JP4060577B2 - 被除電対象物の除電方法および除電装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電圧印加手段により放電電極に電圧を印加して被除電対象物の除電用イオンをコロナ放電により発生させ、その除電用イオンを当該被除電対象物の表面に到達させることで除電を行なうようにした被除電対象物の除電方法および除電装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
物体に働く摩擦力、機械的力、電気的力あるいはその他の作用によって生じる力などで物体に帯電した静電気は、物体が電気機器である場合にその部品などを電気的に破壊したり、周囲に浮遊する塵芥を吸着したりするなど様々な不具合を生ずる原因となる。このような静電気を除去する装置として除電装置がある。
【0003】
除電装置としては、装置内に設けられた針状の放電電極に高電圧を印加し、この針先からのコロナ放電を利用して電荷放出をするタイプのものや、軟X線等の照射による空気分子の励起を用いるタイプのものなど、種々のものがある。この場合、後者の放射線を用いるタイプのものでは、人体への悪影響を防止するための遮蔽等の安全上の対策が必要となるため、一般には前者のコロナ放電を利用する高電圧印加タイプのものが広く用いられている。
【0004】
高電圧印加タイプの除電装置では、電気的にプラス(正極性)放電およびマイナス(負極性)放電を、同時あるいは交互に発生させる構成のものが有る。これによって装置から同時にあるいは交互に発生するプラスイオンおよびマイナスイオンを、送風手段などによって被除電対象物の物体表面に吹き付ける。
【0005】
被除電対象物の物体表面では、吹き付けられたイオンのうち、帯電している部位に存在する電荷と逆極性のイオンが引き付け合って結合することで電荷成分が解消し、物体に帯電する表面電位と同極性のイオンは、反発して大気中に飛散する。これにより、逆極性のイオンの働きで、物体表面の全体で電荷成分がゼロとなるように解消させることで除電を行なう。
【0006】
ところで、除電装置により物体の除電を行なう場合には、その除電に要する時間つまり除電時間をできるだけ短くすることが要求される。この対策として、例えば、物体の表面電位を測定する表面電位計を設け、物体の表面電位を測定しながら除電を行なうようにしたものが考えられている。これにより、除電に際して帯電している物体の表面電位と同極性のイオンと逆極性のイオンとのバランスを制御して、表面電位と逆極性のイオンを多く発生させて除電を行ない、物体の表面電位がゼロになったことを検知したら両極性のイオンを同レベルで発生させて出力することで除電時間を短くするようにしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような従来構成のものでは、その動作原理に起因して次のような不具合があった。すなわち、除電装置において、イオンを発生する放電電極から除電を行なう物体までの間はある程度距離が離れており、到達の遅れを生ずる。したがって、上述のようにして物体の表面電位がゼロになったことを検知してイオンの発生をバランスさせるように制御しても、それまでの間に発生した除電用のイオンが物体に遅れて到達するので、結果的に物体が逆帯電してしまうことになる。
【0008】
図7は、この現象を帯電量とイオン発生量との関係で説明したもので、同図(a)には一定量の除電用のイオンを発生した場合の制御の場合を示しており、同図(b)は徐々にイオン発生量を減少させるようにして制御した場合を示している。
【0009】
同図では、時間軸の上側に細い実線で物体の帯電状態を表面電位の変化として示しており、下側に太い実線で放電電極でのイオン発生のバランス状態を示している。ここでは、下側に示すことで物体の帯電極性と逆極性のイオンを多く発生させていることを示している。また、下側に破線で示したのは、物体の表面に遅れ時間T(時刻ta)を伴って到達したイオンのバランス状態を示している。ここで、イオンバランス状態がゼロとなっているのは、両極性のイオンを同レベルで発生させていることを示す。
【0010】
同図(a)では、一定量の除電用のイオンを出力イオン量Ijとして発生させているので、表面電位がゼロ(V)になったことを検知した時点(時刻tb)でイオンバランス状態をゼロになるように切り換え制御を行なうと、破線で示した到達遅れに伴う到達イオン量Itのうちの斜線で示す部分が時刻tcまでの間過剰に物体の表面に到達する過剰到達イオン総量Eとなり、この分が原因となって物体を逆極性に帯電(逆帯電電位Vg)させてしまうことになる。
【0011】
同図(b)では、物体の表面電位が下がるにしたがって除電用のイオンの発生を徐々に減少させているので、表面電位がゼロになったことを検知した時点(時刻tb′)でイオンバランス状態をゼロになるように切り換え制御を行なうと、上述の場合よりも逆帯電による表面電位(逆帯電電位Vg′)の上昇を少なくすることはできる(Vg′<Vg)が、やはり遅れて到達する過剰イオン総量E′はゼロになることがないので、除電が確実に終了しない。
【0012】
このような逆帯電を発生することから、除電装置としては、表面電位測定の結果に基づいて再び逆極性のイオンを発生させるべく電圧を印加して制御を行なうことが繰り返し行なうことになり、確実に除電を完了するまでには多くの時間を要してしまうことになる。
【0013】
一方、工場などの生産ラインにおいてこのような除電装置を使用する場合には、個々の物体つまり製品について割り宛て可能な除電時間は限られている。したがって、上述のような現象が発生すると、除電を終了したつもりが、実際には逆帯電された状態となるため、製品は帯電状態のまま生産ラインを流れることになり、搭載している部品などが電気的に破損したりするなど悪影響を受けることになる。
【0014】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、除電のために生成するイオンが被除電対象物に到達するまでの時間遅れに起因して生ずる被除電対象物の逆帯電の発生を極力無くすことができ、これによって迅速な除電処理を行なうことができるようにした被除電対象物の除電方法および除電装置を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するために次のような手段を採用することができる。
請求項1の被除電対象物の除電方法は、電圧印加手段により放電電極に電圧を印加して被除電対象物の除電用イオンをコロナ放電により発生させ、その除電用イオンを当該被除電対象物の表面に到達させることで除電を行なうようにした被除電対象物の除電方法において、前記被除電対象物の表面電位を電位測定手段により測定し、前記除電用イオンを発生させて除電を行なう場合に、前記被除電対象物の帯電極性と逆極性の除電用イオンにより除電を行ない、前記電位測定手段により測定した前記被除電対象物の表面電位が除電推定電位に達した時に前記逆極性の除電用イオンを停止させるように制御し、前記除電推定電位は、前記印加電圧手段による前記逆極性の除電用イオンの発生停止後の経過時間に起因して前記除電対象物に到達する前記逆極性の除電用イオンの量がその被除電対象物の表面電位を前記除電目標電位まで低下させることができるような表面電位に設定されているところに特徴を有する。
【0016】
上記手段を採用することにより、電圧印加手段により放電電極に電圧を印加して、その被除電対象物の帯電とは逆極性の除電用イオンを発生させて被除電対象物の表面に到達させると、被除電対象物の帯電電位が低下するようになり除電されていく。このとき、電位測定手段により被除電対象物の表面電位を測定しており、その表面電位が除電推定電位に達したことを検知すると、逆極性の除電用イオンを停止させるように制御するので、その時点までに発生した逆極性のイオンが遅れて被除電対象物の表面に到達することで、その逆極性の除電用イオンによって表面電位は除電目標電位まで低下するように除電されるようになる。
このとき、除電推定電位を、前記印加電圧手段による前記逆極性の除電用イオンの発生停止後の経過時間に起因して前記除電対象物に到達する前記逆極性の除電用イオンの量がその被除電対象物の表面電位を前記除電目標電位まで低下させることができるような表面電位に設定しているので、除電推定電位で逆極性の除電用イオンの発生が停止された時点からの時間の経過に伴って、遅れて被除電対象物に到達する逆極性の除電用イオンにより除電が進められ、被除電対象物の表面電位が除電目標電位まで低下させることができるようになる。これにより、逆極性の除電用イオンの発生を停止した後に被除電対象物に到達する逆極性の除電用イオンの作用で除電される成分を考慮した除電動作を行ない、迅速且つ確実に除電を行なうことができるようになる。
また、上記方法を実行するように構成した請求項6の除電装置においても同様の作用効果を得ることができる。
【0019】
請求項2の被除電対象物の除電方法は、上記請求項1の発明において、前記電位測定手段により測定した前記被除電対象物の表面電位が除電推定電位に達した時には、正負の両極性のイオンの発生量がゼロバランス状態となるように同量だけ発生させることで実質的に前記逆極性の除電用イオンを停止させるように制御するようにしたところに特徴を有する。
【0020】
これにより、コロナ放電を用いて正負のイオンの発生を行なう方法で、イオン発生の除電時には正負の両極性のイオンのうちの被除電対象物の帯電極性と逆極性のイオンを多く発生させることにより除電用イオンとして作用させることができ、被除電対象物の表面電位が除電推定電位に達すると正負の両極性のイオンをゼロバランス状態つまり同量だけ発生させることで実質的に逆極性の除電用イオンを停止させることができるようになる。
【0021】
さらに、このような方法を実施することで、逆極性の除電用イオンを停止させるという作用のみならず、被除電対象物の表面電位が除電目標電位に達した後に到達する正負の両極性のイオンによって、残存する被除電対象物の表面電位を緩和するように作用させることができ、より確実に除電を行なうことができるようになる。例えば、被除電対象物に残存する表面電位が帯電時と同極性である場合においても、逆極性である場合においても、いずれも到達する正負の両極性のイオンのいずれかが表面電位をゼロ電位に近付けるように除電を行なわせることができる。
また、上記方法を実行するように構成した請求項7の除電装置においても同様の作用効果を得ることができる。
【0022】
請求項3の被除電対象物の除電方法は、上記請求項1または2の発明において、前記電圧印加手段により、前記放電電極への電圧の印加を、前記電位測定手段により測定される前記被除電対象物の表面電位が前記除電推定電位に達するまでの間、前記逆極性の除電用イオンの発生量が徐々に減少する方向で変化させるようにしたところに特徴を有する。
【0023】
これにより、除電開始時点では多くの逆極性の除電用イオンを発生させて被除電対象物の表面電位を迅速に低減させるように作用させることができ、被除電対象物の表面電位が除電推定電位に近付く時点では、発生させる逆極性の除電用イオンの量を抑制して除電推定電位に達した時点以降に被除電対象物の表面に到達する逆極性の除電用イオンの量を少なくすることで、誤差などに起因した過不足を極力低減して実用的なレベルで確実且つ迅速に除電を実施することができるようになる。
また、上記方法を実行するように構成した請求項8の除電装置においても同様の作用効果を得ることができる。
【0024】
請求項4の被除電対象物の除電方法は、上記請求項3の発明において、前記電圧印加手段による前記放電電極への印加電圧を、前記電位測定手段により測定される前記被除電対象物の表面電位の値に応じて変化させるようにしたので、被除電対象物の帯電容量が小さい場合で表面電位の変化が速いときには逆極性の除電用イオンの発生量の減少の度合いを速く行ない、逆に帯電容量が大きい場合で表面電位の変化が遅い場合には遅く行なうことになる。このことは、被除電対象物の帯電容量に応じて供給する逆極性の除電用イオンを適切にコントロールできることを意味し、帯電容量の大小に起因した無駄な時間を発生させることなく常に迅速且つ確実に除電を行なうことができるようになる。また、上記方法を実行するように構成した請求項9の除電装置においても同様の作用効果を得ることができる。
【0025】
請求項5の被除電対象物の除電方法は、前記請求項1または2の発明において、前記電圧印加手段による前記放電電極への印加電圧を、一定量の逆極性の除電用イオンが発生するように印加するので、上記した請求項3,4(請求項8,9)の発明と異なり逆極性の除電用イオン量を減少させることを行なわないので、発生する逆極性の除電用イオンの量の制御と被除電対象物の表面電位の測定とが正確に行なえる条件のもとでは、その分だけ迅速に除電を行なうことができるようになる。また、上記方法を実行するように構成した請求項10の除電装置においても同様の作用効果を得ることができる。
【0026】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
以下、本発明の第1の実施形態について図1ないし図5を参照して説明する。なお、具体的な実施形態の説明に先だって、図1ないし図3により本発明の原理を概略的に説明し、図4および図5によって具体的な内容を説明する。
【0027】
電気的構成を示す図1において、電圧印加手段1は、放電電極針2に高圧の交流電圧(例えば数kVオーダー)を印加してコロナ放電を発生させ、これによって空気をイオン化することで除電用のイオンを生成させる。除電は、被除電対象物Mが帯電している極性と逆極性のイオンを表面に到達させて帯電を減衰させることで行なう。
【0028】
この場合、被除電対象物Mが帯電している極性と反対の極性のイオンとして正極性あるいは負極性のいずれかのイオンを除電用のイオンとして発生させる場合と、正負の量極性のイオンを同じ量とするバランスさせた状態から、いずれか一方の極性のイオンが多くなるようにシフトさせて多くなった分のイオンを除電用のイオンとして用いる場合とがある。交流電源を用いる場合には、正極性の電圧となる期間と負極性の電圧となる期間とを異なるようにしたり、正極性の電圧値と負極性の電圧値とを異なるようにする。
【0029】
送風手段3は電圧印加手段1から給電を受けてファンを回転させることで送風を行なうもので、放電電極針2により発生されたイオンを被除電対象物Mまで送風速度v(m/sec)で送風する。表面電位測定計4は被除電対象物Mの表面電位Vs(V)を計測するためのもので、判定手段5に測定電位Vsを出力する。判定手段5は、測定電位Vsの値があらかじめ設定された除電推定電位V2(V)(表面電位Vsが正のときには除電推定電位V2は正の値、負のときには−V2とする)に達すると、正負の両極性のイオンを同じ量だけ発生させるように切り換えることで実質的に逆極性の除電用イオンの発生を停止する。除電推定電位V2の設定については後述する。
【0030】
図2は放電電極針2と被除電対象物Mとの間の相対的な位置関係を示したもので、両者の間の距離をL(m)とし、上述したように発生した除電用のイオンの送風速度をvとすると、放電電極針2の近傍で発生した除電用のイオンが被除電対象物Mの表面に達するのに要する遅延時間T(sec)は、
T=L/v …(1)
となる。
【0031】
また、図3に示すように、電圧印加手段1により放電電極針2への電圧印加を開始(時刻t=0)した後、遅延時間Tが経過した時刻t1(t1=T)になると、被除電対象物Mに逆極性の除電用のイオンが到達して除電が始まり表面電位Vsが低下していく。今、被除電対象物Mの除電前の初期の帯電電位をV1(V)とし、時刻t2に被除電対象物Mの表面電位Vsが除電推定電位V2に達したとすると、除電速度S(V/sec)は、
S=(V1−V2)/(t2−t1) …(2)
と表すことができる。
【0032】
一方、電圧印加手段1から交流電圧が与えられる放電電極針2部分では、その電圧の変化に応じて正極性および負極性の各イオンが交互に発生し、それらの差分が図示のように除電に寄与する成分である逆極性の除電用の出力イオン量Ij(クーロン/sec)として示している。放電電極針2から出力されたイオンは、上述した時間Tだけ遅れて被除電対象物Mの表面に到達して(到達イオン量It(クーロン/sec))除電作用を及ぼすようになる。したがって、時刻t2の時点以降時刻t3(=t2+T)に被除電対象物Mに到達する到達イオン量Itの積分値である遅延到達イオン総量D(クーロン)は図中斜線で示す部分に相当している。
【0033】
つまり、遅延到達イオン総量Dによってその時点で被除電対象物Mの表面電位Vsつまり除電推定電位V2を除電目標電位(理想的にはゼロVであるが、実用的には正負の許容電位以内に入れば良い)に低下させることができるように、除電推定電位V2の値が設定されているのである。
【0034】
上述した除電推定電位V2の値の設定は、上記したような単純化した除電速度Sを用いて演算をすることで求めることができるが、これは、被除電対象物Mの帯電容量により異なるので、同種の被除電対象物Mについては同じ除電推定電位V2を設定することができるが、異なる種類の被除電対象物M′については、適切な除電推定電位V2′を設定する必要がある。
【0035】
図3に示したように、逆極性の除電用の出力イオン量Ijの発生パターンを一定の傾きで減少するように変化させる場合には、上述したように比較的単純化した条件のもとで計算をすることにより除電推定電位V2の設定をすることができる。しかし、この場合には、被除電対象物Mの帯電容量にかかわらずに出力イオン量Ijの発生パターンを設定するので、帯電容量が大きいものでは除電時間が長くなる点で除電能力が低下する。したがって、被除電対象物Mに応じて出力イオン量Ijの変化の割合を設定する必要がある。
【0036】
また、逆極性の除電用の出力イオン量Ijの発生パターンを一定の傾きとするのではなく、被除電対象物Mの表面電位Vsに応じて変化させることもできる。つまり、被除電対象物Mの帯電状態に応じて出力イオン量Ijを制御するのである。これにより、被除電対象物Mの帯電容量にかかわらず、除電能力を適切に設定して除電時間を短くすることができる。しかし、この場合には、除電推定電位V2の設定が複雑になるので、計算上で求めるには難しくなることがあり、実際的には、不安定要素を考慮して、実験的に設定することも有効な手段である。
【0037】
次に、図4および図5を参照して具体的な実施形態について説明する。ここでは、例えば被除電対象物Mとして、生産ラインを流れるプリント基板などの電気的な部品を想定しており、帯電が想定される工程を経た直後に配設され、除電を行なうようになっている。
【0038】
図4は、電気的構成の詳細を示すもので、図1に示した基本構成に準じた構成となっている。すなわち、電圧印加手段としての電圧制御回路1は、電源駆動制御回路6および昇圧トランス7から構成されると共に、判定手段としての判定回路5から構成されている。
【0039】
電源駆動制御回路6は、商用電源から給電される交流電源回路6aと直流電源回路6bとから構成されている。交流電源回路6aは、昇圧トランス7の一次コイルに交流電圧を出力する。昇圧トランス7は、二次コイルに例えば数kVオーダーの高圧の交流電圧を発生させる。具体的には、例えば、放電電極針2によるコロナ放電が可能な程度の高圧の交流電圧となるように、3kV〜7kV程度の範囲の電圧に設定されている。直流電源回路6bは、直流出力電圧を可変な電源回路として構成され、その直流出力電圧は、昇圧トランス7の二次コイルに加算するように設けられている。
【0040】
直流電源回路6bによる直流出力電圧は、交流電圧に加算することで除電用のイオンの発生バランスを調整するために印加する。交流電圧を直流出力電圧分だけ正側あるいは負側にシフト(オフセット)させることで、放電電極針2から発生する正極性イオンと負極性イオンとの比率を調整して除電に寄与するイオンの成分を変化させる。
【0041】
これによって、交流電圧の出力に直流電圧を加算して正極性イオンと負極性イオンの発生量を異ならせて、被除電対象物Mの表面電位と逆極性のイオンが多く発生するようになっている。この例では、このようにしてイオンの発生量を異ならせ、発生量の多い方のイオンの差分を実質的に逆極性の除電用イオンとして寄与させることで、本発明でいうところの逆極性の除電用イオンの発生を行なっている。
【0042】
電圧印加回路1内に設けられた判定回路5は、表面電位測定計4により検出される被除電対象物Mの表面電位Vsが除電推定電位V2に達したか否かを判断し、達した時には電圧制御回路1によるイオン発生のための制御を正極性および負極性の両イオンの発生量を等しくなるようにする。この例では、このようにして両極性のイオンを等しく発生させることで、上記した逆極性の除電用イオンとして寄与する分をなくし、これによって本発明でいうところの逆極性の除電用イオンの発生の停止を行なっている。
【0043】
なお、この場合、除電のためのイオンの発生量Ijを、表面電位測定計4により測定される被除電対象物Mの表面電位Vsに応じて変化させるように制御している。これは、表面電位Vsが減少するにしたがってイオンの発生量を少なくすることで、除電推定電位V2に達する時点を正確に検出できるようにすることができ、これによって、確実な除電を行なうことができるようになるという利点がある。また、除電推定電位V2の設定に誤差がある場合でも、その時点でのイオンの発生量が低下しているので、遅延到達イオン総量Dの誤差も少なくすることができ、確実に表面電位Vsをゼロに収束させることができる。
【0044】
送風手段としての送風機3は、電源回路3aおよびファン装置3bから構成されている。電源回路3aは、電圧制御回路1の交流電源回路6aから給電されるようになっており、ファン装置3bを駆動する。送風機3は、放電電極針2により生成されるイオンを被除電対象物Mの除電対象となる表面部位まで輸送するもので、その到達時間Tは、前述した式(1)で示すように、送風速度vと両者の間の距離Lとにより決まる。
【0045】
次に、図5を参照しながら除電動作について詳細に説明する。この実施形態においては、表面電位測定計4により被除電対象物Mの表面電位Vsを測定し、電圧制御回路1により、その表面電位Vsに応じてその表面電位Vsとは逆極性のイオンが多くなるようなアンバランス状態で正極性および負極性のイオンが生成され、送風機3により被除電対象物Mの表面に運ばれる。
【0046】
これによって、時刻t1(遅延時間Tに相当)を経過すると、被除電対象物Mが徐々に除電され、表面電位Vsがゼロに向かって収束していく。判定回路5は、表面電位測定計4からの信号とあらかじめ設定されている除電推定電位V2とを比較し、被除電対象物Mの表面電位Vsが除電推定電位V2に到達したとき(時刻t2)に判定信号を出力する。電圧制御回路1においては、これに応じて放電電極針2から発生させる正極性イオンおよび負極性イオンが同じレベルすなわちゼロバランスさせるように出力電圧を制御する。
【0047】
上記した除電推定電位V2の値は、前述したように、被除電対象物Mの種類、帯電容量、放電電極針2から被除電対象物Mの表面までの距離L、送風機3の風量や風速によって決まる遅れ時間Tなどの変動する要素の条件によって決まるものであるから、あらかじめ実験的に求めた上で設定しておく。なお、この除電推定電位V2の値は、被除電対象物Mによって変更設定可能な構成としておくことが好ましい。
【0048】
このようにして到達イオン量Itが遅れ時間Tをもって被除電対象物Mの表面に到達するから、この分の総量つまり遅延到達イオン総量Dによって除電可能な電位レベルが除電推定電位V2に相当する値となる。この結果、被除電対象物Mは、表面電位Vsが略ゼロに収束した時点(時刻t3)でゼロバランス状態のイオンが到達するようになり、除電状態が維持されるようになる。
【0049】
このような本実施形態によれば、表面電位測定計4および判断回路5を設け、被除電対象物Mの表面電位Vsが除電推定電位V2に達したことを検知すると、電圧制御回路1により、正極性イオンおよび負極性イオンの双方がバランスする状態となるように制御するので、放電電極針2から発生した逆極性の除電用のイオンが遅延時間Tをもって被除電対象物Mに到達する遅延到達イオン総量Dによって除電推定電位V2にあった被除電対象物Mの表面電位Vsがほぼゼロとなるように収束させることができる。これにより、従来のように、遅延して到達する逆極性の除電用イオンによって被除電対象物Mが逆帯電することなく迅速且つ確実に除電を行なうことができる。
【0050】
なお、上述したように、除電速度は、遅延時間Tをできるだけ短くすることと、出力イオン量Ijをできるだけ多くすることで速くすることができ、これによって除電時間も短縮することができる。しかしながら、出力イオン量Ijを多くすることについては、除電推定電位V2を正確に検知することが困難になる場合もあり、さらには、各種の誤差が起因して除電が正確に行なえるか否かが左右される場合があるので、制御性を考慮した条件に設定することが実用的である。
【0051】
(第2の実施形態)
図6は本発明の第2の実施形態を示すもので、第1の実施形態と異なるところは、逆極性の除電用イオンの発生量の制御の方法である。すなわち、第2の実施形態においては、除電用のイオンの発生を除電開始時点から一定量となるように制御する方式を採用している。
【0052】
これにより、除電開始時点(時刻「0」)で発生される出力イオン量Ijの除電用イオンは、遅延時間Tが経過(時刻t1)すると被除電対象物Mの表面に到達し(到達イオン量It)、除電に寄与するようになりその表面電位Vsは低下していくようになる。この後、被除電対象物Mの表面電位Vsが除電推定電位V2′(第1の実施形態の除電推定電位V2よりも高い電位に設定されている)に達したことが判定回路5により検出されると(時刻t2′(第1の実施形態の時刻t2よりも短い))、判定信号を出力する。電圧制御回路1においては、これに応じて放電電極針2から発生させる正極性イオンおよび負極性イオンが同じレベルすなわちゼロバランスさせるように出力電圧を制御する。
【0053】
この場合には、遅延到達イオン総量D′が図中に斜線領域で示すように、矩形上の面積に相当するイオン量となるので、第1の実施形態の場合に比べて表面電位Vsを低下させるための能力が高くなる。したがって、遅延時間Tを考慮すると、除電推定電位V2′の値を高く設定しておくことになる。
【0054】
これにより、被除電対象物Mの表面電位Vsが、除電推定電位V2′に達するまでの時間t2′および略ゼロに収束するまでの時間t3′は、共に第1の実施形態における時間t2,t3よりも短くすることができ、除電時間を短くすることができることを意味している。
【0055】
このような第2の実施形態によれば、一定量の出力イオン量Ijで除電を行なう方式としているので、第1の実施形態における方式よりも除電時間を短くすることができるようになり、生産ラインへの適用を想定すると、除電時間に起因してラインの速度を制限するのを極力抑制して生産性の高い除電装置とすることができるようになる。
【0056】
なお、この方式は、単純で除電時間も短縮できることがわかるが、被除電対象物Mの帯電容量や逆極性の除電用イオンの発生量などの関係で、除電速度Vが速くなると制御性の点で不安定要素が増えてくるので、実用的には誤差要素などを考慮すると検出精度や制御性を高めることで適用することが可能である。また、これらの点に関しては、技術の進歩とともに解決できる要素であるから、本実施形態の方式を採用することは十分に可能である。
【0057】
(他の実施形態)
本発明は、上記実施形態にのみ限定されるものではなく、次のように変形また拡張できる。
上記各実施形態においては、正負の両極性のイオンを用いて除電する場合について説明したが、これに限らず、除電を行なうという観点からすると、被除電対象物の帯電極性と反対の極性のイオンのみを用いる構成で除電を行なうこともできる。この場合には、除電推定電位に達した時点でイオンの発生を停止させるように制御する構成とすれば良い。
【0058】
放電電極針2は、上記各実施形態のような1本設けるものに限らず、複数本設ける構成としても良いし、放電電極針2を、正極性イオン用と負極性イオン用とのそれぞれに対応して設け、各放電電極針により同時にイオンを発生させる構成としても良い。また、放電電極針そのものについても、針ではなく細い金属線を用いる構成としても良い。
【0059】
第2実施形態の方式で出力イオン量を一定量に制御する方式で除電開始し、表面電位が低下してきて除電推定電位に近付いてきたら第1実施形態の方式で出力イオン量を低下させるように制御することもできる。あるいは、出力イオン量を徐々に変化させる方式以外に、段階的に変化させる方式とすることもできる。
【0060】
上記各実施形態においては、送風機3を用いて除電用イオンを輸送する構成としているが、送風機を用いない構成として放電電極針部分で発生したイオンが自然に拡散して被除電対象物に到達させるようにすることもできる。この場合には、遅延時間Tがさらに大きくなるので、本発明の効果が大きく発揮することができるようになる。
【0061】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の被除電対象物の除電方法および除電装置によれば、電圧印加手段により放電電極に電圧を印加して、逆極性の除電用イオンを発生させて除電を開始し、電位測定手段による被除電対象物の表面電位が除電推定電位に達した時点で正負の両極性の除電用イオンを発生させるように制御するので、その時点までに発生した逆極性のイオンが遅れて被除電対象物の表面に到達することで表面電位を除電目標電位にまで下げることができる。
このとき、除電推定電位を、前記印加電圧手段による前記逆極性の除電用イオンの発生停止後の経過時間に起因して前記除電対象物に到達する前記逆極性の除電用イオンの量がその被除電対象物の表面電位を前記除電目標電位まで低下させることができるような表面電位に設定しているので、除電推定電位で逆極性の除電用イオンの発生が停止された時点からの時間の経過に伴って、遅れて被除電対象物に到達する逆極性の除電用イオンにより除電が進められ、被除電対象物の表面電位が除電目標電位まで低下させることができるようになる。これにより、逆極性の除電用イオンの発生を停止した後に被除電対象物に到達する逆極性の除電用イオンの作用で除電される成分を考慮した除電動作を行なうことができ、確実かつ迅速に除電を行なうことができるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を原理的に示す電気的構成図
【図2】除電作用を説明するための配置構成図
【図3】表面電位とイオン量との時間的推移を示す図
【図4】電気的構成を具体的に示した図
【図5】表面電位とイオン量との時間的推移を具体的に示した図
【図6】本発明の第2の実施形態を示す図5相当図
【図7】従来例を示す図5相当図
【符号の説明】
1は電圧制御回路(電圧印加手段)、2は放電電極針、3は送風機(送風手段)、4は表面電位測定計、5は判定回路(判定手段)、6は電源駆動制御回路、6aは交流電源回路、6bは直流電源回路、7は昇圧トランス、Mは被除電対象物である。
Claims (10)
- 電圧印加手段により放電電極に電圧を印加して被除電対象物の除電用イオンをコロナ放電により発生させ、その除電用イオンを当該被除電対象物の表面に到達させることで除電を行なうようにした被除電対象物の除電方法において、
前記被除電対象物の表面電位を電位測定手段により測定し、
前記除電用イオンを発生させて除電を行なう場合に、前記被除電対象物の帯電極性と逆極性の除電用イオンにより除電を行ない、前記電位測定手段により測定した前記被除電対象物の表面電位が除電推定電位に達した時に前記逆極性の除電用イオンを停止させるように制御し、
前記除電推定電位は、前記印加電圧手段による前記逆極性の除電用イオンの発生停止後の経過時間に起因して前記除電対象物に到達する前記逆極性の除電用イオンの量がその被除電対象物の表面電位を前記除電目標電位まで低下させることができるような表面電位に設定されていることを特徴とする被除電対象物の除電方法。 - 請求項1に記載の被除電対象物の除電方法において、
前記電位測定手段により測定した前記被除電対象物の表面電位が除電推定電位に達した時には、正負の両極性のイオンの発生量がゼロバランス状態となるように同量だけ発生させることで実質的に前記逆極性の除電用イオンを停止させるように制御することを特徴とする被除電対象物の除電方法。 - 請求項1または2に記載の被除電対象物の除電方法において、
前記電圧印加手段により、前記放電電極への電圧の印加を、前記電位測定手段により測定される前記被除電対象物の表面電位が前記除電推定電位に達するまでの間、前記逆極性の除電用イオンの発生量が徐々に減少する方向で変化させるようにしたことを特徴とする被除電対象物の除電方法。 - 請求項3に記載の被除電対象物の除電方法において、
前記電圧印加手段による前記放電電極への印加電圧は、前記電位測定手段により測定される前記被除電対象物の表面電位の値に応じて変化させることを特徴とする被除電対象物の除電方法。 - 請求項1または2に記載の被除電対象物の除電方法において、
前記電圧印加手段による前記放電電極への印加電圧は、一定量の逆極性の除電用イオンが発生するように印加することを特徴とする被除電対象物の除電方法。 - 電圧が印加されるとコロナ放電により除電用イオンを発生する放電電極と、
この放電電極に電圧を印加して被除電対象物の除電用イオンを発生させる電圧印加手段と、
前記被除電対象物の表面電位を測定する電位測定手段と、
前記除電用イオンを発生させて除電を行なう場合に、前記電圧印加手段に対して前記被除電対象物の帯電極性と逆極性の除電用イオンを発生させて除電を行ない、前記電位測定手段により測定した前記被除電対象物の表面電位が除電推定電位に達した時に前記逆極性の除電用イオンを停止させるように制御する判定手段とを設け、
前記判定手段に設定した前記除電推定電位は、前記印加電圧手段による前記逆極性の除電用イオンの発生停止後に前記除電対象物に到達する前記逆極性の除電用イオンの量がその被除電対象物の表面電位を前記除電目標電位まで低下させることができるような表面電位に設定されていることを特徴とする除電装置。 - 請求項6に記載の除電装置において、
前記判定手段は、前記電位測定手段により測定した前記被除電対象物の表面電位が除電推定電位に達した時には、正負の両極性のイオンの発生量がゼロバランス状態となるように同量だけ発生させることで実質的に前記逆極性の除電用イオンを停止させるように制御することを特徴とする除電装置。 - 請求項6または7に記載の除電装置において、
前記電圧印加手段は、前記放電電極への電圧の印加を、前記電位測定手段により測定さ れる前記被除電対象物の表面電位が前記除電推定電位に達するまでの間、前記逆極性の除電用イオンの発生量が徐々に減少するように変化させるように構成されていることを特徴とする除電装置。 - 請求項8に記載の除電装置において、
前記電圧印加手段は、前記放電電極への印加電圧を、前記電位測定手段により測定される前記被除電対象物の表面電位の値に応じて変化させるように構成されていることを特徴とする除電装置。 - 請求項6または7に記載の除電装置において、
前記電圧印加手段は、前記放電電極への印加電圧を、一定量の逆極性の除電用イオンが発生するように印加する構成とされていることを特徴とする除電装置。
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