JP4053275B2 - Automated guided vehicle - Google Patents

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JP4053275B2
JP4053275B2 JP2001333170A JP2001333170A JP4053275B2 JP 4053275 B2 JP4053275 B2 JP 4053275B2 JP 2001333170 A JP2001333170 A JP 2001333170A JP 2001333170 A JP2001333170 A JP 2001333170A JP 4053275 B2 JP4053275 B2 JP 4053275B2
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収司 秋山
貴彦 村山
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東京エレクトロン株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that it is difficult to engage an engaging member to a member to be engaged for preventing an article placement stand from being supported easily since the article placement stand that is supported by an antivibration means is rocked and vibrated not only in a vertical direction but also in a horizontal direction immediately after an unmanned vehicle stops, in the unmanned vehicle comprising the antivibration means that is included between a vehicle body and the article placement stand, a plurality of engaging members that are provided at either the vehicle body or the article placement stand, a member to be engaged that opposes the member to be engaged that is provided at the other, an elevation means for elevating either the engaging member or the member to be engaged, and a transfer apparatus for transferring an article that is placed on the article placement stand. SOLUTION: A V groove for guiding the engaging member (pin) 62 to a prescribed position is provided in the member (block piece) 61 to be engaged, and at the same time the direction of the V groove of at least one member 61 to be engaged is directed toward a different direction relative to the V groove of the other members to be engaged.

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は物品載置台を備えた無人搬送車に関し、詳しくは、該物品載置台を支持する構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、塵挨の発生が問題となる半導体製造工場では、物品を移載・搬送するために、スカラーアーム式の移載装置と、物品を一時載置する物品載置台とを搭載した無人搬送車を自動走行させる技術が知られている。
走行中、物品載置台に載置した物品に振動が伝わらないようにするため、車体本体と物品載置台との間にはスプリング等の防振手段が介設され、詳しくは、以下のように構成されている。
【0003】
図6に示すように、車体本体2と物品載置台7との間には防振手段であるエアダンパ71・71・・・が介設されている。該エアダンパ71・71・・・は物品載置台7の四隅に配置されて、該物品載置台7を支えるとともにその振動を吸収している。また、物品載置台7下面にはその四隅にはピン孔7b・7b・・・が設けられ、該ピン孔7b・7b・・・と対向する車体本体2上面にはピン72・72・・・が突設されている。このピン72・72・・・はシリンダの伸縮操作により昇降可能に構成され、無人搬送車を停止させてバッファカセット50内のウエハ10・10・・・等を移載するときには、同図(a)に示すように、該ピン72・72・・・を上昇させて、その尖端を前記のピン孔7b・7b・・・に嵌入し、物品載置台7を持ち上げて支持し、この状態では、前記エアダンパ71・71・・・による物品載置台7の支承は作用せず、ピン72・72・・・によって物品載置台7は位置固定される。
一方、走行時には、同図(b)に示すように、ピン72・72・・・を下降させて、その尖端を前記のピン孔7b・7b・・・から抜脱し、ピン72・72・・・による物品載置台7の支持を解除する。この状態では物品載置台7はエアダンパ71・71・・・により支えられて、走行時の振動が吸収されるのである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、走行中、エアダンパ71・71・・・に支えられる物品載置台7は上下方向のみならず水平方向にも揺振し、特に搬送車の停止直後は、慣性が働く物品載置台7は、上下方向よりも寧ろ水平方向に振動している。
この水平方向の振動が発生している状態で、前記ピン72・72・・・を上昇させても物品載置台7下面のピン孔7b・7b・・・に上手く収まらない恐れがあり、確実のためには、該振動が減衰するまで待機することが望ましい。
この待機時間は作業の効率を追求する観点からは、できるだけなくしたいものであり、そこで、本発明では、多少水平方向に振動していても、確実に物品載置台7を支持することができる無人搬送車を提供することを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するための手段を説明する。
まず、請求項1に記載のように、車体本体と物品載置台との間に介設された防振手段と、車体本体又は物品載置台の何れか一方に設けられた複数の係合部材と、前記車体本体又は物品載置台の何れか他方に設けられ、前記係合部材を所定位置に案内するV溝を設け、少なくとも1つのV溝の方向を、それ以外のV溝の方向と異なる方向へ向けて設けられた複数の被係合部材と、前記係合部材又は前記被係合部材の何れか一方を昇降させる昇降手段と、物品載置台に物品を移載する移載装置とを備えた無人搬送車において、前記係合部材又は前記被係合部材の何れか一方を互いに等間隔を開けて配設し、前記昇降手段により傾くことなく水平姿勢を保持して昇降する昇降プレートを前記車体本体に具備し、前記無人搬送車の走行時には前記防振手段が前記物品載置台を均等に支持し、前記無人搬送車の停止時には前記昇降手段が前記昇降プレートを上昇させて前記係合部材と前記被係合部材とを係合し、該係合により前記物品載置台が支持される
【0006】
そして、請求項2に記載のように、前記昇降プレートは、前記車体本体に垂直に立設されたリニアブッシュに案内されている。
【0007】
また、請求項3に記載のように、前記係合部材と被係合部材の少なくとも一方を交換自在に構成する。
【0008】
【発明の実施の形態】
これより、本発明の実施の一形態を、図面を参照しながら説明する。
図1はクリーンルーム内の無人搬送車1の様子を示す斜視図、図2は無人搬送車1の側面断面図、図3はエアダンパ55・55・・・で支承されているときの物品載置台5の側面図、図4はブロック片61・61・・・とピン62・62・・・とで支持固定されているときの物品載置台5の側面図、図5は物品載置台5の分解斜視図である。
【0009】
まず、無人搬送車1の全体構成について説明する。
以下の説明では、図1における矢視F方向を前方として、各構造体の前後左右位置を説明する。また、その他の図面における各構造体の前後左右位置も図1に準ずるものとする。
【0010】
図1に示すように、無人搬送車1は、走行レール20・20上を自動走行する有軌道台車であり、車体本体2が走行輪9・9・9・9により支持され、該走行輪9・9・9・9はそのそれぞれに対応した駆動モータ8・8・8・8(図2)で駆動させることで、走行レール20・20上を四輪駆動で走行させている。
尚、本実施の形態では、スリップを減らす為に全ての走行輪9・9・9・9に駆動を伝えるようにしており、各走行輪9・9・9・9にはそれぞれ駆動モータ8・8・8・8が取り付けられているが、全ての走行輪9・9・9・9に駆動を伝達する機構は、これに限定することなく、他の機構でもよい。また、駆動輪は車体前後にそれぞれ設けられていれば、4輪に限らず、その数は限定しない。
【0011】
前記走行レール20・20に沿って、処理装置21・21・・・やストッカ22が並べて配設され、該ストッカ22上に複数のカセット23・23・・・が所定間隔を空けて並設されている。各カセット23・23・・・は、その開口を走行レール20・20側へ向けて配置され、該カセット23内には上下に多数段の棚が設けられ、各棚にウエハ10・10・・・が水平に収納されている。
本実施の形態では、ストッカ22を平置型のストッカとしているが、カセット23の搬出入口と、多数の棚と、棚と搬出入口との間でカセット23を移載するスタッカークレーンとを備えた自動倉庫であっても良い。
【0012】
図2に示すように、前記無人搬送車1の車体本体2には、その中央にウエハ10・10・・・を移載する移載装置3が配設され、その前後に、ウエハ10・10・・・の方向及び中心位置を揃える姿勢合わせ装置4と、ウエハ10・10・・・が収納されたバッファカセット50を載置する物品載置台5とが配設されている。
【0013】
次に、前記移載装置3について説明する。
移載装置3は、移載アーム30M・30S、基台38、ターンテーブル39等から成り、基台38は車体本体2中央に埋設され、該基台38上にターンテーブル39が枢設され、該ターンテーブル39上に一対の移載アーム30M・30Sが取り付けられている。
【0014】
前記基台38は昇降可能に構成され、また、前記ターンテーブル39は該基台38に対して相対回転可能に構成されている。
前記移載アーム30M(30S)は、移載ハンド31と、第1アーム32と、第2アーム33とでリンク機構が組まれたスカラーアーム式のロボットハンドであり、サーボモータ等から成るアクチュエータにより屈伸自在に構成されている。
【0015】
次に、前記姿勢合わせ装置4について説明する。
姿勢合わせ装置4は、ケーシング40、載置台41、オリフラセンサ42・42、オプティカルキャラクタリーダ(以下「OCR」)43等から成り、該ケーシング40は移載装置3側が開口して、その入口付近には2組のオリフラセンサ42・42が配設され、それぞれ天井面に投光器42a、床面に受光器42bを埋設して構成されている。この2組のオリフラセンサ42・42は、外側(ケーシング40の開口入口側)のオリフラセンサ42で12インチのウエハ10のオリフラ位置(又はノッチ位置)を検出し、内側(ケーシング40の開口奥側)のオリフラセンサ42で8インチのウエハ10Sのオリフラ位置(又はノッチ位置)を検出するように構成されている。
【0016】
また、ケーシング40の開口の床面、奥側にはOCR43が埋設され、該ケーシング40内に、IDマークの付された面を下側にしてウエハ10をセットし、該IDマーク11を該OCR43で読み取る構成とする。尚、IDマークの面を上側にしてウエハ10をセットしてもよく、この場合、OCR43はケーシング40の開口の天井面、奥側に配置し、あるいは、作業過程でウエハ10の盤面が上下入れ替わることも考慮して、図2に示すように、ケーシング40の開口の天井面、及び床面の奥側に、上下一対のOCR43・43を配置する構成とすることが好ましい。
【0017】
また、ケーシング40の開口の床面には、ウエハ10を載置する載置台41が設けられている。該載置台41は円盤状の形状で、その回転中心には吸着孔が設けられ、該吸着孔から同心円状、並びに放射線状に複数の吸着溝が設けられている。この構成で、ウエハ10を載置台41上に載置した状態で吸着孔からエアポンプで吸引することによってウエハ10を吸着・保持し、載置台41を回転させたときに、ウエハ10が遠心力で位置ズレしないようにしている。
【0018】
次に、前記物品載置台5について説明する。
図3乃至図5に示すように、物品載置台5と車体本体2との間には防振手段であるエアダンパ55・55・・・が複数介設され、該物品載置台5上にバッファカセット50が載置固定される。このバッファカセット50は、その開口を前方(移載装置3側)へ向けて配置され、該バッファカセット50内には上下に多数段の棚が設けられ、各棚にウエハ10・10・・・が水平に収納されている。
【0019】
詳説すると、物品載置台5の下面には載置プレート51が設けられ、該載置プレート51の前後部より、長椅子を上下逆にした如きの形状のサポート体52・52が垂設されている。一方、該載置プレート51下方における車体本体2上面にはシリンダプレート53が設けられ、その上から支持プレート54が載設されている。該シリンダプレート53、及び支持プレート54は何れもその中央に開口部53a・54aが形成されて(図5)、後述するエアシリンダ57のシリンダロッド57aにこの開口部53a・54aの内部を挿通させる。また、支持プレート54の前後部には前記エアダンパ55・55・・・が立設され、該エアダンパ55・55・・・上に前記サポート体52・52が載置されて、物品載置台5が均等に支持され、その振動が緩衝される。
【0020】
また、車体本体2には昇降手段たるエアシリンダ57が埋設され、そのシリンダロッド57aはシリンダプレート53、及び支持プレート54中央の開口部(53a・54a)から上方へ突出させて、該シリンダロッド57a上端にはフローティングジョイント58が取り付けられている。このフローティングジョイント58は上下方向に回動自在に構成されるとともに、昇降プレート59の下面に固定される。
あるいは、フローティングジョイント58は回動しない構成で、車体本体2に埋設されるエアシリンダ57を上下回動自在にして取り付けてもよい。若しくは、フローティングジョイント58及びエアシリンダ57の双方とも上下回動自在に構成してもよく、その構成は特に限定しない。
【0021】
この昇降プレート59及び前記支持プレート54には、それぞれ左右両側部に穴部59b・59b、54b・54bが穿孔され、該昇降プレート59の穴部59b・59bにはリニアブッシュ56・56のシャフト56a・56a上端が嵌設され、該支持プレート54の穴部54b・54bには該シャフト56a・56aに外装される外筒56b・56bが嵌着されている。この左右一対のリニアブッシュ56・56は車体本体2上面に対して精度良い垂直をなすよう立設されており、エアシリンダ57のシリンダロッド57aが仮に斜めに進退しても、昇降プレート59は該リニアブッシュ56・56に案内されることで、傾くことなくその水平姿勢が保持されながら昇降する。
【0022】
また、昇降プレート59の上面には、被係合部材である3つのブロック片61・61・61が互いに等間隔を開けて配置され(具体的にいえば、昇降プレート59の中心を中心とした正三角形の頂点の位置に1つずつ配置され)、昇降プレート59の中心から見ると、120°の間隔をなして並べられ、着脱自在に取り付けられている。これらのブロック片61・61・61の上部は「V」字状に切り欠かれており、このV溝61a・61a・61aの谷部(最も深い部分の輪郭線)が、昇降プレート59の中心に集まる方向へ向けられている。つまり、各ブロック片61のV溝61aの方向は、それぞれ他のブロック片61・61のV溝61a・61aの向く方向と異なる方向(互いに平行をなさない方向)に向けて配置されている。
【0023】
そして、このブロック片61・61・61の上方位置の載置プレート51下面には螺子孔51b・51b・51bが設けられ、該螺子孔51b・51b・51bに係合部材たるピン62・62・62が螺入されて着脱自在に垂設され、昇降プレート59の上昇によって、該ピン62・62・62のテーパ状の下端部と、該ブロック片61・61・61の前記V溝とが係合するように構成されている。
ここで、この係合側のピン62・62・62は金属で形成し、一方の被係合側のブロック片61・61・61はMCナイロン等樹脂で形成しておく。
これにより、長期間の使用によって該ブロック片61・61・61と該ピン62・62・62とが係合/係合解除を繰り返すうちに、該ブロック片61・61・61の方が摩耗し擦り減って、物品載置台5の位置決めが正確になされなくなるが、このような場合でも、摩損したブロック片61・61・・・を取り外して新品に交換するだけの簡単なメンテナンスで、物品載置台5の位置決めが再度正確になされるようにすることができるのである。
【0024】
なお、以上の構成では、ブロック片61・61・61を昇降プレート59上面に凸設して、ピン62・62・62を載置プレート51から垂設しているが、これを上下逆にして、ピン62・62・62を(先細り側を上方に向けて)昇降プレート59に凸設する一方、ブロック片61・61・61を載置プレート51から垂設した構成としても構わない。
【0025】
このような構成で、バッファカセット50を物品載置台5に載置して無人搬送車1を走行させる際には、図3に示すように、前記エアシリンダ57を作動させて昇降プレート59を下降させ、その上面のブロック片61・61・61と、載置プレート51下面のピン62・62・62とを離間させておき、エアダンパ55・55・・・によってサポート体52・52を支承する。このようにエアダンパ55・55・・・で物品載置台5を均等に支えて、車輛走行時に発生する振動を緩衝し、バッファカセット50内のウエハ10・10・・・の位置ズレや回転を防止している。
【0026】
そして、無人搬送車1を停止させ、荷の移載を行う場合は、図4に示すように、エアシリンダ57を作動させて昇降プレート59を上昇させ、前記ブロック片61・61・61のV溝61a・61a・61aを、前記ピン62・62・62に係合させる。これにより載置プレート51は昇降プレート59により支持される形で位置固定され、エアダンパ55・55・・・が作用しなくなる。
【0027】
特に、無人搬送車1の停止直後は、慣性が働く物品載置台5は、上下方向よりも寧ろ水平方向に振動している。しかし本発明では、この水平方向の振動が発生している状態のままでも、前記ブロック片61・61・61のV溝61a・61a・61aは、前記ピン62・62・62に確実に係合する。
【0028】
すなわち、ブロック片61のV溝61aは上方へ向けて比較的広範囲に拡開されているため、その上方のピン62の位置が前記水平方向の振動によって溝の位置から多少ブレていても、該V溝61aに案内されて、ピン62の先端はその最深部に収まるのである。このように3つのピン62・62・62が、正三角形の頂点に配置される3つのブロック片61・61・61に案内されることによって、物品載置台5はセンタリングされた位置(所定位置)とされ、また、前記リニアブッシュ56・56によって正確に水平姿勢が保たれつつ、最も安定する位置で三点支持される。
【0029】
さらに、エアシリンダ57の上昇量を制御することで、バッファカセット50を所定の高さ位置にすることができる。例えば、エアシリンダ57のシリンダロッド57aに設けられている不図示のストッパの位置を調整し、バッファカセット50の希望高さ位置が、シリンダロッド57aの最大ストロークとなるようにする。このように設定することで、シリンダロッド57aのストローク量を細かく制御することなく、バッファカセット50を所望の高さ位置にすることができる。また、エアシリンダ57にエアを送りすぎても、高さ位置が変わることがない。
【0030】
このように物品載置台5の位置決めが正確になされ、その上に載置されたバッファカセット50は精度の良い水平に正確に保たれるのである。従って、移載ハンド31を水平に伸張させて該バッファカセット50内に挿入するのも確実かつ円滑に行うことができ、移載ハンド31の挿入時に目標の棚やその上の棚が干渉してトラブルを誘発することもない。
なお、本発明の無人搬送車1は、非接触の有軌道台車だけに限るものではなく、例えば、バッテリを搭載したレーザーや磁気誘導式の無人搬送車等、その他の無人搬送車でもよい。
【0031】
【発明の効果】
本発明は、以上のように構成したので、以下に示すような効果を奏する。
まず、請求項1に記載の発明では、車体本体と物品載置台との間に介設された防振手段と、車体本体又は物品載置台の何れか一方に設けられた複数の係合部材と、前記車体本体又は物品載置台の何れか他方に設けられ、前記係合部材を所定位置に案内するV溝を設け、少なくとも1つのV溝の方向を、それ以外のV溝の方向と異なる方向へ向けて設けられた複数の被係合部材と、前記係合部材又は前記被係合部材の何れか一方を昇降させる昇降手段と、物品載置台に物品を移載する移載装置とを備えた無人搬送車において、前記係合部材又は前記被係合部材の何れか一方を互いに等間隔を開けて配設し、前記昇降手段により傾くことなく水平姿勢を保持して昇降する昇降プレートを前記車体本体に具備し、前記無人搬送車の走行時には前記防振手段が前記物品載置台を均等に支持し、前記無人搬送車の停止時には前記昇降手段が前記昇降プレートを上昇させて前記係合部材と前記被係合部材とを係合し、該係合により前記物品載置台が支持されるので、物品を物品載置台に載置して無人搬送車を走行させる際は、昇降手段を作動させて被係合部材(又は係合部材)を下降させ、係合部材(又は被係合部材)と離間させておくことで、物品載置台は防振手段によって支承されて、走行時に発生する振動は吸収される。
一方、無人搬送車を停止させ、荷の移載を行う場合は、昇降手段を作動させて被係合部材(又は係合部材)を上昇させ、係合部材(又は被係合部材)に係合させて、物品載置台を支持することができる。
そして、無人搬送車の停止直後に慣性が働くことで物品載置台が水平方向に振動しても、被係合部材のV溝が係合部材側へ向けて拡開されているため、それに対向する係合部材が多少ぶれていても、該V溝の斜面に案内されてV溝の最深部に収まるのである。
また、少なくとも1つの被係合部材のV溝をそれ以外の被係合部材のV溝に対して異なる方向を向けて配置しているため、該被係合部材に係合した係合部材は位置ズレを起こさず、物品載置台は正規な位置で固定され、確実に支持されるのである。
結局、物品支持台を支持する過程で被係合部材に対して係合部材が多少ブレていたとしても、該被係合部材のV溝は比較的広範囲で該係合部材を捕えることができるので、このブレた状態のままでも両者を係合させることができ、確実性及び信頼性が向上する。
【0032】
次に、請求項2に記載のように、前記昇降プレートは、前記車体本体に垂直に立設されたリニアブッシュに案内されているので、物品載置台は水平姿勢が保たれつつ、最も安定する位置で三点支持される。それとともに、物品載置台に載置されたバッファカセットは精度の良い水平に正確に保たれる。
【0033】
また、請求項3に記載のように、前記係合部材と被係合部材の少なくとも一方を交換自在に構成したので、摩損して該係合部材と該被係合部材による物品載置台の位置決めが正確になされなくなった場合でも、係合部材又は被係合部材の少なくとも一方を新品に取り換えればよい。このような簡単なメンテナンス作業によって、正確な位置決めが再度行えるようになるのである。
【図面の簡単な説明】
【図1】クリーンルーム内の無人搬送車1の様子を示す斜視図。
【図2】無人搬送車1の側面断面図。
【図3】本発明に係る物品載置台5の側面図。
【図4】本発明に係る物品載置台5の側面図。
【図5】本発明に係る物品載置台5の分解斜視図。
【図6】従来型の物品載置台5の側面図。
【符号の説明】
1 無人搬送車
2 車体本体
3 移載装置
5 物品載置台
10 ウエハ
50 バッファカセット
51 載置プレート
52 サポート体
54 支持プレート
55 エアダンパ
56 リニアブッシュ
57 エアシリンダ
59 昇降プレート
61 ブロック片
61a V溝
62 ピン
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an automatic guided vehicle including an article mounting table, and more particularly, to a structure that supports the article mounting table.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in semiconductor manufacturing factories where dust generation is a problem, unattended transfer equipped with a scalar arm type transfer device and an article placement table for temporarily placing articles in order to transfer and convey articles A technique for automatically driving a car is known.
In order to prevent vibrations from being transmitted to the article placed on the article placement table during traveling, vibration isolating means such as a spring is interposed between the vehicle body and the article placement table. It is configured.
[0003]
As shown in FIG. 6, air dampers 71, 71... That are vibration isolation means are interposed between the vehicle body 2 and the article mounting table 7. The air dampers 71, 71,... Are arranged at the four corners of the article mounting table 7, and support the article mounting table 7 and absorb vibrations thereof. Further, pin holes 7b, 7b,... Are provided at the four corners of the lower surface of the article mounting table 7, and pins 72, 72,. Is protruding. The pins 72, 72... Can be moved up and down by extending and retracting the cylinder. When the automatic guided vehicle is stopped and the wafers 10, 10. ), The pins 72, 72... Are raised, the tips thereof are inserted into the pin holes 7b, 7b, and the article mounting table 7 is lifted and supported. The support of the article mounting table 7 by the air dampers 71, 71... Does not act, and the position of the article mounting table 7 is fixed by the pins 72, 72.
On the other hand, at the time of running, as shown in FIG. 5B, the pins 72, 72,... Are lowered, the pointed ends thereof are removed from the pin holes 7b, 7b, and the pins 72, 72,. The support of the article mounting table 7 is released. In this state, the article mounting table 7 is supported by the air dampers 71, 71... And absorbs vibration during traveling.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, during travel, the article mounting table 7 supported by the air dampers 71, 71... Swings not only in the vertical direction but also in the horizontal direction. It vibrates horizontally rather than vertically.
In the state where this horizontal vibration is generated, even if the pins 72, 72,... Are raised, they may not fit well in the pin holes 7b, 7b,. Therefore, it is desirable to wait until the vibration is attenuated.
From the viewpoint of pursuing work efficiency, this waiting time is desired to be eliminated as much as possible. Therefore, in the present invention, the unmanned person can reliably support the article mounting table 7 even if it vibrates somewhat in the horizontal direction. It is an object to provide a transport vehicle.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The problems to be solved by the present invention are as described above. Next, means for solving the problems will be described.
First, as described in claim 1, vibration isolating means interposed between the vehicle body and the article mounting table, and a plurality of engagement members provided on either the vehicle body or the article mounting table. A V-groove is provided on either the body body or the article mounting table and guides the engaging member to a predetermined position, and the direction of at least one V-groove is different from the direction of the other V-grooves. comprising a plurality of the engaging members provided toward, and lifting means for lifting one of said engaging member and the engaged member, and a transfer device for transferring the article to article rack In the automatic guided vehicle, either one of the engaging member or the engaged member is disposed at an equal interval from each other, and a lifting plate that moves up and down while maintaining a horizontal posture without tilting by the lifting means is provided. The anti-vibration unit is provided in the vehicle body and is used when the automatic guided vehicle is running. A stage uniformly supports the article mounting table, and when the automatic guided vehicle is stopped, the elevating means raises the elevating plate and engages the engaging member and the engaged member. The article mounting table is supported .
[0006]
According to a second aspect of the present invention, the elevating plate is guided by a linear bush erected vertically to the vehicle body.
[0007]
According to a third aspect of the present invention, at least one of the engaging member and the engaged member is configured to be exchangeable.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the present invention will now be described with reference to the drawings.
1 is a perspective view showing the state of the automatic guided vehicle 1 in the clean room, FIG. 2 is a side sectional view of the automatic guided vehicle 1, and FIG. 3 is an article mounting table 5 when it is supported by air dampers 55, 55. 4 is a side view of the article mounting table 5 when it is supported and fixed by the block pieces 61, 61... And the pins 62, 62. FIG.
[0009]
First, the overall configuration of the automatic guided vehicle 1 will be described.
In the following description, the front-rear and left-right positions of each structure will be described with the arrow F direction in FIG. 1 as the front. In addition, the front / rear / left / right positions of the structures in the other drawings are the same as those in FIG.
[0010]
As shown in FIG. 1, the automatic guided vehicle 1 is a tracked carriage that automatically travels on traveling rails 20, 20, and a vehicle body 2 is supported by traveling wheels 9, 9, 9, 9. The nine, nine and nine are driven by the four-wheel drive on the traveling rails 20 and 20 by being driven by drive motors 8, 8, 8, and 8 (FIG. 2) corresponding to the respective motors.
In this embodiment, in order to reduce the slip, the drive is transmitted to all the traveling wheels 9, 9, 9, 9. Each traveling wheel 9, 9, 9, 9 has a drive motor 8, Although 8, 8, 8 are attached, the mechanism for transmitting the drive to all the traveling wheels 9, 9, 9, 9 is not limited to this, and other mechanisms may be used. Further, the drive wheels are not limited to four wheels and the number thereof is not limited as long as the drive wheels are respectively provided on the front and rear of the vehicle body.
[0011]
.. And a stocker 22 are arranged side by side along the traveling rails 20 and 20, and a plurality of cassettes 23, 23... Are arranged side by side at predetermined intervals on the stocker 22. ing. The cassettes 23, 23,... Are arranged with the openings directed toward the traveling rails 20, 20, and a plurality of shelves are provided in the upper and lower sides of the cassette 23, and wafers 10, 10,. -Is stored horizontally.
In the present embodiment, the stocker 22 is a flat-type stocker. However, the stocker 22 is automatically equipped with a loading / unloading port for the cassette 23, a number of shelves, and a stacker crane for transferring the cassette 23 between the shelves and the loading / unloading port. It may be a warehouse.
[0012]
As shown in FIG. 2, the body 2 of the automatic guided vehicle 1 is provided with a transfer device 3 for transferring wafers 10... At the center thereof, and before and after the wafers 10. ... And an article placement table 5 on which a buffer cassette 50 in which the wafers 10, 10... Are placed is placed.
[0013]
Next, the transfer device 3 will be described.
The transfer device 3 includes transfer arms 30M and 30S, a base 38, a turntable 39, and the like. The base 38 is embedded in the center of the vehicle body 2, and the turntable 39 is pivotally mounted on the base 38. A pair of transfer arms 30M and 30S are mounted on the turntable 39.
[0014]
The base 38 is configured to be movable up and down, and the turntable 39 is configured to be rotatable relative to the base 38.
The transfer arm 30M (30S) is a scalar arm type robot hand in which a link mechanism is assembled with a transfer hand 31, a first arm 32, and a second arm 33. It is configured to be flexible.
[0015]
Next, the posture alignment device 4 will be described.
The posture alignment device 4 includes a casing 40, a mounting table 41, orientation flat sensors 42 and 42, an optical character reader (hereinafter referred to as “OCR”) 43, and the like. The casing 40 is open near the entrance of the transfer device 3 side. Two orientation flat sensors 42 and 42 are disposed, and a projector 42a is embedded on the ceiling surface and a light receiver 42b is embedded on the floor surface. These two orientation flat sensors 42 and 42 detect the orientation flat position (or notch position) of the 12-inch wafer 10 with the orientation flat sensor 42 on the outer side (opening entrance side of the casing 40), and the inner side (back side of the opening of the casing 40). The orientation flat sensor 42) detects the orientation flat position (or notch position) of the 8-inch wafer 10S.
[0016]
Further, an OCR 43 is embedded in the floor surface and the back side of the opening of the casing 40. The wafer 10 is set in the casing 40 with the surface with the ID mark on the lower side, and the ID mark 11 is placed on the OCR 43. It is configured to read with. Note that the wafer 10 may be set with the ID mark face up. In this case, the OCR 43 is arranged on the ceiling surface and the back side of the opening of the casing 40, or the board surface of the wafer 10 is changed up and down in the course of work. In consideration of this, as shown in FIG. 2, it is preferable that a pair of upper and lower OCRs 43 and 43 be arranged on the ceiling surface of the opening of the casing 40 and the back side of the floor surface.
[0017]
A mounting table 41 for mounting the wafer 10 is provided on the floor surface of the opening of the casing 40. The mounting table 41 has a disk shape, and a suction hole is provided at the center of rotation, and a plurality of suction grooves are provided concentrically and radially from the suction hole. With this configuration, when the wafer 10 is mounted on the mounting table 41, the wafer 10 is sucked and held by the air pump through the suction hole, and when the mounting table 41 is rotated, the wafer 10 is subjected to centrifugal force. The position is not misaligned.
[0018]
Next, the article mounting table 5 will be described.
As shown in FIG. 3 to FIG. 5, a plurality of air dampers 55, 55... As vibration isolating means are interposed between the article mounting table 5 and the vehicle body 2, and a buffer cassette is provided on the article mounting table 5. 50 is mounted and fixed. The buffer cassette 50 is arranged with its opening facing forward (on the transfer device 3 side), and a plurality of shelves are provided in the upper and lower sides in the buffer cassette 50, and wafers 10, 10,... Is stored horizontally.
[0019]
Specifically, a mounting plate 51 is provided on the lower surface of the article mounting table 5, and support bodies 52 and 52 having a shape like a chaise longue are suspended from the front and rear portions of the mounting plate 51. . On the other hand, a cylinder plate 53 is provided on the upper surface of the vehicle body 2 below the mounting plate 51, and a support plate 54 is mounted thereon. Each of the cylinder plate 53 and the support plate 54 has an opening 53a / 54a formed at the center thereof (FIG. 5), and the inside of the opening 53a / 54a is inserted into a cylinder rod 57a of an air cylinder 57 described later. . Further, the air dampers 55, 55... Are erected on the front and rear portions of the support plate 54, and the support bodies 52, 52 are placed on the air dampers 55, 55. Evenly supported and its vibration is buffered.
[0020]
Further, an air cylinder 57 as an elevating means is embedded in the vehicle body 2, and the cylinder rod 57 a protrudes upward from the cylinder plate 53 and the opening (53 a, 54 a) at the center of the support plate 54, and the cylinder rod 57 a A floating joint 58 is attached to the upper end. The floating joint 58 is configured to be rotatable in the vertical direction and is fixed to the lower surface of the elevating plate 59.
Alternatively, the floating joint 58 may be configured not to rotate, and the air cylinder 57 embedded in the vehicle body 2 may be attached so as to be vertically rotatable. Alternatively, both the floating joint 58 and the air cylinder 57 may be configured to be rotatable up and down, and the configuration is not particularly limited.
[0021]
The elevating plate 59 and the support plate 54 have holes 59b and 59b, 54b and 54b on the left and right sides, respectively. The holes 59b and 59b of the elevating plate 59 are shafts 56a of the linear bushes 56 and 56, respectively. The upper end of 56a is fitted, and the outer cylinders 56b and 56b that are externally mounted on the shafts 56a and 56a are fitted into the holes 54b and 54b of the support plate 54. The pair of left and right linear bushes 56 and 56 are erected so as to be perpendicular to the upper surface of the vehicle body 2 with high accuracy. Even if the cylinder rod 57a of the air cylinder 57 advances and retracts diagonally, the lifting plate 59 does not move. By being guided by the linear bushes 56, 56, it is moved up and down while maintaining its horizontal posture without tilting.
[0022]
Further, on the upper surface of the lifting plate 59, three block pieces 61, 61, 61 which are engaged members are arranged at equal intervals from each other (specifically, centering on the center of the lifting plate 59). When viewed from the center of the lifting plate 59, they are arranged at intervals of 120 ° and are detachably attached. The upper portions of these block pieces 61, 61, 61 are cut out in a “V” shape, and the valley portions (the contour lines of the deepest portion) of the V grooves 61 a, 61 a, 61 a are the center of the lifting plate 59. It is directed in the direction of gathering. That is, the direction of the V groove 61a of each block piece 61 is arranged in a direction different from the direction in which the V grooves 61a and 61a of the other block pieces 61 and 61 face (directions not parallel to each other).
[0023]
Then, screw holes 51b, 51b, 51b are provided on the lower surface of the mounting plate 51 above the block pieces 61, 61, 61, and pins 62, 62, which are engaging members in the screw holes 51b, 51b, 51b. 62 is screwed and detachably suspended, and when the elevating plate 59 is raised, the tapered lower ends of the pins 62, 62, 62 and the V-grooves of the block pieces 61, 61, 61 are engaged. Configured to match.
Here, the engaging side pins 62, 62, 62 are made of metal, and one of the engaged side block pieces 61, 61, 61 is made of resin such as MC nylon.
As a result, the block pieces 61, 61, 61 are worn while the block pieces 61, 61, 61 and the pins 62, 62, 62 are repeatedly engaged / disengaged due to long-term use. However, even in such a case, the article mounting table is simply maintained by removing the worn block pieces 61, 61,... And replacing them with new ones. Thus, the positioning of 5 can be performed again accurately.
[0024]
In the above configuration, the block pieces 61, 61, 61 are projected on the upper surface of the elevating plate 59 and the pins 62, 62, 62 are suspended from the mounting plate 51. The pins 62, 62, 62 may be provided so as to protrude from the elevating plate 59 (with the tapering side facing upward), while the block pieces 61, 61, 61 may be suspended from the mounting plate 51.
[0025]
With this configuration, when the buffer cassette 50 is placed on the article placement table 5 and the automatic guided vehicle 1 is driven, the air cylinder 57 is operated to lower the lifting plate 59 as shown in FIG. Then, the block pieces 61, 61, 61 on the upper surface thereof and the pins 62, 62, 62 on the lower surface of the mounting plate 51 are separated from each other, and the support bodies 52, 52 are supported by the air dampers 55, 55,. In this way, the air dampers 55, 55,... Support the article mounting table 5 evenly, buffer the vibrations that occur during vehicle travel, and prevent the wafers 10, 10,. is doing.
[0026]
Then, when the automatic guided vehicle 1 is stopped and the load is transferred, as shown in FIG. 4, the air cylinder 57 is operated to raise the elevating plate 59, and the V V of the block pieces 61, 61, 61 is increased. The grooves 61a, 61a, 61a are engaged with the pins 62, 62, 62. Thereby, the mounting plate 51 is fixed in a position supported by the elevating plate 59, and the air dampers 55, 55.
[0027]
In particular, immediately after the automatic guided vehicle 1 is stopped, the article mounting table 5 on which the inertia acts is vibrating in the horizontal direction rather than the vertical direction. However, in the present invention, the V grooves 61a, 61a, 61a of the block pieces 61, 61, 61 are securely engaged with the pins 62, 62, 62 even in a state where the horizontal vibration is generated. To do.
[0028]
That is, since the V-groove 61a of the block piece 61 is expanded in a relatively wide range upward, even if the position of the pin 62 above is slightly deviated from the position of the groove due to the vibration in the horizontal direction, Guided by the V-groove 61a, the tip of the pin 62 fits in the deepest part. In this way, the three pins 62, 62, 62 are guided by the three block pieces 61, 61, 61 arranged at the apexes of the equilateral triangle, so that the article mounting table 5 is in a centered position (predetermined position). In addition, the linear bushing 56 is supported at three points at the most stable position while the horizontal posture is accurately maintained.
[0029]
Further, by controlling the rising amount of the air cylinder 57, the buffer cassette 50 can be brought to a predetermined height position. For example, the position of a stopper (not shown) provided on the cylinder rod 57a of the air cylinder 57 is adjusted so that the desired height position of the buffer cassette 50 becomes the maximum stroke of the cylinder rod 57a. By setting in this way, the buffer cassette 50 can be brought to a desired height position without finely controlling the stroke amount of the cylinder rod 57a. Further, even if air is sent too much to the air cylinder 57, the height position does not change.
[0030]
In this manner, the article mounting table 5 is accurately positioned, and the buffer cassette 50 placed thereon is accurately and horizontally maintained. Accordingly, the transfer hand 31 can be horizontally extended and inserted into the buffer cassette 50 without fail, and when the transfer hand 31 is inserted, the target shelf and the shelf above it interfere with each other. It does not induce trouble.
The automatic guided vehicle 1 of the present invention is not limited to a non-contact tracked carriage, and may be other automatic guided vehicles such as a laser equipped with a battery or a magnetic induction type automatic guided vehicle.
[0031]
【The invention's effect】
Since the present invention is configured as described above, the following effects can be obtained.
First, in the first aspect of the invention, vibration isolating means interposed between the vehicle body and the article mounting table, and a plurality of engagement members provided on either the vehicle body or the article mounting table. A V-groove is provided on either the body body or the article mounting table and guides the engaging member to a predetermined position, and the direction of at least one V-groove is different from the direction of the other V-grooves. comprising a plurality of the engaging members provided toward, and lifting means for lifting one of said engaging member and the engaged member, and a transfer device for transferring the article to article rack In the automatic guided vehicle, either one of the engaging member or the engaged member is disposed at an equal interval from each other, and a lifting plate that moves up and down while maintaining a horizontal posture without tilting by the lifting means is provided. It is provided on the body of the vehicle, and when the automatic guided vehicle is running, Means equally supports the article mounting table, and when the automatic guided vehicle is stopped, the elevating means raises the elevating plate and engages the engaging member and the engaged member. Since the article placing table is supported , when the article is placed on the article placing table and the automatic guided vehicle is driven, the lifting / lowering means is operated to lower the engaged member (or the engaging member). By separating from the combined member (or engaged member), the article mounting table is supported by the vibration isolating means, and the vibration generated during traveling is absorbed.
On the other hand, when the automatic guided vehicle is stopped and the load is transferred, the elevating means is operated to raise the engaged member (or engaging member) and engage the engaging member (or engaged member). In combination, the article mounting table can be supported.
And even if the article mounting table vibrates in the horizontal direction due to the inertia acting immediately after the automatic guided vehicle stops, the V groove of the engaged member is expanded toward the engaging member side, so that Even if the engaging member is slightly deviated, it is guided by the slope of the V groove and fits in the deepest part of the V groove.
Further, since the V groove of at least one engaged member is arranged in a different direction with respect to the V groove of other engaged members, the engaging member engaged with the engaged member is The article mounting table is fixed at a proper position and is reliably supported without causing a positional shift.
Eventually, even if the engaging member is somewhat deviated with respect to the engaged member in the process of supporting the article support base, the V groove of the engaged member can catch the engaging member in a relatively wide range. Therefore, both can be engaged even in this blurred state, and the certainty and reliability are improved.
[0032]
Next, as described in claim 2, since the lifting plate is guided by a linear bush vertically installed on the vehicle body, the article mounting table is most stable while maintaining a horizontal posture. Supported at three points in position. At the same time, the buffer cassette placed on the article placement table is accurately and horizontally maintained.
[0033]
According to a third aspect of the present invention, at least one of the engaging member and the engaged member is configured to be exchangeable, so that the article mounting table is positioned by wear and the engaged member. Even if this is not accurately performed, at least one of the engaging member and the engaged member may be replaced with a new one. By such a simple maintenance operation, accurate positioning can be performed again.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a state of an automatic guided vehicle 1 in a clean room.
2 is a side sectional view of the automatic guided vehicle 1. FIG.
FIG. 3 is a side view of an article mounting table 5 according to the present invention.
FIG. 4 is a side view of an article mounting table 5 according to the present invention.
FIG. 5 is an exploded perspective view of an article mounting table 5 according to the present invention.
6 is a side view of a conventional article mounting table 5. FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Automatic guided vehicle 2 Car body 3 Transfer equipment 5 Article mounting base 10 Wafer 50 Buffer cassette 51 Mounting plate 52 Support body 54 Support plate 55 Air damper 56 Linear bushing 57 Air cylinder 59 Lifting plate 61 Block piece 61a V groove 62 Pin

Claims (3)

  1. 車体本体と物品載置台との間に介設された防振手段と、車体本体又は物品載置台の何れか一方に設けられた複数の係合部材と、前記車体本体又は物品載置台の何れか他方に設けられ、前記係合部材を所定位置に案内するV溝を設け、少なくとも1つのV溝の方向を、それ以外のV溝の方向と異なる方向へ向けて設けられた複数の被係合部材と、前記係合部材又は前記被係合部材の何れか一方を昇降させる昇降手段と、物品載置台に物品を移載する移載装置とを備えた無人搬送車において、
    前記係合部材又は前記被係合部材の何れか一方を互いに等間隔を開けて配設し、前記昇降手段により傾くことなく水平姿勢を保持して昇降する昇降プレートを前記車体本体に具備し、
    前記無人搬送車の走行時には前記防振手段が前記物品載置台を均等に支持し、
    前記無人搬送車の停止時には前記昇降手段が前記昇降プレートを上昇させて前記係合部材と前記被係合部材とを係合し、該係合により前記物品載置台が支持されることを特徴とする無人搬送車。
    Anti-vibration means interposed between the vehicle body and the article mounting table, a plurality of engagement members provided on either the vehicle body or the article mounting table, and any of the vehicle body or the article mounting table A plurality of engaged portions provided on the other side, provided with a V-groove for guiding the engaging member to a predetermined position, and having the direction of at least one V-groove oriented differently from the direction of the other V-grooves a member, a lifting means for lifting one of said engaging member and the engaged member, the automatic guided vehicle and a transfer device for transferring an article to the article placing table,
    Either one of the engaging member or the engaged member is disposed at an equal interval from each other, and includes a lifting plate that moves up and down while maintaining a horizontal posture without being tilted by the lifting means,
    The anti-vibration means uniformly supports the article mounting table when the automatic guided vehicle travels,
    When the automatic guided vehicle is stopped, the elevating means raises the elevating plate to engage the engaging member and the engaged member, and the article mounting table is supported by the engagement. Automated guided vehicle.
  2. 前記昇降プレートは、前記車体本体に垂直に立設されたリニアブッシュに案内されていることを特徴とする請求項1に記載の無人搬送車。 2. The automatic guided vehicle according to claim 1, wherein the elevating plate is guided by a linear bush vertically provided on the vehicle body .
  3. 前記係合部材と被係合部材の少なくとも一方を交換自在に構成したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の無人搬送車。  The automatic guided vehicle according to claim 1 or 2, wherein at least one of the engaging member and the engaged member is configured to be exchangeable.
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