JP4080612B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、冗長回路を備えると共に、所定ビットのデータ書き込みを禁止するマスク書き込み機能を実装した半導体記憶装置に係り、特にメモリ混載集積回路におけるDRAM等に適用して有用な半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
大規模DRAM等においては、不良救済のために冗長回路を備えることが一般に行われる。メモリセルアレイの不良ピットを置き換える冗長回路として、メモリセルアレイに隣接した予備セルアレイが配置される。同時に、テストの結果検出された不良アドレスを記憶するために、不良アドレス記憶回路が配置される。そして、不良アドレスが入力された場合には、不良アドレス記憶回路の出力によりメモリセルアレイの不良ビットが予備セルアレイにより置換されるようにする。
【0003】
従来の一般的な不良ビットの救済は、より具体的には、カラムアドレスによって不良ビット線を予備ビット線により置き換え、ロウアドレスによって不良ワード線を予備ワード線により置き換えるという手法が用いられている。この方式の場合、メモリセルアレイのビット線との間でデータ転送を行うデータ線には予備のデータ線(冗長データ線)は設けられず、データ線に対する不良ビット線と予備ビット線の接続切り替えが行われる。
【0004】
これに対して、冗長回路として予備セルアレイに接続される予備データ線を備えて、不良ビット線と予備ビット線との置き換えを行うことなく、不良データ線を予備データ線で置き換える不良救済方式もある。この方式は、データ線幅が大きいDRAMにおいては、不良ビット線を予備ビット線により置き換える方式に比べて、救済効率が高くなることが知られている。このデータ線置き換えを行う不良救済方式では、不良データ線に対応するデータ入出力端子を不良データ線に隣接するデータ線に接続し、この置き換えに使われたデータ線に対応する入出力端子は更に隣接するデータ線に接続するという操作を繰り返し、最後の入出力端子はデータ線束の最外側に配置された予備データ線に接続するという、データ線シフト制御が行われる。
【0005】
一方、DRAMの機能として近年、特定ビットへのデータ書き込みを禁止するマスク機能(Masked Write機能)の実装が求められることが多い。例えば、画像データ処理等を行うためのメモリ混載ロジック集積回路等においては、このようなマスク書き込み機能が重要になる。マスク書き込み機能は例えば、マスクデータにより、ビット単位で或いはバイト単位でデータバッファの活性,非活性を制御することにより実現される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、予備データ線RDQを備えてデータ線置き換えを行う不良救済方式を採用したDRAMにマスク書き込み機能を実装しようとすると、マスクデータによるデータ線シフト制御と同時に、データバッファ1へのマスクデータの供給を切り替える制御が必要になり、マスク書き込み機能実現のための制御が複雑になる。
【0007】
この発明は、上記事情を考慮してなされたもので、データ線置き換えにより不良救済を行う方式であっても簡単にマスク書き込み機能を実現できるようにした半導体記憶装置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体記憶装置は、メモリセルアレイと、このメモリセルアレイに隣接して配置された予備セルアレイと、前記メモリセルアレイに接続される複数のデータ線対と、前記予備セルアレイに接続される少なくとも一つの予備データ線対と、前記各データ線対及び予備データ線対のそれぞれに接続されて、書き込みバッファ部がバッファ入力端子対とバッファ出力端子対をもって構成された複数のデータバッファと、各データバッファとの間でデータ転送するための複数のデータ入出力端子と、前記データ線対及び前記予備データ線対と前記データ入出力端子との接続関係をシフトさせるデータ線シフト回路を備えて前記メモリセルアレイの不良ビットを前記予備セルアレイにより置き換えて救済するための不良救済回路と、前記データ線シフト回路を介して前記データバッファのバッファ入力端子対に接続される出力端子対を有し、前記各データ入出力端子に与えられる2値の書き込みデータと書き込み禁止を指示する2値のマスクデータと書き込み/読み出し制御信号とを合成して、前記出力端子対に、“1”書き込み、“0”書き込み、マスク書き込み及びデータを読み書きしないノーオペレーション動作に対応させた4値出力データを発生させる複数の入力データ生成回路と、を備え、 前記データバッファが、前記入力データ生成回路で生成された4値出力データを、前記データ線シフト回路を介して導入し、書き込みのために前記各データ線対及び予備データ線対の電位を制御することを特徴とする。
【0009】
この発明において、前記各データバッファの書き込みバッファ部は例えば、前記バッファ入力端子対に与えられるデータをそれぞれ保持する二つのラッチと、前記バッファ出力端子対に接続されるデータ線対を動作モードに応じてイコライズし、プリチャージするためのイコライズ/プリチャージ回路と、前記二つのラッチの保持データに基づいて前記イコライズ/プリチャージ回路の動作制御を行うロジック回路と、イコライズ信号に基づいて前記イコライズ/プリチャージ回路及びロジック回路の制御タイミング信号を発生するタイミング回路とを備えて構成される。
【0010】
この発明において、前記各データバッファの読み出しバッファ部は例えば、対応する前記データ線対及び予備データ線対のデータを検知増幅するためのデータ線センスアンプと、前記データ線対及び予備データ線対のデータをこのデータ線センスアンプのノードに転送するための転送ゲートと、前記データ線センスアンプで検知増幅されたデータを保持する出力ラッチとを備えて構成される。
【0011】
この発明において、前記不良救済回路は例えば、前記複数のデータ線対のうちの不良データ線対のアドレスを記憶する不良アドレス記憶回路と、この不良アドレス記憶回路の出力に応じて不良データ線対を避けて前記複数のデータ線対及び予備データ線対と前記データ入出力端子との間の接続関係をシフトさせるデータ線シフト回路と、を有するものとする。
前記データ線シフト回路は、具体的には、前記不良アドレス記憶回路の記憶データをデコードするデコーダ群と、前記各データ生成回路の出力端子対をそれぞれ対応する前記各データ線対に接続するためのスイッチ群からなる第1のスイッチ回路と、前記デコーダ群の出力に基づいて前記各データ生成回路の出力端子対を不良のデータ線対を避けてそれ以外のデータ線対と予備データ線対に接続するためのスイッチ群からなる第2のスイッチ回路とを備えて構成される。
【0012】
更にこの発明においては、前記データバッファの数に比べて前記データ入出力端子の数が少なく、前記データ線シフト回路は、一つのデータ入出力端子に順次供給される書き込みデータを異なるデータバッファに切り替えて転送するデータ線シフトを行う機能を有するのとする。
この発明において好ましくは、半導体記憶装置は、ロジック回路と混載されるDRAMである。
【0013】
この発明においては、従来のようにデータバッファに対して活性、非活性を制御するマスクデータ供給を行わうことなく、データバッファに転送される書き込みデータとマスクデータとを、データバッファと入出力端子の間に設けられるデータ生成回路において合成して、2値の書き込みデータと書き込み禁止を指示する2値のマスクデータの組み合わせにより決まる、データ線対及び予備データ線対の4値状態を“1”書き込み、“0”書き込み、マスク書き込み及びノーオペレーション動作に対応させる。
【0014】
この様なマスク書き込み方式を採用すると、マスクデータは書き込みデータと一体になってデータバッファに転送される。従って、不良救済のためにデータ線シフト回路を設けてデータ線のシフト制御を行ったときにも、データバッファに対するマスクデータの供給切り替えといった制御を行う必要はなく、簡単にマスク書き込み機能を実現することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態を説明する。
図1は、この発明の実施の形態によるDRAMのブロック構成を示している。この実施の形態では、DRAMはロジック回路と混載されるものを対象としているが、図ではそのDRAMのみの構成を示している。図2はメモリセルアレイ11及び予備セルアレイ11aとその近傍の具体構成を示している。メモリセルアレイ11はよく知られているように、ビット線BLとワード線WLが交差して配列されて、その各交差部にダイナミック型メモリセルが配置されて構成される。メモリセルアレイ11に隣接して、不良救済のための予備セルアレイ11aが配置される。
【0016】
メモリセルアレイ11のビット線選択及びワード線選択はそれぞれ、ロウデコーダ13及びカラムデコーダ14とカラムゲート15により行われる。外部からのアドレスはアドレスバッファ19に取り込まれ、ロウアドレス、カラムアドレスがそれぞれロウデコーダ13、カラムデコーダ14によりデコードされる。
センスアンプ列12は、メモリセルアレイ11のビット線データをセンスし、或いはデータバッファ16から転送される書き込みデータが書き込まれる。カラムゲート15とデータ入出力端子IOの間には、データバッファ16、不良データ線を避けて他のデータ線と予備データ線に置き換えるためのデータ線シフト回路17、及び入力される書き込みデータとマスクデータMASKを合成するデータ生成回路18が設けられている。
【0017】
フューズ回路20は不良データ線に対応するアドレスを不揮発に記憶する不良アドレス記憶回路である。アドレスバッファ19により取り込まれたアドレスが不良アドレスである場合に、フューズ回路20から出力されるフューズデータは、データ線シフト回路17に転送され、デコードされてデータ線の置き換え制御が行われる。
【0018】
図2は、メモリセルアレイ11の近傍の具体構成例を示している。通常メモリセルアレイ11は複数ブロックに分けられ、センスアンプ列12を挟んでブロックが配列されるが、図では一つのブロック111の近傍のみ示している。ビット線BLは実際には図示のように、ビット線対BLi,bBLi(i=0,1,…)として構成され、これらとワード線WLの交差部にメモリセルMCが配置される。これらのビット線対BLi,bBLiに対して、予備セルアレイ11aを構成する少なくとも一つの予備ビット線対SBL,bSBLが設けられる。
【0019】
各ビット線対BLi,bBLiと予備ビット線対SBL,bSBLにはそれぞれセンスアンプ列12を構成するセンスアンプSAの他に、ビット線イコライズ回路等が設けられるが、ビット線イコライズ回路は省略した。ビット線対BLi,bBLi及び予備ビット線対SBL,bSBLはそれぞれ、カラムゲート15を構成するカラム選択トランジスタを介してデータ線対DQti,DQci及び予備データ線対RDQt,RDQcに接続される。データ線対DQt,DQci及び予備データ線対RDQt,RDQcは、この例ではメモリセルアレイの上を通過して複数のブロックにまたがって共通に配設されている。
【0020】
この実施の形態においては、データ線置き換えによる不良救済方式を用いるから、カラムゲート15のなかの予備ビット線対SBL,bSBLを選択するトランジスタQ01,Q02に入る予備カラム選択線SCSLは、アドレスに依らず常時“H”(選択状態)とされる。即ち、予備ビット線対SBL,bSBLは常時、予備データ線対RDQt,RDQcに接続される。他のカラム選択線CSLはカラムアドレスにより選択的に“H”,“L”となる。
【0021】
図3は、メモリセルアレイ上のデータ線対DQti,DQci及び予備データ線対RDQt,RDQcにつながるデータバッファ16、データ線シフト回路17及びデータ生成回路18の構成を示している。データ生成回路18の出力データ線は、相補信号線であるデータ線対Dtia,Dciaとなっており、これがデータ線シフト回路17においてデータバッファ16への入力データ線対Dtib,Dcib及び予備データ線対RDt,RDcへの接続が制御される。即ちデータバッフア16は入出力データ線共に相補信号線となっている。
【0022】
図4は、各入出力端子IO毎に設けられるデータ生成回路18の構成を示している。データ生成回路18は、データ線対Dt,Dcにつながる相補信号を出す出力端子対41,42を有する。このデータ生成回路18は、入出力端子IOに与えられる2値の書き込みデータと、書き込み禁止を指示する2値のマスクデータMASK及び書き込み/読み出し制御信号を合成して、出力端子対41,42に、“1”書き込み、“0”書き込み、マスク書き込み(Masked Write)及びノーオペレーション(NOP)動作に対応させた4値状態の出力データを発生させるものである。
【0023】
即ち、データ生成回路18は、データ入出力端子に与えられる書き込みデータとそれがインバータI41により反転されたデータがマスクデータMASKとともに入力される第1及び第2の2入力NANDゲートG41及びG42により構成された第1のNANDゲート対401と、NANDゲートG41,G42の出力と書き込み制御信号WRITEが入力される第3及び第4の2入力NANDゲートG43及びG44により構成された第2のNANDゲート対402と、更にNANDゲートG43,G44の出力と読み出し制御信号READをインバータI42で反転した信号が入力される第5及び第6の2入力NANDゲートG45及びG46により構成された第3のNANDゲート対403とを有する。
【0024】
書き込み制御信号WRITEは、データ書き込み時に“H”(例えば、電源電位VCC)になり、読み出し制御信号READはデータ読み出し時に“H”になり、マスクデータMASKはマスク書き込み時に“L”(例えば、接地電位VSS)になる。マスクデータMASKは、一般的にはバイト毎に、或いはビット毎にデータ書き込みをマスクするためのものである。
【0025】
読み出し制御信号READ及び書き込み制御信号WRITEが共に“L”のときがNOP動作であり、このとき出力データ線Dt,Dc共に“L”となる。データ書き込み時は、READ=“L”、WRITE=“H”であり、最終段NANDゲートG45,G46及び2段目NANDゲートG43,G44が活性になる。そして、マスクデータMASKが“H”のとき、即ちマスク書き込みでないときは、入出力端子IOの“H”(例えば、データ“1”),“L”(例えば、データ“0”)に応じて、出力データ線Dt,Dcは一方が“H”,他方が“L”となる。マスクデータMASKが“L”、即ちマスク書き込みの場合には、入力データによらず、NANDゲートG41,G42の出力が共に“H”となり、出力データ線Dt,Dcは共に“H”の状態となる。
以上のデータ生成回路18の動作をまとめると、下表1のようになる。
【0026】
【表1】
【0027】
データ生成回路18からのデータ線対Dt,Dc(図3では、データ線シフト回路17の入出力のデータ線対を区別して表示しており、これに対応させれば、Dtia,Dciaに相当する)は、データ線シフト回路17に入る。データ線シフト回路17は例えば、図5に示すように、フューズ回路20からのフューズデータをデコードするデコーダ群21と、これにより制御される2段のスイッチ回路51,52とから構成される。なお、図5では、説明をわかりやすくするため、データ線対をまとめて一本で示し、各データ線対に挿入されるスイッチ対も一つで示している。
【0028】
第1のスイッチ回路51は、データ生成回路18からのデータ線対Dtia,Dciaをそれぞれ対応するデータバッファ側のデータ線対Dtib,Dcibに接続するためのスイッチ群SW21,SW22,…により構成される。第2のスイッチ回路52は、データ線不良があった場合に、データ生成回路18の出力データ線対Dtia,Dciaを一つずつシフトして、データバッファ側のデータ線対Dtib,Dcib及び予備データ線対RDt,RDcに接続するためのスイッチ群SW11,SW12,…により構成されている。
【0029】
具体的にこのデータ線シフト回路17でのデータ線シフト制御の動作を説明すると、次のようになる。不良がない場合には、デコーダ群21の各デコーダD0,D1,…は、Q出力が“L”,/Q出力が“H”であり、第1のスイッチ回路51のスイッチ群は全てオン、第2のスイッチ回路52のスイッチ群は全てオフである。これにより、データ線対Dtia,Dciaはそれぞれ対応するデータバッファ側のデータ線対Dtib,Dcibに接続される。このとき予備データ線RDt,RDcは用いられない。
【0030】
データ線不良のアドレスが入り、具体的に例えばデータ線対Dt2b,Dc2b(図3におけるデータ線対DQt2,DQc2に対応する)が不良であったとすると、このときデコーダ群21では、デコーダD0,D1,D2のQ出力が“H”,/Q出力が“L”になる。これは、詳細な説明は省くが、フューズ回路20がその様にプログラムされているということである。これにより、第1のスイッチ回路51では、スイッチSW21〜SW23がオフになり、第2のスイッチ回路52では、スイッチSW11〜SW13がオンになる。
【0031】
この結果、データ生成回路18からのデータ線対Dt2a,Dc2aは、スイッチSW13を介して不良のデータ線対Dt2b,Dc2bを避けてその隣のデータ線対Dt1b,Dc1bに接続される。同様に、データ線対Dt1a,Dc1aは、スイッチSW12を介して、置き換えに利用されたデータ線対の隣のデータ線対Dt0b,Dc0bに接続される。更に、データ線対Dt0a,Dc0aは、スイッチSW11を介して、予備データ線対RDt,RDcに接続される。
【0032】
以上のようなデータ線シフト制御が行われた場合、マスク書き込み機能を実現するには従来は、データバッファに対するマスクデータの供給を切り替え制御する必要があった。しかし、この実施の形態においては、マスクデータMASKと書き込みデータがデータ生成回路18において合成されて、いわばマスクデータが書き込みデータと一体化された状態でデータバッファに送られ、各データバッファがマスク書き込み機能を内在させた状態としている。
【0033】
図6は、その様なマスク書き込み機能を内在させたデータバッファ16の中の書き込みバッファ部16aの構成例を示している。この書き込みバッファ部16aは、入出力共に相補信号端子となっている。即ち、データ生成回路18からのデータ線対Dt,Dcにつながるバッファ入力端子対60,61を有し、メモリセルアレイ側のデータ線対DQt,DQcにつながるバッファ出力端子対62,63を有する。また、マスクデータMASKは前述のようにデータ生成回路18において書き込みデータと共に合成されており、この書き込みバッファ部16aには供給されない。
【0034】
書き込みデータバッファ部16aは、入力データ線対Dt,Dcのデータを取り込んで保持するラッチ601,602を有し、このラッチ601,602の保持データに応じて、タイミング信号CEQ,QSEにより制御されて、出力データ線対DQt,DQcの電位を制御することになる。
CEQはデータ線イコライズ信号であり、QSEはデータ読み出し時に“H”となる信号である。これらの信号は、クロックCLKに同期して発生されるタイミング信号であり、この書き込みバッファ部16aの各動作モードでのタイミングを示すと、図8のようになっている。
【0035】
出力データ線DQt,DQc側には、データ線対DQt,DQcをイコライズし、所定電位にプリチャージするためのイコライズ/プリチャージ回路605が設けられている。また、ラッチ601,602の保持データに応じて、イコライズ/プリチャージ回路605を制御して出力データ線対DQt,DQcの電位制御を行うために、ロジック回路607が設けられている。これらのイコライズ/プリチャージ回路605及びロジック回路607のタイミング制御を行うために、イコライズ用信号CEQに基づいてタイミング制御信号を発生するタイミング回路604が設けられている。
【0036】
ロジック回路607は、それぞれラッチ601,602の出力とタイミング信号が入る3入力NANDゲートG603,G604を有し、更にこれらのNANDゲートG603,G604の出力及びその入出力の論理により、データ線対DQt,DQcを駆動するイコライズ/プリチャージ回路605を制御するために、2入力NORゲートG605,G607を有する。
【0037】
イコライズ/プリチャージ回路605は、データ書き込み時にデータ線DQt,DQcに選択的にビット線充電電位VAAを与えるためのプリチャージ用PMOSトランジスタQP61,QP64のほか、NOP動作時にデータ線対DQt,DQcをそれぞれ中間電位VSLP(=VAA/2)にプリチャージするためのプリチャージ用NMOSトランジスタQN62,QN63を有する。
【0038】
読み出しタイミング信号QSEは、読み出し制御信号発生回路603に入る。図8に示すように、読み出しタイミング信号QSEは、読み出しモードで“H”になる。タイミング信号QSEが“H”になると、NANDゲートG601,G602からなるフリップフロップFFがセットされて、読み出し制御信号READが“H”になる。またタイミング信号QSEと同時に、後述する読み出しバッファ部でのデータ転送制御を行う制御信号PASSが発生される。従って読み出しモードでは、フリップフロップFFの出力ノードN0が“L”となる。このとき、ロジック回路607では、3入力NANDゲートG603,G604が非活性、従って書き込みバッファ部16aは非活性になる。フリップフロップFFは、イコライズ信号CEQによりリセットされる。
【0039】
メモリ動作は、書き込みモード、読み出しモードに拘わらず、図8に示すように、クロックCLKに同期して、カラム選択信号CSLが“H”になってセンスアンプによるデータセンス,ラッチ動作が行われ、その後イコライズ信号CEQが“H”になって、データ線対のイコライズ、プリチャージが行われる。
【0040】
データ書き込み時における図6の書き込みバッファ16aでの動作を説明すると、次のようになる。まず、NOP動作の場合、図8に示すように、イコライズ信号CEQは“L”である。このときタイミング回路604のインバータI608の出力は“H”、インバータI609の出力は“L”であり、従ってイコライズ/プリチャージ回路605においては、イコライズ用のNMOSトランジスタQN65,PMOSトランジスタQP65共にオフである。
【0041】
ラッチ601,602のデータは、先にデータ生成回路18に関して説明したように、共に“L”であり、イコライズ信号CEQが“L”でタイミング回路604のインバータI603の出力が“H”であるから、ロジック回路607の3入力NORゲートG606の出力が“H”となる。これにより、イコライズ/プリチャージ回路605におけるNMOSトランジスタQN62,QN63がオンとなって、データ線対DQt,DQcは共に、VSLP=VAA/2の中間電位にプリチャージされる。
【0042】
次に通常のデータ書き込み動作では、ラッチ601,602には、データに応じて一方に“H”、他方に“L”が保持される。イコライズ信号CEQが“H”の間、イコライズ/プリチャージ回路605のイコライズ用NMOSトランジスタQN65及びPMOSトランジスタQP65がオンしてデータ線対DQt,DQcがイコライズされ、イコライズ信号CEQが“L”になると、データに応じてデータ線対DQt,DQcがプリチャージされる。即ち、データに応じて、ロジック回路607では、3入力NANDゲートG603,G604の一方の出力が“H”,他方の出力が“L”になる。
【0043】
具体的に、ラッチ601のデータが“H”、ラッチ602のデータが“L”の場合、即ち“H”書き込みの場合を説明する。このとき、NANDゲートG603の出力が“L”、NANDゲートG604の出力が“H”になる。これにより、イコライズ/プリチャージ回路605では、プリチャージ用PMOSトランジスタQP61がオン、プリチャージ用PMOSトランジスタQP64がオフになる。同時に、ロジック回路607の2入力NORゲートG605,G607の出力はそれぞれ、“L”,“H”になる。これにより、イコライズ/プリチャージ回路605では、NMOSトランジスタQN61がオフ、NMOSトランジスタQN64がオンになる。この結果、データ線対DQt,DQcは、DQt=VAA(“H”)、DQc=VSS(“L”)にプリチャージされる。書き込みデータが逆であれば、データ線対DQt,DQcは逆のプリチャージがなされる。
【0044】
以上のように、通常のデータ書き込み時は、データ線対Dt,Dcの“H”,“L”に応じて、データ線対DQt,DQcが“H”,“L”にプリチャージされることなる。このデータ線対DQt,DQcのプリチャージ電位がメモリセルアレイのセンスアンプに転送され、データ書き込みが行われる。
【0045】
次に、マスク書き込み動作の場合には、ラッチ601,602には、前述のように共に“H”が保持される。また、書き込みモードではフリップフロップFFの出力ノードN0が“H”である。従って、イコライズが終了してイコライズ用信号CEQが“L”になると、ロジック回路607では3入力NANDゲートG603,G604の出力は共に“L”、2入力NORゲートG605,G607の出力は共に“L”となる。これにより、イコライズ/プリチャージ回路605では、PMOSトランジスタQP61,QP64がオンとなって、データ線対DQt,DQcは共に、VAAにプリチャージされる。データ線対DQt,DQcが共に“H”であれば、これがメモリセルアレイのビット線対に転送されても、センスアンプは動作せず、データ書き込みが禁止されることになる。
【0046】
図7は、データバッファ16における読み出しバッファ部16bの構成例を示している。この読み出しバッファ部16bは、データ線DQt,DQcのデータを入出力端子側に転送するための転送ゲート701、イコライズ回路702、データ線センスアンプ703、差動アンプ704、出力データラッチ705等により構成される。
【0047】
データ読み出し時、図6の回路内に示したタイミング信号QSEが“H”になると、信号PASSが“H”になり、PMOSトランジスタQP71,QP72からなる転送ゲート701がオンして、データ線DQt,DQcのデータがセンスアンプ703に転送される。このとき、PMOSトランジスタQP73〜QP75からなるイコライズ回路702は、読み出し制御信号READが“H”になることで、既にオフになっている。
【0048】
また、制御信号READが“H”となった後、信号PASSが“L”に戻ることにより、NANDゲートG701の出力が“L”となって、これによりセンスアンプ703は活性化する。センスされたデータは、NANDゲートG701の出力が“L”となることによりセンスアンプ703と同時に活性化される差動アンプ704により増幅されて、出力データラッチ705に取り込まれる。この読み出しバッファ部16bの出力線RDtは、データ入出力端子IOにつながる。
【0049】
以上のようにこの実施の形態では、データバッファに転送される書き込みデータとマスクデータとがデータバッファと入出力端子の間に設けられるデータ生成回路において合成され、データ線対及び予備データ線対の4値状態を“1”書き込み、“0”書き込み、マスク書き込み及びノーオペレーション動作に対応させるようにしている。従って、不良救済のためにデータ線シフト回路を設けてデータ線のシフト制御を行ったときにも、データバッファに対するマスクデータの供給切り替えといった制御を行う必要はなく、簡単にマスク書き込み機能を実現することができる。
【0050】
図9は、この発明の別の実施の形態によるDRAMのデータバッファ16、データ線シフト回路17b及びデータ生成回路18の部分を図3に対応させて示している。先の実施の形態では、データ線対の数とデータ入出力端子の数が同じである場合を説明したが、メモリ混載集積回路ではしばしば、メモリセルアレイの規模は変わらないがデータ入出力端子の数がデータ線対の数(即ちデータバッファの数)より少なくなる場合がある。例えば、メモリセルアレイに配置されるデータ線対が256対であって、データ入出力端子数がその半分の128であるような場合である。この実施の形態はこの様な場合の構成を示している。
【0051】
この場合、データ線シフト回路17bは、先の実施の形態で説明した不良救済ためのデータ線シフトの機能とは別に、各データ入出力端子IOに順次与えられる書き込みデータを、カラムアドレスにより図に破線で示すように異なるデータバッファ16に切り替えて入力するためのシフト制御機能を備えることが必要になる。これにより、半分のデータ入出力端子数でその倍のデータ線を持つメモリセルアレイをアクセスすることが可能になる。
【0052】
この場合、従来のようにデータバッファにマスクデータを与える方式では、書き込みデータを単純にシフトするだけでは不十分であり、マスクデータを切り替え供給するためのマルチプレクサ等が必要になる。これに対しこの実施の形態では、先の実施の形態と同様に、データ生成回路18においてマスクデータを書き込みデータとを合成することにより、簡単なデータ線シフト制御のみでマスク書き込みの制御が可能になる。
【0053】
この発明は、上記実施の形態に限られない。上記実施の形態では、混載DRAMを説明したが、DRAM単体の場合にもこの発明は有効である。またDRAMのほか、SRAM等にも同様のこの発明を適用することが可能である。
【0054】
【発明の効果】
以上述べたようにこの発明による半導体記憶装置では、データバッファに転送される書き込みデータとマスクデータとをデータバッファと入出力端子の間に設けられるデータ生成回路において合成して、データ線対及び予備データ線対の4値状態を“1”書き込み、“0”書き込み、マスク書き込み及びノーオペレーション動作に対応させるようにしている。これにより、不良救済のためにデータ線シフト回路を設けたときにも、データバッファに対するマスクデータの供給切り替えといった制御を行う必要はなく、簡単にマスク機能を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の1実施の形態のDRAMブロック構成を示す。
【図2】同DRAMのメモリセルアレイとその近傍の構成例を示す。
【図3】同DRAMのデータバッファ、データ線シフト回路及びデータ生成回路の構成例を示す。
【図4】同DRAMのデータ生成回路の構成例を示す。
【図5】同DRAMのデータ線シフト回路の構成例を示す。
【図6】同DRAMのデータバッファにおける書き込みバッファ部の構成例を示す。
【図7】同DRAMのデータバッファにおける読み出しバッファ部の構成例を示す。
【図8】同DRAMの各動作モードのタイミング波形を示す。
【図9】この発明の別の実施の形態のDRAMにおけるデータバッファ、データ線シフト回路及びデータ生成回路の構成を示す。
【符号の説明】
11…メモリセルアレイ、11a…予備セルアレイ、12…センスアンプ列、13…ロウデコーダ、14…カラムデコーダ、15…カラムゲート、16…データバッファ、17…データ線シフト回路、18…データ生成回路、19…アドレスバッファ、20…フューズ回路、DQti,DQci,Dtib,Dcib,Dtia,Dcia…データ線対、RDQt,RDQc,RDt,RDc…予備データ線対、IOi…データ入出力端子。
Claims (7)
- メモリセルアレイと、
このメモリセルアレイに隣接して配置された予備セルアレイと、
前記メモリセルアレイに接続される複数のデータ線対と、
前記予備セルアレイに接続される少なくとも一つの予備データ線対と、
前記各データ線対及び予備データ線対のそれぞれに接続されて、書き込みバッファ部がバッファ入力端子対とバッファ出力端子対をもって構成された複数のデータバッファと、
各データバッファとの間でデータ転送するための複数のデータ入出力端子と、
前記データ線対及び前記予備データ線対と前記データ入出力端子との接続関係をシフトさせるデータ線シフト回路を備えて前記メモリセルアレイの不良ビットを前記予備セルアレイにより置き換えて救済するための不良救済回路と、
前記データ線シフト回路を介して前記データバッファのバッファ入力端子対に接続される出力端子対を有し、前記各データ入出力端子に与えられる2値の書き込みデータと書き込み禁止を指示する2値のマスクデータと書き込み/読み出し制御信号とを合成して、前記出力端子対に、“1”書き込み、“0”書き込み、マスク書き込み及びデータを読み書きしないノーオペレーション動作に対応させた4値出力データを発生させる複数の入力データ生成回路と、
を備え、
前記データバッファが、前記入力データ生成回路で生成された4値出力データを、前記データ線シフト回路を介して導入し、書き込みのために前記各データ線対及び予備データ線対の電位を制御する
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記各データバッファの書き込みバッファ部は、
前記バッファ入力端子対に与えられるデータをそれぞれ保持する二つのラッチと、
前記バッファ出力端子対に接続されるデータ線対を動作モードに応じてイコライズし、プリチャージするためのイコライズ/プリチャージ回路と、
前記二つのラッチの保持データに基づいて前記イコライズ/プリチャージ回路の動作制御を行うロジック回路と、
イコライズ信号に基づいて前記イコライズ/プリチャージ回路及びロジック回路の制御タイミング信号を発生するタイミング回路と、
を有することを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記各データバッファの読み出しバッファ部は、
対応する前記データ線対及び予備データ線対のデータを検知増幅するためのデータ線センスアンプと、
前記データ線対及び予備データ線対のデータをこのデータ線センスアンプのノードに転送するための転送ゲートと、
前記データ線センスアンプで検知増幅されたデータを保持する出力ラッチと、を有する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記不良救済回路は、
前記複数のデータ線対のうちの不良データ線対のアドレスを記憶する不良アドレス記憶回路と、
この不良アドレス記憶回路の出力に応じて不良データ線対を避けて前記複数のデータ線対及び予備データ線対と前記データ入出力端子との間の接続関係をシフトさせるデータ線シフト回路と、
を有することを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記データ線シフト回路は、
前記不良アドレス記憶回路の記憶データをデコードするデコーダ群と、
前記各データ生成回路の出力端子対をそれぞれ対応する前記各データ線対に接続するためのスイッチ群からなる第1のスイッチ回路と、
前記デコーダ群の出力に基づいて前記各データ生成回路の出力端子対を不良のデータ線対を避けてそれ以外のデータ線対と予備データ線対に接続するためのスイッチ群からなる第2のスイッチ回路と、
を有することを特徴とする請求項4記載の半導体記憶装置。 - 前記データバッファの数に比べて前記データ入出力端子の数が少なく、前記データ線シフト回路は、一つのデータ入出力端子に順次供給される書き込みデータを異なるデータバッファに切り替えて転送するデータ線シフトを行う機能を有する
ことを特徴とする請求項4記載の半導体記憶装置。 - 前記半導体記憶装置は、ロジック回路と混載されるDRAMである
ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
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