JP4506058B2

JP4506058B2 - Automated guided vehicle

Info

Publication number: JP4506058B2
Application number: JP2001279794A
Authority: JP
Inventors: 功福田
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2001-09-14
Filing date: 2001-09-14
Publication date: 2010-07-21
Anticipated expiration: 2021-09-14
Also published as: JP2003086655A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、枚葉移載装置を備え、該装置によってステーションと搬送車本体との間で、物品の移載作業を行う無人搬送車に関する。詳細には、該装置による移載作業を円滑かつ確実に行うための姿勢制御の技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、ウエハを収納するためのバッファカセットと、バッファカセットに収納されたウエハを、移載作業の対象であるステーションに移載する、移載装置を備えた無人搬送車が知られている。
前記のステーションとしては、ウエハを利用した製造工程において、ウエハの処理作業を行う処理装置に形成したステーション（物品載置部）や、ウエハを多数収納するカセットを一時保管するための棚が多数設けられたストッカに形成したステーションなどがある。これらのステーションと、無人搬送車に設けたバッファカセットとの間で、同じく無人搬送車に搭載した枚葉移載装置により、ウエハの移載が行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ステーションは、据付誤差等によって水平から傾けられて設けられるおそれがあり、また、ステーションを設置する床面そのものが、無人搬送車が走行する床面に対して、傾いているおそれがある。このため、ウエハをステーション上のウエハ載置面に対し、平行に置くことができないおそれがあった。このことは、ステーションが処理装置に形成したステーションである場合は、処理作業が適切に行われないことを意味し、ステーションがカセットを載置したストッカに形成したステーションである場合は、カセット内にウエハを収納したり、カセットよりウエハを取り出したりできないことを意味する。
本発明の目的は、ステーションそのものが傾いていても、あるいは床面が傾いていても、ウエハをステーションに円滑かつ適切に移載可能とする無人搬送車を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するための手段を説明する。
即ち、請求項１においては、走行車輪が設けられた走行部と、物品を収納する物品収納装置および物品を移載する枚葉移載装置が設けられた作業部とを備え、前記枚葉移載装置により、前記物品収納装置と、走行経路に沿って設けられているステーションとの間で、物品を移載する無人搬送車であって、
前記作業部は、前記走行部に対して前後方向及び左右方向へ揺動可能に構成されており、
前記作業部を前記走行部に対して前後方向及び左右方向へ揺動させる揺動手段と、
前記揺動手段の制御部と、を設け、
前記枚葉移載装置には物品を支持する移載ハンドを設け、前記移載ハンドの物品支持面と、目的のステーションの物品載置面とが略平行となるように、前記制御部が前記揺動手段を制御するものである。
【０００５】
請求項２においては、前記目的のステーションに対し、前記移載ハンドの物品支持面と前記ステーションの物品載置面とが略平行となるのに要する前記作業部の揺動量を、目標値として記憶する記憶手段を備え、前記制御部は前記目標値に基づいて前記揺動手段を制御するものである。
【０００６】
請求項３においては、前記目標値は各ステーションに対応させて前記記憶手段に記憶させるものとし、移載作業を行うステーションに応じた目標値に基づいて、前記制御部が前記揺動手段を制御するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明における第一実施例の無人搬送車１の全体構成について、図１から図４を用いて説明する。図１はステーション間を走行し、移載作業を行う無人搬送車１を示す斜視図であり、図２は無人搬送車１の側面図、図３は同じく正面一部断面図、図４は同じく平面図である。
無人搬送車１は、前進、後進いずれも可能であるが、図１における矢視Ｆ方向を、無人搬送車１の前方として説明する。従って、図１中で、ストッカ２２（後述）や処理装置２１（後述）の位置する側が、無人搬送車１の右側となる。
図１に示すように、無人搬送車１は、走行レール１９・２０上を自動走行する有軌道台車であり、ストッカ２２や処理装置２１等のステーション間を走行すると共に、該ステーションと無人搬送車１との間で、ウエハ１０・１０・・・の移載作業を行うものである。
【０００８】
図２、図３に示すように、無人搬送車１は、下部の走行部２と、上部の作業部３とから構成される。
走行部２の前後左右の四隅には、それぞれ走行車輪９が備えられている。走行車輪９・９・・には、それぞれ駆動モータ（不図示）が備えられている。この駆動モータの駆動により、走行車輪９・９・・・がレール１９・２０上で回転し、無人搬送車１が走行するようにしている。
【０００９】
無人搬送車１に備えられる各装置は電力により駆動される。本実施例では、クリーンルーム等の塵挨の発生を嫌う場所での利用を想定しており、無人搬送車１への電力供給は、電磁誘導を利用した非接触給電によって行われる。具体的には、レール１９に沿って、給電装置に接続される給電線７・７（図３に図示）が敷設されると共に、無人搬送車１には受電装置であるピックアップユニット１６が備えられる。ピックアップユニット１６は走行部２に備えられ、給電線７・７はレール１９上に設けられる給電線ホルダ１８に保持されている。ピックアップユニット１６には、電磁誘導により電圧が印加されるピックアップコイルと、ピックアップコイルを通過する磁力線を強化するためのコアとが備えられている。
なお、無人搬送車１への給電は、例えばバッテリによって駆動されるようにして行うようにしてもよく、以上の電磁誘導を利用した方法に限定されない。
【００１０】
作業部３には、図２から図４に示すように、本体の中央部にウエハ１０を移載するための枚葉移載装置５が設けられている。また、枚葉移載装置５の前後両側に、姿勢合わせ装置４およびバッファカセット６が配置されている。
【００１１】
ウエハ１０は、素材がシリコン単結晶であり、略円盤状に形成されている。また、ウエハ１０には位置検出のために、外周上に、オリフラもしくはノッチ等の切欠が形成されている。
また、ウエハ１０の一面には、外周付近にＩＤマークが刻印されており、後述のＯＣＲによるＩＤマークの検出により、ウエハ１０の製造履歴等に関する情報が、ＯＣＲを備えた装置で特定されるようにしている。
【００１２】
枚葉移載装置５には、基台１１、ターンテーブル１２、二組のロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓが備えられている。基台１１は作業部３の中央部に設けられ、該作業部３に対して昇降可能とされる。これにより、基台１１上に備え付けられるロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓの高さを変更することができる。
ターンテーブル１２は、基台１１に対して水平面内で相対回転可能に構成され、該ターンテーブル１２上に設けられるロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓを旋回させ、ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓの水平面内での向きを変更することができる。
ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓはそれぞれ、ウエハ１０を支持する移載ハンド３１と、移載ハンド３１とターンテーブル１２とを連結する第一アーム３２・第二アーム３３とから構成される。両アーム３２・３３のなす角度を変化させることで、移載ハンド３１はターンテーブル１２を基点として進退可能である。両アーム３２・３３が一直線状に連続するとき（なす角度が１８０°のとき）が、移載ハンド３１の最大進出限界である。
【００１３】
移載ハンド３１は、真空吸引によりウエハ１０を支持するように構成されている。移載ハンド３１の上面には吸入口が形成されると共に、図示せぬエアポンプが枚葉移載装置５に備えられている。
【００１４】
姿勢合わせ装置４は、移載ハンド３１に対するウエハ１０の支持位置を整える装置である。
姿勢合わせ装置４には、ウエハ１０の載置台４１が備えられており、ウエハ１０を吸着して回転可能に構成されている。また、載置台４１の水平方向外側に、オリフラセンサ４２・４２、ＯＣＲ（オプティカルキャラクタリーダー）４３が備えられている。そして、ウエハ１０を載置台４１上で回転させることで、前述したウエハ１０の切欠をオリフラセンサ４２で検出し、載置台４１上でのウエハ１０の支持位置を検出する。この検出情報に基づいて、載置台４１の中心とウエハ１０の中心が一致するように、ウエハ１０を移載ハンド３１を用いて再び載置台４１上に載置し直す。
また、同心位置となったウエハ１０を回転させて、ＯＣＲ４３の直下方にウエハ１０のＩＤマークが位置するようにし、このＯＣＲ４３によりＩＤマークを検出して、そのウエハ１０が特定されるようにしている。ウエハ１０に設けた前記切欠の位置とＩＤマークの印字位置との間には一定の関係が予め定められており、切欠が特定の位置に来るように前記ウエハ１０を回転させて、ＯＣＲ４３とＩＤマークの位置を合わせるようにしている。ＯＣＲ４３によってＩＤマークが読み取られウエハ１０が特定されることで、そのウエハ１０に関する情報を無人搬送車１側で得ることができる。
以上のようにして、姿勢合わせ装置４では、ＩＤマークの検出を行い、それと共に、載置台４１上のウエハ１０の位置を調整することで、移載ハンド３１にウエハ１０が適正位置にて支持されるようにしている。
【００１５】
バッファカセット６は、無人搬送車１側にウエハ１０を複数枚収納しておくための物品収納装置である。
バッファカセット６は、ウエハを収納するカセット５１と、カセット５１を支持する支持台５０とを備えている。支持台５０は、作業部３の上面の後部に設けられ、カセット５１を回動自在に支持している。カセット５１の前側（枚葉移載装置５を向く側）は開口しており、枚葉移載装置５の移載ハンド３１をカセット５１内部に挿入して、カセット５１にウエハ１０を収納するものである。カセット５１の内部には、ウエハ１０の側端を水平に支持可能とするように、開口方向に対する左右にリブ５１ａ・５１ａを設け、左右一対のリブ５１ａ・５１ａにより棚５１ｂを構成し、このような棚５１ｂを上下に多数段設けている。そして、カセット５１内部に、多数のウエハ１０を水平に収納する構成としている。
カセット５１は支持台５０に対して回動可能に構成され、ウエハ１０をカセット５１に出し入れする際は、カセット５１の前記開口が水平方向（直前方）を向くようにし、無人搬送車１の走行時には、カセット５１の開口が斜上方を向くように、カセット５１を上方へ回動させるようにしている。この構成により、無人搬送車１の走行時に慣性力が発生しても、収納されているウエハ１０・１０・・・がカセット５１より脱落したり、あるいは位置ズレを起こしたりすることは回避される。
【００１６】
無人搬送車１の走行経路に沿って設けられるステーションについて説明する。前述したように、無人搬送車１の走行経路であるレール１９・２０に沿って、ストッカ２２・２２・・・、処理装置２１・２１・・・が配置される。ストッカ２２および処理装置２１にはそれぞれ、物品載置部としてのステーションが形成されており、これらのステーションと、無人搬送車１のバッファカセット６との間で、移載作業が行われる。
ストッカ２２の上面は物品載置部としてのステーションであり、該ステーション上に、複数のカセット２３・２３・・・が並設されている。カセット２３内部の構成は、前述したバッファカセット６のカセット５１と同様の構成であり、カセット２３に設けた、（開口方向に対する）左右に一対設けたリブ２３ａ・２３ａにより、ウエハ１０の側端を支持可能な棚２３ｂが形成される。棚２３ｂは上下に多数段設けられて、これらの複数の棚２３ｂ上に、ウエハ１０・１０・・・を収納可能である。
処理装置２１には、ウエハ１０を挿入可能とする取込口２１ａが形成されており、該取込口２１ａが物品載置部としてのステーションである。取込口２１ａ内には、ウエハの載置台が設けられており、移載ハンド３１に吸着させたウエハ１０をこの取込口２１ａ内に挿入して、前記載置台上に載置し、ウエハ１０の検査処理を行うようにしている。なお、取込口２１ａにウエハ１０を挿入する際には、前記姿勢合わせ装置４で予めウエハ１０の姿勢を整え、処理装置２１での検査処理が確実に行われるようにする。
また、処理装置２１の取込口２１ａ内の載置台、ストッカ２２上に載置したカセット２３の棚２３ｂは、ステーション上に設けたウエハ１０の載置面である。
【００１７】
次に、無人搬送車１における姿勢制御の必要性について、図５を用いて説明する。図５は無人搬送車１とストッカ２２上のカセット２３を示す正面図である。ストッカ２２上のカセット２３と、無人搬送車１の枚葉移載装置５との間で移載作業を可能とするには、図５に示すように、ウエハ１０及び移載ハンド３１が、カセット２３内の上下の棚２３ｂ・２３ｂ間に、接触することなく挿入されなければならない。このため、ウエハ１０の載置面となる棚２３ｂ（一点鎖線）と、移載ハンド３１の支持面３１ａ（二点鎖線）とのなす角度θが、所定角度以下である必要がある。ここで、移載ハンド３１において、ウエハ１０を吸引して支持する面が支持面３１ａである。
棚２３ｂは、前述したように、カセット２３の内部に、開口方向に対する左右で一対となるリブ２３ａ・２３ａによって形成されるものであり、これらのリブ２３ａ・２３ａの両上面を連結して形成される面が、棚２３ｂであり、ウエハ１０の載置面となる。
なお、図５に示す移載作業時の様子、つまり、移載ハンド３１のカセット２３に対する進入角度の様子は、無人搬送車１において、後述する姿勢制御機構を作動させていない状態、もしくは、姿勢制御機構を持たない無人搬送車の場合を示している。
後述する誤差がまったくのゼロであると仮定すると、カセット２３は水平面上に載置されて、カセット２３内の棚２３ｂは水平方向に沿うことになる。このとき、この棚２３ｂによるウエハ１０の支持面も水平面となる。また、無人搬送車１の枚葉移載装置５より伸び出る移載ハンド３１も水平面上に位置することとなる。
【００１８】
実際には、無人搬送車１やステーション（処理装置２１およびストッカ２２）には、据付誤差や製造誤差等による誤差が生じる。また、ステーション側部における、無人搬送車１の停止位置の床面が水平面に対して傾斜していたり、その床面上に敷設される走行レール１９・２０に、据付誤差や製造誤差等による誤差が生じることがある。
このような場合、ストッカ２２の場合はカセット２３の棚２３ｂ（ウエハ１０の載置面）が、処理装置２１の場合は取込口２１ａが、それぞれ水平面に対して傾きを生じることになる。同じく、無人搬送車１側では、移載ハンド３１が水平面に対して傾きを生じることになる。この結果、ウエハ載置面（棚２３ｂや取込口２１ａ内の載置台）と移載ハンド３１とが平行とはならなくなってしまう。
【００１９】
ストッカ２２においては、カセット２３の棚２３ｂと、移載ハンド３１とのなす角度θが、前記所定角度以下である場合は、相互が水平面に対して傾きながらも、ウエハ１０の移載作業を行うことが可能である。本実施例では、棚２３ｂ・２３ｂ間の距離は１０ｍｍ程度であり、移載ハンド３１の厚みは３ｍｍ程度である。また、ウエハ１０としては、１２インチおよび８インチのものが用いられる。以上の条件下で移載作業を適切に行うためには、、移載ハンド３１と棚２３ｂとのなす角度θが、±０．１°以下であることが要求される。すなわち本実施例では±０．１°が、移載作業を適切に行うために要求される前記の所定角度である。
また、処理装置２１においては、処理装置２１内での適切な処理作業を行うためには、取込口２１ａの底面にウエハ１０が略平行に載置されることを要する。したがって、処理装置２１においても、ウエハ１０を支持する移載ハンド３１と取込口（ウエハ載置面）とを略平行とする制御を必要とする。
【００２０】
第一実施例の無人搬送車１の姿勢制御機構について、図２、図３、図６、図７を用いて説明する。図６は第一実施例の無人搬送車１が備える姿勢制御機構を示す走行部２の上面図であり、図７は第一実施例の無人搬送車１において、作業部３が揺動した状態を示す正面図である。
第一実施例においては、走行部２に対して作業部３が、左右方向で揺動可能となるように構成されている。
図２、図３、図６に示すように、走行部２と作業部３との間には、左右一側（本実施例では右側）の前後両端部に、走行部２に対して作業部３を、ヒンジ１３を介して揺動自在に取り付けている。ヒンジ１３は図３に示すように、取付部材１３ａ・１３ｂと、両取付部材の支点となる回動支軸１３ｃとから構成される。回動支軸１３ｃはその軸方向が前後方向となるように配置され、取付部材１３ａ・１３ｂは、相対的に左右に回動可能である。そして、取付部材１３ａが走行部２に固設され、取付部材１３ｂが作業部３に固設されて、走行部２に対して作業部３が揺動自在となるようにしている。
なお、走行部２に対して作業部３を左右に揺動自在とする手段としては、ヒンジ１３に限定されるものではなく、同様の作用を持つ構成であれば他の機構でもよい。
【００２１】
走行部２と作業部３との間には、左右一側に対する他側（本実施例では左側）の前後中央部に、走行部２に対して作業部３を揺動させる揺動手段が設けられている。本実施例での揺動手段は、走行部２の上面に設けたサーボモータ１４、サーボモータ１４のモータ軸に固設したピニオン１４ａ、作業部３の下面に取り付けたラック体１５とから構成している。ラック体１５は円弧状に形成され、ピニオン１４ａと噛合する歯の刻まれた面が左右のいずれか一側を向くように配置される。そして、サーボモータ１４の駆動により、ピニオン１４ａと噛合するラック体１５を上下動させ、前記回動支軸１３ｃを支点として、作業部３を走行部２に対して揺動させるようにしている。
また、ラック体１５の歯の形成面は正面視で円弧を描くように形成され、回動支軸１３ｃからこの形成面までの距離が一定となるようにしている。これにより、作業部３が上下動しても、ラック体１５とピニオン１４ａとの距離は一定に保たれ、相互間に押圧や離間が生じることはない。
なお、走行部２に対して作業部３を左右に揺動させる揺動手段としては、以上の構成に限定されるものではない。例えば、走行部２に回動自在に支持されると共に、作業部３を回動自在に支持する電動シリンダ、または、搭載されているエアポンプにより作動するエアシリンダを用いて、前記回動支軸１３ｃを支点として作業部３を揺動させるような構成としてもよい。
【００２２】
また、ヒンジ１３の取付部材１３ａおよび、揺動手段を構成するサーボモータ１４は、走行部２の上面を形成する天板２５に固定される。この天板２５には、枚葉移載装置５の基台１１を上下に通過させる挿通孔２５ａ、および、作業部３に固設されるラック体１５を上下に通過させる挿通孔２５ｂが設けられている。また、作業部３の下面を形成する底板２６にも、挿通孔２５ａ・２５ｂに対応するように挿通孔２６ａ・２６ｂが形成されており、それぞれ基台１１、ラック体１５を通過自在としている。
【００２３】
以上構成により、図７に示すように、走行部２に対して作業部３が左右に揺動可能となるようにしている。この姿勢制御によって、カセット２３に対する移載ハンド３１の進入角度を調節することができる。このため、無人搬送車１やステーション（ストッカ２２）、ステーション側部の移載作業位置の床面（走行レール１９・２０）に、据付誤差や製造誤差等による傾き誤差が生じる場合でも、その傾き誤差に沿う方向へ姿勢制御を行うことで、移載作業を適切かつ円滑に行うことができる。
【００２４】
また、前述した第一実施例では、前記の揺動自在とする手段（ヒンジ１３）を、左右一側の前後に設けると共に、前記の揺動手段（サーボモータ１４）を、左右一側に対する他側の中央に設けている。つまり、揺動自在とする手段は二箇所に設け、揺動手段は一箇所に設け、合計三点にて、走行部２が作業部３を支持する構成としている。
ただし、ヒンジ１３はそのまま（左右一側の前後二箇所に設けたまま）で、サーボモータ１４を左右一側で前後二箇所に設け、合計四点によって、走行部２が作業部３を支持する構成としてもよい。この構成は、作業部３の支持構成がより安定的なものとなる点で有利である。
【００２５】
以上の説明では、無人搬送車１やステーションの水平面に対する傾き（誤差）を、図５で示す傾き、即ち、無人搬送車１の走行方向（正面視の方向）を軸とした傾きに限定して説明している。図５では、無人搬送車１の走行方向（紙面と垂直となる方向）を軸として、無人搬送車１やステーションの水平面からの傾きを図示したものである。
しかしながら実際には、無人搬送車１やステーションや移載作業位置の床面の水平面に対する傾きの軸は、前述の軸の方向にのみ限られるものではない。即ち、無人搬送車１の傾きの方向は様々な方向が考えられる。さらに言えば、無人搬送車１とステーションおよび床面とで、通例は、傾きの軸が異なるものである。以下述べる第二実施例で、走行方向に対して垂直となる方向（水平面内に属する方向）を軸とする傾きへの対処と、任意の方向を軸とする傾きへの対処について説明する。
【００２６】
第二実施例の無人搬送車１００の姿勢制御機構について、図８、図９を用いて説明する。図８は第二実施例の無人搬送車１００が備える姿勢制御機構を示す走行部２の上面図であり、図９は第二実施例の無人搬送車１００を示す側面図である。
この第二実施例においては第一実施例と異なり、前述した傾き、即ち走行方向に対して垂直となる方向を軸とする傾きに対処すべく、以下の構成としている。
図８、図９に示すように、走行部２と作業部３との間には、前後一側（本実施例では前側）の左右両端部に、走行部２に対して作業部３を揺動自在すべく、ヒンジ１３が備えられている。ヒンジ１３は、取付部材１３ａ・１３ｂと、両取付部材の支点となる回動支軸１３ｃとから構成される。回動支軸１３ｃはその軸方向が左右方向となるように配置され、取付部材１３ａ・１３ｂは、相対的に前後に回動可能である。そして、取付部材１３ａが走行部２に固設され、取付部材１３ｂが作業部３に固設されて、走行部２に対して作業部３が揺動自在となるようにしている。
なお、走行部２に対して作業部３を前後に揺動自在とする手段としては、ヒンジ１３に限定されるものではなく、同様の作用を持つ構成であれば他の機構でもよい。
【００２７】
走行部２と作業部３との間には、前後一側に対する他側（本実施例では後側）の左右中央部に、走行部２に対して作業部３を揺動させる揺動手段が設けられている。本実施例では、この揺動手段を、走行部２の上面に設けたサーボモータ１４、サーボモータ１４のモータ軸に固設したピニオン１４ａ、作業部３の下面に取り付けたラック体１５とから構成している。ラック体１５は、ピニオン１４ａと噛合する歯の刻まれた面が前後のいずれか一側を向くように配置される。そして、サーボモータ１４の駆動により、ピニオン１４ａと噛合するラック体１５を上下動させ、前記回動支軸１３ｃを支点として、作業部３を走行部２に対して揺動させるようにしている。
また、ラック体１５の歯の形成面は側面視で円弧を描くように形成され、回動支軸１３ｃからこの形成面までの距離が一定となるようにしている。これにより、作業部３が上下揺動しても、ラック体１５とピニオン１４ａとの距離が一定に保たれて、相互に押圧や離間が生じることはない。
なお、走行部２に対して作業部３を前後に揺動させる揺動手段としては、以上の構成に限定されるものではなく、走行部２に回動自在に支持されると共に、作業部３を回動自在に支持する電動シリンダ、または、搭載されているエアポンプにより作動するエアシリンダを用いて、前記回動支軸１３ｃを支点として作業部３を揺動させるような構成としてもよい。
【００２８】
以上構成により、走行部２に対して作業部３が前後に揺動可能となるようにしている。
また、ヒンジ１３の取付部材１３ａおよび、揺動手段を構成するサーボモータ１４は、走行部２の上面を形成する天板１２５に固定される。この天板１２５には、枚葉移載装置５の基台１１を上下に通過させる挿通孔１２５ａおよび、作業部３に固設されるラック体１５を上下に通過させる挿通孔１２５ｂが設けられている。また、作業部３の下面を形成する底板にも、挿通孔１２５ａ・１２５ｂに対応するように挿通孔が形成されており、それぞれ基台１１、ラック体１５を通過させている。
【００２９】
また、前述した第二実施例では、前記の揺動自在とする手段（ヒンジ１３）を、前後一側の左右に設けると共に、前記の揺動手段（サーボモータ１４）を、前後一側に対する他側の中央に設けている。つまり、揺動自在とする手段は二箇所に設け、揺動手段は一箇所に設け、合計三点にて、走行部２が作業部３を支持する構成としている。
揺動自在とする手段はそのまま（左右一側の前後二箇所に設けたまま）で、揺動手段を前後一側で左右二箇所に設け、合計四点によて、走行部２が作業部３を支持する構成としてもよい。このとき、揺動自在とする手段も、前後二箇所に設けるものである。このように構成することで、作業部３の支持構成がより安定的なものとすることができる。
【００３０】
第三実施例の無人搬送車２００の姿勢制御機構について、図１０を用いて説明する。図１０は第三実施例の無人搬送車２００を示す側面図である。
第三実施例においては、走行部２に対して作業部３が、前後および左右に揺動可能となるように構成されている。第三実施例は、前述した、任意の方向を軸とする傾きへの対処である。
図１０に示すように、走行部２と作業部３との間には、支持板２４が設けられ、走行部２と支持板２４との間と、支持板２４と作業部３との間に、それぞれ姿勢制御機構が設けられている。
走行部２と支持板２４との間には、第一実施例の無人搬送車１に備えた姿勢制御機構が備えられており、走行部２に対して支持板２４が左右に揺動可能となるようにしている。また、支持板２４と作業部３との間には、第二実施例の無人搬送車１００に備えた姿勢制御機構が備えられており、支持板２４に対して作業部３が前後に揺動可能となるようにしている。
【００３１】
以上構成により、第三実施例の無人搬送車２００では、走行部２に対して作業部３が、左右および前後に揺動可能である。このため、作業部３の水平面に対する姿勢を、任意の方向を軸として傾斜させることができ、ステーション上のカセット２３への移載ハンド３１の進入角度を調節することができる。
前述したように、ステーション（処理装置２１およびストッカ２２）や無人搬送車には、据付誤差や製造誤差等の誤差が避けられないものであり、移載ハンド３１およびウエハ載置面（取込口２１ａ内の載置台および棚２３ｂ）の水平面に対する傾き誤差は、様々な方向に発生する。このような場合でも、無人搬送車２００では、移載ハンド３１の進入角度を任意の方向を軸として傾斜させることができるので、移載ハンド３１とウエハ載置面とのなす傾き誤差に沿う方向に、移載ハンド３１の進入角度を調節することで、移載作業を適切かつ円滑に行うことができる。
【００３２】
また、走行部２に対して作業部３を前後左右に揺動可能とする構成は、以上構成に限定されるものではなく、例えば、走行部２の上面の四隅に、電動シリンダ１７・１７・・・を設けるような構成でもよい。なお、走行部２の上面は略矩形に構成されており、矩形の頂点部に電動シリンダ１７・１７・・・を配置して、作業部３を走行部２上に支持するものである。そして、電動シリンダ１７・１７・・・のそれぞれの駆動制御を行うことで、作業部３を前後左右に揺動可能とし、移載ハンド３１の進入角度が任意の方向を軸として傾けられるようにしている。
【００３３】
無人搬送車１・１００・２００には、それぞれ制御部が備えられており、制御部によって、それぞれの無人搬送車が備える揺動手段が制御されるようにしている。以上の三実施例で、姿勢制御機構を管理する制御部は略同一であるので、以下では、第一実施例の無人搬送車１で代表し、図１１を用いて説明する。図１１は第一実施例の無人搬送車１が備える姿勢制御機構のブロック図である。
【００３４】
図１１に示すように、制御部２７と、前記揺動手段を構成するサーボモータ１４とは、制御部２７よりサーボモータ１４へ信号伝達可能に接続されている。前述した姿勢制御は、制御部２７が、揺動手段を構成するサーボモータ１４の駆動を制御することで、行われるものである。
制御部２７には、サーボモータ１４へ制御指令を下す制御回路２９と、記憶手段であるメモリ２８とが備えられている。また、無人搬送車１には、自らの位置検出を行うための位置検出センサ３４が備えられており、該位置検出センサは制御部２７へ信号伝達可能に接続されている。本明細書においては、位置検出の具体的機構は省略するが、位置検出センサ３４による検出信号に基づき、無人搬送車１がどのステーションで停止しているか（即ち、目的のステーションがいずれであるか）が、制御部２７で判定される。
【００３５】
メモリ２８には、目的のステーションに対し、移載ハンド３１とウエハ１０の載置面（取込口２１ａ内の載置台および棚２３ｂ）とが、略平行となるのに要する作業部３の揺動量が目標値として記憶されている。本実施例の場合は、揺動手段をサーボモータ１４により構成しているので、前記揺動量は、サーボモータ１４のモータ軸の回転量に相当する。つまり、この回転量がメモリ２８に記憶されている。
【００３６】
以上構成により、目的のステーションにおいて、メモリ２８に記憶された作業部３の揺動量、つまりサーボモータ１４の回転数に基づいて、制御部２７の制御回路２９がサーボモータ１４の駆動を制御し、移載ハンド３１を傾けることができる。なお、目的のステーションで作業部３を揺動させるべき量は予め記憶されているから、無人搬送車１が目的のステーション前（移載作業位置）に停止する前、即ち走行中に、サーボモータ１４を駆動させて移載ハンド３１を傾ける制御を行わせるようにすることもできる。このようにすれば、ステーション側部の移載作業位置に停止した時点で移載ハンド３１は適切な角度に傾けられており、移載作業を直ちに開始することができる。
即ち、無人搬送車１に移載ハンド３１とウエハ載置面（取込口２１ａ内の載置台および棚２３ｂ）との間の傾きを検出する手段を備え、ステーション側部の移載作業位置に到着してから、傾きの検出を行うと共に、移載ハンド３１を傾ける制御を行う場合と比べて、より早く移載ハンドを傾ける制御を終了することができ、迅速に移載作業を行うことができる。
【００３７】
据付誤差等はステーション毎に異なるから、サーボモータ１４の目標値、つまり、移載ハンド３１とウエハ載置面（取込口２１ａ内の載置台および棚２３ｂ）とが略平行となるのに要するサーボモータ１４を回転させるべき量も、ステーション毎に異なってくる。ステーション毎に目標値を変更する必要がないのは、ステーションおよび、移載作業時に無人搬送車１が停止するステーション側部での床面（走行レール１９・２０）の双方に、前述した据付誤差や製造誤差等の誤差がまったく存在しない場合だけである。
実際には、ステーションおよびステーション側部の移載作業位置での床面にも、誤差が生じるものである。したがって、これらの誤差の影響を除くためには、ステーション毎にサーボモータ１４の目標値を設定しておく必要がある。
【００３８】
このため、無人搬送車１を用いてステーション間での移載作業を行わせる前に、予め、それぞれのステーションで必要とされる作業部３の揺動量の検出を行っておく。必要とされる揺動量は前述したようにサーボモータ１４の回転量に相当するので、必要とされるサーボモータ１４の回転量（目標値）を、各ステーションに対応させたテーブル形式でメモリ２８に記憶させておけばよい。
そして、無人搬送車１がそれぞれのステーションに停止し、移載する際に、予めメモリ２８に記憶しているそれぞれのステーションに対応する目標値を呼び出し、その目標量となるようにサーボモータ１４の回転を制御するように、制御部２７にプログラミングをしておく（ティーチング）。
以上のティーチング作業を予め行っておくことで、一台の無人搬送車１が担当する範囲のすべてのステーションについて、その無人搬送車１のメモリ２８の中に、サーボモータ１４の目標値が記憶される。このため、無人搬送車１において、移載作業における目的のステーションが変更される度に、制御回路２９は、現時点で目的とされるステーションでのサーボモータ１４の目標値をメモリ２８より読み取り、制御回路２９は、その目標値となるようにサーボモータ１４を制御することができる。
【００３９】
以上構成により、ステーションおよびステーション側部の移載作業位置での床面（走行レール１９・２０）に、据付誤差や製造誤差等の誤差があり、移載作業の目的とされるステーション毎に、移載ハンド３１とウエハ載置面（取込口２１ａ内の載置台および棚２３ｂ）とを略平行とするのに要する作業部３の揺動量が異なる場合であっても、それぞれのステーション毎に移載ハンド３１の傾きを調節して、適切に移載作業を行うことができる。
このため、一台の無人搬送車１が担当するすべてのステーションにおいて、無人搬送車が移載作業位置に停止する前に、移載ハンドを傾ける制御を終了することができる。
【００４０】
【発明の効果】
請求項１記載の如く、走行車輪が設けられた走行部と、物品を収納する物品収納装置および物品を移載する枚葉移載装置が設けられた作業部とを備え、前記枚葉移載装置により、前記物品収納装置と、走行経路に沿って設けられているステーションとの間で、物品を移載する無人搬送車であって、前記作業部は、前記走行部に対して前後方向及び左右方向へ揺動可能に構成されており、前記作業部を前記走行部に対して前後方向及び左右方向へ揺動させる揺動手段と、前記揺動手段の制御部と、を設け、前記枚葉移載装置には物品を支持する移載ハンドを設け、前記移載ハンドの物品支持面と、目的のステーションの物品載置面とが略平行となるように、前記制御部が前記揺動手段を制御するので、無人搬送車の姿勢制御を行うことで、作業部の水平面に対する姿勢を、任意の方向を軸として傾斜させることができ、ステーション上のカセットへの移載ハンドの進入角度を調節することができる。このため、無人搬送車やステーション（例えばストッカ）、ステーション側部の移載作業位置の床面（例えば走行レール）に、据付誤差や製造誤差等が生じている場合でも、移載ハンドの進入角度を任意の方向を軸として傾斜させ、移載ハンドとウエハ載置面とのなす傾き誤差に沿う方向に、移載ハンドの進入角度を調節することで、移載作業を適切かつ円滑に行うことができる。
【００４１】
請求項２記載の如く、前記目的のステーションに対し、前記移載ハンドの物品支持面と前記ステーションの物品載置面とが略平行となるのに要する前記作業部の揺動量を、目標値として記憶する記憶手段を備え、前記制御部は前記目標値に基づいて前記揺動手段を制御するので、目的のステーションにおいて、記憶手段に記憶された移載ハンドの揺動量に基づいて、制御部が揺動手段の駆動を制御し、移載ハンドを傾けることができる。加えて、目的のステーションでの揺動量が予め分かっているので、無人搬送車が移載作業位置に停止する前に、移載ハンドを傾ける制御を開始することができ、この場合は、ステーション側部の移載作業位置に停止してから移載作業を開始するまでの時間を短くすることができる。移載ハンドを傾ける制御が搬送車の停止前に終了すれば、停止後直ちに移載作業を開始することも可能である。
このため、無人搬送車に移載ハンドとウエハ載置面との間の傾きを検出する手段を備え、ステーション側部の移載作業位置に到着してから、傾きの検出を行うと共に、移載ハンドを傾ける制御を行う場合と比べて、より早く移載ハンドを傾ける制御を終了することができ、迅速に移載作業を行うことができる。
【００４２】
請求項３記載の如く、前記目標値は各ステーションに対応させて前記記憶手段に記憶させるものとし、移載作業を行うステーションに応じた目標値に基づいて、前記制御部が前記揺動手段を制御するので、ステーションおよびステーション側部の移載作業位置での床面（走行レール）に、据付誤差や製造誤差等の誤差があり、移載作業の目的とされるステーション毎に、移載ハンドとステーション上のウエハ載置面とを略平行とするのに要する作業部の揺動量が異なる場合であっても、それぞれのステーション毎に移載ハンドの傾きを調節して、適切に移載作業を行うことができる。
このため、一台の無人搬送車が担当するすべてのステーションにおいて、無人搬送車が移載作業位置に停止する前に、移載ハンドを傾ける制御を終了することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ステーション間を走行し、移載作業を行う無人搬送車１を示す斜視図である。
【図２】無人搬送車１の側面図である。
【図３】無人搬送車１の正面一部断面図である。
【図４】無人搬送車１の平面図である。
【図５】無人搬送車１とストッカ２２上のカセット２３を示す正面図である。
【図６】第一実施例の無人搬送車１が備える姿勢制御機構を示す走行部２の上面図である。
【図７】第一実施例の無人搬送車１において、作業部３が揺動した状態を示す正面図である。
【図８】第二実施例の無人搬送車１００が備える姿勢制御機構を示す走行部２の上面図である。
【図９】第二実施例の無人搬送車１００を示す側面図である。
【図１０】第三実施例の無人搬送車２００を示す側面図である。
【図１１】第一実施例の無人搬送車１が備える姿勢制御機構のブロック図である。
【符号の説明】
１無人搬送車
２走行部
３作業部
４姿勢合わせ装置
５枚葉移載装置
６バッファカセット
１０ウエハ
１３ヒンジ
１４サーボモータ
１４ａピニオン
１５ラック体
２１処理装置
２２ストッカ
２３カセット
２３ａ（物品）載置面
２７制御部
２８メモリ
３１移載ハンド
３１ａ（物品）支持面[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an automatic guided vehicle that includes a single-wafer transfer device and performs an article transfer operation between a station and a transport vehicle main body using the device. Specifically, the present invention relates to a posture control technique for smoothly and reliably performing a transfer operation by the apparatus.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, a buffer cassette for storing a wafer and an automatic guided vehicle equipped with a transfer device for transferring a wafer stored in the buffer cassette to a station that is a transfer work target are known.
In the manufacturing process using wafers, the station is provided with a station (article placement unit) formed in a processing apparatus for processing wafers and a lot of shelves for temporarily storing cassettes for storing a large number of wafers. There are stations formed in the stocker. Wafers are transferred between these stations and a buffer cassette provided in the automatic guided vehicle by a single wafer transfer device mounted on the automatic guided vehicle.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
There is a possibility that the station is inclined from the horizontal due to an installation error or the like, and the floor surface on which the station is installed may be inclined with respect to the floor surface on which the automatic guided vehicle travels. For this reason, there was a possibility that the wafer could not be placed parallel to the wafer placement surface on the station. This means that if the station is a station formed in the processing apparatus, the processing operation is not performed properly, and if the station is a station formed in the stocker on which the cassette is placed, This means that the wafer cannot be stored or removed from the cassette.
An object of the present invention is to provide an automatic guided vehicle that enables a wafer to be transferred to a station smoothly and appropriately even if the station itself is inclined or the floor surface is inclined.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
  The problems to be solved by the present invention are as described above. Next, means for solving the problems will be described.
  That is, in claim 1, a traveling unit provided with traveling wheels, an article storage device that stores articles, and a working unit that is provided with a single wafer transfer device that transfers articles,SaidWith single wafer transfer equipment,SaidAn automatic guided vehicle for transferring an article between an article storage device and a station provided along a travel route,
  SaidWorking departmentSaidFor the running partFront and rear direction and left and rightCan swing in the directionComposed,
  SaidWorking partSaidFor the running partBack and forth and left and rightRocking means for rocking;
  SaidThe control means of the swinging means and,Provided,
  SaidThe single wafer transfer device is provided with a transfer hand for supporting the article,SaidIn order for the article support surface of the transfer hand and the article placement surface of the target station to be substantially parallel,SaidThe control unitSaidThe swinging means is controlled.
[0005]
  In claim 2,SaidFor the target station,SaidThe article support surface of the transfer hand andSaidIt is necessary for the article placement surface of the station to be approximately parallel.SaidStorage means for storing the swing amount of the working unit as a target value;SaidBased on the target value, the control unitSaidThe swinging means is controlled.
[0006]
  In claim 3, the target value corresponds to each station.SaidBased on the target value according to the station that performs the transfer work,SaidThe control unitSaidThe swinging means is controlled.
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The overall configuration of the automatic guided vehicle 1 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view showing an automatic guided vehicle 1 that travels between stations and performs a transfer operation. FIG. 2 is a side view of the automatic guided vehicle 1, FIG. 3 is a partial front sectional view, and FIG. It is a top view.
Although the automatic guided vehicle 1 can be moved forward and backward, the direction of arrow F in FIG. 1 will be described as being forward of the automatic guided vehicle 1. Therefore, in FIG. 1, the side where the stocker 22 (described later) and the processing device 21 (described later) are located is the right side of the automatic guided vehicle 1.
As shown in FIG. 1, the automatic guided vehicle 1 is a tracked carriage that automatically travels on traveling rails 19 and 20, travels between stations such as the stocker 22 and the processing device 21, and the station and the automatic guided vehicle. 1 is used to transfer the wafers 10, 10...
[0008]
As shown in FIGS. 2 and 3, the automatic guided vehicle 1 includes a lower traveling unit 2 and an upper working unit 3.
Traveling wheels 9 are provided at the four front, rear, left and right corners of the traveling unit 2, respectively. Each of the traveling wheels 9, 9,... Is provided with a drive motor (not shown). The driving wheels 9, 9... Rotate on the rails 19, 20 by driving the drive motor so that the automatic guided vehicle 1 travels.
[0009]
Each device provided in the automatic guided vehicle 1 is driven by electric power. In this embodiment, it is assumed to be used in a place such as a clean room where generation of dust is disliked, and power supply to the automatic guided vehicle 1 is performed by non-contact power supply using electromagnetic induction. Specifically, power supply lines 7 and 7 (illustrated in FIG. 3) connected to the power supply device are laid along the rail 19, and the automatic guided vehicle 1 is provided with a pickup unit 16 that is a power reception device. . The pickup unit 16 is provided in the traveling unit 2, and the power supply lines 7 and 7 are held by a power supply line holder 18 provided on the rail 19. The pickup unit 16 includes a pickup coil to which a voltage is applied by electromagnetic induction, and a core for strengthening magnetic lines of force that pass through the pickup coil.
The power supply to the automatic guided vehicle 1 may be performed by being driven by a battery, for example, and is not limited to the method using the electromagnetic induction described above.
[0010]
As shown in FIGS. 2 to 4, the working unit 3 is provided with a single wafer transfer device 5 for transferring the wafer 10 to the center of the main body. Further, the posture adjusting device 4 and the buffer cassette 6 are arranged on both the front and rear sides of the single wafer transfer device 5.
[0011]
The wafer 10 is made of a silicon single crystal and is formed in a substantially disk shape. In addition, a notch such as an orientation flat or a notch is formed on the outer periphery of the wafer 10 for position detection.
In addition, an ID mark is engraved on one surface of the wafer 10 so that information relating to the manufacturing history of the wafer 10 is specified by an apparatus equipped with the OCR by detecting the ID mark by OCR described later. I have to.
[0012]
The single wafer transfer device 5 includes a base 11, a turntable 12, and two sets of robot hands 30M and 30S. The base 11 is provided at the center of the working unit 3 and can be moved up and down with respect to the working unit 3. Thereby, the height of the robot hands 30M and 30S provided on the base 11 can be changed.
The turntable 12 is configured to be rotatable relative to the base 11 in a horizontal plane, and turns the robot hand 30M / 30S provided on the turntable 12 so that the robot hand 30M / 30S is oriented in the horizontal plane. Can be changed.
Each of the robot hands 30M and 30S includes a transfer hand 31 that supports the wafer 10, and a first arm 32 and a second arm 33 that connect the transfer hand 31 and the turntable 12. By changing the angle formed by both arms 32 and 33, the transfer hand 31 can move forward and backward with the turntable 12 as a base point. The maximum advancing limit of the transfer hand 31 is when the arms 32 and 33 are continuous in a straight line (when the angle formed is 180 °).
[0013]
The transfer hand 31 is configured to support the wafer 10 by vacuum suction. A suction port is formed on the upper surface of the transfer hand 31, and an air pump (not shown) is provided in the single wafer transfer device 5.
[0014]
The posture alignment device 4 is a device for adjusting the support position of the wafer 10 with respect to the transfer hand 31.
The posture alignment device 4 includes a mounting table 41 for the wafer 10 and is configured to be able to rotate by sucking the wafer 10. In addition, orientation flat sensors 42 and 42 and an OCR (optical character reader) 43 are provided outside the mounting table 41 in the horizontal direction. Then, by rotating the wafer 10 on the mounting table 41, the notch of the wafer 10 described above is detected by the orientation flat sensor 42, and the support position of the wafer 10 on the mounting table 41 is detected. Based on this detection information, the wafer 10 is mounted on the mounting table 41 again using the transfer hand 31 so that the center of the mounting table 41 and the center of the wafer 10 coincide.
Further, the wafer 10 in the concentric position is rotated so that the ID mark of the wafer 10 is positioned directly below the OCR 43, and the ID mark is detected by the OCR 43 so that the wafer 10 is specified. Yes. A certain relationship is predetermined between the position of the notch provided on the wafer 10 and the printing position of the ID mark, and the wafer 10 is rotated so that the notch comes to a specific position, so that the OCR 43 and the ID mark are positioned. The position of the mark is adjusted. The ID mark is read by the OCR 43 and the wafer 10 is specified, so that information on the wafer 10 can be obtained on the automatic guided vehicle 1 side.
As described above, the posture alignment device 4 detects the ID mark and adjusts the position of the wafer 10 on the mounting table 41 to support the wafer 10 on the transfer hand 31 at an appropriate position. To be.
[0015]
The buffer cassette 6 is an article storage device for storing a plurality of wafers 10 on the automatic guided vehicle 1 side.
The buffer cassette 6 includes a cassette 51 for storing wafers and a support base 50 for supporting the cassette 51. The support base 50 is provided at the rear portion of the upper surface of the working unit 3 and supports the cassette 51 in a freely rotatable manner. The front side of the cassette 51 (the side facing the single wafer transfer device 5) is open, and the transfer hand 31 of the single wafer transfer device 5 is inserted into the cassette 51 to store the wafer 10 in the cassette 51. It is. Inside the cassette 51, ribs 51a and 51a are provided on the left and right sides of the opening direction so that the side edges of the wafer 10 can be supported horizontally, and a pair of left and right ribs 51a and 51a constitute a shelf 51b. A large number of shelves 51b are provided vertically. A large number of wafers 10 are stored horizontally in the cassette 51.
The cassette 51 is configured to be rotatable with respect to the support base 50, and when the wafer 10 is taken in and out of the cassette 51, the opening of the cassette 51 is directed to the horizontal direction (immediately before), and the automatic guided vehicle 1 is run. Sometimes, the cassette 51 is rotated upward so that the opening of the cassette 51 faces obliquely upward. With this configuration, even if inertial force is generated when the automatic guided vehicle 1 is traveling, it is possible to prevent the stored wafers 10, 10... From being dropped from the cassette 51 or causing positional displacement. .
[0016]
Stations provided along the travel route of the automatic guided vehicle 1 will be described. As described above, the stockers 22, 22... And the processing devices 21, 21... Are arranged along the rails 19, 20 that are travel routes of the automatic guided vehicle 1. Each of the stocker 22 and the processing apparatus 21 is formed with a station as an article placement unit, and a transfer operation is performed between these stations and the buffer cassette 6 of the automatic guided vehicle 1.
The upper surface of the stocker 22 is a station as an article placement unit, and a plurality of cassettes 23, 23,. The internal configuration of the cassette 23 is the same as that of the cassette 51 of the buffer cassette 6 described above, and the side edge of the wafer 10 is held by a pair of ribs 23a and 23a provided on the cassette 23 on the left and right sides (relative to the opening direction). A supportable shelf 23b is formed. The shelves 23b are provided in a number of stages on the top and bottom, and the wafers 10, 10,... Can be stored on the plurality of shelves 23b.
The processing apparatus 21 is formed with an intake port 21a into which the wafer 10 can be inserted, and the intake port 21a is a station as an article placement unit. A wafer mounting table is provided in the intake port 21a. The wafer 10 adsorbed by the transfer hand 31 is inserted into the intake port 21a and mounted on the mounting table. Ten inspection processes are performed. Note that when the wafer 10 is inserted into the intake port 21a, the posture of the wafer 10 is adjusted in advance by the posture adjusting device 4 so that the inspection processing in the processing device 21 is performed reliably.
Further, a mounting table in the loading port 21 a of the processing apparatus 21 and a shelf 23 b of the cassette 23 mounted on the stocker 22 are mounting surfaces of the wafers 10 provided on the station.
[0017]
Next, the necessity of attitude control in the automatic guided vehicle 1 will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a front view showing the automatic guided vehicle 1 and the cassette 23 on the stocker 22. In order to enable the transfer operation between the cassette 23 on the stocker 22 and the single wafer transfer device 5 of the automatic guided vehicle 1, as shown in FIG. 23 must be inserted between the upper and lower shelves 23b and 23b without contact. For this reason, the angle θ formed between the shelf 23b (one-dot chain line) serving as a mounting surface of the wafer 10 and the support surface 31a (two-dot chain line) of the transfer hand 31 needs to be equal to or less than a predetermined angle. Here, in the transfer hand 31, the surface that sucks and supports the wafer 10 is the support surface 31a.
As described above, the shelf 23b is formed in the cassette 23 by a pair of ribs 23a and 23a on the left and right sides of the opening direction, and is formed by connecting both upper surfaces of the ribs 23a and 23a. The surface to be mounted is the shelf 23b and serves as a mounting surface for the wafer 10.
The state at the time of the transfer operation shown in FIG. 5, that is, the state of the approach angle of the transfer hand 31 with respect to the cassette 23 is the state in which the posture control mechanism described later is not operated in the automatic guided vehicle 1, or the posture The case of the automatic guided vehicle which does not have a control mechanism is shown.
Assuming that the error described later is completely zero, the cassette 23 is placed on a horizontal plane, and the shelf 23b in the cassette 23 is along the horizontal direction. At this time, the support surface of the wafer 10 by the shelf 23b is also a horizontal plane. Further, the transfer hand 31 extending from the single wafer transfer device 5 of the automatic guided vehicle 1 is also positioned on the horizontal plane.
[0018]
Actually, errors due to installation errors and manufacturing errors occur in the automatic guided vehicle 1 and the stations (the processing device 21 and the stocker 22). Further, the floor surface at the stop side of the automatic guided vehicle 1 at the station side is inclined with respect to the horizontal plane, or the traveling rails 19 and 20 laid on the floor surface have errors due to installation errors, manufacturing errors, etc. May occur.
In such a case, in the case of the stocker 22, the shelf 23b (mounting surface of the wafer 10) of the cassette 23 and in the case of the processing apparatus 21, the intake port 21a is inclined with respect to the horizontal plane. Similarly, on the automatic guided vehicle 1 side, the transfer hand 31 is inclined with respect to the horizontal plane. As a result, the wafer placement surface (the placement table in the shelf 23b or the intake port 21a) and the transfer hand 31 are not parallel to each other.
[0019]
In the stocker 22, when the angle θ formed between the shelf 23 b of the cassette 23 and the transfer hand 31 is equal to or less than the predetermined angle, the wafer 10 is transferred while being inclined with respect to the horizontal plane. It is possible. In this embodiment, the distance between the shelves 23b and 23b is about 10 mm, and the thickness of the transfer hand 31 is about 3 mm. As the wafer 10, wafers of 12 inches and 8 inches are used. In order to appropriately perform the transfer operation under the above conditions, the angle θ formed by the transfer hand 31 and the shelf 23b is required to be ± 0.1 ° or less. That is, in this embodiment, ± 0.1 ° is the predetermined angle required for appropriately performing the transfer operation.
Further, in the processing apparatus 21, in order to perform an appropriate processing operation in the processing apparatus 21, it is necessary that the wafer 10 is mounted on the bottom surface of the intake port 21a substantially in parallel. Therefore, the processing apparatus 21 also needs to control the transfer hand 31 that supports the wafer 10 and the intake port (wafer mounting surface) to be substantially parallel.
[0020]
The attitude control mechanism of the automatic guided vehicle 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 2, 3, 6, and 7. FIG. 6 is a top view of the traveling unit 2 showing the attitude control mechanism provided in the automatic guided vehicle 1 of the first embodiment, and FIG. 7 is a state in which the working unit 3 swings in the automatic guided vehicle 1 of the first exemplary embodiment. FIG.
In the first embodiment, the working unit 3 is configured to be swingable in the left-right direction with respect to the traveling unit 2.
As shown in FIGS. 2, 3, and 6, between the traveling unit 2 and the working unit 3, the working unit with respect to the traveling unit 2 is disposed at both front and rear end portions on the left and right sides (right side in this embodiment). 3 is swingably attached via a hinge 13. As shown in FIG. 3, the hinge 13 includes attachment members 13 a and 13 b and a rotation support shaft 13 c that is a fulcrum of both attachment members. The rotation support shaft 13c is disposed such that its axial direction is the front-rear direction, and the attachment members 13a and 13b are relatively rotatable left and right. The attachment member 13 a is fixed to the traveling unit 2, and the attachment member 13 b is fixed to the working unit 3 so that the working unit 3 can swing with respect to the traveling unit 2.
Note that the means for allowing the working unit 3 to swing left and right with respect to the traveling unit 2 is not limited to the hinge 13, and any other mechanism may be used as long as it has a similar function.
[0021]
Between the traveling unit 2 and the working unit 3, a swinging means for swinging the working unit 3 with respect to the traveling unit 2 is provided at the front and rear central part on the other side (left side in this embodiment) with respect to the left and right sides. It has been. The swinging means in this embodiment is composed of a servo motor 14 provided on the upper surface of the traveling unit 2, a pinion 14 a fixed to the motor shaft of the servo motor 14, and a rack body 15 attached to the lower surface of the working unit 3. ing. The rack body 15 is formed in an arc shape, and is arranged so that the surface on which the teeth meshing with the pinion 14a are directed to one of the left and right sides. Then, by driving the servo motor 14, the rack body 15 meshing with the pinion 14a is moved up and down, and the working unit 3 is swung with respect to the traveling unit 2 with the rotation support shaft 13c as a fulcrum.
Further, the tooth forming surface of the rack body 15 is formed to draw an arc when viewed from the front, and the distance from the rotation support shaft 13c to this forming surface is made constant. Thereby, even if the working part 3 moves up and down, the distance between the rack body 15 and the pinion 14a is kept constant, and neither pressing nor separation occurs between them.
Note that the swinging means for swinging the working unit 3 to the left and right with respect to the traveling unit 2 is not limited to the above configuration. For example, the rotating support shaft 13c is supported by using an electric cylinder that is rotatably supported by the traveling unit 2 and supports the working unit 3 rotatably, or an air cylinder that is operated by a mounted air pump. It is good also as a structure which makes the working part 3 rock | fluctuate by using as a fulcrum.
[0022]
Further, the attachment member 13 a of the hinge 13 and the servo motor 14 constituting the swinging means are fixed to a top plate 25 that forms the upper surface of the traveling unit 2. The top plate 25 is provided with an insertion hole 25a for vertically passing the base 11 of the single wafer transfer device 5 and an insertion hole 25b for vertically passing the rack body 15 fixed to the working unit 3. ing. Also, the bottom plate 26 forming the lower surface of the working unit 3 is formed with insertion holes 26a and 26b so as to correspond to the insertion holes 25a and 25b, respectively, and can pass through the base 11 and the rack body 15 respectively.
[0023]
With the above configuration, the working unit 3 can swing left and right with respect to the traveling unit 2 as shown in FIG. By this attitude control, the entry angle of the transfer hand 31 with respect to the cassette 23 can be adjusted. For this reason, even if an inclination error due to an installation error, a manufacturing error, or the like occurs on the floor (travel rails 19 and 20) of the transfer work position at the side of the station, the station (stocker 22), the station side, the inclination By performing posture control in the direction along the error, the transfer operation can be performed appropriately and smoothly.
[0024]
In the first embodiment described above, the swinging means (hinge 13) is provided on the left and right sides, and the swinging means (servo motor 14) is connected to the left and right sides. It is provided in the center of the side. That is, the swingable means is provided at two locations, and the swinging means is provided at one location, and the traveling unit 2 supports the working unit 3 at a total of three points.
However, the hinge 13 is left as it is (with the two left and right sides on the left and right sides), and the servo motors 14 are provided on the left and right sides in two places on the front and back. The traveling unit 2 supports the working unit 3 by a total of four points. It is good also as a structure. This configuration is advantageous in that the support configuration of the working unit 3 becomes more stable.
[0025]
In the above description, the inclination (error) of the automatic guided vehicle 1 or the station with respect to the horizontal plane is limited to the inclination shown in FIG. 5, that is, the inclination about the traveling direction (front view direction) of the automatic guided vehicle 1. Explains. FIG. 5 illustrates the inclination of the automatic guided vehicle 1 and the station from the horizontal plane with the traveling direction of the automatic guided vehicle 1 (direction perpendicular to the paper surface) as an axis.
However, in reality, the axis of inclination of the automatic guided vehicle 1 or the station or the transfer work position with respect to the horizontal plane of the floor is not limited to the above-described axis direction. That is, the direction of the inclination of the automatic guided vehicle 1 can be various. Furthermore, the axis of inclination is usually different between the automatic guided vehicle 1 and the station and the floor surface. In the second embodiment described below, a description will be given of how to deal with an inclination with a direction perpendicular to the traveling direction (a direction belonging to a horizontal plane) as an axis and how to deal with an inclination with an arbitrary direction as an axis.
[0026]
The attitude control mechanism of the automatic guided vehicle 100 according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a top view of the traveling unit 2 showing the attitude control mechanism included in the automatic guided vehicle 100 of the second embodiment, and FIG. 9 is a side view showing the automatic guided vehicle 100 of the second embodiment.
Unlike the first embodiment, the second embodiment has the following configuration in order to deal with the above-described inclination, that is, the inclination with the direction perpendicular to the traveling direction as an axis.
As shown in FIGS. 8 and 9, between the traveling unit 2 and the working unit 3, the working unit 3 is swung with respect to the traveling unit 2 at both left and right ends on the front and rear side (front side in this embodiment). A hinge 13 is provided for movement. The hinge 13 is composed of attachment members 13a and 13b and a rotation support shaft 13c that is a fulcrum of both attachment members. The rotation support shaft 13c is arranged so that its axial direction is the left-right direction, and the attachment members 13a and 13b are relatively rotatable back and forth. The attachment member 13 a is fixed to the traveling unit 2, and the attachment member 13 b is fixed to the working unit 3 so that the working unit 3 can swing with respect to the traveling unit 2.
The means for allowing the working unit 3 to swing back and forth with respect to the traveling unit 2 is not limited to the hinge 13, and other mechanisms may be used as long as they have a similar function.
[0027]
Between the traveling part 2 and the working part 3, there is a swinging means for swinging the working part 3 with respect to the traveling part 2 at the left and right central part on the other side (the rear side in this embodiment) with respect to the front and rear side. Is provided. In this embodiment, the swinging means is composed of a servo motor 14 provided on the upper surface of the traveling unit 2, a pinion 14 a fixed to the motor shaft of the servo motor 14, and a rack body 15 attached to the lower surface of the working unit 3. is doing. The rack body 15 is arranged so that the surface on which the teeth meshing with the pinion 14a are directed to one of the front and rear sides. Then, by driving the servo motor 14, the rack body 15 meshing with the pinion 14a is moved up and down, and the working unit 3 is swung with respect to the traveling unit 2 with the rotation support shaft 13c as a fulcrum.
Further, the tooth forming surface of the rack body 15 is formed so as to draw an arc when viewed from the side, and the distance from the rotation support shaft 13c to this forming surface is made constant. As a result, even if the working unit 3 swings up and down, the distance between the rack body 15 and the pinion 14a is kept constant, and neither pressing nor separation occurs.
The swinging means for swinging the working unit 3 back and forth with respect to the traveling unit 2 is not limited to the above configuration, and is supported by the traveling unit 2 so as to be rotatable, and the working unit 3. The working unit 3 may be configured to swing using the rotating support shaft 13c as a fulcrum using an electric cylinder that rotatably supports the air cylinder or an air cylinder that is operated by an air pump that is mounted.
[0028]
With the above configuration, the working unit 3 can swing back and forth with respect to the traveling unit 2.
Further, the attachment member 13 a of the hinge 13 and the servo motor 14 constituting the swinging means are fixed to a top plate 125 that forms the upper surface of the traveling unit 2. The top plate 125 is provided with an insertion hole 125a through which the base 11 of the single wafer transfer device 5 passes vertically and an insertion hole 125b through which the rack body 15 fixed to the working unit 3 passes vertically. Yes. In addition, insertion holes are formed in the bottom plate forming the lower surface of the working unit 3 so as to correspond to the insertion holes 125a and 125b, and the base 11 and the rack body 15 are passed therethrough, respectively.
[0029]
In the second embodiment described above, the swinging means (hinge 13) is provided on the left and right sides of the front and rear sides, and the swinging means (servo motor 14) is provided on the other side of the front and rear sides. It is provided in the center of the side. That is, the swingable means is provided at two locations, and the swinging means is provided at one location, and the traveling unit 2 supports the working unit 3 at a total of three points.
The swinging means is provided as it is (while it is provided at two places on the left and right sides of the left and right sides), and the swinging means is provided at two places on the left and right sides of the front and rear sides. 3 may be supported. At this time, means for swinging are also provided at two front and rear positions. By comprising in this way, the support structure of the working part 3 can be made more stable.
[0030]
The attitude control mechanism of the automatic guided vehicle 200 according to the third embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a side view showing the automatic guided vehicle 200 of the third embodiment.
In the third embodiment, the working unit 3 is configured to be swingable back and forth and from side to side with respect to the traveling unit 2. The third embodiment deals with the above-described inclination with an arbitrary axis as an axis.
As shown in FIG. 10, a support plate 24 is provided between the traveling unit 2 and the working unit 3, and between the traveling unit 2 and the supporting plate 24, and between the support plate 24 and the working unit 3. Each is provided with a posture control mechanism.
An attitude control mechanism provided in the automatic guided vehicle 1 of the first embodiment is provided between the traveling unit 2 and the support plate 24, and the support plate 24 can swing left and right with respect to the traveling unit 2. It is trying to become. Further, between the support plate 24 and the working unit 3, an attitude control mechanism provided in the automatic guided vehicle 100 of the second embodiment is provided, and the working unit 3 swings back and forth with respect to the support plate 24. It is made possible.
[0031]
With the above configuration, in the automatic guided vehicle 200 of the third embodiment, the working unit 3 can swing left and right and back and forth with respect to the traveling unit 2. For this reason, the attitude | position with respect to the horizontal surface of the working part 3 can be inclined centering | focusing on arbitrary directions, and the approach angle of the transfer hand 31 to the cassette 23 on a station can be adjusted.
As described above, in the station (processing device 21 and stocker 22) and the automatic guided vehicle, errors such as an installation error and a manufacturing error are unavoidable, and the transfer hand 31 and the wafer mounting surface (intake port) Tilt errors with respect to the horizontal plane of the mounting table and shelf 23b) in 21a occur in various directions. Even in such a case, in the automatic guided vehicle 200, the entry angle of the transfer hand 31 can be tilted with an arbitrary direction as an axis, so the direction along the tilt error between the transfer hand 31 and the wafer mounting surface. In addition, the transfer operation can be performed appropriately and smoothly by adjusting the approach angle of the transfer hand 31.
[0032]
In addition, the configuration that allows the working unit 3 to swing back and forth and right and left with respect to the traveling unit 2 is not limited to the above configuration. For example, the electric cylinders 17, 17, ... May be provided. In addition, the upper surface of the traveling unit 2 is formed in a substantially rectangular shape, and the electric cylinders 17, 17... Are arranged at the vertexes of the rectangle to support the working unit 3 on the traveling unit 2. Then, by controlling the drive of each of the electric cylinders 17, 17..., The working unit 3 can be swung back and forth and left and right so that the entrance angle of the transfer hand 31 can be tilted about an arbitrary direction. ing.
[0033]
Each of the automatic guided vehicles 1, 100, and 200 is provided with a control unit, and the control unit controls swinging means provided in each automatic guided vehicle. In the above three embodiments, the control units that manage the attitude control mechanism are substantially the same, and therefore, the automatic guided vehicle 1 of the first embodiment will be representatively described below with reference to FIG. FIG. 11 is a block diagram of the attitude control mechanism provided in the automatic guided vehicle 1 of the first embodiment.
[0034]
As shown in FIG. 11, the control unit 27 and the servo motor 14 constituting the swinging means are connected to the servo motor 14 so that signals can be transmitted from the control unit 27. The attitude control described above is performed by the control unit 27 controlling the drive of the servo motor 14 that constitutes the swinging means.
The control unit 27 includes a control circuit 29 that issues a control command to the servo motor 14 and a memory 28 that is a storage unit. Further, the automatic guided vehicle 1 is provided with a position detection sensor 34 for detecting its own position, and the position detection sensor is connected to the control unit 27 so that a signal can be transmitted. In this specification, although a specific mechanism for position detection is omitted, based on a detection signal from the position detection sensor 34, which station the automatic guided vehicle 1 is stopped at (ie, which station is the target station). ) Is determined by the control unit 27.
[0035]
In the memory 28, the movement of the working unit 3 required for the transfer hand 31 and the mounting surface of the wafer 10 (the mounting table and the shelf 23b in the inlet 21a) to be substantially parallel to the target station. The amount of movement is stored as a target value. In the case of this embodiment, since the swinging means is constituted by the servo motor 14, the swing amount corresponds to the rotation amount of the motor shaft of the servo motor 14. That is, this rotation amount is stored in the memory 28.
[0036]
With the above configuration, in the target station, the control circuit 29 of the control unit 27 controls the drive of the servo motor 14 based on the swing amount of the working unit 3 stored in the memory 28, that is, the rotation speed of the servo motor 14. The transfer hand 31 can be tilted. Note that since the amount by which the working unit 3 should be swung at the target station is stored in advance, before the automatic guided vehicle 1 stops before the target station (transfer operation position), that is, during traveling, the servo motor It is also possible to control the tilting of the transfer hand 31 by driving 14. In this way, the transfer hand 31 is tilted to an appropriate angle when it stops at the transfer work position on the station side, and the transfer work can be started immediately.
That is, the automatic guided vehicle 1 is provided with means for detecting an inclination between the transfer hand 31 and the wafer mounting surface (the mounting table and the shelf 23b in the intake port 21a), and is placed at the transfer operation position on the station side. Compared with the case where the tilt is detected after arrival and the control of tilting the transfer hand 31 is performed, the control of tilting the transfer hand can be completed earlier, and the transfer work can be performed quickly. it can.
[0037]
Since installation errors differ from station to station, the target value of the servo motor 14, that is, the transfer hand 31 and the wafer mounting surface (the mounting table and the shelf 23b in the intake port 21a) are required to be substantially parallel. The amount by which the servo motor 14 should be rotated also varies from station to station. It is not necessary to change the target value for each station because both the station and the floor surface (travel rails 19 and 20) on the side of the station where the automatic guided vehicle 1 stops during the transfer operation are installed errors described above. This is only when there are no errors such as manufacturing errors.
Actually, an error also occurs on the floor surface at the transfer work position of the station and the station side. Therefore, in order to eliminate the influence of these errors, it is necessary to set the target value of the servo motor 14 for each station.
[0038]
For this reason, before the transfer work between stations is performed using the automatic guided vehicle 1, the swing amount of the working unit 3 required in each station is detected in advance. Since the required swing amount corresponds to the rotation amount of the servo motor 14 as described above, the required rotation amount (target value) of the servo motor 14 is stored in the memory 28 in a table format corresponding to each station. Just remember.
When the automatic guided vehicle 1 stops at each station and is transferred, the target value corresponding to each station stored in the memory 28 is called in advance, and the servo motor 14 is set so as to obtain the target amount. The control unit 27 is programmed so as to control the rotation (teaching).
By performing the above teaching work in advance, the target value of the servo motor 14 is stored in the memory 28 of the automatic guided vehicle 1 for all stations in the range in which the single automatic guided vehicle 1 is in charge. The For this reason, each time the target station in the transfer operation is changed in the automatic guided vehicle 1, the control circuit 29 reads the target value of the servo motor 14 at the currently targeted station from the memory 28 and performs control. The circuit 29 can control the servo motor 14 so as to achieve the target value.
[0039]
With the above configuration, there is an error such as an installation error or a manufacturing error on the floor (travel rails 19 and 20) at the transfer work position on the station and the station side, and for each station that is the purpose of the transfer work, Even if the amount of rocking of the working unit 3 required to make the transfer hand 31 and the wafer mounting surface (the mounting table and the shelf 23b in the inlet 21a) substantially parallel is different for each station. The transfer work can be appropriately performed by adjusting the inclination of the transfer hand 31.
For this reason, the control of tilting the transfer hand can be completed before the automatic guided vehicle stops at the transfer work position in all stations handled by one automatic guided vehicle 1.
[0040]
【The invention's effect】
  As described in claim 1, a traveling unit provided with traveling wheels, an article storage device for storing articles, and a working unit provided with a single wafer transfer device for transferring articles,SaidWith single wafer transfer equipment,SaidAn automatic guided vehicle for transferring an article between an article storage device and a station provided along a travel route,SaidWorking departmentSaidFor the running partFront and rear direction and left and rightCan swing in the directionComposed,SaidWorking partSaidFor the running partBack and forth and left and rightRocking means for rocking;SaidThe control means of the swinging means and,Provided,SaidThe single wafer transfer device is provided with a transfer hand for supporting the article,SaidIn order for the article support surface of the transfer hand and the article placement surface of the target station to be substantially parallel,SaidThe control unitSaidBy controlling the swinging means, by controlling the attitude of the automatic guided vehicle,The posture of the working unit with respect to the horizontal plane can be inclined with an arbitrary direction as an axis, and the entrance angle of the transfer hand to the cassette on the station can be adjusted.For this reason, even if installation errors or manufacturing errors occur on the floor surface (for example, traveling rail) of the transfer work position on the side part of the automatic guided vehicle or station (for example, stocker),The transfer hand can be moved by tilting the entrance angle of the transfer hand around an arbitrary direction and adjusting the entrance angle of the transfer hand in the direction along the tilt error between the transfer hand and the wafer mounting surface. It can be done appropriately and smoothly.
[0041]
  As described in claim 2,SaidFor the target station,SaidThe article support surface of the transfer hand andSaidIt is necessary for the article placement surface of the station to be approximately parallel.SaidStorage means for storing the swing amount of the working unit as a target value;SaidBased on the target value, the control unitSaidSince the swinging means is controlled, the control unit can control the drive of the swinging means and tilt the transfer hand based on the swinging amount of the transfer hand stored in the storage means at the target station. In addition, since the swing amount at the target station is known in advance, the control of tilting the transfer hand can be started before the automatic guided vehicle stops at the transfer work position. It is possible to shorten the time from the stop to the transfer work position of the part to the start of the transfer work. If the control for tilting the transfer hand ends before the transport vehicle stops, it is possible to start the transfer operation immediately after the stop.
  For this reason, the automatic guided vehicle is provided with means for detecting the inclination between the transfer hand and the wafer mounting surface, and after the arrival at the transfer operation position on the station side, the inclination is detected and transferred. Compared with the case where the control of tilting the hand is performed, the control of tilting the transfer hand can be completed earlier, and the transfer operation can be performed quickly.
[0042]
  As described in claim 3, the target value corresponds to each station.SaidBased on the target value according to the station that performs the transfer work,SaidThe control unitSaidSince the swinging means is controlled, there are errors such as installation errors and manufacturing errors on the floor (travel rail) at the station and the side of the station at the transfer work position. Even if the amount of rocking of the working unit required to make the transfer hand and the wafer mounting surface on the station substantially parallel is adjusted by adjusting the tilt of the transfer hand for each station Can be transferred.
  For this reason, the control for tilting the transfer hand can be terminated before the automatic guided vehicle stops at the transfer work position in all stations handled by one automatic guided vehicle.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an automatic guided vehicle 1 that travels between stations and performs a transfer operation.
FIG. 2 is a side view of the automatic guided vehicle 1. FIG.
3 is a partial front sectional view of the automatic guided vehicle 1. FIG.
4 is a plan view of the automatic guided vehicle 1. FIG.
FIG. 5 is a front view showing the automatic guided vehicle 1 and a cassette 23 on the stocker 22;
FIG. 6 is a top view of a traveling unit 2 showing an attitude control mechanism provided in the automatic guided vehicle 1 of the first embodiment.
FIG. 7 is a front view showing a state in which the working unit 3 swings in the automatic guided vehicle 1 of the first embodiment.
FIG. 8 is a top view of a traveling unit 2 showing an attitude control mechanism included in the automatic guided vehicle 100 of the second embodiment.
FIG. 9 is a side view showing an automatic guided vehicle 100 according to a second embodiment.
FIG. 10 is a side view showing an automatic guided vehicle 200 according to a third embodiment.
FIG. 11 is a block diagram of an attitude control mechanism provided in the automatic guided vehicle 1 of the first embodiment.
[Explanation of symbols]
1 Automated guided vehicle
2 running section
3 working department
4 posture adjustment device
5 sheet transfer equipment
6 Buffer cassette
10 wafers
13 Hinge
14 Servo motor
14a pinion
15 rack body
21 Processing equipment
22 Stocker
23 cassette
23a (article) placement surface
27 Control unit
28 memory
31 Transfer hand
31a (article) support surface

Claims

A traveling unit for traveling wheels are provided, and a working unit which sheet transfer device for transferring the article storage apparatus and articles for accommodating an article is provided, by the sheet transfer apparatus, the article storage device And an automatic guided vehicle for transferring articles between stations provided along the travel route,
The working unit is configured to be swingable in the front-rear direction and the left-right direction with respect to the traveling unit,
A rocking means for rocking back and forth direction or in the longitudinal direction of the working portion relative to the traveling unit,
And a control unit of the rocking means is provided,
Provided transfer hand supporting the article on the sheet transfer device, and the article supporting surface of the transfer hand, such that the mounting surface article of stations of interest are substantially parallel, said control unit is the An automatic guided vehicle characterized by controlling a swinging means.

To station on said object, comprising a storage unit for the swing amount of the working portion and the mounting face of the the article supporting surfaces stations required to be substantially parallel to the transfer hand, is stored as a target value, wherein the control unit AGV of claim 1, wherein the controller controls the rocking unit based on the target value.

The target value is assumed to be stored in the storage means in correspondence with each station, based on the target value corresponding to the station to perform the transfer operation, the control unit and controls said swinging means The automatic guided vehicle according to claim 2.