KR101039584B1 - Stage moving device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 로드 포트 모듈에 있어서, 상면에 풉이 적재되는 판 형상의 스테이지; 스테이지의 하면에 고정 설치되는 이동가이드부; 이동가이드부와 결합되어 스테이지가 슬라이드되고, 로드 포트 모듈의 몸체와 연결되는 지지부; 스테이지로부터 하방 수직방향으로 설치되고, 홀이 형성된 연결판; 지지부의 일측면에 고정 설치되는 실린더부; 연결판에 형성된 홀을 관통하고, 실린더부와 연결되어 실린더부의 피스톤 운동에 의해 수평이동을 하는 원통형의 샤프트; 일단은 샤프트의 말단에 고정 설치되어 있고, 타단은 연결판의 일측에 고정 설치되는 스프링; 연결판의 타측에서 샤프트에 고정 설치되는 핀치 감지판; 샤프트의 말단에 고정 설치되어 스프링을 덮되, 연결판과 일정 거리만큼 이격되도록 스프링 일부를 노출시키는 캡; 및 실린더부의 피스톤 운동을 제어하는 제어 신호를 실린더부에 전송하는 제어부; 를 포함하는 스테이지 이동 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 캡을 이용해 풉을 확실히 고정시켜 풉 도어와 오프너의 결합을 용이하게 하고 로드 포트 모듈의 손상을 막는 스테이지 이동 장치를 제공할 수 있다.The present invention provides a load port module, comprising: a plate-shaped stage on which an unwind is loaded; A moving guide part fixed to the bottom of the stage; A support part coupled to the movement guide part to slide the stage and connected to the body of the load port module; A connection plate installed in a vertical direction downward from the stage and having holes formed therein; A cylinder unit fixed to one side of the support unit; A cylindrical shaft penetrating a hole formed in the connecting plate and connected to the cylinder to move horizontally by a piston movement of the cylinder; One end is fixed to the end of the shaft, the other end is fixed to one side of the connecting plate spring; A pinch detection plate fixed to the shaft at the other side of the connection plate; A cap fixed to the end of the shaft to cover the spring, the cap exposing a portion of the spring so as to be spaced apart from the connecting plate by a predetermined distance; And a control unit which transmits a control signal for controlling the piston movement of the cylinder unit to the cylinder unit. It relates to a stage moving device comprising a. According to the present invention, it is possible to provide a stage shifting device which firmly fixes the pull using a cap to facilitate coupling of the pull door and the opener and prevents damage to the load port module.
로드 포트 모듈, 풉 오프너, 스테이지, 핀치 상태 Load port module, pull opener, stage, pinch state
Description
본 발명은 로드 포트 모듈에서의 스테이지 이동 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캡을 이용해 풉을 확실히 고정시켜 풉 도어와 오프너의 결합을 용이하게 하고 핀치 상태를 인식하는 핀치 센서부를 부착하여, 로드 포트 모듈의 손상을 막는 스테이지 이동 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stage shifting device in a load port module, and more particularly, by using a cap to securely secure the pull to facilitate the coupling of the pull door and the opener, and to attach a pinch sensor to recognize the pinch state, A stage moving device for preventing damage to the module.
본 발명은 로드 포트 모듈의 스테이지 이동 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a stage moving device of a load port module.
주지되어 있듯이, 반도체 장치는 웨이퍼에 대해 각종 처리 공정을 실시함으로써 제조된다. 따라서, 웨이퍼에 대하여 각종 처리를 행하는 반도체 제조 장치에 반송할 필요가 있다. 이 웨이퍼의 반송에는 웨이퍼 수납 캐리어가 이용되고 있고, 복수의 웨이퍼를 내부에 수납할 수 있는 구성으로 되어 있다.As is well known, semiconductor devices are manufactured by carrying out various processing steps on a wafer. Therefore, it is necessary to convey to the semiconductor manufacturing apparatus which performs various processes with respect to a wafer. The wafer storage carrier is used for conveyance of this wafer, and it is a structure which can accommodate several wafer inside.
따라서, 전면에 도어를 구비하여 내부에 정렬된 웨이퍼를 외부로부터 밀폐시켜주는 풉(FOUP)과 이러한 풉이 각 공정 설비로 이송될 경우 각 공정 설비의 일측에 장착되어 이송되는 풉을 로딩/언로딩시켜 주되, 외부로부터 풉 내부를 밀폐시켜 주면서 풉 도어를 개폐시켜주는 로드 포트 모듈(LOAD PORT MODULE)이 사용되고 있다.Therefore, a FOUP that seals the wafers aligned inside from the outside with a door on the front and loading / unloading of the fules mounted on one side of each process facility when these pools are transferred to each process facility. LOAD PORT MODULE is used to open and close the pull door while sealing the inside of the pull from the outside.
이는 통상 FOUP OPENER, OPENER, FIMS OPENER등으로 불리기도 한다.This is commonly referred to as FOUP OPENER, OPENER, FIMS OPENER.
도 1은 일반적인 로드 포트 모듈을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a general load port module.
도 1을 참조하면, 일반적인 로드 포트 모듈은 풉(140)이 스테이지(100)에 안착하면 스테이지 이동 장치(미도시)를 통해 풉을 오프너(110)쪽으로 이동시킨다.Referring to FIG. 1, when the
그 후 풉(140)이 오프너(110) 맞닿으면 풉 도어(150)는 오프너(110)와 결합되고, 오프너(110)와 풉 도어(150)는 함께 열리게 되어 풉(140)에 적재된 웨이퍼가 반도체 설비로 이동되어 공정에 사용되는 것이다.Then, when the
이때, 스테이지(100)가 안착될 수 있도록 스테이지(100)가 최대한 외부쪽으로 이동하여 위치한 것이 언도킹(UNDOCKING) 상태이고, 스테이지(100)가 오프너(110)쪽으로 이동하여 오프너(110)와 결합하기 위해 맞닿은 것을 도킹(DOCKING) 상태라고 한다.At this time, the
여기서 종래의 스테이지 이동 장치는 풉 도어(150)와 오프너(110) 사이에 웨이퍼등의 이물질이 끼어 발생하는 핀치(PINCH) 상태를 인식하지 못하여 설비가 손상을 입거나, 풉(140)을 단단히 고정하지 못하여 이물질이 내부로 삽입되는 경우도 있었다.Here, the conventional stage shifting device does not recognize a pinch state caused by a foreign matter such as a wafer sandwiched between the
상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은 캡을 이용해 풉을 확실히 고정시켜 풉 도어와 오프너의 결합을 용이하게 하고, 이물질의 삽입을 막는 스테이지 이동 장치를 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention devised to solve the above problems is to provide a stage shifting device to securely secure the pull using a cap to facilitate the combination of the pull door and the opener, and to prevent the insertion of foreign matter.
또한, 본 발명의 다른 목적은 언도킹, 도킹 여부를 파악할 수 있는 위치 센서를 구비하여 오작동을 방지하고, 도킹이 된 이후에도 샤프트를 실린더의 내부 방향으로 더 당김으로써 캡이 연결판을 가압하여 풉을 오프너에 확실히 밀착시키고 고정시켜 이물질의 삽입을 막는 스테이지 이동 장치를 제공하기 위한 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a position sensor that can determine whether the docking, docking to prevent malfunction, even after docking by pulling the shaft further toward the inner direction of the cylinder to release the cap by pressing the connecting plate It is to provide a stage shifting device that is securely attached to the opener and fixed to prevent the insertion of foreign matter.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 풉 도어와 오프너 사이에 웨이퍼등의 이물질에 의해 끼임이 발생시 일어나는 핀치 상태를 인식하는 핀치 센서부를 부착하여, 로드 포트 모듈의 손상을 막는 스테이지 이동 장치를 제공하기 위함이다.In addition, another object of the present invention is to provide a stage moving device to prevent the damage to the load port module by attaching a pinch sensor unit for recognizing the pinch state occurs when the jamming occurs by foreign matter such as wafer between the pull door and the opener. to be.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 샤프트의 이동 속도를 제어함으로써, 스테이지 이동 중에 핀치 센서부가 핀치 상태로 인식하는 것을 막고, 보다 안정적인 스테이지 이송이 가능하게 하는 스테이지 이동 장치를 제공하기 위함이다.In addition, another object of the present invention is to provide a stage shifting device that prevents the pinch sensor portion from recognizing the pinch state during stage movement by controlling the movement speed of the shaft, and enables more stable stage transfer.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 하나의 샤프트를 두개의 샤프트로 대체하여, 그 제작, 교체 및 시공이 용이한 스테이지 이동 장치를 제공하기 위함이다.Further, another object of the present invention is to provide a stage shifting device that is easy to manufacture, replace and construct by replacing one shaft with two shafts.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은 로드 포트 모듈에 있어서, 상면에 풉이 적재되는 판 형상의 스테이지, 스테이지의 하면에 고정 설치되는 이동가이드부, 이동가이드부와 결합되어 스테이지가 슬라이드되고, 로드 포트 모듈의 몸체와 연결되는 지지부, 스테이지로부터 하방 수직방향으로 설치되고, 홀이 형성된 연결판, 지지부의 일측면에 고정 설치되는 실린더부, 연결판에 형성된 홀을 관통하고, 실린더부와 연결되어 실린더부의 피스톤 운동에 의해 수평이동을 하는 원통형의 샤프트, 일단은 샤프트의 말단에 고정 설치되어 있고, 타단은 연결판의 일측에 고정 설치되는 스프링, 연결판의 타측에서 샤프트에 고정 설치되는 핀치 감지판, 샤프트의 말단에 고정 설치되어 스프링을 덮되, 연결판과 일정 거리만큼 이격되도록 스프링 일부를 노출시키는 캡 및 실린더부의 피스톤 운동을 제어하는 제어 신호를 실린더부에 전송하는 제어부를 포함한다.According to a feature of the present invention for achieving the object as described above, the present invention is a load port module, the plate-shaped stage that is loaded on the upper surface, the movement guide portion fixed to the lower surface of the stage, the movement guide portion Coupled to the stage slides, the support portion is connected to the body of the load port module, is installed in the vertical direction downward from the stage, the connection plate is formed hole, the cylinder portion fixed to one side of the support portion, the hole formed in the connection plate A cylindrical shaft penetrating and connected to the cylinder portion to move horizontally by a piston movement of the cylinder portion, one end of which is fixed to the end of the shaft, the other end of which is fixed to one side of the connecting plate, on the other side of the connecting plate Pinch detection plate fixed to the shaft, fixed to the end of the shaft to cover the spring, but only a certain distance from the connecting plate And a cap for exposing a portion of the spring so as to be spaced apart from each other, and a controller for transmitting a control signal for controlling the piston movement of the cylinder.
또한, 상기 스테이지 이동 장치는 연결판에 하방 수직방향으로 설치되는 감지 센서판, 지지부 하면에 설치되어 스테이지가 언도킹 위치에 있는 경우 감지 센서판이 사이에 위치되고, 감지 센서판을 감지하는 언도킹 위치 센서, 언도킹 위치 센서와 나란히 지지부 하면에 설치되어, 스테이지가 도킹 위치에 있는 경우 감지 센서판이 사이에 위치되고, 감지 센서판을 감지하는 도킹 위치 센서 및 상기 제어부는 언도킹 위치 센서가 감지 센서판을 감지한 경우에는 실린더부의 피스톤 운동을 정지하여 샤프트의 이동을 멈추도록 하는 제어 신호를 실린더부에 보내고, 도킹 위치 센서가 감지 센서판을 감지한 경우에는 샤프트를 남은 실린더 스트로크만큼 실린더부의 내부 방향으로 더 당기고, 그 상태를 유지하도록 하는 제어 신호를 실린더부에 보내는 것을 특징으로 한다.In addition, the stage shifting device is installed in the sensing sensor plate installed in the lower vertical direction to the connecting plate, when the stage is in the undocked position when the stage is in the undocked position, the sensor plate is located between, the undocking position for sensing the sensing sensor plate The docking position sensor is installed on the lower surface of the support side by side with the sensor and the undocking position sensor, and when the stage is in the docking position, the sensing sensor plate is positioned therebetween, and the docking position sensor and the control unit detect the sensing sensor plate. If the sensor detects the pressure, the piston sends a control signal to the cylinder to stop the movement of the shaft and stops the movement of the shaft.If the docking position sensor detects the sensing sensor plate, the shaft moves to the inside of the cylinder by the remaining cylinder stroke. To pull further and send a control signal to the cylinder .
또한, 상기 스테이지 이동 장치는 연결판에 설치되어 스위치접점부를 구비하고, 핀치 감지판이 스위치점접부에 닿으면 핀치 상태를 나타내는 핀치 신호를 제어부에 전송하는 핀치 센서부를 더 포함하고, 상기 제어부는 도킹 위치 센서가 감지 센서판을 감지하지 못하고 핀치 센서부로부터 핀치신호를 전송받은 경우에는, 실린더부로 하여금 샤프트를 실린더부의 외부 방향으로 밀도록 제어하는 제어 신호를 실린더부로 전송하는 것을 특징으로 한다.The stage shifting device may further include a pinch sensor unit installed on the connecting plate and having a switch contact unit, and transmitting a pinch signal indicating a pinch state to the control unit when the pinch detection plate contacts the switch contact unit, wherein the control unit includes a docking position. When the sensor does not detect the sensing sensor plate and receives the pinch signal from the pinch sensor unit, the sensor unit may transmit a control signal to the cylinder unit to control the cylinder to push the shaft outward.
또한, 상기 제어부는 실린더부의 피스톤 운동에 의하여 수평이동되는 샤프트의 이동 속도를 조절하는 제어 신호를 실린더부에 보내는 것을 특징으로 한다.In addition, the control unit is characterized in that for transmitting a control signal for adjusting the moving speed of the shaft which is horizontally moved by the piston movement of the cylinder portion.
또한, 상기 샤프트는 연결판에 형성된 홀을 관통하고, 외주면을 감싸며 형성되는 핀치 감지판을 구비한 제 1샤프트 및 제 1샤프트와 연결되어 실린더부의 피스톤 운동에 의해 수평이동을 하는 제 2샤프트를 포함한다.In addition, the shaft includes a first shaft having a pinch detection plate formed through the hole formed in the connecting plate, surrounding the outer circumferential surface and a second shaft connected to the first shaft to move horizontally by the piston movement of the cylinder portion. do.
이상 살펴본 바와 같은 본 발명에 따르면, 캡을 이용해 풉을 확실히 고정시켜 풉 도어와 오프너의 결합을 용이하게 하고, 이물질의 삽입을 막는 스테이지 이동 장치를 제공할 수 있다.According to the present invention as described above, it is possible to provide a stage shifting device to securely secure the pull using the cap to facilitate the coupling of the pull door and the opener, and to prevent the insertion of foreign matter.
또한, 본 발명에 따르면 언도킹, 도킹 여부를 파악할 수 있는 위치 센서를 구비하여 오작동을 방지하고, 도킹이 된 이후에도 샤프트를 실린더의 내부 방향으로 더 당김으로써 캡이 연결판을 가압하여 풉을 오프너에 확실히 밀착시키고 고정시켜 이물질의 삽입을 막는 스테이지 이동 장치를 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention is provided with a position sensor that can determine whether the docking, docking to prevent malfunction, and even after docking by pulling the shaft further toward the inner direction of the cylinder, the cap presses the connecting plate to the release opener It is possible to provide a stage shifting device which can be securely attached and fixed to prevent the insertion of foreign matter.
또한, 본 발명에 따르면 풉 도어와 오프너 사이에 웨이퍼등의 이물질에 의해 끼임이 발생시 일어나는 핀치 상태를 인식하는 핀치 센서부를 부착하여, 로드 포트 모듈의 손상을 막는 스테이지 이동 장치를 제공할 수 있다.Further, according to the present invention, a pinch sensor unit for recognizing a pinch state occurring when a pinch occurs due to a foreign matter such as a wafer is provided between the pull door and the opener, thereby providing a stage shifting device that prevents damage to the load port module.
또한, 본 발명에 따르면 샤프트의 이동 속도를 제어함으로써, 스테이지 이동 중에 핀치 센서부가 핀치 상태로 인식하는 것을 막고, 보다 안정적인 스테이지 이송이 가능하게 하는 스테이지 이동 장치를 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention, by controlling the moving speed of the shaft, it is possible to provide a stage moving device that prevents the pinch sensor unit from recognizing the pinch state during stage movement, and enables more stable stage transfer.
또한, 본 발명에 따르면 하나의 샤프트를 두개의 샤프트로 대체하여, 그 제 작, 교체 및 시공이 용이한 스테이지 이동 장치를 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention by replacing one shaft with two shafts, it is possible to provide a stage shifting device that is easy to manufacture, replace and construct.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다 Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 스테이지 이동 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings for describing the stage moving apparatus according to embodiments of the present invention.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치를 나타낸 상부 사시도이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치를 나타낸 하부 사시도이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치를 나타낸 측면도이다.Figure 2 is a top perspective view showing a stage moving device according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is a bottom perspective view showing a stage moving device according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 4 is a preferred embodiment of the present invention It is a side view which shows the stage shifter.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치(10)는 스테이지(100), 이동가이드부(360), 지지부(210), 연결판(220) 실린더부(230), 샤프트(240), 스프링(300), 핀치 감지판(370), 캡(250) 및 제어부(미도시)를 포함한다.
스테이지(100)는 상면에 풉(140)이 적재되는 것으로, 판 형상으로 제작되어진다.The
스테이지(100) 상면에는 풉(140)이 안착되어 고정되도록 풉(140)의 하면과 결합하는 홈 또는 돌기가 생성되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that grooves or protrusions are formed on the upper surface of the
이동가이드부(360)는 스테이지 하면에 고정설치되는 것으로, 스테이지를 지지부(210)에서 슬라이드 시켜 왕복이동을 가능하게 한다.The
이러한 이동가이드부(360)는 직동안내기기로써, 스테이지(100)와 결합하여 슬라이드 하는 슬라이드 유닛(미도시) 및 지지부(210)와 결합되어 슬라이드 유닛이 타고 왕복이동할 수 있는 슬라이드 트랙(미도시)을 포함하는 것이 바람직하다. The
지지부(210)는 이동가이드부(360)와 결합되어 스테이지(100)가 슬라이드되고, 로드 포트 모듈의 몸체(130)와 연결된다.The
로드 포트 모듈의 몸체(130)과 연결됨으로써, 지지부(210)는 고정되고, 지지부(210)와 연결되는 실린더부(230) 역시 고정되어 스테이지(100)를 실린더부(230)에 의해 슬라이드 시킬 수 있다.By being connected to the
연결판(220)은 스테이지(100)로부터 하방 수직방향으로 설치되고, 그 내부에 홀이 형성된다.The connecting
연결판(220)은 스테이지(100)를 샤프트(240), 감지 센서판(310), 핀치 센서부(320), 스프링(300)과 연결시켜 상기 부품들을 스테이지(100)의 왕복이동에 따라 같이 작동하도록 한다.The connecting
또한, 연결판(220)은 내부에 홀이 형성되는데, 이는 샤프트(240)가 관통하기 위함이다.In addition, the connecting
실린더부(230)는 지지부(210)의 일측면에 고정 설치되고, 내부에 피스톤의 움직임에 따라 샤프트(240)을 수평으로 왕복 이동 시킨다.The
이러한 실린더부(230)는 유압식 실린더, 공압식 실린더, 가스식 실린더 중 어느 하나이면 무방하다.The
샤프트(240)는 연결판(220)에 형성된 홀을 관통하고, 실린더부(230) 내부에 연결되어 실린더부(230)의 피스톤이 하는 왕복 운동에 의해 수평이동을 한다. The
그 형상은 원통형이 바람직하나, 연결판(220)에 형성된 홀의 모양과 같으면 무방하다.The shape is preferably cylindrical, but may be the same as the shape of the hole formed in the connecting
스프링(300)은 그 일단은 샤프트(240)의 말단에 고정 설치되어 있고, 타단은 연결판(220)의 일측에 고정 설치된다.One end of the
즉, 스프링(300) 내부에 연결판(220)을 관통한 샤프트(240)가 끼워지고, 상기 샤프트(240)의 끝과 연결판(220) 사이에 샤프트를 스프링(300)을 고정 설치한다.That is, the
스프링(300)은 샤프트(240)가 실린더부(230)에 의해 내부 방향으로 당겨져 압축되고, 그에 따라 연결판(220)을 압축된 스프링(300)이 갖는 탄성력으로 밀게 되어 결국 스테이지(100)판을 오프너(110) 측으로 이동시킨다.The
핀치 감지판(370)은 연결판(220)의 타측에서 샤프트(240)에 고정 설치되는데, 그 모양은 샤프트(240)의 외주면을 감싸는 원판인 것이 바람직하다.The
도킹 상태에서 언도킹을 위해 샤프트(240)가 실린더부(230)에 의해 외부 방 향으로 밀려나가면, 핀치 감지판(370)은 스프링(300)이 연결된 연결판(220)의 반대측에 설치되어 있어서 연결판(220)을 외부 방향으로 밀게 되고 이에 따라 스테이지(100)가 이동하여 언도킹 된다.When the
또한, 핀치 감지판(370)은 핀치 상태를 감지하는데 이는 추후 기술하도록 한다.In addition, the
캡(250)은 샤프트(240)의 말단에 고정 설치되어 스프링(300) 일부를 덮도록 형성되고, 연결판(220)과 이격된다.
따라서, 캡(250)은 한쪽 끝이 샤프트(240)의 말단에 고정 설치되고, 한쪽 끝은 개방되어 주로 도킹 상태에서 샤프트(240)가 내부 방향으로 당겨지거나, 이물질이 풉(140)과 오프너(110)사이에 끼어 핀치 상태가 발생한 경우에 연결판(220)에 닿게 된다.Therefore, the
또한, 핀치 상태 발생시 핀치 감지판(370)이 핀치 센서부(320)의 스위치접점부(330)에 닿아 핀치 상태를 감지하여야 하므로, 캡(250)의 개방된 한쪽끝과 연결판(220)은 일정한 이격 거리를 갖는 것이 바람직하다.In addition, when the pinch state occurs, the
이러한 이격 거리는 실린더부(230)의 길이, 풉(140)의 크기, 로드 포트 모듈(1)의 크기에 따라 조정 가능하나 핀치 감지판(370)이 스위치접점부(330)와 닿아야 하므로, 핀치 감지판(370)과 스위치접점부(330)의 간격 이상인 것이 바람직하다.This separation distance is adjustable according to the length of the
캡(250)의 형상은 스프링(300)을 덮어야 하므로 스프링(300)과 같은 원통형이 바람직하고, 일단은 샤프트(240) 말단에 고정되고, 타단은 개방된 상태이다.Since the shape of the
캡(250) 개방된 타단은 도킹 상태내지 핀치 상태에서 연결판(220)에 닿아 연결판(220)을 가압하므로, 캡(250)은 연결판(220)의 가압되는 부위를 넓게 하여 보다 안정적으로 연결판(220)을 밀 수 있도록 연결판(220)과 접촉하는 부위를 넓게 형성하는 것이 바람직하다.Since the other end of the
제어부(미도시)는 실린더부(230)의 피스톤 운동을 제어하는 제어 신호를 실린더부(230)에 전송한다. The controller (not shown) transmits a control signal for controlling the piston movement of the
즉, 실린더부(230)의 피스톤 운동을 제어함으로써, 샤프트(240)의 이동이 제어되고, 결국 스테이지(100)의 왕복 이동을 제어할 수 있다.That is, by controlling the piston movement of the
따라서 제어부는 스테이지(100)의 언도킹 위치로의 이동, 도킹 위치로의 이동, 각 위치에서의 정지 등을 제어할 수 있다.Therefore, the controller may control the movement of the
도 4를 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치(10)의 동작 및 작용을 살펴본다.Referring to Figure 4, looks at the operation and operation of the
우선 언도킹된 스테이지(100)에 웨이퍼를 적재한 풉(140)이 안착된다. 그 후 실린더부(230)의 피스톤 운동에 의해 샤프트(240)가 실린더부(230)의 내부 방향으로 당겨지면, 샤프트(240) 말단에 설치된 스프링(300)이 연결판(220)에 의해 압축된다.First, the unpacking
압축된 스프링(300)은 그 탄성력으로 연결판(220)을 밀게 되고, 그에 따라 스테이지(100)는 하면에 설치된 이동가이드부(360)에 의해 지지부(210)를 슬라이드하며 오프너(110)측으로 이동된다.The
샤프트(240)가 실린더부(230)의 내부 방향으로 계속 당겨지면, 풉 도어(150) 는 오프너(110)와 맞닿게 되고, 이에 따라 스테이지(100) 더 이상 이동되지 않는다.If the
그러나, 샤프트(240)의 말단에는 스프링(300)이 설치되어 있으므로, 샤프트(240)는 캡(250)이 연결판(220)에 닿을 때까지 실린더부(230)의 내부 방향으로 움직이게 된다.However, since the
이때, 캡(250)은 연결판(220)에 닿아, 스프링(300)이 연결판(220)으로 전달하는 탄성력에 추가적인 힘을 주어 가압한다.At this time, the
따라서, 풉(140)을 오프너(110)에 최대한 밀착시킬 수 있어, 이물질의 유입을 막을 수 있다.Therefore, the
또한, 스프링(300)만 설치된 경우에는 스프링의 특성상 풉(140)이 오프너(110)에 닿는 순간 반동이 일어나 스테이지(100)가 흔들릴 수 있고, 최대한 풉(140)을 밀착시키기 위해서는 스프링(300)이 최대한 압축되도록 샤프트(240)을 실린더부(230)가 당겨야 한다.In addition, when only the
그러나, 캡(250)이 설치된 경우에는 캡(250)과 연결판(220) 사이의 이격 거리만큼만 샤프트(240)을 당겨도 캡(250)을 연결판(220)에 밀착시킬 수 있어, 스프링(300)만 설치된 경우보다 단거리만 당겨도 더욱 큰 밀착 효과를 얻을 수 있고, However, when the
캡(250)은 스프링(300)보다 탄성이 훨씬 적으므로 풉(140)이 오프너(110)에 닿는 순간의 반동이 없어지게 되고, 풉(140)을 오프너(110)에 확실히 고정하여 밀착시킬 수 있다.Since the
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치(10)에 있어서, 상기 스테이지 이동 장치(10)는 감지 센서판(310), 언도킹 위치 센서(340) 및 도킹 위치 센서(350)를 더 포함하고, 상기 제어부는 각 위치 센서의 감지에 따라 제어 신호를 실린더부(230)에 보내는 것을 특징으로 한다.In the
감지 센서판(310)은 연결판(220)에 하방 수직방향으로 설치된다. The sensing
도 3을 참조하면, 그 모양은 각 위치 센서 사이를 통과해야 하므로 얇은 판 형태가 바람직하고, 연결판(220)에 설치되어 연결판(220)으로부터 하부 방향으로 뻗어나와 L자형으로 절곡되는 것이 바람직하다. Referring to FIG. 3, since the shape must pass between each position sensor, a thin plate shape is preferable, and it is preferable that the shape is installed in the connecting
언도킹 위치 센서(340)는 지지부(210) 하면에 설치되어 스테이지(100)가 언도킹 위치에 있는 경우 감지 센서판(310)이 사이에 위치되고, 감지 센서판(310)을 감지한다.The
도킹 위치 센서(350)는 언도킹 위치 센서(340)와 나란히 지지부(210) 하면에 설치되어, 스테이지(100)가 도킹 위치에 있는 경우 감지 센서판(310)이 사이에 위치되고, 감지 센서판(310)을 감지한다.The
스테이지(100)가 안착될 수 있도록 스테이지(100)가 최대한 외부쪽으로 이동하여 위치한 것이 언도킹(UNDOCKING) 상태이고, 스테이지(100)가 오프너(110)쪽으로 이동하여 오프너(110)와 결합하기 위해 맞닿은 것을 도킹(DOCKING) 상태라는 것은 이미 상술한 바이고, The
따라서 언도킹 위치는 언도킹 상태에서의 스테이지(100)의 위치를 말하고, 도킹 위치는 도킹 상태에서의 스테이지(100)의 위치를 말하는 것은 당업자에게 자명하다.Therefore, it is apparent to those skilled in the art that the undocked position refers to the position of the
각 위치 센서는 감지 센서판(310) 각 위치 센서 사이를 통과할 수 있도록 U자형으로 형성되는 것이 바람직하고, 도 3을 참조하면 감지 센서판(310)이 샤프트(240)의 왕복이동에 따라 각 위치 센서를 통과하므로 나란히 위치한다.Each position sensor is preferably formed in a U-shape so as to pass between the respective position sensors of the
각 위치 센서는 광센서(photosensor)로서, 빛을 출력하는 광출력부, 광출력부로부터 출력된 빛을 감지하는 광입력부를 포함한다.Each position sensor is a photosensor, and includes a light output unit for outputting light and a light input unit for sensing light output from the light output unit.
따라서, 광입력부는 광출력부로부터 출력되는 빛을 감지하다가, 감지 센서판(310)이 각 위치 센서에 위치하면 광출력부의 빛을 차단됨으로써, 빛을 더 이상 감지 못하게 되므로, 감지 센서판(310)의 위치를 파악할 수 있다.Accordingly, the light input unit detects light output from the light output unit, and when the
각 위치 센서의 위치는 언도킹, 도킹 상태를 파악해야 하므로, 스테이지(100)가 언도킹되어 언도킹 위치에 있는 경우에 감지 센서판(310)이 사이에 위치하여 빛을 가리도록 언도킹 위치 센서(340)가 지지부 하면에 설치되어야 하고, 도킹 위치 센서(350) 역시 스테이지(100)가 도킹되어 도킹 위치에 있는 경우에 감지 센서판(310)이 사이에 위치하여 빛을 가리도록 지지부 하면에 설치되는 것이 바람직하다.Since the position of each position sensor needs to know the undocking and docking state, when the
제어부는 언도킹 위치 센서(340)가 감지 센서판(310)을 감지한 경우에는 실린더부(230)의 피스톤 운동을 정지하여 샤프트(240)의 이동을 멈추도록 하는 제어 신호를 실린더부(230)에 보낸다.When the
이는 언도킹 상태가 되면 풉(140)을 안착할 수 있도록 스테이지(100)를 정지시키기 위함이다.This is to stop the
또한, 제어부는 도킹 위치 센서(350)가 감지 센서판(310)을 감지한 경우에는 샤프트(240)를 남은 실린더 스트로크만큼 실린더부(230)의 내부 방향으로 더 당기고, 그 상태를 유지하도록 하는 제어 신호를 실린더부(230)에 보내는 것을 특징으로 한다.In addition, when the
실린더 스트로크는 실린더에서 피스톤이 위아래로 움직이는 범위를 말하는데, 상기 실린더부(230)에서는 피스톤이 이미 실린더부(230)의 내부 방향으로 압축되어 피스톤 전체의 스트로크에서 이미 피스톤이 움직인 거리를 뺀만큼의 스트로크가 남아있게 된다.The cylinder stroke refers to the range in which the piston moves up and down in the cylinder. In the
따라서 남은 스크로크만큼 샤프트(240)를 실린더부(230)의 내부 방향으로 더 당길 수 있다.Therefore, the
도킹 위치 센서(350)가 감지 센서판(310)을 감지한 경우는 풉(140)과 오프너(110)가 맞닿는 도킹 상태가 되었다는 것인데, 그 후에 샤프트(240)를 더 당기면, 샤프트(240)는 캡(250)과 연결판(220)의 이격 거리만큼 내부 방향으로 이동되고 그에 따라 스프링(300)은 압축되고 캡(250)은 연결판(220)에 닿게 된다.When the
도 5a, 5b, 5c는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치의 스테이지가 움직이는 모습을 나타낸 도면이다.5A, 5B, and 5C are views illustrating a state in which a stage of a stage moving device moves according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 5a, 5b, 5c를 참조하여, 감지 센서판(310), 언도킹 위치 센서(340) 및 도킹 위치 센서(350)를 더 포함하고, 제어부는 각 위치 센서의 감지에 따라 제어 신호를 실린더부(230)에 보내는 것을 특징으로 하는 스테이지 이동 장치(100)의 작동 및 작용에 대하여 살펴본다.5A, 5B, and 5C, the sensor further includes a
우선 언도킹된 스테이지(100)에 웨이퍼를 적재한 풉(140)이 안착된다. 그 후 도킹을 위해 실린더부(230)의 피스톤 운동에 의해 샤프트(240)가 실린더부(230)의 내부 방향으로 당겨지면, 샤프트(240) 말단에 설치된 스프링(300)이 연결판(220)에 의해 압축된다.First, the unpacking
압축된 스프링(300)은 그 탄성력으로 연결판(220)을 밀게 되고, 그에 따라 스테이지(100)는 하면에 설치된 이동가이드부(360)에 의해 지지부(210)를 슬라이드하며 오프너(110)측으로 이동된다.The
또한, 연결판(220)의 이동에 따라 감지 센서판(310)도 따라 움직이게 된다.In addition, as the
샤프트(240)가 실린더부(230)의 내부 방향으로 계속 당겨지면 풉 도어(150)는 오프너(110)와 맞닿게 되어 도킹 상태가 되고, 결국 감지 센서판(310)이 도킹 위치 센서(350) 사이에 들어가게 된다.When the
도킹 위치 센서(350)가 감지 센서판(310)을 감지하게 됨에 따라, 제어부는 도킹 상태임을 파악하고 실린더부(230)로 하여금, 샤프트(240)를 내부 방향으로 더 당기도록 제어한다. 그 당기는 거리는 실린더의 남은 스트로크만큼으로서, 즉 최대한 내부 방향으로 샤프트(240)를 당기게 된다.As the
스테이지(100)는 풉(140)이 오프너(110)와 맞닿아 있으므로, 더 이상 이동하지 않으나, 샤프트(240)의 말단에는 스프링(300)이 설치되어 있으므로, 샤프트(240)는 캡(250)이 연결판(220)에 닿을 때까지 실린더부(230)의 내부 방향으로 움직이게 된다.The
이때, 캡(250)은 연결판(220)에 닿아, 스프링(300)이 연결판(220)으로 전달하는 탄성력에 추가적인 힘을 주어 가압한다.At this time, the
따라서, 풉(140)을 오프너(110)에 최대한 밀착시킬 수 있어, 이물질의 유입을 막을 수 있다.Therefore, the
그 후, 풉(140)에 적재된 웨이퍼의 반도체 공정 설비로의 이송이 완료되면, 제어부는 다시 실린더부(230)로 하여금 샤프트(240)를 외부 방향으로 밀게 하는 제어 신호를 전송한다.Thereafter, when the transfer of the wafer loaded on the
샤프트(240)의 이동에 따라, 샤프트(240)에 설치된 핀치 감지판(370)이 연결판(220)을 밀게 된다. 따라서 스테이지(100)는 외부 방향으로 밀려나가게 된다.As the
결국, 연결판(220)의 이동에 따라 감지 센서판(310)도 외부 방향으로 이동하게 되어 언도킹 위치 센서(340) 사이를 지나가게 된다.As a result, as the
그러면 언도킹 위치 센서(340)는 감지 센서판(310)을 감지하고, 이에 제어부는 언도킹 상태임을 파악해 실린더부(230)로 하여금 실린더부(230)의 피스톤 운동을 정지하여 샤프트(240)의 이동을 멈추도록 하는 제어 신호를 실린더부(230)에 보낸다. Then, the
결국, 샤프트(240)가 정지함에 따라 스테이지(100)는 언도킹 위치에 멈추게 되고, 추후 웨이퍼가 적재된 다른 풉(140)이 스테이지(100)위에 안착되고, 다시 같은 과정을 반복하게 된다.As a result, as the
따라서, 본 발명에 따르면 언도킹, 도킹 여부를 파악할 수 있는 위치 센서를 구비하여 오작동을 방지하고, 도킹이 된 이후에도 샤프트(240)를 실린더부(230)의 내부 방향으로 더 당김으로써 캡(250)이 연결판(220)을 가압하여 풉(140)을 오프너(110)에 확실히 밀착시키고 고정시켜 이물질의 삽입을 막는 스테이지 이동 장치 를 제공할 수 있다.Therefore, according to the present invention, by providing a position sensor that can determine whether the docking, docking to prevent malfunction, even after docking by pulling the
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치(10)에 있어서, 도킹 위치 센서(350)가 감지 센서판(310)을 감지한 경우의 남은 실린더 스트로크는 스테이지(100)의 도킹을 위하여 샤프트(240)가 실린더부(230)의 내부 방향으로 이동중일때의 캡(250)과 연결판(220) 사이의 이격 거리보다 그 거리가 긴 것을 특징으로 한다. In the
남은 실린더 스트로크가 캡(250)과 연결판(220)사이의 이격 거리보다 그 거리가 길어야지만, 샤프트(240)를 더 당김으로써 캡(250)을 연결판(220)에 맞닿게 하고 캡(250)이 주는 가압 효과를 얻을 수 있기 때문이다.The remaining cylinder stroke should be longer than the separation distance between the
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치(10)에 있어서, 상기 스테이지 이동 장치(10)는, 핀치 센서부(320)을 더 포함하고 상기 제어부는 핀치 상태가 발생한 경우 샤프트(240)를 외부 방향으로 밀도록 하는 제어 신호를 실린더부(230)에 전송한다.In the
도 6a, 6b, 6c는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 풉과 로드 포트 모듈 도어 사이에 끼임이 발생시 스테이지 이동 장치의 핀치 액션을 나타낸 도면이다.6A, 6B, and 6C illustrate pinch actions of the stage moving device when a jam occurs between the pull and load port module doors according to a preferred embodiment of the present invention.
도 6a, 6b, 6c를 참조하여, 핀치 센서부(320)을 더 포함하는 스테이지 이동 장치(10)의 동작 및 작용을 살펴본다.6A, 6B, and 6C, the operation and operation of the
핀치 센서부(320)는 연결판(220)에 설치되어 스위치접점부(330)를 구비하고, 핀치 감지판(370)이 스위치점접부(330)에 닿으면 핀치 상태를 나타내는 핀치 신호를 제어부에 전송한다.The
즉, 실린더부(230)가 샤프트(240)를 내부 방향으로 당기는 과정에서 정상적으로 도킹 상태가 되거나 웨이퍼등의 이물질(600)이 풉(140)과 오프너(110) 사이에 끼는 핀치 상태가 되면, 더 이상 스테이지(100)는 움직이지 않는다.That is, when the
그러나 샤프트(240) 말단과 연결판(220) 사이에는 스프링(300)이 설치되어 있으므로 스프링(300)을 덮는 캡(250)과 연결판 사이의 이격 거리만큼 샤프트(240)는 이동하게 되고 샤프트(240)에 설치된 핀치 감지판(370) 역시 내부 방향으로 움직이게 된다.However, since the
따라서, 샤프트(240)를 따라 움직이는 핀치 감지판(370)은 연결판(220)에 설치되어 그로부터 내부 방향으로 뻗어나와 있는 핀치 센서부(320)쪽으로 이동하게 되고, 핀치 센서부(320)에 구비된 스위치접점부(330)와 만나게 된다.Accordingly, the
이 핀치 센서부(320)은 마이크로 스위치로서, 핀치 감지판(370)이 스위치접점부(330)에 닿으면 핀치 상태를 나타내는 핀치 신호를 제어부로 전송한다.The
제어부는, 도킹 위치 센서(350)가 감지 센서판(310)을 감지하지 못하고 핀치 센서부(320)로부터 핀치신호를 전송받은 경우에는, 실린더부(230)로 하여금 샤프트(240)를 실린더부(230)의 외부 방향으로 밀도록 제어하는 제어 신호를 실린더부(230)로 전송하는 것을 특징으로 한다.If the
즉, 핀치 신호가 전송되는 경우는 상술한 바와 같이 도킹 상태이거나 웨이퍼등의 이물질(600)이 풉(140)과 오프너(110) 사이에 끼는 핀치 상태이다.That is, when the pinch signal is transmitted, as described above, the pinch signal is in a docking state or a foreign matter 600 such as a wafer is pinched between the
그러나 도킹 상태는 정상적인 작동이므로, 도킹 위치 센서(350)가 감지 센서판(310)을 감지하지 못하고, 핀치 센서부(320)로부터 핀치신호를 전송받은 경우에 만 실린더부(230)로 하여금 샤프트(240)를 실린더부(230)의 외부 방향으로 밀도록 제어하는 제어 신호를 실린더부(230)로 전송한다.However, since the docking state is a normal operation, when the
결국, 핀치 상태가 발생하여도 더 이상 스테이지(100)의 진행을 막고, 외부 방향으로 스테이지(100)를 이동시켜 언도킹 위치 센서(340)가 감지 센서판(310)을 감지하게 되고, 언도킹 상태가 된다.As a result, even if a pinch state occurs, the
따라서, 본 발명에 따르면 풉 도어와 오프너 사이에 웨이퍼등의 이물질에 의해 끼임이 발생시 일어나는 핀치 상태를 인식하는 핀치 센서부를 부착하여, 로드 포트 모듈의 손상을 막는 스테이지 이동 장치를 제공할 수 있다.Therefore, according to the present invention, a pinch sensor unit for recognizing a pinch state occurring when a pinch occurs due to a foreign matter such as a wafer is provided between the pull door and the opener, thereby providing a stage shifting device that prevents damage to the load port module.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치(10)에 있어서, 상기 제어부는 실린더부(230)의 피스톤 운동에 의하여 수평이동되는 샤프트(240)의 이동 속도를 조절하는 제어 신호를 실린더부(230)에 보내는 것을 특징으로 한다.In the
샤프트(240)의 이동 속도는 실린더부(230)에 의해서 결정되는데, 이는 샤프트(240)는 실린더부(230) 내부에 존재하는 피스톤 운동에 따라 왕복 이동하기 때문이다.The moving speed of the
특히, 샤프트(240)가 정지하고 있다가 움직일 때가 중요한데 너무 힘을 주어 샤프트(240)를 내부 방향으로 당기면, 압축된 스프링(300)이 복원될 시간이 지나지 않아 핀치 감지판(370)이 핀치 센서부(320)에 닿아 핀치 상태로 오작동할 수 있다.In particular, when the
따라서, 샤프트(240)의 이동 속도는 완만하게 증가되도록 조절되는 것이 바람직하다.Therefore, the moving speed of the
마찬가지로, 샤프트(240)가 이동하다가 정지할 때도 이동 속도는 완만하게 감소되도록 조절되는 것이 바람직하다.Similarly, when the
또한, 샤프트(240)가 스테이지(100)의 도킹, 언도킹을 위하여 이동하고 있을 때의 속도는 일정한 것이 바람직하다. In addition, the speed when the
속도가 일정하지 못하고 변한다면 스테이지(100)가 흔들릴 수 있고, 풉(140)에 적재된 웨이퍼의 손상 위험도 있기 때문이다.This is because the
또한, 도킹 상태 이후 샤프트(240)는 남은 실린더 스트로크만큼 당겨지는데 이때는 이동 중의 이동 속도보다 줄여 천천히 당기는 것이 바람직하다.In addition, after the docking state, the
이는 실린더부(230)의 손상을 방지하기 위함이다.This is to prevent damage to the
따라서, 본 발명에 따르면 샤프트(240)의 이동 속도를 제어함으로써, 스테이지(100) 이동 중에 핀치 센서부(320)가 핀치 상태로 인식하는 것을 막고, 보다 안정적인 스테이지(100) 이송이 가능하게 하는 스테이지 이동 장치(10)를 제공할 수 있다.Therefore, according to the present invention, by controlling the moving speed of the
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 샤프트와 실린더부를 나타낸 측면도이다.7 is a side view showing a shaft and a cylinder according to a preferred embodiment of the present invention.
도7을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치(10)에 있어서 상기 샤프트(240)는 제 1샤프트(400) 및 제 2샤프트(410)를 포함한다.Referring to FIG. 7, in the
제 1샤프트(400)는 연결판(220)에 형성된 홀을 관통하고, 외주면을 감싸며 형성되는 핀치 감지판(370)을 구비한다.The
제 2샤프트(410)는 제 1샤프트와 연결되어 실린더부(230)의 피스톤 운동에 의해 수평이동을 한다.The
제 1샤프트(400)와 제 2샤프트(410)는 체결구에 의해 연결될 수 있으며, 제 2샤프트(410)의 수평이동에 따라 연결된 제 1샤프트(400) 역시 수평이동을 하는 것이다.The
스프링(300)은 로드 포트 모듈(1)의 크기, 풉(140)의 적재량 등에 따라 탄성력을 조정하기 위하여 크기등이 변화될 수 있는데 샤프트(240))에 스프링(300)이 끼워져야 하므로 샤프트(240) 전체를 스프링(300)의 내부 지름에 맞추어야 한다.The
그러나, 샤프트를 나누어 구성하면 제 1샤프트(400) 부분만 스프링(300)에 맞추어 제작하면 된다.However, when the shaft is divided and configured, only the
또한, 제 2샤프트(410)는 실린더부(230) 내부를 타고 왕복이동하기 때문에 마모 및 손상의 위험성이 크다.In addition, since the
샤프트가 하나로 구성된 경우에는 전체를 교체하여야 했지만, 두개의 샤프트로 구성한 경우에는 제 2샤프트(410)을 교체하면 된다.If the shaft is composed of one, the whole had to be replaced, but if composed of two shafts, the
따라서, 본 발명에 따르면 하나의 샤프트를 두개의 샤프트로 대체하여, 그 제작, 교체 및 시공이 용이한 스테이지 이동 장치를 제공할 수 있다.Therefore, according to the present invention, by replacing one shaft with two shafts, it is possible to provide a stage shifting device that is easy to manufacture, replace and construct.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변 형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims, which will be described later rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and the equivalent concept are included in the scope of the present invention. Should be interpreted.
도 1은 일반적인 로드 포트 모듈을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a general load port module.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치를 나타낸 상부 사시도이다.2 is a top perspective view showing a stage moving device according to a preferred embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치를 나타낸 하부 사시도이다.3 is a bottom perspective view showing a stage moving device according to a preferred embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치를 나타낸 측면도이다.4 is a side view showing a stage moving device according to a preferred embodiment of the present invention.
도 5a, 5b, 5c는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스테이지 이동 장치의 스테이지가 움직이는 모습을 나타낸 도면이다.5A, 5B, and 5C are views illustrating a state in which a stage of a stage moving device moves according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 6a, 6b, 6c는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 풉과 로드 포트 모듈 도어 사이에 끼임이 발생시 스테이지 이동 장치의 핀치 액션을 나타낸 도면이다.6A, 6B, and 6C illustrate pinch actions of the stage moving device when a jam occurs between the pull and load port module doors according to a preferred embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 샤프트와 실린더부를 나타낸 측면도이다.7 is a side view showing a shaft and a cylinder according to a preferred embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>
1: 로드 포트 모듈 10 : 스테이지 이송 장치1: load port module 10: stage feeder
100 : 스테이지 110 : 오프터 100: stage 110: opter
130 : 로드 포트 모듈의 몸체 140 : 풉 130: body of the load port module 140: loosening
150: 풉 도어 210 : 지지부 150: pull door 210: support portion
220: 연결판 230 : 실린더부 220: connecting plate 230: cylinder portion
240 : 샤프트 250 : 캡 240: shaft 250: cap
300 : 스프링 310 : 감지 센서판 300: spring 310: detection sensor plate
320 : 핀치 센서부 330 : 스위치접점부 320: pinch sensor unit 330: switch contact unit
340 : 언도킹 위치 센서 350 : 도킹 위치 센서340: undocking position sensor 350: docking position sensor
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090082487A KR101039584B1 (en) | 2009-09-02 | 2009-09-02 | Stage moving device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090082487A KR101039584B1 (en) | 2009-09-02 | 2009-09-02 | Stage moving device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20110024474A KR20110024474A (en) | 2011-03-09 |
KR101039584B1 true KR101039584B1 (en) | 2011-06-09 |
Family
ID=43932305
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090082487A KR101039584B1 (en) | 2009-09-02 | 2009-09-02 | Stage moving device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101039584B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102316979B1 (en) * | 2021-04-27 | 2021-10-26 | (주)시스콘 | Docking guide apparatus for transporting robot |
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Also Published As
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---|---|
KR20110024474A (en) | 2011-03-09 |
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