JP4043423B2 - 現像装置及び現像方法 - Google Patents
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基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板の表面に対向して設けられ、基板と同じか又は基板よりも僅かに大きい液流規制板と、
この液流規制板と基板との隙間に互いの表面が対向するように設けられ、基板と同じか又は基板よりも大きい液受け板と、
前記液流規制板の表面の一端縁に設けられた供給口から液流規制板と液受け板との間の隙間に現像液を供給する現像液供給部と、
前記液受け板の表面が前記供給口の下方を通過するように液受け板を横に引き抜く駆動機構と、を備え、
前記液受け板を引き抜いてその表面上の現像液を基板の表面に落としていくことを特徴とする。
基板保持部に基板を水平に保持させる工程と、
この基板の表面に対向して上下に並ぶ液流規制板と液受け板との隙間に現像液を満たす工程と、
この液受け板を横に引き抜いて表面上の現像液を基板の表面に落としていく工程と、を含むことを特徴とする。
液流規制板と液受け板との隙間に現像液を満たす工程は、前記供給口に現像液タンク側から加圧及び負圧のいずれもが加わっていない状態とすることにより、当該供給口から毛細管現象により液流規制板と液受け板との隙間に現像液を供給する工程であってもよい。また液受け板上の現像液を基板の表面に落としていく工程は、液流規制板と液受け板との隙間に現像液を供給する工程を含むようにしてもよく、この場合、液受け板上の現像液を基板の表面に落としていく工程は、液流規制板と基板との間に現像液を満たしていく工程であってもよい。更に液受け板を引き抜くときに供給される現像液の供給圧は、液受け板上の現像液が基板上に落とされるが、基板上の現像液がこぼれ落ちない程度の大きさであってもよい。
31 堰部
4 液受け板
41 案内板
5 現像液供給口
52 現像液タンク
6 遮蔽板
7 リンス液ノズル
8 乾燥気体ノズル
Claims (13)
- 表面にレジストが塗布され露光処理がされた基板を現像する現像装置において、
基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板の表面に対向して設けられ、基板と同じか又は基板よりも僅かに大きい液流規制板と、
この液流規制板と基板との隙間に互いの表面が対向するように設けられ、基板と同じか又は基板よりも大きい液受け板と、
前記液流規制板の表面の一端縁に設けられた供給口から液流規制板と液受け板との間の隙間に現像液を供給する現像液供給部と、
前記液受け板の表面が前記供給口の下方を通過するように液受け板を横に引き抜く駆動機構と、を備え、
前記液受け板を引き抜いてその表面上の現像液を基板の表面に落としていくことを特徴とする現像装置。 - 前記現像液供給部の供給口は配管を介して現像液タンクに接続され、前記供給口には現像液タンク側から加圧及び負圧のいずれもが加わっていない状態とすることにより、液流規制板と液受け板との間に、前記供給口から毛細管現象により現像液が供給されるように構成したことを特徴とする請求項1記載の現像装置。
- 液受け板上の現像液を基板上に落としていくときには、供給口から現像液が液流規制板と液受け板との間に供給されることを特徴とする請求項1又は2記載の現像装置。
- 液受け板を引く抜くことにより基板と液流規制板との隙間に現像液が満たされることを特徴とする請求項3記載の現像装置。
- 供給口における現像液の吐出圧は、液受け板を引き抜くときに当該液受け板上の現像液が基板上に落とされるが、基板上の現像液がこぼれ落ちない程度の大きさであることを特徴とする請求項3又は4記載の現像装置。
- 液流規制板の周縁の一端縁は外側への現像液の流れを規制する下方に伸びる堰部が設けられたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の現像装置。
- 基板の表面上を通過する液受け板の縁部には、外方下方側に傾斜した案内板が設けられたことを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の現像装置。
- 液流規制板に対する現像液の親水性は、液受け板に対する現像液の親水性よりも大きいことを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の現像装置。
- 表面にレジストが塗布され露光処理がされた基板に現像液を供給して現像する現像方法において、
基板保持部に基板を水平に保持させる工程と、
この基板の表面に対向して上下に並ぶ液流規制板と液受け板との隙間に現像液を満たす工程と、
この液受け板を横に引き抜いて表面上の現像液を基板の表面に落としていく工程と、を含むことを特徴とする現像方法。 - 前記現像液供給部の供給口は配管を介して現像液タンクに接続され、
液流規制板と液受け板との隙間に現像液を満たす工程は、前記供給口に現像液タンク側から加圧及び負圧のいずれもが加わっていない状態とすることにより、当該供給口から毛細管現象により液流規制板と液受け板との隙間に現像液を供給する工程であることを特徴とする請求項9記載の現像方法。 - 液受け板上の現像液を基板の表面に落としていく工程は、液流規制板と液受け板との隙間に現像液を供給する工程を含むことを特徴とする請求項9又は10記載の現像方法。
- 液受け板上の現像液を基板の表面に落としていく工程は、液流規制板と基板との間に現像液を満たしていく工程であることを特徴とする請求項11記載の現像方法。
- 液受け板を引き抜くときに供給される現像液の供給圧は、液受け板上の現像液が基板上に落とされるが、基板上の現像液がこぼれ落ちない程度の大きさであることを特徴とする請求項11又は12記載の現像方法。
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