極の静電容量が変化するため、その変化を検出することにより被検知体１３aが接近したことを検出することができる。 The capacitance type sensor includes a detection electrode and an oscillation circuit as a circuit for detecting a change in the capacitance of the detection electrode. Since the capacitance of the detection electrode changes when the detected body 13a made of metal approaches, the oscillating circuit can detect that the detected body 13a approaches by detecting the change.

電磁誘導式近接センサは、交流磁界を発生させる検出コイルを備えている。この交流磁界に被検知体１３aである金属の導体が接近すると、その導体中に渦電流が流れ、その影響で近接センサの発振回路の発振が減衰又は停止する。 The electromagnetic induction proximity sensor includes a detection coil that generates an alternating magnetic field. When the metal conductor of the object to be detected 13a approaches the alternating magnetic field, an eddy current flows in the conductor, and the oscillation of the oscillation circuit of the proximity sensor is attenuated or stopped due to the influence.

これらにより電磁誘導式近接センサに接近した被検知体１３aを検出することができる。 As a result, it is possible to detect the object to be detected 13a that is close to the electromagnetic induction type proximity sensor.

状態ＳＴ１１は、容器５がドックプレート３０に載置されていない状態（検知ピン３２Ｒが押し下げられていない状態）で、ドックプレート３０がドック位置に移動した場合を示している。被検知体１３ａと検知ユニット１３とがＺ方向に離間しているため、検知ユニット１３によって被検知体１３ａが検知されない。よって、容器５が適切に載置されていないと判定される。 The state ST11 shows a case where the dock plate 30 is moved to the dock position in a state where the container 5 is not placed on the dock plate 30 (a state in which the detection pin 32R is not pushed down). Since the detected body 13a and the detection unit 13 are separated from each other in the Z direction, the detected body 13a is not detected by the detection unit 13. Therefore, it is determined that the container 5 is not properly placed.

状態ＳＴ１２は、容器５がドックプレート３０に適切に載置された状態（検知ピン３２Ｒが押し下げられた状態）で、ドックプレート３０がドック位置に移動した場合を示している。被検知体１３ａと検知ユニット１３とが隣接しているため、検知ユニット１３によって被検知体１３ａが検知される。よって、容器５が適切に載置されていると判定される。 The state ST12 shows a case where the dock plate 30 is moved to the dock position in a state where the container 5 is properly placed on the dock plate 30 (a state in which the detection pin 32R is pushed down). Since the detected body 13a and the detection unit 13 are adjacent to each other, the detected body 13a is detected by the detection unit 13. Therefore, it is determined that the container 5 is properly placed.

検知ユニット１３が、被検知体１３ａの近接度合いに応じた検知信号を出力するセンサであれば、第四実施形態で述べた、容器５がＹ方向に傾いて載置され、かつ、検知ピン３２Ｒが不十分に押し下げられた状態も検知可能である。 If the detection unit 13 is a sensor that outputs a detection signal according to the degree of proximity of the object to be detected 13a, the container 5 described in the fourth embodiment is placed at an angle in the Y direction, and the detection pin 32R It is also possible to detect a state in which is insufficiently pushed down.

図１７は、検知ユニット９に代わる別の非接触式の検知ユニット１４を例示している。図１７は、図１６と視線方向が異なる図であり、図１７はＸ方向の視線で検知ピン３２Ｒの周辺を表している。検知ユニット１４は、発光素子１４ａと受光素子１４ｂとを有する光学センサであり、例えば、フォトインタラプタである。二点鎖線Ｌ２は発光素子１４ａから出射される光の軌道を示している。 FIG. 17 illustrates another non-contact detection unit 14 that replaces the detection unit 9. FIG. 17 is a diagram in which the line-of-sight direction is different from that in FIG. 16, and FIG. 17 shows the periphery of the detection pin 32R with a line-of-sight in the X direction. The detection unit 14 is an optical sensor having a light emitting element 14a and a light receiving element 14b, and is, for example, a photo interrupter. The alternate long and short dash line L2 shows the trajectory of the light emitted from the light emitting element 14a.

状態ＳＴ２１は、容器５がドックプレート３０に載置されていない状態（検知ピン３２Ｒが押し下げられていない状態）で、ドックプレート３０がドック位置に移動した場合を示している。検知ピン３２Ｒが光の軌道Ｌ２を遮らないため、検知ユニット１４によって検知ピン３２Ｒが検知されない。よって、容器５が適切に載置されていないと判定される。 The state ST21 shows a case where the dock plate 30 is moved to the dock position in a state where the container 5 is not placed on the dock plate 30 (a state in which the detection pin 32R is not pushed down). Since the detection pin 32R does not block the light trajectory L2, the detection pin 32R is not detected by the detection unit 14. Therefore, it is determined that the container 5 is not properly placed.

状態ＳＴ２２は、容器５がドックプレート３０に適切に載置された状態（検知ピン３２Ｒが押し下げられた状態）で、ドックプレート３０がドック位置に移動した場合を示している。検知ピン３２Ｒが光の軌道Ｌ２を遮るため、検知ユニット１４によって検知ピン３２Ｒが検知される。よって、容器５が適切に載置されていると判定される。 The state ST22 shows a case where the dock plate 30 is moved to the dock position in a state where the container 5 is properly placed on the dock plate 30 (a state in which the detection pin 32R is pushed down). Since the detection pin 32R blocks the light trajectory L2, the detection unit 14 detects the detection pin 32R. Therefore, it is determined that the container 5 is properly placed.

検知ユニット１４が、検知ピン３２Ｒによる光の軌道Ｌ２を遮る度合い（受光素子１４ｂの受光量の度合い）に応じた検知信号を出力するセンサであれば、第四実施形態で述べた、容器５がＹ方向に傾いて載置され、かつ、検知ピン３２Ｒが不十分に押し下げられた状態も検知可能である。 If the detection unit 14 is a sensor that outputs a detection signal according to the degree of blocking the light trajectory L2 by the detection pin 32R (the degree of the amount of light received by the light receiving element 14b), the container 5 described in the fourth embodiment is It is also possible to detect a state in which the detection pin 32R is placed at an angle in the Y direction and the detection pin 32R is sufficiently pushed down.

以上、発明の実施形態について説明したが、発明は上記の実施形態に制限されるものではなく、発明の要旨の範囲内で、種々の変形・変更が可能である。 Although the embodiments of the invention have been described above, the invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the gist of the invention.

１ ロードポート、２ ポートプレート、３ 載置台、４１ ポートドア、４０ 駆動機構、３０ ドックプレート、３２Ｒ 検知ピン、９ 検知ユニット、９０ センサ、９１ 可動部材 1 load port, 2 port plate, 3 mount, 41 port door, 40 drive mechanism, 30 dock plate, 32R detection pin, 9 detection unit, 90 sensor, 91 movable member

Claims (14)

基板の出し入れが可能な開口部を有するポートプレートと、
前記基板が収容される容器が載置される載置台と、
前記開口部を開閉すると共に前記容器のドア部を保持可能なポートドアと、
前記ポートドアの開閉動作を行う駆動機構と、
を備えたロードポートであって、
前記載置台は、
ベース部と、
前記容器が載置されるドックプレートと、
前記ベース部に設けられるとともに前記ドックプレートを支持し、該ドックプレートを、前記ポートドアが前記ドア部を保持可能な前記ポートプレート側に近接した第一の位置と、前記ポートプレートから離間した第二の位置との間で移動させる移動機構と、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第一のピンと、
前記ベース部に設けられ、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置していることを検知する第一の検知手段と、を備え、
前記第一の検知手段は、
前記ベース部に対して、前記移動機構による前記ドックプレートの移動方向に変位可能な可動部材と、該可動部材の変位を検知する第一のセンサと、を備え、
前記可動部材は、
前記ドックプレートが前記第二の位置から前記第一の位置へ移動する過程で、押し下げられた状態の前記第一のピンと当接する位置に配置されている、
ことを特徴とするロードポート。 A port plate with an opening that allows the board to be taken in and out,
A mounting table on which the container in which the substrate is housed is placed, and
A port door that can open and close the opening and hold the door of the container,
A drive mechanism that opens and closes the port door,
It is a load port equipped with
The above-mentioned stand is
With the base part
The dock plate on which the container is placed and
A first position provided on the base portion and supporting the dock plate, and the dock plate is separated from the port plate at a first position close to the port plate side where the port door can hold the door portion. A moving mechanism that moves between the two positions,
A first pin that is push-downly provided on the dock plate and projects onto the dock plate.
The base portion is provided with a first detecting means for detecting that the dock plate is located at the first position.
The first detection means is
A movable member that can be displaced in the moving direction of the dock plate by the moving mechanism and a first sensor that detects the displacement of the movable member are provided with respect to the base portion.
The movable member is
In the process of moving the dock plate from the second position to the first position, the dock plate is arranged at a position where it comes into contact with the first pin in a pressed state.
A load port that features that. 前記第一のセンサの検知結果に基づいて、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したか否かを判断し、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したという判断を条件の一つとして、前記駆動機構を駆動する制御手段を、更に備える、
ことを特徴とする請求項１に記載のロードポート。 One of the conditions is that it is determined whether or not the dock plate has reached the first position based on the detection result of the first sensor, and that the dock plate has reached the first position. As a result, a control means for driving the drive mechanism is further provided.
The load port according to claim 1. 前記容器が前記ドックプレートに載置されているか否かを検知する第二の検知手段と、
前記容器が前記ドックプレートに載置されているか否かを検知する第三の検知手段と、を備え、
前記第二の検知手段は、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第二のピンと、
前記ドックプレートに支持され、前記第二のピンが押し下げられたことを検知する第二のセンサと、を備え、
前記第三の検知手段は、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第三のピンと、
前記ドックプレートに支持され、前記第三のピンが押し下げられたことを検知する第三のセンサと、を備える、
ことを特徴とする請求項１に記載のロードポート。 A second detecting means for detecting whether or not the container is placed on the dock plate, and
A third detecting means for detecting whether or not the container is placed on the dock plate is provided.
The second detection means is
A second pin that is push-downly provided on the dock plate and projects onto the dock plate,
A second sensor supported by the dock plate and detecting that the second pin has been pushed down is provided.
The third detection means is
A third pin that is push-downly provided on the dock plate and projects onto the dock plate,
A third sensor supported by the dock plate and detecting that the third pin has been pushed down is provided.
The load port according to claim 1. 前記第一乃至第三のピンのうちの二つのピンは、前記移動方向で前記ポートプレートの側に、前記移動方向と交差する方向に離間して配置され、
前記二つのピンを除く残りのピンは、前記移動方向で前記二つのピンよりも前記ポートプレートから離れた位置に配置され、
前記ドックプレートの平面視において、前記第一乃至第三のピンが鋭角三角形の頂点に位置するように配置されている、
ことを特徴とする請求項３に記載のロードポート。 Two of the first to third pins are arranged on the side of the port plate in the moving direction and separated from each other in a direction intersecting the moving direction.
The remaining pins other than the two pins are arranged at positions farther from the port plate than the two pins in the moving direction.
In the plan view of the dock plate, the first to third pins are arranged so as to be located at the vertices of an acute triangle.
The load port according to claim 3. 前記第一のピンは、前記二つのピンのうちの一つである、
ことを特徴とする請求項４に記載のロードポート。 The first pin is one of the two pins.
The load port according to claim 4. 前記第一のセンサの検知結果に基づいて、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したか否かを判断し、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したと判断したことを少なくとも条件として、前記駆動機構を駆動する制御手段を、更に備え、
前記制御手段は、
前記第二のセンサによる前記第二のピンの押し下げの検知、
前記第三のセンサによる前記第三のピンの押し下げの検知、および
前記第一のセンサによる、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置することの検知があったとき、前記駆動機構による前記ポートドアの開閉動作を開始する、
ことを特徴とする請求項３に記載のロードポート。 Based on the detection result of the first sensor, it is determined whether or not the dock plate has reached the first position, and at least it is a condition that it is determined that the dock plate has reached the first position. As a result, a control means for driving the drive mechanism is further provided.
The control means
Detection of pressing down of the second pin by the second sensor,
When the third sensor detects that the third pin is pushed down and the first sensor detects that the dock plate is located at the first position, the drive mechanism detects the port. Start opening and closing the door,
The load port according to claim 3. 前記第一のセンサの検知結果に基づいて、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したか否かを判断し、達したと判断したことを少なくとも条件として、前記駆動機構を駆動する制御手段を、更に備え、
前記ポートプレート側には、基板搬送モジュールが設けられ、該基板搬送モジュールの内部には、前記開口部を介して前記基板搬送モジュールと前記容器との間で基板の出し入れを行う基板搬送ロボットが設けられており、
前記制御手段は、
前記第二のセンサによる前記第二のピンの押し下げの検知、
前記第三のセンサによる前記第三のピンの押し下げの検知、および、
前記第一のセンサによる、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置することの検知があったとき、前記基板搬送ロボットの動作を許可する信号を送信する、
ことを特徴とする請求項３に記載のロードポート。 Based on the detection result of the first sensor, it is determined whether or not the dock plate has reached the first position, and the control means for driving the drive mechanism is at least conditional on the determination that the dock plate has reached the first position. To prepare for
A board transfer module is provided on the port plate side, and a board transfer robot that moves the board between the board transfer module and the container via the opening is provided inside the board transfer module. Has been
The control means
Detection of pressing down of the second pin by the second sensor,
Detection of pressing down of the third pin by the third sensor, and
When the first sensor detects that the dock plate is located at the first position, it transmits a signal permitting the operation of the substrate transfer robot.
The load port according to claim 3. 基板の出し入れが可能な開口部を有するポートプレートと、
前記基板が収容される容器が載置される載置台と、
前記開口部を開閉すると共に前記容器のドア部を保持可能なポートドアと、
前記ポートドアの開閉動作を行う駆動機構と、
を備えたロードポートであって、
前記載置台は、
ベース部と、
前記容器が載置されるドックプレートと、
前記ベース部に設けられるとともに前記ドックプレートを支持し、該ドックプレートを、前記ポートドアが前記ドア部を保持可能な前記ポートプレート側に近接した第一の位置と、前記ポートプレートから離間した第二の位置との間で移動させる移動機構と、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第一のピンと、
前記ベース部に設けられ、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置していることを検知する第一の検知手段と、を備え、
前記第一の検知手段は、前記ドックプレートが前記第二の位置から前記第一の位置へ移動する過程で、押し下げられた状態の前記第一のピンを検知する非接触センサである、
ことを特徴とするロードポート。 A port plate with an opening that allows the board to be taken in and out,
A mounting table on which the container in which the substrate is housed is placed, and
A port door that can open and close the opening and hold the door of the container,
A drive mechanism that opens and closes the port door,
It is a load port equipped with
The above-mentioned stand is
With the base part
The dock plate on which the container is placed and
A first position provided on the base portion and supporting the dock plate, and the dock plate is separated from the port plate at a first position close to the port plate side where the port door can hold the door portion. A moving mechanism that moves between the two positions,
A first pin that is push-downly provided on the dock plate and projects onto the dock plate.
The base portion is provided with a first detecting means for detecting that the dock plate is located at the first position.
The first detection means is a non-contact sensor that detects the first pin in a pressed state in the process of moving the dock plate from the second position to the first position.
A load port that features that. 前記非接触センサの検知結果に基づいて、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したか否かを判断し、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したという判断を条件の一つとして、前記駆動機構を駆動する制御手段を、更に備える、
ことを特徴とする請求項８に記載のロードポート。 Based on the detection result of the non-contact sensor, it is determined whether or not the dock plate has reached the first position, and one of the conditions is that the dock plate has reached the first position. A control means for driving the drive mechanism is further provided.
8. The load port according to claim 8. 前記容器が前記ドックプレートに載置されているか否かを検知する第二の検知手段と、
前記容器が前記ドックプレートに載置されているか否かを検知する第三の検知手段と、を備え、
前記第二の検知手段は、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第二のピンと、
前記ドックプレートに支持され、前記第二のピンが押し下げられたことを検知する第二のセンサと、を備え、
前記第三の検知手段は、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第三のピンと、
前記ドックプレートに支持され、前記第三のピンが押し下げられたことを検知する第三のセンサと、を備える、
ことを特徴とする請求項８に記載のロードポート。 A second detecting means for detecting whether or not the container is placed on the dock plate, and
A third detecting means for detecting whether or not the container is placed on the dock plate is provided.
The second detection means is
A second pin that is push-downly provided on the dock plate and projects onto the dock plate,
A second sensor supported by the dock plate and detecting that the second pin has been pushed down is provided.
The third detection means is
A third pin that is push-downly provided on the dock plate and projects onto the dock plate,
A third sensor supported by the dock plate and detecting that the third pin has been pushed down is provided.
8. The load port according to claim 8. 前記第一乃至第三のピンのうちの二つのピンは、前記ドックプレートの移動方向で前記ポートプレートの側に、前記移動方向と交差する方向に離間して配置され、
前記二つのピンを除く残りのピンは、前記移動方向で前記二つのピンよりも前記ポートプレートから離れた位置に配置され、
前記ドックプレートの平面視において、前記第一乃至第三のピンが鋭角三角形の頂点に位置するように配置されている、
ことを特徴とする請求項１０に記載のロードポート。 Two of the first to third pins are arranged on the side of the port plate in the direction of movement of the dock plate, apart from each other in a direction intersecting the direction of movement.
The remaining pins other than the two pins are arranged at positions farther from the port plate than the two pins in the moving direction.
In the plan view of the dock plate, the first to third pins are arranged so as to be located at the vertices of an acute triangle.
The load port according to claim 10. 前記第一のピンは、前記二つのピンのうちの一つである、
ことを特徴とする請求項１１に記載のロードポート。 The first pin is one of the two pins.
11. The load port according to claim 11. 前記非接触センサの検知結果に基づいて、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したか否かを判断し、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したと判断したことを少なくとも条件として、前記駆動機構を駆動する制御手段を、更に備え、
前記制御手段は、
前記第二のセンサによる前記第二のピンの押し下げの検知、
前記第三のセンサによる前記第三のピンの押し下げの検知、および
前記非接触センサによる、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置することの検知があったとき、前記駆動機構による前記ポートドアの開閉動作を開始する、
ことを特徴とする請求項１０に記載のロードポート。 Based on the detection result of the non-contact sensor, it is determined whether or not the dock plate has reached the first position, and at least on condition that it is determined that the dock plate has reached the first position. A control means for driving the drive mechanism is further provided.
The control means
Detection of pressing down of the second pin by the second sensor,
When the third sensor detects that the third pin is pushed down and the non-contact sensor detects that the dock plate is located at the first position, the port door is detected by the drive mechanism. Starts the opening and closing operation of
The load port according to claim 10. 前記非接触センサの検知結果に基づいて、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したか否かを判断し、達したと判断したことを少なくとも条件として、前記駆動機構を駆動する制御手段を、更に備え、
前記ポートプレート側には、基板搬送モジュールが設けられ、該基板搬送モジュールの内部には、前記開口部を介して前記基板搬送モジュールと前記容器との間で基板の出し入れを行う基板搬送ロボットが設けられており、
前記制御手段は、
前記第二のセンサによる前記第二のピンの押し下げの検知、
前記第三のセンサによる前記第三のピンの押し下げの検知、および、
前記非接触センサによる、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置することの検知があったとき、前記基板搬送ロボットの動作を許可する信号を送信する、
ことを特徴とする請求項１０に記載のロードポート。 Based on the detection result of the non-contact sensor, it is determined whether or not the dock plate has reached the first position, and the control means for driving the drive mechanism is provided, at least on condition that it is determined that the dock plate has reached the first position. , Further preparation,
A board transfer module is provided on the port plate side, and a board transfer robot that moves the board between the board transfer module and the container via the opening is provided inside the board transfer module. Has been
The control means
Detection of pressing down of the second pin by the second sensor,
Detection of pressing down of the third pin by the third sensor, and
When the non-contact sensor detects that the dock plate is located at the first position, it transmits a signal permitting the operation of the substrate transfer robot.
The load port according to claim 10.
JP2020039149A 2019-03-29 2020-03-06 Load port Active JP6853396B2 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW109108769A TWI807177B (en) 2019-03-29 2020-03-17 Load port
US16/822,094 US11094570B2 (en) 2019-03-29 2020-03-18 Load port having movable member that abuts a pin
CN202010226904.1A CN111755370B (en) 2019-03-29 2020-03-27 Load port
KR1020200037446A KR102370527B1 (en) 2019-03-29 2020-03-27 Load Port
US17/348,816 US11532496B2 (en) 2019-03-29 2021-06-16 Load port with non-contact sensor

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019068531 2019-03-29
JP2019068531 2019-03-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020167397A JP2020167397A (en) 2020-10-08
JP6853396B2 true JP6853396B2 (en) 2021-03-31

Family

ID=72717475

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020039149A Active JP6853396B2 (en) 2019-03-29 2020-03-06 Load port

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6853396B2 (en)
TW (1) TWI807177B (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115440644B (en) * 2022-10-27 2023-03-24 上海果纳半导体技术有限公司 Wafer transmission interface and wafer transmission equipment

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4082652B2 (en) * 2001-11-02 2008-04-30 平田機工株式会社 Mounting device
JP4093206B2 (en) * 2004-05-18 2008-06-04 村田機械株式会社 Transport vehicle system
KR100706250B1 (en) * 2005-07-07 2007-04-12 삼성전자주식회사 Apparatus and method for manufacturing semiconductor devices
US8821099B2 (en) * 2005-07-11 2014-09-02 Brooks Automation, Inc. Load port module
KR100707881B1 (en) * 2005-09-23 2007-04-13 삼성전자주식회사 System and method for transferring substrates and method for aligning substrates
JP4275183B1 (en) * 2008-02-21 2009-06-10 Ｔｄｋ株式会社 Closed container lid closing method and sealed container lid opening / closing system
JP5211808B2 (en) * 2008-04-01 2013-06-12 株式会社安川電機 Load port and semiconductor manufacturing apparatus having the same
KR101039584B1 (en) * 2009-09-02 2011-06-09 주식회사 싸이맥스 Stage moving device
JP2011181817A (en) * 2010-03-03 2011-09-15 Hitachi Kokusai Electric Inc Substrate processing apparatus
JP2011187539A (en) * 2010-03-05 2011-09-22 Sinfonia Technology Co Ltd Gas charging apparatus, gas discharging apparatus, gas charging method, and gas discharging method
JP6038476B2 (en) * 2012-04-07 2016-12-07 平田機工株式会社 Carrier loading / unloading device and loading / unloading method
JP6213079B2 (en) * 2013-09-09 2017-10-18 シンフォニアテクノロジー株式会社 EFEM
TWM600933U (en) * 2020-05-07 2020-09-01 鈦昇科技股份有限公司 Wafer loading and unloading machine

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020167397A (en) 2020-10-08
TW202039345A (en) 2020-11-01
TWI807177B (en) 2023-07-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3998418B2 (en) Semiconductor wafer cassette positioning and detection mechanism
US11532496B2 (en) Load port with non-contact sensor
JP4226469B2 (en) SMIF load port interface with smart port door
JP6248788B2 (en) Wafer mapping apparatus and load port having the same
JP4082652B2 (en) Mounting device
JP6853396B2 (en) Load port
WO2016012439A1 (en) Cup catcher device
KR20170009752A (en) Probe card transferring apparatus, probe card transferring method and probe apparatus
WO2018186021A1 (en) Ceiling transport vehicle system and teaching unit
JP6440731B2 (en) Electronic component mounting system
JP6856692B2 (en) Load port
KR101393285B1 (en) Door checker for vehicle
JP6655846B2 (en) Lid opening and closing device
JP2000275922A (en) Image forming device
JP2006151013A (en) Container storage device for vehicle
WO2019111503A1 (en) Operating device
US20190267205A1 (en) Method and apparatus for automatic engagement of arc reduction technology
CN112970086A (en) Input device
JP2006190553A (en) Anti-malfunction tilt switch
US20090258512A1 (en) Ic socket

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200316

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20210122

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210225

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210308

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210311

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6853396

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250