JP4074315B2 - 窒化物半導体発光ダイオード - Google Patents
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Description
例えば、携帯電話などの携帯機器では、組み込まれる液晶表示装置のバックライトの低消費電力化が重要となる。また、大型の液晶表示装置のバックライト用途や、LED照明用途では、低消費電力化も勿論、重要であるが、加えて、大きな出力を得るために、多数のLEDを高密度に実装して用いたり、個々の素子を大電流で駆動することから、発熱量の低減が重要となる。発熱が大きいと、動作時の素子温度が高くなることから、発光効率の低下、発光波長の変動(白色LEDの場合には、蛍光体の励起効率の変化を通して発光効率の低下にもつながる)、素子の信頼性・寿命の低下、といった問題が生じる。
なお、GaN系LEDの動作電圧は、一般に、順方向に一定の電流(一般に20mA)を流すのに要する電圧(順方向電圧。Vfともいう。)により評価される。
加工基板を用いると、窒化物半導体結晶の横方向成長が起こるので、それによって得られる、転位密度の低い高品質な窒化物半導体層で、発光素子構造を形成することができ、内部量子効率の高いLEDが得られる。
また、窒化物半導体とは異なる屈折率を持つ材料からなる加工基板を使用し、結晶成長面の凹凸を埋め込んで、発光素子構造を含む窒化物半導体層を成長させると、基板と窒化物半導体層との界面で光の散乱が生じるようになるために、外部量子効率の高いLEDが得られる(特許文献3)。
図11において、11は、結晶成長面が凹凸状に加工されたサファイア単結晶基板(サファイア加工基板)であり、12はn型層であって、121は、SiドープGaNからなる層厚3μm(基板11の凸部上の厚さ)のn型コンタクト層であり、122は、アンドープAlGaNからなる層厚100nmのn型クラッド層であり、123は、層厚3nmのアンドープInxGa1−xN(0<x≦1)井戸層と層厚10nmのSiドープInyGa1−yN(0≦y<x)障壁層とを各10層交互に積層してなるMQW構造の活性層であり、13はp型層であって、131はMgドープAlGaNからなる層厚30nmのp型クラッド層であり、132はMgドープGaNからなる層厚150nmのp型コンタクト層であり、P11はn型層2に電流を注入するためのn型オーミック電極であり、P12はp型層3に電流を注入するためのp型オーミック電極であり、P13はボンディング・パッドである。p型オーミック電極P12は、例えば、Ni(ニッケル)とAu(金)の積層体からなり、p型層13の上面全体に広がるように、層状に形成されている。
n型コンタクト層121は、サファイア加工基板11の上面の凹部を埋め込んで、平坦に成長している。よって、このn型コンタクト層121は、該面の凹凸に対応して、相対的に層厚が大きい部分(即ち、基板の凹部に入り込んだ分だけ厚い部分)である厚部(層厚T1)と、層厚が小さい部分(即ち、基板の凸部上に位置するために薄くなっている部分)である薄部(層厚t1)とが、交互に並んだ構造となっている。
n型コンタクト層121の上には、n型クラッド層122を介して、活性層123、p型層13、p型オーミック電極P12がこの順に積層されてなる発光部が、図11(a)に示すように、正方形からひとつの角部が切り取られた形状に形成されており、その切り取られた角部の位置に、n型オーミック電極P11が形成されている。n型オーミック電極P11からn型コンタクト層121に注入される電流は、n型コンタクト層121の内部を横方向に拡散して、発光部に供給される。
このような異方性は、n型コンタクト層121において、薄部よりも横方向の電流拡散性が良好である厚部が、切断線Y1−Y1の方向には連続しているが、切断線X1−X1の方向には連続していないことによって生じる。
なお、n型クラッド層122は、n型不純物が意図的にドープされていない、低導電率の層であるために、横方向の電流拡散には実質的に寄与しない。また、活性層3は、層厚が小さいために、横方向の電流拡散に実質的に寄与しない。
(1)絶縁体からなる凹凸状の結晶成長面を有する基板の上に、n型不純物がドープされたn型窒化物半導体層が形成され、該n型窒化物半導体層の上には、窒化物半導体からなる活性層とp型窒化物半導体層とp型オーミック電極とがこの順に積層された発光部と、n型オーミック電極とが、それぞれ異なる領域に形成されている窒化物半導体発光ダイオードであって、
前記発光部が、前記基板の上方から見て、正方形からひとつの角部が切り取られた形状に形成されているとともに、前記n型オーミック電極が、該切り取られた角部の位置に形成されており、
下記(I)の方形EFGHを選んだとき、前記基板の上方から見て、前記n型オーミック電極と該方形EFGHの辺HEとの距離が、該電極と辺EFとの距離、および、該電極と辺GHとの距離よりも大きく、
前記n型窒化物半導体層は、前記結晶成長面の凹部に入り込んだ部分を有するとともに、その上面が平坦となっており、それによって、該n型窒化物半導体層には、該結晶成長面の凹部に対応した厚部と、凸部に対応した薄部とが存在し、その厚部は、前記正方形の切り取られた角部に含まれる頂点とその対角位置の頂点とを結ぶ対角線の方向に伸長する部分を含んでおり、それによって、該n型窒化物半導体層における横方向の電流拡散性が、該対角線の方向において、他の方向よりも良好となっていることを特徴とする、窒化物半導体発光ダイオード。
(I)方形EFGHは、前記基板の上方から見て、4つの辺の全てが前記発光部の外周に接するように前記発光部に外接する矩形であり、前記正方形の4つの頂点のうち、切り取られた角部に含まれる頂点を除く3つの頂点をそれぞれ通る辺EFと辺GHと辺HEとを有し、辺EFと辺GHとが、前記正方形の切り取られた角部に含まれる頂点とその対角位置の頂点とを結ぶ対角線に平行である。
(2)前記基板の上方から見て、前記n型オーミック電極と前記辺EFとの距離の、前記n型オーミック電極と前記辺GHとの距離に対する比率が、0.8〜1.2である、上記(1)に記載の窒化物半導体発光ダイオード。
(3)前記基板の上方から見て、前記対角線と直交する方向についての、前記n型オーミック電極の最大幅が、同じ方向についての前記発光部の全幅の50%以上である、上記(1)または(2)に記載の窒化物半導体発光ダイオード。
(4)前記凹部の形状がストライプ状である、上記(1)〜(3)のいずれかに記載の窒化物半導体発光ダイオード。
(5)前記基板が、一主面にストライプ状の凹部が加工されたサファイア単結晶基板と、該主面の凸部上面および凹部底面のそれぞれに立体的に成長された、アンドープの窒化物半導体結晶とからなる、上記(4)に記載の窒化物半導体発光ダイオード。
(6)前記p型オーミック電極が、酸化物半導体電極である、上記(1)〜(5)のいずれかに記載の窒化物半導体発光ダイオード。
図1において、1はサファイア加工基板であり、2はn型層であって、21はSiドープGaNからなる層厚3μm(基板1の凸部上の厚さ)のn型コンタクト層であり、22はアンドープAlGaNからなる層厚100nmのn型クラッド層であり、23は層厚3nmのアンドープInxGa1−xN(0<x≦1)井戸層と層厚10nmのSiドープInyGa1−yN(0≦y<x)障壁層とを各6層交互に積層してなるMQW構造の活性層であり、3はp型層であって、31は層厚30nmのMgドープAlGaNからなるp型クラッド層であり、32はMgドープGaNからなる層厚150nmのp型コンタクト層であり、P1はn型層2に電流を注入するためのn型オーミック電極であり、P2はp型層3に電流を注入するためのp型オーミック電極であり、P3はボンディング・パッドである。p型オーミック電極P2は、p型層3の上面全体に広がるように、層状に形成されている。n型オーミック電極P1にはTi(チタン)とAl(アルミニウム)の積層体、p型オーミック電極P2にはNi(ニッケル)とAu(金)の積層体、ボンディング・パッドP3にはTiとAuの積層体を用いることができる。
サファイア加工基板1は、通常のサファイア単結晶基板(窒化物半導体結晶の成長に使用されるもの)の主面に、一般的なフォトリソグラフィ技術とドライエッチング技術を用いて、ストライプ状の凹部を加工することにより得ることができる。
n型コンタクト層21からp型コンタクト層32までの窒化物半導体層は、MOVPE(有機金属化合物気相成長)法、HVPE(ハイドライド気相成長)法、MBE(分子ビームエピタキシー)法など、窒化物半導体結晶の成長に使用し得る、公知の気相成長法により形成することができる。なお、図示は省略しているが、サファイア加工基板1とn型コンタクト層21との間には、バッファ層を介在させることが好ましい。
また、この例では、活性層23をSiドープによりn型導電性としているが、活性層の導電型は任意であり、不純物のドーピングの仕方も、公知技術を参照して種々設計することができる。
p型コンタクト層32の成長が完了した後は、p型層3にp型不純物として添加したMg(マグネシウム)を活性化させるため、アニーリング処理や電子線照射処理などの処理を行うことが望ましい。
Ti/Alからなるn型オーミック電極P1、Ni/Auからなるp型オーミック電極P2、Ti/Auからなるボンディング・パッドP3の形成は、蒸着、スパッタ、CVDなどの、公知の金属薄膜形成法を用いて、行うことができる。
ウェハ上に形成された素子をチップに分離する方法としては、スクライビング、ダイシング、レーザ溶断など、公知のチップ分離方法が使用できる。
図3は、説明のために、図1から発光部とn型オーミック電極P1を抜き出して描いた上面図である。図3において、ハッチングを施した部分は、発光部を表しており、破線は、発光部に外接する方形EFGHの辺を表しており、一点鎖線L1は辺EFを含む直線を表しており、一点鎖線L2は辺GHを含む直線を表している。太い矢印は、基板1の結晶成長面における、凹部伸長方向である。
図3から分かるように、n型オーミック電極P1は、辺EFを含む直線L1と、辺GHを含む直線L2とに挟まれた領域に形成されている。そして、該n型オーミック電極P1と、方形EFGHの各辺との距離を、d1(辺EFとの距離)、d2(辺FGとの距離)、d3(辺GHとの距離)、d4(辺HEとの距離)とすると、d1,d2,d3<d4である(なお、d2=0である。)。
従って、n型オーミック電極P1から見て、発光部は、辺HEに平行な方向よりも、辺HEに直交する方向に、より遠くまで広がっている。以下、この発光部に外接する方形の4つの辺のうち、n型オーミック電極との距離が最大である辺に直交する方向を、「特徴方向」と呼ぶことにする。
本発明者等は、その作用機構について、定性的には、次のようなものであると考えている。
このことから、p型オーミック電極を仮想的に細かい領域に区分したとき、各領域からp型層に注入される電流は、当該領域の直下の方向に向かって拡散し、pn接合部に達することになる。それゆえに、p型オーミック電極の実効的な面積、即ち、p型層への電流注入に有効利用されるp型オーミック電極の面積は、発光部の下のn型層における電流拡散範囲に影響されることになる。
なぜなら、上記細分化されたp型オーミック電極の領域のひとつから、p型層に電流(正孔電流)が注入され、それがp型層を横切って流れるためは、該領域の直下のn型層の領域とn型オーミック電極との間でも、電流(電子電流)が流れなくてはならないからである。換言すれば、n型層側において、n型オーミック電極から注入された電流が拡散しない領域の上方では、p型オーミック電極からp型層への電流注入は生じないということである。
そこで、n型オーミック電極から見て、発光部がより遠くまで広がっている方向である特徴方向において、n型層における横方向の電流拡散性が最良となるようにすると、つまり、特徴方向と、基板の結晶成長面における凹部伸長方向とを一致させると、発光部の下のn型層における電流拡散範囲がより広くなるので、p型オーミック電極の実効的な面積がより広くなる。その結果、p型オーミック電極とp型層との接触抵抗が低くなって、LEDのVfが低減されることになる。
特に、窒化物半導体はワイドギャップ半導体であることから、p型としたときのキャリア濃度を高くすることが難しく、そのために、p型オーミック電極とp型層との固有接触抵抗が高くなる傾向がある。このような事情から、p型オーミック電極の実効的な面積を大きくすることにより接触抵抗を低減する本発明の方法は、GaN系LEDのVf低減に極めて有効といえる。
また、基板の結晶成長面においては、凹部伸長方向と直交する方向(ストライプの幅方向)の、凹部の形成周期pが小さい程、本発明の効果が顕著となる。具体的には、この周期が20μm以下、とりわけ10μm以下のときである。
上記の各場合に本発明の効果が顕著となる理由は、素子のn型層側における横方向の電流拡散性に、より大きな異方性が生じるからである。
p型オーミック電極の導電性が高い場合とは、具体的には、例えばp型オーミック電極を、後述する反射性電極とした場合である。また、p型オーミック電極を膜厚0.1μm以上の金属膜で形成すると、反射性電極とした場合だけでなく、p型オーミック電極に窓部を形成して透光性電極とした場合にも、その導電性が十分に高くなるので、本発明の効果が顕著に現れる。
しかし、図4と図3とを比べると、図3の方が、d4(n型オーミック電極P1と辺HEとの距離)が大きい(図3の場合は、d4が最大となるように方形EFGHを選んでいる。)。つまり、n型オーミック電極P1から見て、発光部が特徴方向に、より遠くまで広がっている。そのため、上述した本発明の効果は、図3の場合の方が、図4の場合よりも顕著となる。そこで、図3のように、d4が最大となるように方形EFGHを選んだときのd4を、d4maxとすると、本発明のGaN系LEDでは、d4がd4maxの80%以上、とりわけ、90%以上となるように、発光部に外接する方形EFGHを選び、それによって定まる特徴方向と、基板における凹部伸張方向とを合わせることが好ましい。
また、図3では、d1(n型オーミック電極P1と辺EFとの距離)とd3(n型オーミック電極P1と辺GHとの距離)が同じであるのに対し、図4では、これらの距離が異なる。すなわち、図3では、n型オーミック電極P1から見たときに、特徴方向と直交する方向(辺HEに平行な方向。n型層における電流拡散性が悪い方向である。)について、発光部が対称的に広がっているのに対し、図4ではこの広がり方が偏っている。この偏りが大きくなり過ぎると、発光部の広がりが小さい側では、p型オーミック電極の実効的な面積の拡大に基づく本発明の効果が、得られなくなる可能性がある。
そこで、本発明においては、d1とd3の比d1/d3が0.8〜1.2となるように、とりわけ、0.9〜1.1となるように、方形EFGHを選択し、それによって定まる特徴方向と、基板における凹部伸長方向とを合わせることが好ましい。このように、d1とd3の比を1に近づけると、発光部の下のn型層における電流拡散の均一性も良好となるので、発光部における発光の均一性が高くなるという効果も得られる。
基板の上方から見たn型オーミック電極P1の形状は、図5(a)に示す正方形、図5(b)に示す直角三角形など、各種の形状とすることができる。また、図5(c)に示すように、ボンディングに必要な面積を確保したボンディング部P1aから、電流拡散を促進するための伸長部P1bが突き出した形状とすることもできる。これらの例のいずれにおいても、n型オーミック電極P1の上面形状における直線部や角部を、丸みを帯びた形状に変形させることができる。
この効果は、凹部伸長方向と直交する方向についての、発光部の全幅(=辺HEの長さ)に対する、n型オーミック電極の最大幅の比率が高い程、顕著となる。従って、n型オーミック電極は、該比率が50%以上となるように形成することが好ましく、更に、該比率は70%以上とすることがより好ましく、90%以上とすることが特に好ましい。
なお、n型オーミック電極を、辺EFを含む直線と、辺GHを含む直線とに挟まれた領域からはみ出るように形成すると、該比率が100%を超えることになるが、そのような場合は、n型オーミック電極の大きさが過大であり、チップ面積の利用効率が低下することになる。
図6(a)は、発光部(ハッチングを施した部分)が、正方形から、その一辺に面する部分が切り取られた形状とされ、該切り取られた部分の位置に、n型オーミックP1が円形に形成された例である。また、6(b)は、発光部(ハッチングを施した部分)が楕円形とされ、その外側に、n型オーミック電極P1が方形に形成された例である。
図6(a)(b)において、破線は、発光部に外接する方形EFGHの辺を表している。また、図6(b)において、一点鎖線L1は辺EFを含む直線を表しており、一点鎖線L2は辺GHを含む直線を表している。太い矢印は、基板の結晶成長面における凹部伸長方向である。
図6(a)(b)のいずれの例においても、n型オーミック電極P1は、辺EFを含む直線と、辺GHを含む直線とに挟まれた領域に形成されており、また、該n型オーミック電極P1と、方形EFGHの各辺との距離については、辺HEとの距離が、他の3辺のいずれとの距離よりも大きい。従って、特徴方向は辺HEに直交する方向であり、基板の凹部伸長方向をこの方向に合わせることによって、該凹部伸長方向をこれと直交する方向としたときよりも、LEDのVfを低くすることができる。
これらの態様においても、発光部に外接する方形を選ぶ際には、n型オーミック電極と、特徴方向に平行な2辺のそれぞれとの距離が、できるだけ同じとなるように(その比率が、好ましくは0.8〜1.2、より好ましくは0.9〜1.1となるように)、また、n型オーミック電極と、n型オーミック電極から最も離れた辺との距離が、できるだけ大きくなるように(好ましくは、最大の場合の80%以上となるように)、該方形を選び、それによって定まる特徴方向と、基板における凹部伸張方向とを一致させることが好ましい。また、凹部伸長方向と直交する方向についての、発光部の全幅に対する、n型オーミック電極の最大幅の比率が高くなるように、n型オーミック電極を形成することが好ましい。該比率は、50%以上とすることが好ましく、更に、70%以上とすることがより好ましく、90%以上とすることが特に好ましい。
図7(a)では、ひとつの発光部に対して、2つのn型オーミック電極P11、P12が設けられている。このような場合には、n型オーミック電極P11、P12のそれぞれと、発光部との関係で定まる特徴方向が一致するように、かつ、その特徴方向と、基板における凹部伸長方向とが一致するようにすればよい。この図の例では、発光部が、方形から対角位置にある2つの角部が切り取られた形状とされているが、この方形が、該発光部に外接する方形EFGHとして選ばれている。そして、n型オーミック電極P11が、該方形の頂点Fに対応する角部に、他のn型オーミック電極P12が、該方形の頂点Hに対応する角部に設けられている。2つのn型オーミック電極P11、P12は、いずれも、辺EFと辺GHとに挟まれた領域に形成されている。n型オーミック電極P11と方形EFGHとの関係からは、特徴方向は辺HEに直交する方向となり、n型オーミック電極P12と方形EFGHとの関係からは、特徴方向は辺FGに直交する方向となる。つまり、これらの特徴方向は一致している。そして、基板における凹部伸長方向は、太い矢印で示す通り、この特徴方向と一致している。
図7(a)の例では、また、基板における凹部伸長方向と直交する方向について、2つのn型オーミック電極P11、P12の最大幅の、発光部の全幅に対する比率がいずれも100%未満であるが、このような場合には、この図の例のように、2つのn型オーミック電極を、凹部伸長方向と直交する方向に、ずらして形成することが好ましい。該方向は、前述のように、n型層における横方向の電流拡散性が悪い方向であるが、このようにn型オーミック電極をずらして形成することにより、該方向の電流拡散が補助されるからである。
サファイア加工基板の結晶成長面の凹凸形状は、当該結晶成長面上にn型層を成長させた結果として、該n型層に、一定方向に伸びる厚部が形成され、それに起因して、該n型層における横方向の電流拡散性が、当該方向おいて、他の方向よりも良好となるようなものであればよく、上記具体例におけるストライプ状に限定されない。
例えば、図8(a)は、上面形状六角形のドット状凸部が設けられた、凹凸状の結晶成長面を上方から見た図で、ハッチングを施した部分が凹部を表している。この結晶成長面においては、凹部がx方向にもy方向にも連続しているが、凸部が、x方向には密に、y方向には疎に、並んでいることによって、x方向に連続する凹部の方が、幅が広くなっている。すなわち、この凹部は、主としてx方向に伸びている。この凹部を埋め込んで成長されるn型層は、x方向に伸びる幅の広い厚部が、幅の狭い厚部を介してy方向につながった形状となり、その結果、該n型層における横方向の電流拡散性は、x方向の方がy方向よりも良好となる。
また、図8(b)に示すように、結晶成長面に、x方向に伸びるストライプ状の凹部(ハッチングを施した部分)が断続的に形成されている場合も、該凹部を埋め込んで成長されたn型層では、厚部がx方向に伸びた形状となることによって、横方向の電流拡散性がx方向において、y方向よりも良好となる。
(ア)主面にストライプ状の凹凸が形成された加工基板の、該主面上に、アンドープの窒化物半導体結晶が立体的に成長したもの。
(イ)平坦な主面を有する基板の、該主面上に、ストライプ状の選択成長用マスクが形成され、該マスクに覆われていない基板表面から、アンドープの窒化物半導体結晶が立体的に成長したもの。
図9(a)、(b)は、上記(ア)のファセット成長基板の一例を示す断面図であり、加工基板の表面に加工されたストライプ状凹凸が延びる方向と直交する断面を見たところである。
図9(a)の例では、アンドープの窒化物半導体結晶1bが、加工基板1aの表面の全体を覆って凹凸状に成長している。
図9(b)の例では、アンドープの窒化物半導体結晶1bが、加工基板1aの表面のうち、凹部の底面と凸部の上面とから、選択的に成長しており、凹部と凸部の間の段差面には、加工基板1aの表面が露出している。
図10(a)、(b)は、上記(イ)のファセット成長基板の一例を示す断面図であり、ストライプ状の選択成長用マスクMの延伸方向と直交する断面を見たところである。
図10(a)の例では、アンドープの窒化物半導体結晶1bが、基板1aの上面のうち、選択成長用マスクMで覆われていない部分から選択的に成長し、該マスクMを覆う前に、その成長が止められている。この場合には、該マスクMをエッチング除去することもできる。
図10(b)の例では、図10(a)の状態から、アンドープの窒化物半導体結晶1bが更に成長され、該マスクMを覆っている。
n型オーミック電極は、層厚を200nm程度以上に形成すれば、ボンディング・パッドを兼用させることができるが、必要に応じて、n型オーミック電極の上に、別途、n側のボンディング・パッドを形成してもよい。
p型オーミック電極を透光性電極とすると、活性層で発生する光を、該p型オーミック電極を通して取り出すことができる。透光性電極は、金属製の電極膜を極めて薄く形成(例えば、膜厚20nm以下)することにより、該電極膜を透明としたり、あるいは、層状の電極膜に、光を通すための窓部を設けることにより、得ることができる。酸化物半導体電極も透明であるため、透光性電極となる。
活性層で発生する光を、基板の下面側から取り出す場合には、p型オーミック電極を反射性電極とすることが好ましい。反射性電極は、金属製の電極を、光を反射し得る膜厚(例えば、50nm以上)に形成すればよく、特に、Rh(ロジウム)、Pd(パラジウム)、Pt(白金)、Ir(イリジウム)などの、反射率の高い白金族の金属を用いることが好ましい。反射性電極は、酸化物半導体電極の表面に、光を反射し得る膜厚を有する金属膜を積層したものとすることもできる。
p型オーミック電極を反射性電極とする場合には、金属製の電極膜の膜厚を200nm以上とすると、該金属膜の表面をボンディングに利用することができるため、p側電極からボンディング・パッドを省略することができる。
p型オーミック電極P2の導電性が十分に高くないとき、n型層2の内部を流れる電流は、サファイア加工基板1の上方から見て、n型オーミック電極P1とボンディング・パッドP3とが最も近接した部分を、最短距離で結ぶ経路に集中する傾向がある。図1に示すGaN系LEDでは、この経路の方向が、基板1における凹部伸長方向と一致しているが、凹部伸長方向は、n型層2における電流拡散性が最も良好な方向である。従って、このGaN系LEDは、他の凹部伸長方向を有するLEDよりも、n型層2の内部をこの経路に沿って電流が流れることに伴う電圧降下が小さくなるために、Vfが低くなる。
この効果が現れるのは、例えば、p型オーミック電極が、金属膜が薄く形成されることにより透光性とされた透明電極である場合や、金属と比べて導電率が1〜2桁低い酸化物半導体膜からなる透明電極である場合である。特に、金属膜からなる透明電極を用いる場合には、その膜厚が10nm以下である場合や、酸素を含む雰囲気中で電極膜の形成または熱処理を行った場合(部分的な酸化により光透過性が増加する一方で、導電性が低下する)に、この効果は顕著となる。また、酸化物半導体からなる透明電極を用いる場合には、その膜厚が200nm以下である場合に、この効果が顕著となる。
図1に示すGaN系LEDを、次の手順により作製した。
〔加工基板の形成〕
C面サファイア基板の一主面上に、フォトレジストによるストライプ状のマスクパターンを形成した。ストライプ状のマスクの幅は3μm、周期(マスクの幅+基板露出部の幅)は6μm、ストライプの長手方向はサファイアの〈1−100〉方向(基板上に成長される窒化物半導体結晶の〈11−20〉方向となる)とした。
該マスク上から反応性イオンエッチングを行うことにより、基板露出部に深さ1μmの溝を形成し、結晶成長面にストライプ状の凹凸パターンが形成されたサファイア加工基板1を得た。
フォトレジストを除去後、MOVPE装置に上記サファイア加工基板を装着し、水素雰囲気下で1100℃まで昇温して、表面のクリーニングを行った。
次に、基板温度を500℃まで下げ、3族原料としてトリメチルガリウム(TMG)、5族原料としてアンモニアを供給し、低温成長バッファ層を30nm成長させた。
次に、基板を1000℃に昇温し、TMG、シラン、アンモニアを供給して、上面が平坦なn型コンタクト層21を、薄部の最小厚さtが3μmとなるように成長させた。
その後、シランの供給を停止する一方、トリメチルアルミニウム(TMA)を供給し、n型クラッド層22を100nm成長させた。
n型クラッド層22の成長後、基板温度を750℃に下げ、インジウム原料にはトリメチルインジウム(TMI)を用いて、井戸層と障壁層とを交互に成長し、MQW構造の活性層23を形成した。井戸層の成長時は、発光波長が405nmとなるように、TMIの供給量を調節した。
次に、基板を1000℃に昇温し、トリメチルアルミニウム(TMA)、TMG、アンモニア、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)を供給し、Al0.2Ga0.8Nからなるp型クラッド層31を30nm成長させた。
続けて、TMAの供給を停止して、p型コンタクト層32を150nm成長させた後、アンモニア雰囲気中で基板温度を室温まで降下させ、ウェハをMOVPE装置から取り出した。
上記工程で得られたウェハに対して、アニーリング処理、反応性イオンエッチングによるn型オーミック電極形成面の露出、n型オーミック電極P1の形成、p型オーミック電極P2の形成、ボンディング・パッドP3の形成、電極の熱処理を順次行った。
このとき、サファイア加工基板1の結晶成長面のストライプ状凹部の伸長方向(長手方向)に対して、n型オーミック電極P1、発光部、ボンディング・パッドP3の形状・配置が、図1に示すLEDのようになるように、これらをパターニングした。すなわち、発光部を、正方形からひとつの角部が切り取られた形状とするとともに、該切り取られた角部の位置にn型オーミック電極を形成し、また、該正方形の、該切り取られた角部に含まれる頂点と、その対角位置の頂点とを結ぶ対角線(以下、単に「対角線」という。)と、上記ストライプ状凹部の伸長方向を一致させた。
n型オーミック電極P1は、蒸着法を用いて、n型コンタクト層21に接する側から順に、膜厚30nmのTi(チタン)と、膜厚300nmのAl(アルミニウム)を積層することにより形成した。n型オーミック電極の直径は100μmとした。
p型オーミック電極P2は、蒸着法を用いて、p型コンタクト層42に接する側から順に、膜厚20nmのNi(ニッケル)と、膜厚100nmのAu(金)を積層することにより形成した。p型オーミック電極P2には、8μm×8μmの正方形の窓部を行列状に形成し、p型コンタクト層32上にp型オーミック電極P2が広がった領域の面積に占める窓部の面積比が約70%の、透光性電極とした。
ボンディング・パッドP3は、TiとAuを積層することにより形成し、その直径は100μmとした。
電極形成の後、サファイア加工基板1の下面を研磨して、厚さを100μmまで薄くした後、該研磨面にスクライブ線を罫書き、ブレーキングを行って、350μm角の正方形状のチップを得た。
得られたLEDチップ(ベアチップ)を、サファイア加工基板1側を下側にしてリードフレーム上に固定し、ワイヤボンディングを行った後、電流値20mAで通電を行い、そのときのVfを測定したところ、3.3Vであった。
サファイア加工基板の結晶成長面におけるストライプ状凹部の伸長方向に対し、n型オーミック電極、発光部、ボンディング・パッドの配置を20°回転させて(対角線と上記ストライプ状凹部の伸長方向とがなす角が20°となるように回転させて)、図4に示す素子のような配置となるように、これらをパターニングすること以外は、実施例1と同様にしてGaN系LEDのチップを作製した。
該GaN系LEDのVfを測定したところ、3.4Vであった。
サファイア加工基板の結晶成長面におけるストライプ状凹部の伸長方向に対し、n型オーミック電極、発光部、ボンディング・パッドの配置を45°回転させて(対角線と上記ストライプ状凹部の伸長方向とがなす角が45°となるように回転させて)、図11に示す素子のようにしたこと以外は、実施例1と同様にしてGaN系LEDのチップを作製した。
このGaN系LEDのVfを測定したところ、3.5Vであり、実施例品よりも、Vfが高いことがわかった。
本実施例では、サファイア加工基板の結晶成長面におけるストライプ状凹部の伸長方向に直交する方向についての、n型オーミック電極の最大幅を広げ、その効果を調べた。
発光部およびn型オーミック電極の面積は実施例1と同じに保ったまま、これらの形状を図5(c)のようにして、上記凹部の伸長方向に直交する方向についての、n型オーミック電極の最大幅の、発光部の全幅に対する比率を75%としたこと以外は、実施例1と同様にしてGaN系LEDのチップを作製した。
該GaN系LEDのVfを測定したところ、3.2Vであった。
本実施例では、基板として、ファセット成長基板を用いた。
前述の、〔積層体の形成1〕の工程において、低温バッファ層の成長の次に、SiドープGaNではなく、アンドープGaNを成長させ、該アンドープGaNの結晶が、図9(b)に示すように、サファイア加工基板の凸部の上面および凹部の底面に、立体的に成長したところで(即ち、MOVPE装置内でファセット成長基板が形成されたところで)、シランの供給を開始して、n型コンタクト層を成長させた。
このn型コンタクト層は、その上面が平坦となるように、また、その上面とサファイア加工基板の凸部上面との距離が4μmとなるように、成長させた。このn型コンタクト層の、層厚最大部分の層厚は約5μm(サファイア加工基板の凹部の底から、n型コンタクト層の上面までの距離)、層厚最小部分の層厚は約1.5μm(サファイア加工基板の凸部上に成長したアンドープGaN結晶の上端部から、n型コンタクト層の上面までの距離)であった。
このn型コンタクト層よりも上層の窒化物半導体層の成長工程および、それ以降の工程については、実施例1と同様にしてGaN系LEDのチップを作製し、Vfを測定したところ、3.3Vであった。
なお、本実施例4のGaN系LEDは、順方向電流を20mA流したときの出力が、実施例1のLEDよりも高くなった。これは、サファイア加工基板上にバッファ層を成長した、そのすぐ後に、SiドープGaNを成長するのではなく、まずアンドープGaNを成長し、その後で、SiドープGaNを成長したために、n型コンタクト層の結晶性が改善され、その結果、その上に成長された活性層の結晶性も改善されたために、発光効率が向上したものと考えられる。
サファイア加工基板の結晶成長面におけるストライプ状凹部の伸長方向に対し、n型オーミック電極、発光部、ボンディング・パッドの配置を45°回転させた(対角線と上記ストライプ状凹部の伸長方向とがなす角が45°となるように回転させた)こと以外は、実施例4と同様にしてGaN系LEDのチップを作製し、Vfを測定したところ、3.6Vであった。
本実施例では、p型オーミック電極の電流拡散性が低い場合の効果を調べた。
p型オーミック電極を、NiとAuを積層した膜厚10nmの透明電極としたこと以外は、実施例1と同様にしてGaN系LEDのチップを作製し、Vfを測定したところ、3.5Vであった。
p型オーミック電極を、NiとAuを積層した膜厚10nmの透明電極としたこと以外は、比較例1と同様にしてGaN系LEDのチップを作製し、Vfを測定したところ、3.7Vであった。
21 n型コンタクト層
22 n型クラッド層
23 活性層
31 p型クラッド層
32 p型コンタクト層
P1 n型オーミック電極
P2 p型オーミック電極
P3 ボンディング・パッド
Claims (6)
- 絶縁体からなる凹凸状の結晶成長面を有する基板の上に、n型不純物がドープされたn型窒化物半導体層が形成され、該n型窒化物半導体層の上には、窒化物半導体からなる活性層とp型窒化物半導体層とp型オーミック電極とがこの順に積層された発光部と、n型オーミック電極とが、それぞれ異なる領域に形成されている窒化物半導体発光ダイオードであって、
前記発光部が、前記基板の上方から見て、正方形からひとつの角部が切り取られた形状に形成されているとともに、前記n型オーミック電極が、該切り取られた角部の位置に形成されており、
下記(I)の方形EFGHを選んだとき、前記基板の上方から見て、前記n型オーミック電極と該方形EFGHの辺HEとの距離が、該電極と辺EFとの距離、および、該電極と辺GHとの距離よりも大きく、
前記n型窒化物半導体層は、前記結晶成長面の凹部に入り込んだ部分を有するとともに、その上面が平坦となっており、それによって、該n型窒化物半導体層には、該結晶成長面の凹部に対応した厚部と、凸部に対応した薄部とが存在し、その厚部は、前記正方形の切り取られた角部に含まれる頂点とその対角位置の頂点とを結ぶ対角線の方向に伸長する部分を含んでおり、それによって、該n型窒化物半導体層における横方向の電流拡散性が、該対角線の方向において、他の方向よりも良好となっていることを特徴とする、窒化物半導体発光ダイオード。
(I)方形EFGHは、前記基板の上方から見て、4つの辺の全てが前記発光部の外周に接するように前記発光部に外接する矩形であり、前記正方形の4つの頂点のうち、切り取られた角部に含まれる頂点を除く3つの頂点をそれぞれ通る辺EFと辺GHと辺HEとを有し、辺EFと辺GHとが、前記正方形の切り取られた角部に含まれる頂点とその対角位置の頂点とを結ぶ対角線に平行である。 - 前記基板の上方から見て、前記n型オーミック電極と前記辺EFとの距離の、前記n型オーミック電極と前記辺GHとの距離に対する比率が、0.8〜1.2である、請求項1に記載の窒化物半導体発光ダイオード。
- 前記基板の上方から見て、前記対角線と直交する方向についての、前記n型オーミック電極の最大幅が、同じ方向についての前記発光部の全幅の50%以上である、請求項1または2に記載の窒化物半導体発光ダイオード。
- 前記凹部の形状がストライプ状である、請求項1〜3のいずれかに記載の窒化物半導体発光ダイオード。
- 前記基板が、一主面にストライプ状の凹部が加工されたサファイア単結晶基板と、該主面の凸部上面および凹部底面のそれぞれに立体的に成長された、アンドープの窒化物半導体結晶とからなる、請求項4に記載の窒化物半導体発光ダイオード。
- 前記p型オーミック電極が、酸化物半導体電極である、請求項1〜5のいずれかに記載の窒化物半導体発光ダイオード。
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