JP3238922B2 - Handler aligner lifting device - Google Patents

Handler aligner lifting device

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JP3238922B2
JP3238922B2 JP2000100905A JP2000100905A JP3238922B2 JP 3238922 B2 JP3238922 B2 JP 3238922B2 JP 2000100905 A JP2000100905 A JP 2000100905A JP 2000100905 A JP2000100905 A JP 2000100905A JP 3238922 B2 JP3238922 B2 JP 3238922B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ハンドラーのアラ
イナ上昇装置に係るもので、詳しくは、デバイスの性能
をテストするためにテストサイトへのデバイスをローデ
ィングするか又はアンローディングするとき、エクスチ
ェンジャーのアライナを駆動モーターを用いて上昇させ
た後、テストトレイのキャリアモジュールにデバイスの
撓み(bent)が発生しないように正確に収容することが
できるハンドラーのアライナ上昇装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an aligner raising device for a handler, and more particularly, to a device for loading or unloading a device to a test site to test the performance of the device. The present invention relates to an aligner elevating device for a handler, which can accurately accommodate a device in a carrier module of a test tray after a raise of the aligner using a drive motor so that a bent of the device does not occur.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、生産の完了されたデバイスは、
水平又は垂直式ハンドラーのエレベーターにより順次移
送され、テストトレイに設置された多数のキャリアにテ
ストのために順次積載される。
2. Description of the Related Art In general, devices that have been completely manufactured are:
It is sequentially transferred by a horizontal or vertical handler elevator, and is sequentially loaded on a number of carriers installed in a test tray for testing.

【0003】テストトレイに順次積載されたデバイス
は、性能をテストするため所定温度以上でセッティング
されたヒーティングチャンバに供給されて高温で加熱さ
れ、テストサイトでテスト部と電気的に接触されて、デ
バイスの性能がテストされるようになる。
The devices sequentially loaded on the test tray are supplied to a heating chamber set at a predetermined temperature or higher to be tested for performance, heated at a high temperature, and electrically contacted with a test unit at a test site. The performance of the device will be tested.

【0004】このような工程に従ってテスト部でテスト
されたデバイスは、テストの結果に応じて等級別に分類
され、その分類されたデバイスをそれぞれの等級別にテ
ストトレイに入れ、テスタによるエラー有無に従い再び
良品と不良品に区分されて、このようなデバイスのうち
良品は出荷され、不良品は廃棄される。このとき、前記
ローディング部のエレベーターから供給されるデバイス
は、テストトレイに入れて上昇され、前記エレベーター
の最高高さにトレイが位置すると、トレイトランスファ
ーが上部に移動してトレイを取ってそれぞれのローディ
ングに位置させる。
The devices tested by the test unit according to the above process are classified into grades according to the test results, and the classified devices are put into test trays according to the grades, and are returned to a non-defective product according to the presence or absence of an error by the tester. Good devices are shipped, and defective devices are discarded. At this time, the device supplied from the elevator of the loading unit is placed in a test tray and raised, and when the tray is positioned at the highest height of the elevator, the tray transfer moves upward to take the tray and load each of the trays. Position.

【0005】一方、前記トレイトランスファにより移動
されたトレイに入れたそれぞれのデバイスは、ピッカー
(picker)により吸着されてヒーティングチャンバに移
動され、その移動中にデバイスの整列がなされる。
On the other hand, each device put in the tray moved by the tray transfer is sucked by a picker and moved to a heating chamber, and the devices are aligned during the movement.

【0006】前記デバイスを整列するためには、ピッカ
ーがそれぞれのデバイスを吸着した後、各バッファ(bu
ffer)に積載し、デバイスの積載がなされた後にピッカ
ーによりそれぞれのデバイスが吸着されてエクスチェン
ジャ(exchanger)に供給される。前記エクスチェンジ
ャにはピッカーにより移動されたデバイスを正確な位置
に載せるためのアライナが具備され、前記アライナの上
昇動作によりデバイスの位置セッティングがなされる。
In order to align the devices, each buffer (bubble) is picked up by a picker after sucking each device.
After the devices are loaded, each device is sucked by a picker and supplied to an exchanger. The exchanger is provided with an aligner for placing the device moved by the picker at an accurate position, and the position of the device is set by the raising operation of the aligner.

【0007】上記のようなアライナの上昇動作は、テス
トトレイにデバイスを安定且つ正確に入れるための二つ
の動作により行われる。1番目にエクスチェンジャのボ
ディが上昇するロングアップ(long-up)動作と前記エ
クスチェンジャのアライナが上昇してデバイスを正確に
安着させるショートアップ(short-up)動作との二つの
動作により行われる。
[0007] The raising operation of the aligner as described above is performed by two operations for stably and accurately putting the device into the test tray. First, there are two operations: a long-up operation in which the body of the exchanger rises, and a short-up operation in which the aligner of the exchanger rises to accurately seat the device. Will be

【0008】前記アライナのロングアップ動作とショー
トアップ動作は、エクスチェンジャにそれぞれ設置され
た二つのシリンダにより上昇運動をする。即ち、エクス
チェンジャの両側に設置された二つのシリンダによりエ
クスチェンジャのボディが一定したストローク(strok
e)に移動して所定の位置に至るように上昇された後、
再び二つのシリンダによりアライナが2次上昇して前記
アライナの上部に安着されたデバイスがテストトレイに
正確に積載されるようになされる。
[0008] The long-up operation and the short-up operation of the aligner are performed by two cylinders installed in the exchanger, respectively. That is, the two cylinders installed on both sides of the exchanger change the body of the exchanger to a constant stroke (strok
e) After moving up to the predetermined position by moving to
Again, the two cylinders raise the aligner secondarily so that devices seated on top of the aligner can be accurately loaded on the test tray.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】然るに、前記シリンダ
によるロングアップ及びショートアップの動作の時に騒
音が大きく、デバイスの撓みが発生するという問題点が
ある。又、二つのシリンダを設置して動作させる場合
は、シリンダのストロークに依存するため、デバイスを
積載するショートアップ動作の時にデバイスの離脱又は
破損などが発生してデバイスのエラー率が高くなるとい
う問題点がある。
However, there is a problem that a loud noise is generated at the time of the long-up operation and the short-up operation by the cylinder and the device is bent. In addition, when two cylinders are installed and operated, the device depends on the stroke of the cylinders, so that the device is detached or damaged during a short-up operation of loading the devices, thereby increasing the error rate of the devices. There is a point.

【0010】本発明の目的は、デバイスの積載の際に離
脱と破損を防止し、エクスチェンジャのサイズを小型化
できるハンドラーのアライナ上昇装置を提供するにあ
る。
It is an object of the present invention to provide a handler aligner elevating device which can prevent detachment and breakage during loading of devices and can reduce the size of the exchanger.

【0011】本発明の他の目的は、アライナのロングア
ップ及びショートアップ動作を正確且つ迅速に行われる
ようにして、デバイスの性能テスト作業を速くし、生産
性を向上させることができるハンドラーのアライナ上昇
装置を提供するにある。
Another object of the present invention is to provide a handler aligner which can perform a long and short-up operation of an aligner accurately and quickly, thereby speeding up a performance test operation of a device and improving productivity. To provide a lifting device.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明に係るハンドラー
のアライナ上昇装置は、ベースプレートと、ベースプレ
ートの上部に設置される下部固定ブロックと、下部固定
ブロックの両側部に設置され、直線運動(Linear Motio
n)ガイドを有するサポートプレートと、サポートプレ
ートと下部固定ブロックとの間に設置される側面固定プ
レートと、側面固定プレートの上下部に固定手段により
固定されるガイドピンに挿入されて設置される弾性手段
と、上下部アライナブロックを有するアライナと、アラ
イナの下部に設置され、デバイスを取るための複数個の
吸着手段と、アライナを上昇させるための駆動手段と、
から構成される。
According to the present invention, an aligner raising device for a handler according to the present invention includes a base plate, a lower fixed block installed on an upper portion of the base plate, and linear movements (linear motors) installed on both sides of the lower fixed block.
n) A support plate having a guide, a side fixing plate installed between the support plate and the lower fixing block, and an elasticity inserted and installed on a guide pin fixed by fixing means on the upper and lower portions of the side fixing plate. Means, an aligner having an upper and lower aligner block, a plurality of suction means installed at a lower portion of the aligner, for taking a device, and a driving means for raising the aligner,
Consists of

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付した図面を用いて詳しく説明する。図1に示すよ
うに、エクスチェンジャ(exchanger)102のベース
プレート10の上部には下部固定ブロック58が固定さ
れ、前記下部固定ブロック58の両側には直線運動ガイ
ド60を具備したサポートプレート14が垂直に設置さ
れる。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. As shown in FIG. 1, a lower fixing block 58 is fixed to an upper portion of a base plate 10 of an exchanger 102, and a support plate 14 having a linear motion guide 60 is vertically disposed on both sides of the lower fixing block 58. Will be installed.

【0014】側面固定プレート12は、下部固定ブロッ
ク58とサポートプレート14との間の左右側部にそれ
ぞれ設置され、前記直線運動ガイド60に沿って上下部
に移動可能なのである。前記側面固定プレート12の一
側にはスプリング52が挿設されてガイドピン20によ
り固定される。前記スプリング52は所定の強性を有し
て固定プレート12を一体に動くように構成される。
The side fixing plates 12 are respectively installed on the left and right sides between the lower fixing block 58 and the support plate 14, and can move up and down along the linear motion guide 60. A spring 52 is inserted into one side of the side fixing plate 12 and fixed by the guide pin 20. The spring 52 is configured to move the fixed plate 12 integrally with a predetermined strength.

【0015】前記下部固定ブロック58には、図1及び
図2に示すように、所定の間隔を置いて1対のガイドピ
ン18が固定され、その上部側には1対の支持台36が
設置される。
As shown in FIGS. 1 and 2, a pair of guide pins 18 are fixed to the lower fixing block 58 at a predetermined interval, and a pair of support bases 36 are installed on the upper side thereof. Is done.

【0016】前記側面固定プレート12の上部には下部
アライナブロック42と上部アライナブロック48を有
するアライナ44が設置される。前記アライナ44の左
右両端は貫通孔49内に挿設される調整ピン50により
側面固定プレート12に固定される。上部アライナブロ
ック48は固定手段46により下部アライナブロック4
2に固定される。又、上部アライナブロック48は複数
個の位置確認ピン(図示せず)を備える。
An aligner 44 having a lower aligner block 42 and an upper aligner block 48 is installed above the side fixing plate 12. The left and right ends of the aligner 44 are fixed to the side fixing plate 12 by adjusting pins 50 inserted into the through holes 49. The upper aligner block 48 is fixed to the lower aligner block 4 by the fixing means 46.
Fixed to 2. Further, the upper aligner block 48 includes a plurality of position confirmation pins (not shown).

【0017】前記下部アライナブロック42には、図3
に示すように、所定のエアー孔56が形成され、前記エ
アー孔56に連通され電子部品(図示せず)を吸着する
ための吸着手段104が設置される。前記吸着手段10
4は、下部アライナブロック42に設置されたシリンダ
58と前記シリンダ58に連通されたエアー孔56の上
部に設置されたノズル54と、からなる。前記ノズル5
4の内部にはエアー孔56が形成され、前記ノズル54
の上部にはマイクロBGA(μ−BGA)ブロック(図
示せず)の下部面と接する部分にOリング18が嵌合さ
れて設置される。
The lower aligner block 42 has a structure shown in FIG.
As shown in FIG. 5, a predetermined air hole 56 is formed, and a suction means 104 communicating with the air hole 56 and sucking an electronic component (not shown) is provided. The adsorption means 10
4 includes a cylinder 58 installed in the lower aligner block 42 and a nozzle 54 installed above an air hole 56 connected to the cylinder 58. The nozzle 5
4 has an air hole 56 formed therein.
An O-ring 18 is fitted and installed on a portion in contact with a lower surface of a micro BGA (μ-BGA) block (not shown).

【0018】よって、テストトレイ100に位置した
後、アライナ44が上昇運動をしながらマイクロBGA
(図示せず)の下面に接して前記マイクロBGA素子を
押すことにより、テストトレイ100に入れるようにな
る。前記ノズル54はマイクロBGAに安着された素子
をマイクロBGAの下部で真空で吸着して離脱しないよ
うに安定に固定すると共に、エアー孔56に通している
エアー圧力の強弱で素子の有無を判断する。
Therefore, after being positioned on the test tray 100, the aligner 44 moves upward while the micro BGA
By pressing the micro BGA element in contact with the lower surface (not shown), the micro BGA element is put into the test tray 100. The nozzle 54 stably fixes the element seated on the micro BGA so that it does not come off by being sucked under the micro BGA under vacuum, and determines the presence or absence of the element based on the strength of the air pressure passing through the air hole 56. I do.

【0019】そして、前記アライナ44を上昇させるた
めの駆動手段は、シリンダ58とベースプレート10と
の間に設置される。即ち、駆動モーター22がベースプ
レート10の上部に垂直に設置され、前記ベースプレー
ト10の下部に突出した駆動モーター22の下端部に第
1プーリ24が設置される。
A driving means for raising the aligner 44 is provided between the cylinder 58 and the base plate 10. That is, the driving motor 22 is installed vertically above the base plate 10, and the first pulley 24 is installed at the lower end of the driving motor 22 protruding below the base plate 10.

【0020】前記駆動モーター22の右側上部には所定
の距離を置いてボールスクリュー34が上下部ボールス
クリューナット32,30に挿合される。前記ボールス
クリュー34の下端部には第2プーリ26が設置され
る。前記駆動モーター22の第1プーリ24には図1及
び図2に示したように、ベルト28が掛かり、前記第2
プーリ26にはベルト28の他方が巻取られて、駆動モ
ーター22の回転を受けた第1プーリ24により回転力
をボールスクリュー34に伝達するように設置される。
そして、図1において符号100はテストトレイであ
る。
A ball screw 34 is inserted into upper and lower ball screw nuts 32 and 30 at a predetermined distance on the upper right side of the drive motor 22. A second pulley 26 is provided at a lower end of the ball screw 34. As shown in FIGS. 1 and 2, a belt 28 hangs on the first pulley 24 of the drive motor 22,
The other side of the belt 28 is wound around the pulley 26, and is installed so that the rotation force is transmitted to the ball screw 34 by the first pulley 24 that has been rotated by the drive motor 22.
In FIG. 1, reference numeral 100 denotes a test tray.

【0021】上記のように構成された本発明は、一つの
駆動モーター22を用いてベースプレート10の上部に
設置された側面固定プレート12とアライナ44を一定
距離だけ上昇させるロングアップ動作をすることができ
る。即ち、駆動モーター22が動作して第1プーリ24
を回転させると、第1プーリ24に巻き取られたベルト
28を経て第2プーリ26に伝達されると同時にボール
スクリュー34に回転力が伝達される。
According to the present invention constructed as described above, a single drive motor 22 can be used to perform a long-up operation in which the side fixing plate 12 and the aligner 44 installed above the base plate 10 are raised by a certain distance. it can. That is, the drive motor 22 operates and the first pulley 24
Is rotated, the torque is transmitted to the second pulley 26 via the belt 28 wound around the first pulley 24, and the rotational force is simultaneously transmitted to the ball screw 34.

【0022】前記ボールスクリュー34が回転すると、
下部固定ブロック58と側面固定プレート12を一体に
固定させている前記スプリング52、支持台36及びア
ライナ44を同時に上昇させる(ロングアップ)。
When the ball screw 34 rotates,
The spring 52, the support base 36, and the aligner 44, which integrally fix the lower fixing block 58 and the side fixing plate 12, are simultaneously raised (long-up).

【0023】前記アライナ44が継続して上昇して所定
距離以上に至ると、スプリング52の強性により固定さ
れた下部固定ブロック58と側面固定プレート12がア
ライナ44を押し上げる途中に止まるようになる。同時
に、側面固定プレート12が前記スプリング52を徐々
に弾力的に圧縮しながらアライナ44だけを上昇させる
(short-up)。
When the aligner 44 is continuously moved up to a predetermined distance or more, the lower fixing block 58 fixed by the strength of the spring 52 and the side fixing plate 12 stop while pushing up the aligner 44. At the same time, only the aligner 44 is raised while the side fixing plate 12 gradually and elastically compresses the spring 52 (short-up).

【0024】前記ショートアップ動作の際にはアライナ
44の両側部に固定された固定ピン50が固定ピン孔
に正確に挿入されると共に、前記アライナ44に設置
されたノズル54(図3を参照)がデバイスの有無を確
認して吸着し、デバイスの揺れと撓みを防止する。
[0024] A fixing pin 50 fixed to both side portions fixing pin hole 4 of the aligner 44 during the short-up operation
9 , the nozzle 54 (see FIG. 3) installed in the aligner 44 confirms the presence or absence of the device and sucks it, thereby preventing the device from shaking and bending.

【0025】このように構成されたアライナ上昇装置は
非常に小型であり、デバイスの揺れと撓みを防止すると
共に、ショートアップの動作の際に騒音を防止できる。
The aligner elevating device thus configured is very small, and can prevent the device from shaking and bending, and can also prevent noise during short-up operation.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るアライ
ナの上昇装置は、多数のシリンダを使用せずに駆動モー
ターを利用することにより、装備を小型化し、デバイス
の揺れと撓みを防止してショートアップの動作の時に騒
音を防止できるという効果がある。
As described above, the aligner lifting device according to the present invention uses a drive motor without using a large number of cylinders, thereby reducing the size of equipment and preventing the device from swaying and bending. There is an effect that noise can be prevented during a short-up operation.

【0027】又、本発明に係るアライナのノズル構造
は、素子の破損を防止し、素子の有無を容易に判断する
ことにより、テスト作業を迅速且つ正確にすることがで
きるという効果がある。
Further, the nozzle structure of the aligner according to the present invention has an effect that the test operation can be performed quickly and accurately by preventing breakage of the element and easily determining the presence or absence of the element.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の好ましい実施形態に係るアライナの上
昇装置を示した正面図である。
FIG. 1 is a front view showing an aligner lifting device according to a preferred embodiment of the present invention.

【図2】図1の一部を切開した断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view in which a part of FIG. 1 is cut away.

【図3】本発明の好ましい実施形態に係るアライナの上
昇装置の部分拡大図である。
FIG. 3 is a partially enlarged view of an aligner elevating device according to a preferred embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10:ベースプレート 12:側面固定プレート 14:サポートプレート 16:第2プレート 18:ガイドピン 20:固定手段 22:駆動モーター 24:第1プーリ 26:第2プーリ 28:ベルト 30,32:ボールスクリューナット 34:ボールスクリュー 44:アライナ 54:ノズル 58:シリンダ 100:テストトレイ 10: Base plate 12: Side fixing plate 14: Support plate 16: Second plate 18: Guide pin 20: Fixing means 22: Drive motor 24: First pulley 26: Second pulley 28: Belt 30, 32: Ball screw nut 34 : Ball screw 44: Aligner 54: Nozzle 58: Cylinder 100: Test tray

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/26 G01R 31/28 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01R 31/26 G01R 31/28

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 デバイスをテストトレイにローディング
/アンローディングさせるためのハンドラーのエクスチ
ェンジャにおいて、 ベースプレートと、 前記ベースプレートの上部に設置される下部固定ブロッ
クと、 前記下部固定ブロックの両側部には垂直に設置され、直
線運動ガイドを有するサポートプレートと、前記直線運動ガイドに沿って所定の方向に移動させるた
めに前記下部固定ブロックとサポートプレートとの間に
設置され、スプリングが挿設されたガイドピンを有する
一対の側面固定プレートと、 上下部アライナブロックを有するアライナと、 前記アライナの下部に設置され、デバイスを取るための
複数個の吸着手段と、前記アライナを上昇させるための
駆動手段と、から構成され、 前記アライナは、駆動手段が動作するときに、ボールス
クリューが回転し、前記下部固定ブロックと側面固定プ
レートを一体に固定している支持台と共に上昇され、一
定の距離ほど上昇されて後所定の位置に到達すると、ア
ライナだけを上昇させるためにスプリングが弾性圧縮さ
れる ことを特徴とするハンドラーのアライナ上昇装置。
1. A handler for causing loading / unloading device on the test tray Ekusuchi
In changer, a base plate, a lower fixed block that is placed on top of the base plate, is placed vertically on opposite sides of the lower fixed block, and the support plate having a linear motion guide, along the linear motion guide predetermined In the direction of
Between the lower fixed block and the support plate
Installed and has guide pins with springs inserted
A pair of side fixed plates, and aligner having upper and lower aligner block is installed in the lower portion of the aligner is configured with a plurality of suction means for taking device, from a driving means for raising said aligner , The aligner, when the drive means operates,
The screw rotates and the lower fixing block and side fixing
It is raised together with the support that fixes the rate
When it reaches the specified position after being raised by the specified distance,
The spring is elastically compressed to raise the liner only
Aligner increases device handler characterized in that it is.
【請求項2】 前記吸着手段は下部アライナブロックに
設置され、エアー孔が形成されたシリンダーと、前記シ
リンダーのエアー孔に連結されたノズルと、前記ノズル
の上部に設置されてマイクロBGAブロックを支持する
ためのOリングと、を具備することを特徴とする請求項
1に記載のハンドラーのアライナ上昇装置。
2. The suction device according to claim 1, wherein the suction means is provided on a lower aligner block.
Is installed, the cylinder air holes are formed, said sheet
A nozzle connected to the air hole of the cylinder, and the nozzle
The aligner raising device of claim 1, further comprising: an O-ring installed on an upper portion of the OPC to support the micro BGA block.
【請求項3】 前記駆動手段は、ベースプレートに設置
された駆動モーターと、前記駆動モーターに連結される
第1プーリと、前記駆動モーターに対応して設置されボ
ールスクリューナットにより回転されるように設置され
るボールスクリューと、前記ボールスクリューの下端部
に設置される第2プーリと、その一方が第1プーリに嵌
合されその他方が第2プーリに嵌合されてボールスクリ
ューを回転させるように設置されたベルトと、から構成
されることを特徴とする請求項1に記載のハンドラーの
アライナ上昇装置。
3. The driving means includes: a driving motor installed on a base plate; a first pulley connected to the driving motor; and a driving motor installed corresponding to the driving motor and rotated by a ball screw nut. And a second pulley installed at the lower end of the ball screw, one of which is fitted to the first pulley and the other is fitted to the second pulley and installed to rotate the ball screw. The aligner elevating device for a handler according to claim 1, further comprising: a belt provided.
JP2000100905A 1999-04-01 2000-04-03 Handler aligner lifting device Expired - Fee Related JP3238922B2 (en)

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KR10-1999-0011404A KR100502055B1 (en) 1999-04-01 1999-04-01 Nozzle Apparatus of MICRO-BGA Block for Handler
KR1019990011405A KR100317820B1 (en) 1999-04-01 1999-04-01 MICRO-BGA Block for Handler
KR1019990017985A KR100316805B1 (en) 1999-05-19 1999-05-19 Aligner Elevating System of Handler
KR1999-11404 1999-05-19
KR1999-17985 1999-05-19
KR1999-11405 1999-05-19

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JP2000321328A JP2000321328A (en) 2000-11-24
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