KR100989241B1 - Device of clamping front opening shipping box - Google Patents

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KR100989241B1 KR1020080092138A KR20080092138A KR100989241B1 KR 100989241 B1 KR100989241 B1 KR 100989241B1 KR 1020080092138 A KR1020080092138 A KR 1020080092138A KR 20080092138 A KR20080092138 A KR 20080092138A KR 100989241 B1 KR100989241 B1 KR 100989241B1
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Abstract

본 발명은 포스비 고정 장치에 관한 것으로서, 바닥면에 걸림 돌기가 형성되고 내부에 복수의 웨이퍼를 수용하기 위한 내부 수용 공간을 가지는 포스비(FOSB)를 클램핑하기 위한 포스비 고정 장치에 있어서, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에서 후방측이 회전 가능하게 힌지 고정되는 틸트 플레이트; 상기 틸트 플레이트를 상기 힌지를 중심으로 회전시켜 상기 틸트 플레이트가 상기 베이스 플레이트와 이루는 경사각을 조절하는 틸팅 수단; 상기 틸트 플레이트의 가장자리를 따라 설치되며, 상기 틸트 플레이트 상측에 올려지는 상기 포스비의 측면을 가압 고정하는 하나 이상의 고정 브래킷; 및 상기 베이스 플레이트 상에서 상기 틸트 플레이트의 전방측에 고정 설치되며, 상기 포스비가 상기 틸트 플레이트와 함께 회전시 상기 걸림 돌기가 이루는 평면 투영 거리 차에 의해 상기 걸림 돌기가 측면을 가압 또는 해지하도록 클램프 돌기가 상측에 돌출 형성되는 고정 플레이트를 포함하여 구성되어, 틸팅 수단을 이용하여 포스비를 클램핑 할 수 있도록 함으로써, 추가적인 포스비 클램핑 장치 없이 틸팅 수단에 의한 경사각 조절에 의해 웨이퍼의 반송 및 반입시 포스비를 고정할 수 있도록 하는 효과를 갖는다. The present invention relates to a force ratio fixing apparatus, comprising a base plate; A tilt plate having a rear side rotatably hinged on the base plate; Tilting means for rotating the tilt plate about the hinge to adjust an inclination angle between the tilt plate and the base plate; At least one fixing bracket installed along an edge of the tilt plate and configured to pressurize and fix a side surface of the force ratio, which is mounted on the tilt plate; And a clamp protrusion fixedly installed at the front side of the tilt plate on the base plate, such that the locking protrusion presses or releases the side surface by a plane projection distance difference formed by the locking protrusion when the force ratio rotates together with the tilt plate. It is configured to include a fixed plate protruding on the upper side, it is possible to clamp the force ratio by using the tilting means, it is possible to fix the phosph ratio during the conveyance and loading of the wafer by adjusting the inclination angle by the tilting means without additional force ratio clamping device It has an effect.

포스비(FOSB), 웨이퍼, 클램핑, 틸팅 수단 POSB, Wafer, Clamping, Tilting Means

Description

포스비 고정 장치{DEVICE OF CLAMPING FRONT OPENING SHIPPING BOX}Force ratio fixing device {DEVICE OF CLAMPING FRONT OPENING SHIPPING BOX}

본 발명은 포스비 고정 장치에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 포스비의 경사각을 조절해 고정할 수 있도록 하는 포스비 고정 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a force ratio fixing device, and more particularly, to a force ratio fixing device that can be fixed by adjusting the inclination angle of the force ratio.

주지된 바와 같이 포스비(FOSB; Front Opening Shipping Box)는 반도체 제조 과정에서 웨이퍼들이 각 단위 제조 공정을 거치도록 각 제조 설비 내부로 반입 및 반송되도록 하기 위해 복수 단위의 웨이퍼들을 담아 이송 및 보관하기 위한 웨이퍼 케리어(wafer carrier)의 하나이다. As is well known, the front opening shipping box (FOSB) is a wafer for transporting and storing a plurality of wafers in order to allow the wafers to be carried and transported into each manufacturing facility for each wafer manufacturing process. It is one of the carriers.

포스비는 복수의 웨이퍼들을 담기 위해 전면이 개방된 내부 수용공간을 가지며, 이 내부 수용공간에는 각각의 웨이퍼들을 꽂아 보관하는 슬롯들이 구비된다. POSBI has an inner receiving space with a front surface open to hold a plurality of wafers, and the inner receiving space is provided with slots for storing respective wafers.

한편, 포스비의 전면이 개방되도록 형성됨에 따라 이송 도중 개방 전면을 통해 웨이퍼들이 쏟아지는 것을 방지함과 아울러 웨이퍼의 정확한 반입 또는 반송 위치를 갖도록 정렬하기 위해서는 틸팅 장치가 적용되고 있다. On the other hand, as the front surface of the force ratio is formed to be open, a tilting device is applied to prevent the wafers from spilling through the open front surface during the transfer and to align the wafer to have an accurate loading or conveying position.

그러나, 상기한 틸팅 장치가 적용되더라도 여전히 포스비로부터 엔드이펙터를 이용해 각 웨이퍼를 반입 또는 반출하는 과정에서 웨이퍼의 정확한 반입 또는 반출 위치를 갖도록 하기 위해서는 포스비를 잡아 고정하기 위한 추가적인 고정 장 치를 필요하게 되는 문제점을 갖는다. However, even if the above tilting device is applied, there is still a problem in that an additional fixing device for holding and fixing the force ratio is required to have the correct loading or unloading position of the wafer in the process of importing or exporting each wafer using the end effector from the force ratio. Has

상기한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 포스비를 틸팅 플레이트상에 적재시킨 후, 일정각 틸팅시키는 과정에서 포스비를 고정할 수 있도록 하는 포스비 고정 장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention for solving the above problems is to provide a force ratio fixing device that can be fixed to the force ratio in the process of tilting a certain angle after loading the force ratio on the tilting plate.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 포스비 고정 장치는 바닥면에 걸림 돌기가 형성되고 내부에 복수의 웨이퍼를 수용하기 위한 내부 수용 공간을 가지는 포스비(FOSB)를 클램핑하기 위한 포스비 고정 장치에 있어서, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에서 후방측이 회전 가능하게 힌지 고정되는 틸트 플레이트; 상기 틸트 플레이트를 상기 힌지를 중심으로 회전시켜 상기 틸트 플레이트가 상기 베이스 플레이트와 이루는 경사각을 조절하는 틸팅 수단; 상기 틸트 플레이트의 가장자리를 따라 설치되며, 상기 틸트 플레이트 상측에 올려지는 상기 포스비를 측면을 가압 고정하는 하나 이상의 고정 브래킷; 및 상기 베이스 플레이트 상에서 상기 틸트 플레이트의 전방측에 고정 설치되며, 상기 포스비가 상기 틸트 플레이트와 함께 회전시 상기 걸림 돌기가 이루는 평면 투영 거리차에 의해 상기 걸림 돌기가 측면을 가압 또는 해지하도록 클램프 돌기가 돌출 형성되는 고정 플레이트를 포함하여 구성된다.In the force ratio fixing apparatus of the present invention for achieving the above object is a force ratio fixing apparatus for clamping a force ratio (FOSB) having a locking projection formed on the bottom surface and having an interior receiving space for accommodating a plurality of wafers therein, Base plate; A tilt plate having a rear side rotatably hinged on the base plate; Tilting means for rotating the tilt plate about the hinge to adjust an inclination angle between the tilt plate and the base plate; One or more fixing brackets installed along an edge of the tilt plate and configured to pressurize and fix a side surface of the force ratio being raised above the tilt plate; And a clamping protrusion fixedly installed at a front side of the tilt plate on the base plate, such that the locking protrusion presses or releases the side surface by a plane projection distance difference formed by the locking protrusion when the force ratio rotates with the tilt plate. It is configured to include a fixed plate protruding.

여기서, 상기 틸트 플레이트는 상기 힌지에 의해 회전 가능하게 고정되는 고 정부; 및 상기 고정부의 폭 방향으로 사이에 간격을 두고 전방으로 연장 형성되는 연장부를 포함하여 구성될 수 있다. Here, the tilt plate is fixed to the rotatably fixed by the hinge; And an extension part extending forwardly at intervals therebetween in the width direction of the fixing part.

한편, 상기 고정 브래킷은 상기 틸트 플레이트의 상기 고정부에 설치되어, 상기 포스비의 후면 하측으로 고정하는 제1 고정 브래킷; 상기 틸트 플레이트의 상기 연장부에 설치되어, 상기 포스비의 양측면을 각각 가압 고정하는 제2 고정 브래킷; 및 상기 틸트 플레이트의 연장부의 전단부에 각각 설치되어, 상기 포스비의 양측 전면을 각각 가압 고정하는 제3 고정 브래킷을 포함하여 구성될 수 있다. On the other hand, the fixing bracket is installed on the fixing portion of the tilt plate, the first fixing bracket for fixing to the rear lower side of the force ratio; Second fixing brackets installed on the extension part of the tilt plate to press fix both sides of the force ratio; And third fixing brackets respectively installed at front ends of the extension parts of the tilt plate to pressurize both front surfaces of the force ratio.

상기 틸팅 수단은 상기 틸트 플레이트의 연장부와 상기 베이스 플레이트를 연결하는 가동 실린더인 것을 포함할 수 있다. The tilting means may include a movable cylinder connecting the extension portion of the tilt plate and the base plate.

상기 클램프 돌기는 양측이 경사지게 모따기된 클램프 경사면을 가지는 사다리꼴의 평단면 형상으로 이루어지고, 상기 걸림 돌기는 경사지게 모따기된 클램프 경사면에 대응되게 형성되는 것이 바람직하다. The clamp protrusion may be formed in a trapezoidal flat cross-sectional shape having a clamp inclined surface chamfered on both sides, and the catching protrusion may be formed to correspond to the inclined chamfered clamped surface.

상기 틸트 플레이트의 틸팅 각도는 수평면을 기준으로 0˚ 내지 5˚범위 이내인 것이 바람직하다. The tilting angle of the tilt plate is preferably within a range of 0 ° to 5 ° based on the horizontal plane.

상기한 본 발명의 포스비 고정 장치에 따르면, 포스비 내에 수용된 웨이퍼들을 정렬하기 위한 틸팅 수단을 이용하여 포스비를 클램핑할 수 있도록 함으로써, 추가적인 포스비 클램핑 장치 없이 틸팅 수단에 의한 경사각 조절에 의해 웨이퍼의 반송 및 반입시 포스비를 고정할 수 있도록 하는 효과를 갖는다. According to the above-described force ratio fixing apparatus of the present invention, the force ratio can be clamped by using a tilting means for aligning the wafers accommodated in the force ratio, so that the wafer is conveyed and loaded by adjusting the inclination angle by the tilting means without additional force ratio clamping device. It has the effect of fixing the force ratio.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 포스비 고정 장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에서 포스비가 분리된 상태를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a force ratio fixing apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view showing a state in which the force ratio is separated in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하여 설명하면, 본 실시예의 포스비 고정 장치(1)는 베이스 플레이트(10), 틸트 플레이트(20), 틸팅 수단(30), 고정 브래킷(40), 및 고정 플레이트(50)를 포함하여 구성된다.Referring to FIGS. 1 and 2, the force ratio fixing apparatus 1 of the present embodiment includes a base plate 10, a tilt plate 20, a tilting means 30, a fixing bracket 40, and a fixing plate 50. It is configured to include).

먼저, 본 실시예에 적용되는 포스비(100; FOSB; FRONT OPENING SHIPPING BOX)는 내부에 전면이 개방되고 내부에 복수의 웨이퍼들을 담아 보관하기 위한 내부 수용공간을 가지며, 바닥면에는 후술하는 걸림 돌기(110; 도 3 참조)가 바닥면 전방 양측에서 폭 방향(Y축 방향)으로 각각 거리를 두고 상태로 하방(Z축 부방향)으로 돌출 형성된다. First, the force ratio (100; FOSB; FRONT OPENING SHIPPING BOX) applied to the present embodiment has an inner receiving space for storing a plurality of wafers therein and the front of which is open at the inside thereof, and a locking protrusion (to be described later) 110 (see FIG. 3) is formed to protrude downward (Z-axis negative direction) at a distance from each side in front of the bottom surface in the width direction (Y-axis direction), respectively.

베이스 플레이트(10)는 평면 상에서 틸트 플레이트(20), 틸팅 수단(30), 및 고정 플레이트(40)를 설치하기 위한 공간을 제공한다. The base plate 10 provides a space for installing the tilt plate 20, the tilting means 30, and the fixed plate 40 on a plane.

틸트 플레이트(20)는 베이스 플레이트(10)의 중심부에서 전방(X축 정방향)으로 편심되게 위치하며. 후방측 바닥면이 베이스 플레이트(10)로부터 이격된 상태로 힌지(25)에 의해 회전 가능하게 고정된다. The tilt plate 20 is eccentrically located forward (in the X-axis forward direction) at the center of the base plate 10. The rear bottom surface is rotatably fixed by the hinge 25 in a state spaced apart from the base plate 10.

본 실시예에서 틸트 플레이트(20)는 힌지(25)로 고정되는 고정부(21)와, 고정부(21) 폭 방향(Y축 방향)으로 사이에 두고 전방(X축 정방향)으로 연장 형성되는 2개의 연장부(22)를 포함하여 전체적인 평면 형상이 "U"자 형상을 갖도록 형성된다. In the present embodiment, the tilt plate 20 extends in the front (X-axis positive direction) with the fixing part 21 fixed to the hinge 25 and the fixing part 21 interposed in the width direction (Y-axis direction). The entire planar shape, including the two extensions 22, is formed to have a “U” shape.

고정 브래킷(40)은 틸트 플레이트(20)의 가장 자리를 따라 설치되어, 틸트 플레이트(20) 상측에 올려지는 포스비(100)가 안착되도록 측면을 가이드함과 아울러 포스비(100) 고정시 탄성력에 의한 가압력을 제공하는 역할을 수행한다. The fixing bracket 40 is installed along the edge of the tilt plate 20, and guides the side surface so that the force ratio 100 mounted on the tilt plate 20 is seated by elastic force when fixing the force ratio 100. Serves to provide pressure.

본 실시예에서 고정 브래킷(40)은 제1 고정 브래킷(41), 제2 고정 브래킷(43), 및 제3 고정 브래킷(45)으로 이루어지는 것을 예시한다.In the present embodiment, the fixing bracket 40 exemplifies a first fixing bracket 41, a second fixing bracket 43, and a third fixing bracket 45.

제1 고정 브래킷(41)은 틸트 플레이트(20)의 고정부(21)에 설치되어 포스비(100)의 후측면 하부를 고정하고, 제2 고정 브래킷(43)은 틸트 플레이트(20)의 각 연장부(22) 외측에 설치되어 포스비(100)의 양측면 하부를 각각 고정하며, 제3 고정 브래킷(45)은 틸트 플레이트(20)의 연장부(2)의 전단에 각각 설치되어 포스비(100)의 양측 전면 하부를 각각 가압 고정한다.The first fixing bracket 41 is installed on the fixing part 21 of the tilt plate 20 to fix the lower rear side of the POSBI 100, and the second fixing bracket 43 extends each of the tilt plate 20. Is installed outside the portion 22 to fix the lower side of both sides of the force ratio 100, respectively, the third fixing bracket 45 is respectively installed at the front end of the extension portion 2 of the tilt plate 20 of the force ratio 100 Press and fix the lower sides of the front sides respectively.

틸팅 수단(30)은 틸트 플레이트(20)를 힌지 중심으로 회전시켜 베이스 플레이트(10)와 이루는 경사각을 조절할 수 있도록 한다. 본 실시예에서 틸팅 수단(30)은 가동 실린더인 것을 예시한다.  The tilting means 30 rotates the tilt plate 20 about the hinge to adjust the inclination angle formed with the base plate 10. In this embodiment the tilting means 30 illustrates that it is a movable cylinder.

따라서, 가동 실린더(30)는 틸트 플레이트(20)의 연장부(21)의 전단 하부와 베이스 플레이트(10) 상면 사이를 연결하도록 설치되어, 힌지(25)를 중심으로 틸트 플레이트(20)를 회전시켜 경사각(θ)을 조절하도록 한다.Accordingly, the movable cylinder 30 is installed to connect between the lower end of the extension portion 21 of the tilt plate 20 and the upper surface of the base plate 10, thereby rotating the tilt plate 20 about the hinge 25. To adjust the inclination angle θ.

여기서, 가동 실린더(30)에 의한 틸트 플레이트의 가동 범위는 수평면을 기준으로 O˚ 내지 5˚범위 이내인 것이 바람직하다. Here, the movable range of the tilt plate by the movable cylinder 30 is preferably within the range of 0 ° to 5 ° based on the horizontal plane.

그리고, 고정 플레이트(50)는 베이스 플레이트(10) 상에서 틸트 플레이트(20)의 전방으로 틸트 플레이트(20)가 경사각 O˚인 수평 상태와 동일 높이로 설치 고정된다. In addition, the fixing plate 50 is installed and fixed at the same height as the horizontal state in which the tilt plate 20 is inclined angle O ° in front of the tilt plate 20 on the base plate 10.

여기서, 고정 플레이트(50) 상에는 포스비(100)의 바닥면에 형성되는 걸림 돌기(110)에 대응되며 포스비를 고정하기 위치에 클램프 돌기(55)가 돌출 형성된다. Here, the clamp protrusion 55 is formed on the fixing plate 50 to correspond to the locking protrusion 110 formed on the bottom surface of the force ratio 100 and to fix the force ratio.

도 3은 도 1의 포스비 고정 장치의 평면도이다.3 is a plan view of the force ratio fixing device of FIG.

도 3을 참조하여 설명하면, 본 실시예에서 고정 플레이트(50)는 틸트 플레이트(20)의 양측 연장부(22)들 사이에 고정 설치된다. Referring to FIG. 3, in the present embodiment, the fixing plate 50 is fixedly installed between both side extensions 22 of the tilt plate 20.

한편, 본 실시예에서 클램프 돌기(55)는 양측이 모따기된 클램프 경사면(55a)을 갖는 사다리꼴의 평단면 형상을 갖도록 형성되고, 걸림 돌기(110)는 클램프 돌기(55a)의 양측 경사면에 대응되게 폭 방향(Y축 방향)으로 간격을 두고 형성된다. On the other hand, in the present embodiment, the clamp protrusion 55 is formed to have a trapezoidal flat cross-sectional shape having a clamp inclined surface 55a with both sides chamfered, and the locking protrusion 110 corresponds to both inclined surfaces of the clamp protrusion 55a. It is formed at intervals in the width direction (Y-axis direction).

따라서, 포스비의 경사각 조절시 걸림 돌기(110)의 평면 투영 거리차(L3, 도4 참조)만큼 클램프 돌기(55)를 밀어 작용하는 가압력에 의해 클램핑되도록 하며, 이때 포스비는 클램프 돌기와 걸림 돌기에 의해 X축 방향과 Y 방향의 구속력을 받게 된다.Accordingly, when adjusting the inclination angle of the force ratio, the clamp projection 55 is clamped by the pressing force acting by pushing the clamp projection 55 by the plane projection distance difference L3 (see FIG. 4) of the locking projection 110, and the force ratio is clamped by the clamp projection and the locking projection. It is subject to constraints in the X and Y directions.

도 4는 포스비 고정 장치에 의한 포스비 클램핑 원리를 도시한 개략도이다. 4 is a schematic diagram illustrating the principle of force ratio clamping by a force ratio fixture.

도 4를 참조하여 설명하면, 포스비(100)가 틸트 플레이트(20)와 함께 힌지(25)를 중심으로 가동 실린더에 의해 회전하며 5˚ 경사 상태에서 0˚ 수평 상태로 경사각이 조절되는 경우 걸림 돌기(110)의 평면 투영 거리가 L1에서 L2로 변화하며 L3만큼의 거리 차이를 가지게 된다. Referring to Figure 4, when the force ratio 100 is rotated by the movable cylinder around the hinge 25 together with the tilt plate 20 and the inclination angle is adjusted from the 5 ° inclined state to 0 ° horizontal state The plane projection distance of 110 changes from L1 to L2 and has a distance difference as much as L3.

본 실시예에서 포스비 고정 장치(1)는 틸트 플레이트(20)와 함께 회전하는 포스비(100)의 걸림 돌기(110)가 5˚ 경사 상태에서 0˚ 수평 상태로 경사각 조절시 대략 3mm의 평면 투영 거리차(L3)가 발생하게 된다. In the present embodiment, the force ratio fixing device 1 has a planar projection distance of approximately 3 mm when the locking projection 110 of the force ratio 100 that rotates together with the tilt plate 20 is inclined angle adjusted from 5 ° inclination to 0 ° horizontal. The difference L3 is generated.

따라서, 고정 브래킷(40)에 의해 틸트 플레이트(20) 상에서 안착 고정된 의해 포스비(100)의 전방측에서 걸림 돌기(110)가 고정 플레이트의 클램프 돌기(55)의 측면을 가압함으로써, 포스비(100)를 0˚ 수평 상태로 고정하도록 한다. Therefore, the locking projection 110 presses the side surface of the clamping projection 55 of the fixing plate by pressing the side of the clamping projection 55 at the front side of the force ratio 100 by being seated and fixed on the tilt plate 20 by the fixing bracket 40. ) Should be fixed at 0˚ level.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 포스비 고정 장치의 틸팅 및 고정 과정을 도시한 측면도이다. 5 is a side view illustrating a tilting and fixing process of the force ratio fixing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 5의 a를 참조하여 설명하면, 웨이퍼들이 수용된 포스비(100)는 가동 실린더(30)에 의해 5˚경사지게 틸팅된 틸트 플레이트(20)의 상방으로 올려져 고정 브래킷(40)들에 의한 안착되도록 한다. Referring to FIG. 5A, the force ratio 100 in which the wafers are accommodated is raised above the tilt plate 20 tilted 5 ° by the movable cylinder 30 so as to be seated by the fixing brackets 40. do.

따라서, 포스비(100)의 이송 도중 개방 전면을 통해 웨이퍼들이 쏟아지는 것을 방지함과 아울러 포스비(100) 내부에 수용된 웨이퍼들의 반입 또는 반송 위치를 정렬시킬 수 있도록 한다.Therefore, it is possible to prevent the wafers from spilling through the open front surface during the conveyance of the force ratio 100 and to align the loading or conveying positions of the wafers accommodated in the force ratio 100.

그리고, 도 5의 b를 참조하여 설명하면, 포스비(100) 내부에 수용된 웨이퍼 들을 엔드 이펙터를 이용해 반출 또는 반입하고자, 가동 실린더(30)를 이용해 틸트 플레이트(20) 상에 올려진 포스비(100)를 0˚ 수평 상태로 회전시켜 경사각을 조절하게 되면, 포스비(100)의 바닥면에 형성된 가압 돌기(110)가 전술한 바와 평면 투영 거리차(L3)에 의해 고정 플레이트(50) 상에 형성된 클램프 돌기(55)의 클램프 경사면(55a)를 가압하며 결국, 포스비(100)의 수평 상태로 고정시키게 한다. Referring to FIG. 5B, the force ratio 100 mounted on the tilt plate 20 using the movable cylinder 30 to carry out or carry in the wafers accommodated in the force ratio 100 using an end effector. When the tilt angle is adjusted by rotating 0 ° horizontally, the clamping protrusion 110 formed on the bottom surface of the force ratio 100 is formed on the fixed plate 50 by the plane projection distance difference L3 as described above. The clamp inclined surface 55a of the protrusion 55 is pressed and eventually fixed to the horizontal state of the force ratio 100.

이처럼 본 실시예의 포스비 고정 장치(1)는 경사각을 이용해 포스비(100) 내에 수용된 웨이퍼들의 정렬하기 위한 틸팅 수단(30)를 이용하여, 포스비(100)를 클램핑 할 수 있도록 함으로써, 추가적인 포스비 클램핑 장치 없이 틸팅 수단(30)에 의한 경사각 조절에 의해 웨이퍼의 반송 및 반입시 포스비(100)를 수평 상태로 고정할 수 있도록 한다. As such, the force ratio fixing device 1 of the present embodiment can be clamped by using the tilting means 30 for aligning the wafers accommodated in the force ratio 100 using an inclination angle, thereby eliminating an additional force ratio clamping device. By adjusting the angle of inclination by the tilting means 30, the force ratio 100 can be fixed in a horizontal state during conveyance and loading of the wafer.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but many variations and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention. And it goes without saying that they belong to the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 포스비 고정 장치를 도시한 사시도이다. 1 is a perspective view showing a force ratio fixing device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에서 포스비가 분리된 상태를 도시한 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating a state in which the phosph ratio is separated from FIG. 1. FIG.

도 3은 도 1의 포스비 고정 장치의 평면도이다.3 is a plan view of the force ratio fixing device of FIG.

도 4는 포스비 고정 장치에 의한 포스비 클램핑 원리를 도시한 개략도이다.4 is a schematic diagram illustrating the principle of force ratio clamping by a force ratio fixture.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 포스비 고정 장치의 틸팅 및 고정 과정을 도시한 측면도이다. 5 is a side view illustrating a tilting and fixing process of the force ratio fixing apparatus according to an embodiment of the present invention.

<주요 도면 부호의 설명><Description of Main Reference Signs>

1: 포스비 고정 장치 10: 베이스 플레이트1: ForceBee Fixing Device 10: Base Plate

20: 틸트 플레이트 30: 틸팅 수단(가동 실린더)20: tilt plate 30: tilting means (moving cylinder)

40: 고정 브래킷 50: 고정 플레이트40: fixing bracket 50: fixing plate

55: 클램프 돌기 55a: 클램프 경사면55: clamp projection 55a: clamp slope

100: 포스비 110: 걸림 돌기100: POSBI 110: Hanging projection

Claims (6)

바닥면에 걸림 돌기가 형성되고 내부에 복수의 웨이퍼를 수용하기 위한 내부 수용 공간을 가지는 포스비(FOSB; Front Opening Shipping Box)를 클램핑하기 위한 포스비 고정 장치에 있어서, In the force ratio fixing device for clamping a front opening shipping box (FOSB) having a locking projection formed on the bottom surface and having an interior accommodation space for accommodating a plurality of wafers therein, 베이스 플레이트;Base plate; 상기 베이스 플레이트 상에서 후방측이 회전 가능하게 힌지 고정되는 틸트 플레이트; A tilt plate having a rear side rotatably hinged on the base plate; 상기 틸트 플레이트를 상기 힌지를 중심으로 회전시켜 상기 틸트 플레이트가 상기 베이스 플레이트와 이루는 경사각을 조절하는 틸팅 수단;Tilting means for rotating the tilt plate about the hinge to adjust an inclination angle between the tilt plate and the base plate; 상기 틸트 플레이트의 가장자리를 따라 설치되며, 상기 틸트 플레이트 상측에 올려지는 상기 포스비 측면을 고정하는 하나 이상의 고정 브래킷; 및At least one fixing bracket installed along an edge of the tilt plate and fixing the phosby side mounted on the tilt plate; And 상기 베이스 플레이트 상에서 상기 틸트 플레이트의 전방측에 고정 설치되며, 상기 포스비가 상기 틸트 플레이트와 함께 회전시 상기 걸림 돌기가 이루는 평면 투영 거리 차에 의해 상기 걸림 돌기가 측면을 가압 또는 해지하도록 클램프 돌기가 돌출 형성되는 고정 플레이트를 포함하는 포스비 고정 장치.It is fixed to the front side of the tilt plate on the base plate, the clamp projection protrudes so that the locking projection presses or releases the side by the difference in the plane projection distance formed by the locking projection when the force ratio rotates with the tilt plate Force ratio fixing device comprising a fixing plate formed. 제1항에서,In claim 1, 상기 틸트 플레이트는,The tilt plate, 상기 힌지에 의해 회전 가능하게 고정되는 고정부; 및A fixing part rotatably fixed by the hinge; And 상기 고정부의 폭 방향으로 사이에 간격을 두고 전방으로 연장 형성되는 연장부를 포함하는 포스비 고정 장치.And a prolongation portion extending forwardly with an interval therebetween in the width direction of the fixing portion. 제2항에서,In claim 2, 상기 고정 브래킷은,The fixing bracket, 상기 틸트 플레이트의 상기 고정부에 설치되어, 상기 포스비의 후측면 하부를 고정하는 제1 고정 브래킷;A first fixing bracket installed on the fixing part of the tilt plate to fix a lower rear surface of the force ratio; 상기 틸트 플레이트의 상기 연장부에 설치되어, 상기 포스비의 양측면을 각각 가압 고정하는 제2 고정 브래킷; 및Second fixing brackets installed on the extension part of the tilt plate to press fix both sides of the force ratio; And 상기 틸트 플레이트의 연장부의 전단부에 각각 설치되어, 상기 포스비의 양측 전면을 각각 가압 고정하는 제3 고정 브래킷을 포함하는 포스비 고정 장치. And a third fixing bracket which is respectively provided at the front end of the extension part of the tilt plate and press-fixes both front surfaces of the force ratio. 제2항에서,In claim 2, 상기 틸팅 수단은,The tilting means, 상기 틸트 플레이트의 연장부와 상기 베이스 플레이트를 연결하는 가동 실린더인 것을 포함하는 포스비 고정 장치.And a movable cylinder connecting the extension part of the tilt plate and the base plate. 제1항에서, In claim 1, 상기 클램프 돌기는 양측이 경사지게 모따기된 클램프 경사면 가지고 사다리꼴의 평단면 형상으로 이루어지며, The clamp protrusion is made of a trapezoidal flat cross-sectional shape having a clamp inclined surface in which both sides are inclined chamfered, 상기 걸림 돌기는 상기 클램프 경사면에 대응되게 형성되는 포스비 고정 장치. The locking projection is formed to correspond to the clamp inclined surface. 제1항에서, In claim 1, 상기 틸트 플레이트의 틸팅 각도는 수평면을 기준으로 O˚ 내지 5˚범위 이내인 것을 포함하는 포스비 고정 장치. The tilting angle of the tilt plate is a force ratio fixing device comprising a range of 0 ° to 5 ° relative to the horizontal plane.
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