TWI807177B - Load port - Google Patents
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Abstract
Description
本發明關於一種裝載埠。 The present invention relates to a loading port.
已知一種像是FOUP的容器,其儲存像是半導體晶圓的基板。這樣的容器在被設置於處理設施中的裝載埠中被打開/關閉,以放入或取出容器中的基板。裝載埠設置有其上放置有容器的對接板(dock plate)、以及被構造來移動對接板的機構。將其上放置有容器的對接板移動到預定位置,從而打開/關閉容器。 A container such as a FOUP is known which stores substrates such as semiconductor wafers. Such containers are opened/closed in a load port provided in a processing facility to put in or take out substrates in the container. The loadport is provided with a dock plate on which the container is placed, and a mechanism configured to move the dock plate. The docking plate on which the container is placed is moved to a predetermined position, thereby opening/closing the container.
裝載埠被連接並附接到基板輸送設備,基板輸送設備包括被構造成輸送基板的基板輸送機器人。裝載埠包括在基板輸送設備的工作空間與外部之間分隔的埠 板。形成在埠板中的開口部分可藉由埠門而自由地被打開/關閉。如果在FOUP未與埠板的開口部分對接的狀態下意外地打開開口部分,則工作空間暴露於外部。在這種情況下,在埠門的移動期間,異物可能不期望地被捕捉在埠板和埠門之間。還需要避免基板輸送機器人的一部分在其操作時從開口部分突出。 The loadport is connected and attached to a substrate transfer apparatus including a substrate transfer robot configured to transfer a substrate. The load port includes a port separated between the workspace of the substrate handling equipment and the outside plate. The opening portion formed in the port plate can be freely opened/closed by the port door. If the opening portion is accidentally opened in a state where the FOUP is not butted against the opening portion of the port plate, the work space is exposed to the outside. In this case, foreign objects may be undesirably caught between the port plate and the port door during movement of the port door. It is also necessary to prevent a part of the substrate transfer robot from protruding from the opening portion while it is operating.
日本專利公開第2002-110756號揭露了一種裝載埠,在此裝載埠中採用雙重結構,雙重結構包括被構造成打開/關閉埠板的開口部分的門、以及另一個門,且防止這些門同時地打開。此外,日本專利第3954714號揭露了一種裝載埠,其在檢測到匣(cassette)被放置在裝載埠上的條件下打開埠板的開口部分。 Japanese Patent Laid-Open No. 2002-110756 discloses a loading port in which a double structure including a door configured to open/close an opening portion of a port plate and another door is employed and the doors are prevented from being simultaneously opened. Furthermore, Japanese Patent No. 3954714 discloses a loading port that opens an opening portion of a port plate under the condition of detecting that a cassette is placed on the loading port.
因此,有必要可靠地防止裝載埠和基板輸送機器人(基板輸送設備)的意外驅動,以確保周邊(periphery)的安全性。為了確保周邊的安全性,考慮使用一種方法,在此方法中,藉由複數個感測器來檢測裝載埠的各個部分的狀態,且僅在檢測結果滿足預定條件的情況下,才允許驅動埠門和基板輸送機器人。然而,感測器數量的增加導致成本的增加。 Therefore, it is necessary to reliably prevent accidental driving of the load port and the substrate transfer robot (substrate transfer device) to ensure the safety of the perimeter. In order to ensure the safety of the perimeter, a method is considered in which the status of various parts of the load port is detected by a plurality of sensors, and the port door and the substrate transfer robot are allowed to be driven only if the detection results satisfy predetermined conditions. However, an increase in the number of sensors leads to an increase in cost.
本發明的目的是提供一種裝載埠,其包括被構造成檢測容器存在於對接板上且對接板被定位在對接位置的機構。 It is an object of the present invention to provide a loadport comprising a mechanism configured to detect the presence of a container on a docking plate and that the docking plate is positioned in a docking position.
根據本發明的一個面向,提供了一種裝載埠,其包括:埠板,包括開口部分,通過開口部分能夠放入和取出基板;放置台,儲存基板的容器被放置在放置台上;埠門,能夠打開/關閉開口部分並保持容器的門部分;以及驅動機構,構造成執行埠門的打開/關閉操作,其中,放置台包括:基部部分;對接板,容器被放置在對接板上;移動機構,被設置在基部部分上,且被構造成支撐對接板並使對接板在第一位置和第二位置之間移動,第一位置靠近埠板之埠門可保持門部分的側部,第二位置遠離埠板;第一銷,其在對接板上突出並設置在對接板上,以便被向下推動;及第一檢測單元,被設置基部部分上且構造成檢測對接板被定位在第一位置,第一檢測單元包括:可動構件,能夠在對接板藉由移動機構移動的移動方向上相對於基部部分位移;及第一感測器,其被構造成檢測可動構件的位移,且在對接板從第二位置移動到第一位 置的過程中,可動構件被佈置在抵靠於處於被向下推動狀態之第一銷的位置處。 According to an aspect of the present invention, there is provided a loading port, which includes: a port plate including an opening portion through which substrates can be put in and out; a placement table on which containers storing substrates are placed; a port door capable of opening/closing the opening portion and a door portion holding the container; and a driving mechanism configured to perform opening/closing operations of the port door, wherein the placement table includes: a base portion; The board moves between a first position close to the port door of the port plate to hold the side of the door portion and a second position away from the port plate; a first pin protruding over the butt plate and provided on the butt plate so as to be pushed downward; and a first detection unit provided on the base portion and configured to detect that the butt plate is positioned at the first position, the first detection unit includes: a movable member displaceable relative to the base portion in a moving direction in which the butt plate is moved by the moving mechanism; and a first sensor configured to detect displacement of the movable member , and the docking plate moves from the second position to the first position During the positioning process, the movable member is arranged at a position abutting against the first pin in the pushed-down state.
根據本發明的另一個面向,提供了一種裝載埠,其包括:埠板,包括開口部分,通過開口部分能夠取出和放入基板;放置台,儲存基板的容器被放置在放置台上;埠門,能夠打開/關閉開口部分並保持容器的門部分;以及驅動機構,其構造成執行埠門的打開/關閉操作,其中,放置台包括:基部部分;對接板,容器被放置在對接板上;移動機構,被設置在基部部分上,且被構造成支撐對接板並使對接板在第一位置和第二位置之間移動,第一位置靠近埠板之埠門可保持門部分的一側部,第二位置遠離埠板;第一銷,在對接板上突出且被設置在對接板上,以便被向下推動;及第一檢測單元,被設置在基部部分上且被構造成檢測對接板被定位在第一位置,且第一檢測單元包括非接觸式感測器,其在對接板從第二位置移動到第一位置的過程中檢測處於被向下推動狀態的第一銷。 According to another aspect of the present invention, there is provided a loading port, which includes: a port plate including an opening portion through which substrates can be taken out and put in; a placement table on which containers storing substrates are placed; a port door capable of opening/closing the opening portion and a door portion holding the containers; and a driving mechanism configured to perform opening/closing operations of the port door, wherein the placement table includes: a base portion; The butt plate moves between a first position close to the port door of the port plate to hold a side portion of the door portion and a second position away from the port plate; a first pin protruding from the butt plate and provided on the butt plate so as to be pushed down; and a first detection unit disposed on the base portion and configured to detect that the butt plate is positioned at the first position, and the first detection unit includes a non-contact sensor that detects the first pin in a pushed down state during movement of the butt plate from the second position to the first position.
從例示性實施例的以下描述(參照所附圖式),本發明的更多特徵將變得清楚明瞭。 Further features of the invention will become apparent from the following description of exemplary embodiments, with reference to the accompanying drawings.
1:裝載埠 1: Load port
1a:控制單元 1a: Control unit
1b:通信線路 1b: Communication line
1c:感測器組 1c: Sensor group
2:埠板 2: port board
2a:開口部分 2a: Opening part
3:放置台 3: place table
4:支撐部分 4: Support part
5:容器 5: container
6:基板輸送機器人 6: Substrate delivery robot
7:基部部分 7: Base part
8:移動機構 8: Mobile mechanism
9:第一檢測單元 9: The first detection unit
9a:托架 9a: Bracket
10:第二檢測單元 10: Second detection unit
10a:第二感測器 10a: Second sensor
11:第三檢測單元 11: The third detection unit
11a:第三感測器 11a: The third sensor
12:感測器 12: Sensor
12a:柱塞 12a: plunger
13:檢測單元 13: Detection unit
13a:檢測目標 13a: Detect target
14:檢測單元 14: Detection unit
14a:發光元件 14a: Light emitting element
14b:光接收元件 14b: Light receiving element
30:對接板 30: Butt plate
31:定位銷 31: Locating pin
32a:止動件 32a: stopper
32F:第二銷 32F: Second pin
32L:第三銷 32L: The third pin
32R:第一銷 32R: first pin
33:操作面板 33: Operation panel
34:驅動機構 34: Driving mechanism
35:支撐部分 35: Support part
35a:內部空間 35a: Internal space
35b:彈性構件 35b: Elastic member
36:凹部部分 36: Concave part
37:板片彈簧 37: Plate spring
37a:感測器觸件 37a: Sensor contacts
38:螺栓 38: Bolt
40:驅動機構 40: Driving mechanism
41:埠門 41: port gate
42:連接構件 42: Connecting components
43:台構件 43: Taiwan component
44:致動器 44: Actuator
45:滾珠螺桿軸 45: Ball screw shaft
47:馬達 47: motor
48:滾珠螺母 48: Ball nut
50:容器主體 50: container body
50a:開口部分 50a: opening part
51:蓋 51: cover
60:端接器 60: terminator
61:鉸接臂 61: Articulated arm
62:驅動單元 62: Drive unit
80:導軌構件 80: rail components
81:滑動件 81: Slider
81a:接合構件 81a: Joining member
81b:立柱 81b: column
81c:連接部分 81c: Connection part
82:驅動機構 82: Driving mechanism
90:第一感測器 90:First sensor
90a:輸入軸 90a: input shaft
91:可動構件 91: Movable components
91a:輥部分 91a: roller part
820:驅動單元 820: drive unit
820a:馬達 820a: motor
820b:輸出軸 820b: output shaft
821:臂構件 821: arm member
822:凸輪從動件 822: Cam follower
823:凸輪板 823: Cam plate
823a:接合構件 823a: Joining member
823b:凸輪槽 823b: Cam groove
823c:連接部分 823c: connection part
824:桿件 824: Rod
825:止動件 825: stopper
826:彈性構件 826: elastic member
H1:附接孔 H1: Attachment hole
H2:附接孔 H2: Attachment hole
L1:下端位置 L1: Lower position
L2:光的軌道 L2: Orbit of light
PA:基板輸送設備 PA: substrate conveying equipment
PP:側部 PP: side
S:工作空間 S: workspace
ST1:狀態 ST1: state
ST2:狀態 ST2: state
ST11:狀態 ST11: Status
ST12:狀態 ST12: Status
ST21:狀態 ST21: Status
ST22:狀態 ST22: Status
S1~S9:步驟 S1~S9: steps
W:基板 W: Substrate
Y1:旋轉中心線 Y1: Centerline of rotation
θ1:傾斜角度 θ1: tilt angle
θ2:傾斜角度 θ2: tilt angle
θ3:傾斜角度 θ3: tilt angle
θ4:傾斜角度 θ4: tilt angle
[圖1]是顯示根據本發明的實施例之裝載埠的外觀的視圖;[圖2]是顯示圖1所示的裝載埠之內部機構和使用範例的視圖;[圖3A]及[圖3B]是顯示對接板的位移模式的視圖;[圖4]是對接板上的銷佈置的說明性視圖;[圖5]是對接板的移動機構等的說明性視圖;[圖6]是對接板的移動機構等的說明性視圖;[圖7A]是檢測單元的說明性視圖;[圖7B]是沿圖7A中的線A-A所截取之截面圖;[圖7C]是檢測單元的操作的說明性視圖;[圖8A]是檢測單元的透視圖;[圖8B]是銷支撐部分的截面圖;[圖9A]至[圖9D]是圖8A所示的檢測單元的操 作的說明性視圖;[圖10A]及[圖10B]是顯示控制單元的處理範例的流程圖;[圖11A]至[圖11D]是另一個使用範例中的之圖8A所示的檢測單元的操作的說明性視圖;[圖12A]至[圖12D]是另一個範例的檢測單元的操作的說明性視圖;[圖13]是顯示容器被放置為傾斜狀態的範例的視圖;[圖14]是顯示在容器被放置為傾斜狀態的情況下之檢測單元的檢測的範例的視圖;[圖15]是位置調整托架的透視圖;[圖16]是檢測單元的另一個範例的說明性視圖;以及[圖17]]是檢測單元的又另一個範例的說明性視圖。 [FIG. 1] is a view showing the appearance of a loading port according to an embodiment of the present invention; [FIG. 2] is a view showing an internal mechanism and an example of use of the loading port shown in FIG. 1; [FIG. 3A] and [FIG. 3B] are views showing a displacement mode of a docking plate; [FIG. 4] is an explanatory view of a pin arrangement on a docking board; [FIG. 7B] is a sectional view taken along the line A-A in FIG. 7A; [FIG. 7C] is an explanatory view of the operation of the detection unit; [FIG. 8A] is a perspective view of the detection unit; [FIG. 8B] is a cross-sectional view of the pin support portion; [FIG. 10A] and [FIG. 10B] are flow charts showing an example of the processing of the control unit; [FIG. 11A] to [FIG. 11D] are explanatory views of the operation of the detection unit shown in FIG. 8A in another example of use; [FIG. 12A] to [FIG. 12D] are explanatory views of the operation of the detection unit of another example; [FIG. 13] is a view showing an example in which the container is placed in an inclined state; [FIG. 15] is a perspective view of a position adjustment bracket; [FIG. 16] is an explanatory view of another example of the detection unit; and [FIG. 17]] is an explanatory view of still another example of the detection unit.
在下文中,將參照所附圖式詳細描述實施例。需注意的是,以下實施例並非意圖限制所請求發明之 範疇,且本發明並不限於需要實施例中所描述的特徵的所有組合的發明。實施例中所描述的多個特徵中的兩個或更多個特徵可被適當地組合。此外,將相同的標號賦予相同或相似的配置,且省略其冗餘描述。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It should be noted that the following examples are not intended to limit the scope of the claimed invention category, and the present invention is not limited to inventions requiring all combinations of features described in the embodiments. Two or more of the features described in the embodiments may be combined as appropriate. Also, the same reference numerals are assigned to the same or similar configurations, and redundant descriptions thereof are omitted.
<設備概述> <Device Overview>
圖1是顯示根據本發明的實施例的裝載埠1的外觀的視圖。圖2是顯示裝載埠1的內部機構和使用範例的視圖。在圖式中,箭頭X和Y指示彼此正交的水平方向,且箭頭Z指示垂直方向。此外,PP表示埠板2在X方向上的側部。這些箭頭的含義亦同樣適用於其他圖式。
FIG. 1 is a view showing the appearance of a
裝載埠1是打開/關閉像是FOUP的容器5的設備。容器5包括盒狀的容器主體50,在容器主體的側部部分中具有用於放入或取出像是半導體晶圓的基板W之開口部分50a;以及蓋(門)51,其可拆卸地附接於開口部分50a並關閉開口部分50a。需注意的是,圖2顯示蓋51被裝載埠1移除且基板輸送機器人6可接近容器5中的基板W的狀態(打開狀態)。
The
裝載埠1包括埠板2、容器5被放置於其上的放置台3、以及支撐放置台3的支撐部分4。埠板2是沿Z方向延伸的板狀體。埠板2包括開口部分2a,被移除的蓋51可在X方向上通過此開口部分2a。至少一個裝載埠1被附接到包括輸送基板W之基板輸送機器人6的基板輸送設備PA。基板輸送機器人6執行將基板W從裝載埠1上的容器5卸載、以及將基板W裝載到裝載埠1上的容器5中。基板輸送機器人6包括端接器60,其保持基板W;鉸接臂61,其保持端接器60,以使其能夠至少自由地向前和向後移動;以及驅動單元62,其使鉸接臂61向前/向後移動、旋轉、及向上/向下移動。在上述打開狀態中,當使基板輸送機器人6進入與基板輸送設備(基板輸送模組)PA連通的容器主體50時,執行基板W的卸載和裝載。
The
放置台3包括容器5被放置於其上的對接板30。對接板30設置有複數個定位銷31,其在定位容器5的同時支撐容器5;以及複數個檢測銷(第二銷32F、第三銷32L及第一銷32R),其被構造成檢測容器5的存在。放置台3包括使對接板30在X方向上位移的驅動機構34。此外,放置台3在其前表面上具有操作面板33。操作者可透過操作
面板33進行裝載埠1的設置及操作指令。
The placement table 3 comprises a
支撐部分4是具有長方體形狀的中空體。支撐部分4被設置有驅動機構40。驅動機構40執行埠門41的打開/關閉操作。埠門41打開/關閉開口部分2a,並還保持容器5的蓋51且執行容器5的打開/關閉操作。驅動機構40包括被構造成使保持蓋51的埠門41在關閉位置、後退位置、及打開位置(圖2所示的打開狀態中的位置)之間移動的機構,在關閉位置中,蓋51關閉開口部分50a,在後退位置中,蓋51穿過開口部分2a後退,在打開位置中,蓋51後退到開口部分2a的下邊緣的下側。埠門41包括,例如,夾持機構,且埠門41因此可夾持並保持蓋51。此外,埠門41被設置有操作機構(閂鎖鑰匙),其操作被包含在蓋51中的鎖定機構之打開/關閉。這可將蓋51從容器主體50拆卸以及將蓋51附接到容器主體50。
The
驅動機構40具有以下佈置。亦即,埠門41被由在Z方向上延伸的連接構件42支撐。連接構件42被由台構件43支撐,以能夠在X方向上滑動,且藉由致動器44(例如,滾珠螺桿(ball screw)、或電動汽缸)在X方向上移動。此外,與沿垂直方向延伸的滾珠螺桿軸45接合的滾珠螺母
48被固定到台構件43。當滾珠螺桿軸45藉由馬達47而被旋轉時,埠門41、連接構件42、及台構件43整體地向上或向下運動。
The
利用上述結構,驅動機構40可在X方向及Z方向上移動埠門41。因此,蓋51在關閉位置、後退位置、及打開位置之間移動。需注意的是,使埠門41移動的機構不限於此,且可採用各種機構。
With the above structure, the
裝載埠1被設置有控制單元1a。控制單元1a包括,例如,由CPU所表示的處理單元、像是RAM和ROM的儲存單元、外部設備與處理單元之間的輸入/輸出介面、以及經由通信線路1b與像是主機的電腦或周邊設備(基板輸送設備PA、基板輸送機器人6等等)進行通信的通信介面。驅動機構34、致動器44和馬達47由控制單元1a所控制。此外,被包括在感測器組1c中的每一個感測器的檢測結果或操作者經由操作面板33的操作藉由控制單元1a來識別。感測器組1c包括第二感測器10a、第三感測器11a及第一感測器90等,其將在後面被描述。
The
<對接板的位移模式> <Displacement mode of docking plate>
圖3A及圖3B是顯示對接板30的位移模式的視圖,且是裝載埠1的平面圖。在此實施例中,驅動機構34可在X方向上移動對接板30。
3A and 3B are views showing displacement modes of the
圖3A顯示對接板30被定位於在X方向上相對於埠板2最靠近PP側部的位置(在下文中,也被稱作對接位置)的狀態。容器5的打開/關閉在對接位置處被執行。圖3B顯示對接板30被定位在距離埠板2最遠的位置(在下文中,也被稱作傳送位置)的狀態。在傳送位置處執行將容器5裝載到對接板30上、以及將容器5從對接板30卸載。
FIG. 3A shows a state where the
<移動機構的結構> <Structure of moving mechanism>
將描述驅動機構34的結構。圖4是對接板30和驅動機構34的平面圖。圖5是穿過對接板30觀看之驅動機構34的平面圖。圖6是驅動機構34的右側視圖。所有圖式均顯示對接板30被定位在對接位置處的狀態。
The structure of the
驅動機構34包括基部部分7以及移動機構8。基部部分7是用於整個驅動機構34的支撐體,且在本實施例中為板狀構件。
The
移動機構8被佈置在基部部分7和對接板30之
間。移動機構8包括導軌構件80、以及在導軌構件80上移動的滑動件81。在Y方向上之基部部分7的中心處,導軌構件80沿X方向延伸且被固定到基部部分7。滑動件81透過複數個立柱81b支撐對接板30,且與對接板30一起移動。滑動件81的移動範圍對應於對接位置和傳送位置之間的範圍,此範圍是對接板30在X方向上的移動範圍。滑動件81與導軌構件80接合,且被固定在沿著導軌構件80滑動的複數個接合構件81a上。
The
移動機構8包括驅動機構82。驅動機構82是使滑動件81在X方向上移動的機構。驅動機構82包括驅動單元820。驅動單元820包括作為驅動源的馬達820a,且馬達820a的驅動力經由驅動單元820中的傳動機構(齒輪機構、皮帶傳動機構等等)被傳遞到輸出軸820b。輸出軸820b繞著Z方向上的軸線旋轉。臂構件821的一個端部部分被固定至輸出軸820b。凸輪從動件822被設置在臂構件821的另一個端部部分處。隨著輸出軸820b旋轉,臂構件821在X-Y平面上樞轉。
The moving
移動機構8包括凸輪板823。凸輪板823被固定在接合構件823a上,此接合構件823a與導軌構件80接合
並沿著導軌構件80滑動。凸輪板823包括凸輪槽823b。凸輪槽823b是在Y方向上延伸的通孔。凸輪從動件822與凸輪槽823b接合。當凸輪從動件822根據臂構件821的樞轉移動而相對於作為中心的輸出軸820b以弧形軌跡移動時,凸輪板823在X方向上移動。
The moving
凸輪板823包括連接部分823c,且滑動件81包括連接部分81c。連接部分823c和81c是連接凸輪板823和滑動件81的部分。凸輪板823和滑動件81可剛性地被連接。然而,在此實施例中,彈性構件826被插置於凸輪板823和滑動件81之間,且彈性構件826緩衝了它們之間的驅動力傳遞。亦即,凸輪板823和滑動件81可在X方向上相對於彼此位移。因此,例如,即使當將凸輪板823移動到對接位置時異物被夾在埠板2和容器5之間,彈性構件也會彈性地變形,使得僅施加絕不會傷害操作者之預定值或更小的負載。此外,在此同時,容器5、凸輪板823和滑動件81不再能夠在移動靠近埠板2的方向上位移。因此,可確保操作安全。
The
彈性構件826可為橡膠或類似物,且在此實施例中為螺旋彈簧。桿件824被插入到連接部分823c和81c
以及彈性構件826中。每一個連接部分823c和81c為在Z方向豎立的垂直壁,且包括孔,桿件824被插入此孔中。在桿件824的每一個端部部分處設置有止動件825。彈性構件826在連接部分823c和81c分開的方向上產生偏壓力,且連接部分823c和81c可在兩個止動件825的範圍內彼此移動靠近或移動遠離。亦即,凸輪板823和滑動件81可在兩個止動件825的範圍內彼此移動靠近或移動遠離。正常情況下,由於彈性構件826的偏壓力,它們藉由兩個止動件825之間的距離而彼此分開,且僅當某些外部負載作用時,它們才能彼此移動靠近。
The
對接板30被設置有三個檢測銷(第二銷32F、第三銷32L及第一銷32R)。第二銷32F、第三銷32L及第一銷32R是被構造成檢測容器5是否存在(被放置)於對接板30上的存在感測器(presence sensor)。當容器5被適當地放置在對接板30上時,所有的檢測銷(第二銷32F、第三銷32L及第一銷32R)被向下推動。第二銷32F、第三銷32L及第一銷32R被佈置成在對接板30的平面圖中被定位在銳角三角形的頂點處(圖4)。如果容器5被不適當地放置為傾斜狀態或被放置在偏離位置處,第二銷32F、第三銷32L及第一銷
32R中的至少一個未被向下推動到將由隨後所描述的感測器檢測到檢測銷的位置。
The
在對接板30的下表面上設置有檢測第二銷32F的向下推動之第二感測器10a。第二銷32F及第二感測器10a形成第二檢測單元10,其被構造成檢測容器5是否被放置。第二檢測單元10的細節將參照圖7A至圖7C在後面被描述。在對接板30的下表面上設置有檢測第三銷32L的向下推動之第三感測器11a。第三銷32L及第三感測器11a形成第三檢測單元11,其被構造成檢測容器5是否被放置。第三檢測單元11的佈置與第二檢測單元10相同。第一銷32R的向下推動藉由第一檢測單元9來檢測。第一檢測單元9藉由托架9a被固定至基部部分7。將參照圖9A至圖10D來描述第一檢測單元9的細節。
On the lower surface of the butting
將參照圖7A至圖7C描述第二檢測單元10的佈置。圖7A是第二銷32F附近之對接板30的仰視圖,且圖7B是沿著圖7A中的線A-A所截取的截面圖。L形的凹部部分36被形成在對接板30的下表面中,且第二銷32F在凹部部分36中延伸穿過對接板30。L形的板片彈簧37被佈置在凹部部分36中,且僅板片彈簧37的一個端部分藉由螺栓38
被固定至對接板30。亦即,板片彈簧37是懸臂支撐的(cantilever-supported)。第二銷32F的下端抵靠於板片彈簧37的中間部分(在本實施例中,板片彈簧37的彎曲部分)。板片彈簧37作用為向上偏壓第二銷32F的復位彈簧。
The arrangement of the
板片彈簧37的另一個端部分被彎曲,且形成感測器觸件(sensor dog)37a。第二感測器10a是光遮斷器(photo interrupter)並檢測在光接收元件與發光元件之間存在感測器觸件37a。需注意的是,作為第二感測器10a,亦可採用除了光遮斷器以外的感測器(例如,包括槓桿形致動器的微動開關感測器)。另外,亦可採用不使用板片彈簧37的結構,且可將光遮斷器和微動開關感測器一起使用。
The other end portion of the
圖7C顯示第二銷32F被向下推動的狀態。當容器5被適當地放置在對接板30上時,第二銷32F藉由容器5的重量而被向下推動,如圖7C所示。因此,板片彈簧37也被向下推動,感測器觸件37a進入光接收元件和發光元件之間,且第二感測器10a對此進行檢測。當容器5從對接板30被卸載時,第二銷32F藉由板片彈簧37的彈性偏壓力而返回到圖7B所示的位置。
FIG. 7C shows a state where the
將參照圖8A描述第一檢測單元9。第一檢測單元9包括第一感測器90及可動構件91,且作用為安全機構或安全部件,其被構造成防止裝載埠1或基板輸送機器人6的意外操作。
The
在此實施例中,第一感測器90是旋轉限位開關(rotary limit switch)。第一感測器90包括微動開關,且藉由微動開關的開關機構來打開/關閉電路(電接點被接通/斷開)。當外力被施加到可動構件91且輸入軸90a繞著平行於預定Y方向之旋轉中心線Y1旋轉預定角度時,微動開關藉由形成在輸入軸90a上的凸輪機構及抵靠於凸輪機構且可在X方向上移動的柱塞而被偏壓並接通。第一感測器90包括彈性構件,其經由柱塞將輸入軸90a偏壓到OFF位置。為此原因,當被施加到可動構件91的外力被移除時,輸入軸90a回到OFF位置,其為初始位置。
In this embodiment, the
可動構件91是槓桿構件,其具有被固定到輸入軸90a的一個端部部分,且能夠繞著旋轉中心線Y1樞轉。可動構件91包括被可旋轉地設置在另一個端部部分處的輥部分91a。當外力被施加到可動構件91且可動構件91在X方向上向PP側位移(傾斜)預定量或更多時,第一感測
器90被打開。第一檢測單元9被附接至基部部分7等,使得輥部分91a在Y方向上的位置變得與第一銷32R在Y方向上的位置相同。需注意的是,作為可動構件91,亦可採用不包括輥部分91a的結構。
The
圖8B是顯示第一銷32R的支撐結構的截面圖。不同於其餘的第二銷32F和第三銷32L,第一銷32R是在軸向方向上的長度為長的之銷。支撐第一銷32R之管狀的支撐部分35被固定到對接板30。彈性構件35b被佈置在支撐部分35的內部空間35a中。在此實施例中,彈性構件35b是被安裝在第一銷32R上的螺旋彈簧。第一銷32R延伸穿過對接板30及支撐部分35。此外,止動件32a被固定到第一銷32R。止動件32a總是藉由彈性構件35b被向上偏壓。
FIG. 8B is a sectional view showing the supporting structure of the
圖9A至圖9D是第一銷32R和第一檢測單元9的操作的說明性視圖。如圖9D所示,輥部分91a被佈置為抵靠於被向下推動的第一銷32R。在此實施例中,如圖9B所示,輥部分91a被佈置成甚至抵靠於未被向下推動的第一銷32R。然而,由於抵接部分不同,可動構件91的位移量(傾斜角度)亦不同。
9A to 9D are explanatory views of the operation of the
圖9A顯示對接板30被定位在傳送位置處的狀態。容器5不存在(未被放置)於對接板30上,且藉由上述彈性構件35b的偏壓,第一銷32R被定位在初始位置處。可動構件91被定位在初始位置處。圖9B顯示對接板30已經從圖9A中的狀態被移動到對接位置的狀態。容器5未被放置在對接板30上,且藉由上述彈性構件35b的偏壓,第一銷32R仍被定位在初始位置處。當第一銷32R抵靠於輥部分91a時,可動構件91在X方向上從初始位置朝埠板2的側部稍微傾斜。由於第一銷32R的下端輕微地抵靠於輥部分91a的中心的上側,可動構件91並未大幅地傾斜,且傾斜角度θ1為小的。在此同時,可動構件91的第一感測器90未被打開且保持關閉。
FIG. 9A shows a state where the
圖9C顯示對接板30被定位在傳送位置的狀態。圖9C假設容器5適當地存在於對接板30上的狀態。第一銷32R藉由容器5的重量而被向下推動,且從支撐部分35向下的突出量為大的。圖9D顯示對接板30已經從圖9C中的狀態被移動到對接位置的狀態。當第一銷32R抵靠於輥部分91a時,可動構件91在X方向上從初始位置朝埠板2的側部傾斜。由於第一銷32R以與輥部分91a的中心相同的高
度深深地抵靠於輥部分91a,可動構件91的傾斜角度θ2(>θ1)為大的。在此同時,可動構件91的第一感測器90被打開。
FIG. 9C shows a state where the
如上所述,根據此實施例的第一檢測單元9,不僅能夠檢測容器5是否存在(被適當地放置)於對接板30上,且還能夠檢測容器5是否存在於對接板30上且對接板30是否被定位在對接位置。由於可藉由一個第一檢測單元9檢測到兩種狀態,能夠以相對較低的成本檢測容器5在對接板30上的放置以及對接板30的位置。
As described above, according to the
第一檢測單元9被佈置為對應於第一銷32R。第一銷32R是三個檢測銷(第二銷32F、第三銷32L及第一銷32R)中的被佈置在埠板2的側上且在與對接板30移動方向交叉的Y方向上被間隔開的第三銷32L和第一銷32R中的一者。第一銷32R被佈置在容易檢測在對接板30上被放置為傾斜狀態的容器的位置處。因此,當藉由第一檢測單元9檢測此第一銷32R時,容器5放置檢測的可靠性可被增加。
The
此外,由於第一檢測單元9檢測被佈置於在Y方向上靠近對接板30的一個端側的位置處之第一銷32R,第一檢測單元9可被佈置於在Y方向上靠近基部部分7上的
一個端側的位置處。在基部部分7在Y方向上的一個端側上,形成有其他機構存在的相對較少的自由空間,且第一檢測單元9可被佈置在此自由空間內。當然,第一檢測單元9可被佈置為對應於第三銷32L,或可被佈置為對應於第二銷32F。
Furthermore, since the first detecting
應注意的是,在此實施例中,第一感測器90在圖9B所示的狀態下未被打開。作為第一感測器90,可使用包括複數個ON接點且在圖9B所示的狀態及圖9D所示的狀態之間選擇性地被打開的感測器。在圖9B所示的狀態下,在容器5未被放置在對接板30上的狀態下,控制單元1a可識別出對接板30已經被移動到對接位置。
It should be noted that in this embodiment, the
<控制單元的處理範例> <Processing example of the control unit>
將描述控制單元1a的處理範例。如果埠板2的開口部分2a被不必要地打開,工作空間S被暴露於外部,且例如,基板輸送機器人6的端接器60不期望地突出到外部。同樣對於埠門41,如果埠門41在埠門41的移動期間被暴露於外部,異物不期望地被捕捉埠板2和埠門41之間。
An example of processing by the
在此實施例中,在容器5適當地存在於對接
板30上且對接板30被定位在對接位置處的至少一個條件下,埠門41被移動。據此,即使打開開口部分2a,容器5也存在於開口部分2a的前面並關閉開口部分2a。這可防止埠門41和工作空間S被暴露於外部。圖10A及圖10B是顯示控制單元1a的處理範例的流程圖。
In this embodiment, the
例如,當在將容器5被放置在對接板30上的狀態下執行埠門41的打開操作時,執行圖10A所示的處理範例。打開操作的指令從,例如,主機經由通信線路1b被發送到控制單元1a。
For example, when the opening operation of the
在步驟S1中,獲取感測器組1c中的預定感測器的檢測結果。預定感測器至少包括第二感測器10a、第三感測器11a及第一感測器90。在步驟S2中,確定在步驟S1中所獲取的檢測結果是否為預定的檢測結果。在此處,檢測結果為預定的檢測結果意味著至少第二感測器10a、第三感測器11a及第一感測器90都打開的條件,亦即,容器5適當地存在於對接板30上且對接板30已經從傳送位置被移動到對接位置。如果在步驟S2中檢測結果是預定的檢測結果,則處理前進到步驟S3。如果檢測結果不是預定的檢測結果,則處理前進到步驟S4。
In step S1, detection results of predetermined sensors in the
在步驟S4中,執行錯誤處理。在此處,例如,經由通信線路1b將表示未滿足操作條件的通知發送到主機。或者,藉由語音或顯示器將警告通知給操作者。
In step S4, error handling is performed. Here, for example, a notification indicating that the operation condition is not satisfied is sent to the host computer via the
在步驟S3中,埠門41的操作許可信號被發送到控制單元1a。據此,使埠門41保持蓋51並移動到打開位置。由於在步驟S2中確認容器5適當地存在於對接板30上,且開口部分2a在對接位置處被關閉,埠門41和工作空間S不會在操作期間被暴露於外部。亦即,由於開口部分2a藉由容器5而被關閉,工作空間S不會經由開口部分2a被暴露於外部。
In step S3, an operation permission signal of the
在步驟S5中,獲取感測器組1c中的預定感測器的檢測結果。這主要目標在於操作確認。預定感測器至少包括檢測埠門41是否已經被移動到打開位置的感測器。第二感測器10a、第三感測器11a及第一感測器90的檢測結果可再次被涵蓋,儘管它們被包含在步驟S1中的檢測結果獲取目標中。
In step S5, detection results of predetermined sensors in the
當在將容器5被放置在對接板30上的狀態下執行埠門41的關閉操作時,同樣應用圖10A所示的處理範例。關閉操作的指令從,例如,主機通過通信線路1b傳送
到控制單元1a。
The processing example shown in FIG. 10A is also applied when the closing operation of the
在步驟S1中,獲取感測器組1c中的預定感測器的檢測結果。預定感測器至少包括第二感測器10a、第三感測器11a及第一感測器90。在步驟S2中,確定在步驟S1中所獲取的檢測結果是否為預定的檢測結果。在此處,檢測結果為預定的檢測結果意味著至少第二感測器10a、第三感測器11a及第一感測器90都打開的條件,亦即,容器5適當地存在於對接板30上且對接板30已經從傳送位置被移動到對接位置。如果在步驟S2中檢測結果是預定的檢測結果,則處理前進到步驟S3。如果檢測結果不是預定的檢測結果,則處理前進到步驟S4。
In step S1, detection results of predetermined sensors in the
在步驟S3中,埠門41的操作許可信號被發送到控制單元1a。據此,埠門41被移動到關閉位置。由於在步驟S2中確認容器5適當地存在於對接板30上,且開口部分2a在對接位置處被關閉,埠門41和工作空間S不會在操作期間被暴露於外部。亦即,由於開口部分2a藉由容器5而被關閉,防止埠門41捕捉異物。
In step S3, an operation permission signal of the
在步驟S5中,獲取感測器組1c中的預定感測器的檢測結果。預定感測器至少包括檢測埠門41是否已經
被移動到關閉位置的感測器。第二感測器10a、第三感測器11a及第一感測器90的檢測結果可再次被涵蓋,儘管它們被包含在步驟S1中的檢測結果獲取目標中。
In step S5, detection results of predetermined sensors in the
例如,當在將容器5被放置在對接板30上的狀態下執行基板輸送機器人6的操作時,執行圖10B所示的處理範例。操作的指令從,例如,主機被傳送到基板輸送機器人6的控制單元。
For example, when the operation of the
在步驟S6中,獲取感測器組1c中的預定感測器的檢測結果。預定感測器至少包括第二感測器10a、第三感測器11a及第一感測器90。在步驟S7中,確定在步驟S6中所獲取的檢測結果是否為預定的檢測結果。如果檢測結果是預定的檢測結果,則處理前進到步驟S8。如果檢測結果不是預定的檢測結果,則處理前進到步驟S9。在步驟S9中,執行錯誤處理。這與步驟S4中的處理相同。
In step S6, detection results of predetermined sensors in the
在步驟S8中,基板輸送機器人6的操作許可信號經由通信線路1b被發送到基板輸送機器人6的控制單元、或主機。據此,開始基板輸送機器人6的操作。由於基板輸送機器人6的操作至少僅在開口部分2a藉由容器5而被關閉的狀態下才被允許,能夠確保周邊的安全性。
In step S8, an operation permission signal of the
需注意的是,即使未放置容器5,如果埠門41被定位在關閉位置處,亦可發送基板輸送機器人6的操作許可信號。在此實施例中,如果由於某種原因而檢測到在埠門41被定位在打開位置的狀態下未放置容器5,則可執行錯誤處理,以禁止基板輸送機器人6的操作。
It should be noted that even if the
在第一實施例中,在圖9B所示的狀態中,第一檢測單元9被佈置為使得未被向下推動的第一銷32R抵靠於輥部分91a。然而,第一檢測單元9可被佈置成使得第一銷32R並未抵靠。圖11A至圖11D是顯示範例之第一銷32R和第一檢測單元9的操作的說明性視圖。
In the first embodiment, in the state shown in FIG. 9B , the
圖11A顯示對接板30被定位在傳送位置的狀態。容器5未被放置在對接板30上,且第一銷32R藉由上述彈性構件35b的偏壓而被定位在初始位置處。可動構件91被定位在初始位置處。圖11B顯示對接板30已經從圖11A中的狀態被移動到對接位置的狀態。容器5未被放置在對接板30上,且藉由上述彈性構件35b的偏壓,第一銷32R仍被定位在初始位置處。第一銷32R未抵靠於輥部分91a,且
可動構件91仍被定位在初始位置處。在此同時,第一感測器90未被打開且保持關閉。
FIG. 11A shows a state where the
圖11C顯示對接板30被定位在傳送位置的狀態。圖11C假設容器5被放置在對接板30上的狀態。第一銷32R藉由容器5的重量而被向下推動,且從支撐部分35向下的突出量為大的。圖11D顯示對接板30已經從圖11C中的狀態被移動到對接位置的狀態。當第一銷32R深深地抵靠於輥部分91a時,可動構件91在X方向上從初始位置朝PP側傾斜一傾斜角度θ3(θ2)。在此同時,可動構件91的第一感測器90被打開。
FIG. 11C shows a state where the
在第一實施例中,旋轉限位開關被使用來作為第一感測器90。然而,可使用線性運動限位開關。圖12A至圖12D是顯示範例之操作的說明性視圖。在圖12A至圖12D所示的範例中,感測器12被使用來代替第一感測器90。感測器12為線性運動限位開關,其被構造成檢測作為可動構件之柱塞12a的X方向位移。
In the first embodiment, a rotary limit switch is used as the
圖12A顯示對接板30被定位在傳送位置的狀
態。容器5未被放置在對接板30上,且藉由上述彈性構件35b的偏壓,第一銷32R被定位在初始位置處。柱塞12a被定位在初始位置處。圖12B顯示對接板30已經從圖12A中的狀態被移動到對接位置的狀態。容器5未被放置在對接板30上,且藉由上述彈性構件35b的偏壓,第一銷32R仍被定位在初始位置處。由於在Z方向上的偏移,第一銷32R未抵靠於柱塞12a,且柱塞12a仍被定位在初始位置處。感測器12未被打開。
Figure 12A shows the state of the
圖12C顯示對接板30被定位在傳送位置的狀態。圖12C假設容器5被放置在對接板30上的狀態。第一銷32R藉由容器5的重量而被向下推動,且從支撐部分35向下的突出量為大的。圖12D顯示對接板30已經從圖12C中的狀態被移動到對接位置的狀態。當第一銷32R抵靠於柱塞12a時,柱塞12a在X方向上從初始位置朝向埠板2的側部位移。感測器12被打開以檢測容器5被放置在對接板30上,以及對接板30被定位在對接位置處。
FIG. 12C shows a state where the
如第一實施例中所述,如果容器5在對接板30上被放
置為傾斜狀態,第二銷32F、第三銷32L及第一銷32R中的至少一個未被向下推動。因此,這種不適當的放置狀態被檢測到。然而,例如,如果容器5的傾斜為小的,第一銷32R可能被向下推動一些程度。圖13顯示出一個範例。參照圖13,被以兩點鏈線指示的容器5顯示了被適當地放置在對接板30上的容器5的範例,且被以實線指示的容器5顯示了被放置同時在Y方向上傾斜(在圖13中,左側朝下,且右側朝上)的容器5的範例。
As described in the first embodiment, if the
圖14顯示在容器5被放置同時在Y方向上傾斜(如圖13所示)且第一銷32R被向下推動的情況下之第一檢測單元9的行為。兩點鏈線L1指示在容器5被適當地放置在對接板30上的情況下第一銷32R的下端的位置的軌跡。
FIG. 14 shows the behavior of the
狀態ST1顯示對接板30被定位在傳送位置處的狀態。容器5(未顯示)在對接板30上被放置為傾斜狀態,且第一銷32R的下端未到達下端位置L1。
The state ST1 shows a state where the
狀態ST2顯示對接板30已經從狀態ST1被移動到對接位置的狀態。當第一銷32R抵靠於輥部分91a時,可動構件91在X方向上從初始位置朝向埠板2的側部僅傾斜一傾斜角度θ4。
State ST2 shows a state where docking
當容器5的傾斜落在允許範圍內時,基板W的傳送沒有問題。然而,如果容器5的傾斜超過允許範圍,可能發生問題,使得基板輸送機器人6的端接器60無法適當地傳送基板W。因此,較佳的是,區分出容器5之允許基板W的傳送的傾斜。例如,如果可動構件91的傾斜角度為θ4(<θ2),第一感測器90不會產生ON信號。然而,根據第一檢測單元9的個體差異或附接誤差,對於每一個裝載埠1,第一銷32R的向下推動量及第一感測器90在此處被打開之可動構件91的傾斜角度在某些情況下不具有預定的關係。
When the inclination of the
因此,可提供用於第一檢測單元9的位置調整機構。當可針對每一個裝載埠1調整第一檢測單元9的位置時,可將第一銷32R的向下推動量及第一感測器90在此處被打開之可動構件91的傾斜角度調整為預定的值,且能夠可靠地檢測出處於超過不允許的傾斜範圍的姿勢之容器5被放置在對接板30上。
Therefore, a position adjustment mechanism for the
位置調整機構可為任何機構。作為範例,托架9a具有附接位置調整功能的結構為簡單的。圖15是具有位置調整功能的托架9a的透視圖。
The position adjustment mechanism can be any mechanism. As an example, the structure in which the
托架9a是L形的金屬配件,且包括用於將第一檢測單元9附接到托架9a的附接孔H1、以及用於將托架9a附接到基部部分7的附接孔H2。在第一檢測單元9中,在第一感測器90的情況下,形成有螺紋孔(未顯出)。在螺釘被插入附接孔H1內並緊固至螺紋孔時,第一檢測單元9被固定至托架9a。螺紋孔(未顯示)亦形成在基部部分7中。當螺釘透過附接孔H2被緊固至螺紋孔時,托架9a被固定至基部部分7。
The
附接孔H1是在Z方向上延伸的長孔。因此,能夠調整第一檢測單元9相對於托架9a在Z方向上的附接位置。附接孔H2是在X方向上延伸的長孔。因此,能夠調整托架9a相對於基部部分7在X方向上的附接位置。因此,能夠調整第一檢測單元9相對於第一銷32R在Z方向和X方向上的位置。
The attachment hole H1 is a long hole extending in the Z direction. Therefore, it is possible to adjust the attachment position of the
當調整第一檢測單元9的位置時,第一檢測單元9經由托架9a被暫時地固定至基部部分7。作為測試,有意地將處於超過不允許的傾斜範圍的姿勢之容器5放置在對接板30上,並監測當對接板30從傳送位置被移動到對接位置時之第一感測器90的輸出。如果第一感測器90輸出
ON信號,第一檢測單元9的位置為不適當的。因此,例如,朝PP側調整第一檢測單元9在X方向上的位置。或者,降低第一檢測單元9在Z方向上的位置。
When the position of the
另外,作為測試,將處於允許傾斜範圍內的正常姿勢之容器5放置在對接板30上,並監測當對接板30從傳送位置被移動到對接位置時之第一感測器90的輸出。如果第一感測器90未輸出ON信號,第一檢測單元9的位置為不適當的。因此,例如,朝與PP側相反的一側調整第一檢測單元9在X方向上的位置。或者,升高第一檢測單元9在Z方向上的位置。因此,可適當地調整第一檢測單元9的位置,且可更可靠地檢測容器5以不適當的姿勢被放置之狀態。
In addition, as a test, the
在上述實施例中,作為第一檢測單元9,採用了與第一銷32R接觸之接觸式檢測單元。但是,亦可採用非接觸式檢測單元。圖16顯示代替第一檢測單元9的非接觸式檢測單元13。
In the above-described embodiments, as the
檢測單元13為非接觸式感測器,例如,近接
感測器,其檢測檢測目標13a的接近性,且為,例如,磁式近接感測器、靜電電容式近接感測器、或電磁感應式近接感測器。雖然檢測目標13a被一體地設置在第一銷32R的下端部分處,但較佳地,檢測目標13a被與第一銷32R一體地設置,且由與第一銷32R相同的金屬製成,例如,鐵或鋁,或者,根據以下近接感測器的類型,僅檢測目標13a由磁鐵製成。
The
磁式近接感測器由舌簧開關(reed switch)、霍耳元件(hall element)或磁阻元件所構成。當使用由舌簧開關所構成的磁式近接感測器時,檢測目標13a由磁鐵製成,且由於磁引力藉由舌簧開關的物理操作來檢測檢測目標13a的接近性。當使用由霍耳元件或磁阻元件所構成的磁式近接感測器時,基於磁場或磁通量的變化來檢測磁鐵的檢測目標13a的接近性。
The magnetic proximity sensor is composed of a reed switch, a hall element or a magnetoresistive element. When a magnetic proximity sensor composed of a reed switch is used, the
靜電電容式近接感測器包括檢測電極、以及作為檢測檢測電極的電容變化之電路的振盪電路(oscillating circuit)。由於檢測電極的電容在檢測目標13a靠近電路時改變,振盪電路可藉由檢測電極的電容的變化來檢測金屬的檢測目標13a的接近性。
The capacitive proximity sensor includes detection electrodes and an oscillating circuit as a circuit for detecting capacitance changes of the detection electrodes. Since the capacitance of the detection electrode changes when the
電磁感應式近接感測器包括產生交變磁場(alternating magnetic field)的檢測線圈。當金屬導體的檢測目標13a接近交變磁場時,在金屬導體中產生渦電流(eddy current),以衰減(damp)或停止感測器中的振盪電路的振盪,從而檢測到接近電磁感應式近接感測器的檢測目標13a。
The electromagnetic induction proximity sensor includes a detection coil that generates an alternating magnetic field. When the
狀態ST11顯示在容器5未被放置在對接板30上的狀態(第一銷32R未被向下推動的狀態)下對接板30已經被移動到對接位置的情況。由於檢測目標13a和檢測單元13在Z方向上為分開的,檢測目標13a未被檢測單元13檢測到。因此,確定容器5未被適當地放置。
The state ST11 shows a case where the butting
狀態ST12顯示在容器5被適當地放置在對接板30上的狀態(第一銷32R被向下推動的狀態)下對接板30已經被移動到對接位置的情況。由於檢測目標13a和檢測單元13為鄰近的,檢測目標13a被檢測單元13檢測到。因此,確定容器5被適當地放置。
The state ST12 shows a case where the butting
如果檢測單元13是根據檢測目標13a的接近程度而輸出檢測信號的感測器,亦可檢測到的是,在第四實施例中所描述之容器5被放置同時在Y方向上傾斜、以及第一銷32R未被充分向下推動的狀態。
If the
圖17顯示代替第一檢測單元9的另一個非接觸式檢測單元14。圖17是視線方向不同於圖16的視圖。圖17顯示從在X方向上的視線觀察的第一銷32R的周邊。檢測單元14為包括發光元件14a及光接收元件14b的光學感測器,且為,例如,光遮斷器。兩點鏈線L2指示來自發光元件14a的光的軌道(orbit)。
FIG. 17 shows another
狀態ST21顯示在容器5未被放置在對接板30上的狀態(第一銷32R未被向下推動的狀態)下對接板30已經被移動到對接位置的情況。由於第一銷32R未遮擋光的軌道L2,檢測單元14未檢測到第一銷32R。因此,確定容器5未被適當地放置。
The state ST21 shows a case where the butting
狀態ST22顯示在容器5被適當地放置在對接板30上的狀態(第一銷32R被向下推動的狀態)下對接板30已經被移動到對接位置的情況。由於第一銷32R遮擋光的軌道L2,檢測單元14檢測到第一銷32R。因此,確定容器5被適當地放置。
The state ST22 shows a case where the butting
如果檢測單元14是根據第一銷32R對光的軌道L2的遮擋程度(光接收元件14b的光接收量的程度)而輸出檢測信號的感測器,亦可檢測到的是,在第四實施例中
所描述之容器5被放置同時在Y方向上傾斜、以及第一銷32R未被充分向下推動的狀態。
If the
本發明不限於前述實施例,且在本發明的精神內,各種變型/改變為可能的。 The present invention is not limited to the foregoing embodiments, and various modifications/changes are possible within the spirit of the present invention.
7:基部部分 7: Base part
8:移動機構 8: Mobile mechanism
9:檢測單元 9: Detection unit
9a:托架 9a: Bracket
10a:感測器 10a: Sensor
30:對接板 30: Butt plate
31:定位銷 31: Locating pin
32F:檢測銷 32F: detection pin
32R:檢測銷 32R: detection pin
34:驅動機構 34: Driving mechanism
35:支撐部分 35: Support part
80:導軌構件 80: rail components
81:滑動件 81: Slider
81a:接合構件 81a: Joining member
81b:立柱 81b: column
81c:連接部分 81c: Connection part
82:驅動機構 82: Driving mechanism
90:感測器 90: sensor
91:可動構件 91: Movable components
91a:輥部分 91a: roller part
820:驅動單元 820: drive unit
820a:馬達 820a: motor
820b:輸出軸 820b: output shaft
821:臂構件 821: arm member
822:凸輪從動件 822: Cam follower
823:凸輪板 823: Cam plate
PP:側部 PP: side
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