JP4033649B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、透視装置、撮影装置、CT装置、マルチスライスCT装置を含むコーンビームCT装置、等のX線検査装置および検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
2次元X線検出器を用いてX線像の計測を行なう周知の装置として、透視装置、撮影装置、X線源と2次元X線検出器を被検体の周りに回転させながら回転撮影を行なう、マルチスライスCT装置を含むコーンビームCT装置がある。
【0003】
これらの装置に使用される2次元X線検出器として、X線イメージインテンシファイア(以下、XIIと略記する)とテレビカメラを光学系を介して組み合わせたXII−カメラ型X線検出器(例えば、「特開平10−192267号公報」(従来技術1))、平面型X線検出器(例えば、「フラットパネル・ディテクタの動向」(稲邑清也、映像情報、vol.31(4)、pp.125−130、1999年(従来技術2))、等がある。平面型X線検出器の例として、アモルファスシリコンフォトダイオード(aSiPHD)とTFTの対を正方マトリックス状に配置し、蛍光板を使用する例、アモルファスシリコン(aSi)TFT上にアモルファスセレン(aSe)半導体を配置した例がある。螺旋スキャンを行なう1次元X線検出器を使用するCT装置、及びコーンビームCT装置も周知である。
【0004】
CT装置及びコーンビームCT装置では、複数の方向から得られた複数のデータのそれぞれに対して補正処理を施し、3次元再構成処理を実行し3次元像を得る3次元再構成アルゴリズムは周知である。コーンビームCTの再構成アルゴリズムは、「3次元イメージング」(斎藤恒雄、Medical Imaging Technology, vol.13(3), pp.183-188, 1995 (従来技術3))に記載されている。特に、フェルドカンプ法は、「Practical cone beam algorithm」(L. A. Feldkamp, Journal of Optical Society of America, vol.1(6), pp.612-619, 1984 (従来技術4))に記載されている。
【0005】
CT装置及びコーンビームCT装置では、3次元再構成像に対してボリュームレンダリング処理やサーフェスレンダリング処理を実行し、3次元情報が含まれた2次元像を作成し診断に用いる。(「ボリュームレンダリングの解剖学への応用」(鈴木雅隆、Medical Imaging Technology, vol.13(3), pp.195-201, 1995 (従来技術5))に記載されている。
【0006】
透視装置、撮影装置により計測された画像、CT装置、コーンビームCT装置により計測された再構成画像の画質を向上させるための種々の補正処理方法がある。従来技術1では、検出器のオフセットの補正処理、感度の不均一性の補正処理、幾何学的な歪の補正処理、飽和(ハレーション)の補正処理、拡散光成分の補正処理、散乱X線成分の補正処理、検出器の有効視野から被写体のはみ出しの補正処理等がなされている。また、従来技術1では、直前に計測された画像から次に計測されるであろう画像を推定し、推定された画像の値に従って次の計測条件を最適化する計測条件の制御がなされている。
【0007】
X線画像を捕獲するフラットパネル・ディテクタ(FPD)に特有の残像消去特性を撮影条件に応じて予め記憶しておき、その残像消去特性を用いて、残像レベルを画素単位で予測し、連続撮影による各画像から残像レベルの予測値を差し引きした画素値をメモリに記憶し、液晶ディプレイやレーザイメージャーに出力する方法が報告されている(「特開2000−175892号公報」(従来技術6))。
【0008】
X線間の左右の焦点から交互にX線を被検体にばく射して、被検体のステレオ透視を行なう画像処理方法及び装置が報告されている(「特開平08−130752号公報」(従来技術7))。従来技術7では、右側の画像のデジタル信号R(又は左側の画像のデジタル信号L)に所定の係数Kを乗じて、K・R(又はK・L)を求め、1つ前の右側処理画像RM及び1つ前の左側処理画像LMに所定の係数(1−K)を乗じて、RM(1−K)(又は、LM(1−K))を求め、加算信号K・R+RM(1−K)(又は、K・L+LM(1−K)を求め、1回前のばく射による同じ焦点側の画像と今回得られた画像とを重畳して、ノイズを低減している。従来技術7では、次に、加算信号K・R+RM(1−K)(又は、K・L+LM(1−K)から、1回前のばく射による画像信号RM(又はLM)に、所定の係数aを乗じた信号を減算し、K・R+RM(1−K)−aLM(又は、K・L+LM(1−K)−aRM)を求めて、1回前のばく射による画像に起因する残像を除去している。
【0009】
固体撮像素子で発生する残像を信号処理で除去する残像除去方法が報告されている(「特開平05−153503号公報」(従来技術8))。従来技術8では、現フィールドの信号をSn-1フィールド前の信号をSn-1、Sn-1に依存する残像係数をα(Sn-1)、入射光量に比例する信号をXnとする時、残像が除去された信号Xnは、(式1)により与えられる。また、ホワイトバランス補正を行なった信号Sn’を(式2)により得ている。
Xn =Sn−α(Sn-1)・Sn-1 …(式1)
Sn’=Xn+α(Sn)・Sn …(式2)
即ち、従来技術8では、1フィールド前の信号に信号の大きさに依存する残像係数を乗じた量を現フィールドの信号から差し引くことにより残像を除去した信号を得る。更に、ホワイトバランスをとるために現フィールドの信号に残像係数を乗じた値を加算している。
【0010】
(式1)と同じ残像低減の処理を行なう画像表示装置が報告されている(「特許第02752085号」(従来技術9))。従来技術9では、A/D変換されたX線画像出力をフレーム毎に交互に記憶する第1、第2のフレームメモリを介したフレーム画像に対し残像除去係数を乗じたものを加算することにより、カメラによりフレーム毎に連続収集されたX線画像出力から、カメラの残像が除去される。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
以下の説明では、透視装置、撮影装置により計測された画像、又は、CT装置、コーンビームCT装置により計測された再構成画像を、単に画像という。
【0012】
従来技術1では、画像の画質の向上のために画像の計測条件の制御がなされるため、画像の計測条件は画像毎に異なり、同じ検査対象の場合でも、画像の画素値が画像毎に異なるという問題があった。また、従来技術1では、画像の画質の向上のために、各種の補正処理が行われているが、画像の計測条件の制御による計測条件の変化が考慮されていないため、補正処理が正確になされないという問題があった。
【0013】
従来技術8では、画像の画質の向上のために、前の画像から残像成分を推定し、現在の画像から減算して残像を補正しているが、残像補正処理により、信号に寄与するX線量子数が減少するために画像のS/Nが低下するという問題があった。
【0014】
X線透視装置、撮影装置、CT装置、コーンビームCT装置では、X線が検査対象を透過する際に検査対象により徐々に吸収され、X線のもつエネルギー分布は変化して行く。従来技術では、このエネルギー分布の変化を補正していないため、検査対象が同じ物質から構成される場合でも、X線が透過する距離、即ち、検査対象のサイズによって画像の画素値が異なるという問題があった。
【0015】
従来技術では、上記のような問題の存在により同じ検査対象に対して画像毎の画素値が異なり、定量性が低下するという課題を有していた。この定量性の低下のために、同じ検査対象を計測する場合でも、画像毎に表示条件を調整する必要があるという課題を有していた。再構成画像の画素値はX線の吸収係数を示すCT値であり、医師はCT値に注目して診断を行なうので、再構成画像の定量性の低下により診断能が低下するという課題を有していた。
【0016】
更に、再構成画像の定量性が低下することにより、再構成画像を用いるボリュームレンダリング処理やサーフェスレンダリング処理によるレンダリング画像を作成する際に、閾値の設定が困難となり、抽出対象以外の領域の重複、抽出対象の欠落が生じ、レンダリング画像の画質劣化を生じるという課題を有していた。
【0017】
そこで、本発明の第1の目的は、定量性を向上させた画像が得られるX線検査装置及びX線検査方法を提供することにある。本発明の第2の目的は、画像の計測条件に依存するX線検査装置全体の感度(以下、システム感度という。)の変化、検査対象のサイズに依存するエネルギー分布の変化、X線検出装置で生じる残像を考慮に入れて各種の補正処理を行ない、画像の定量性を向上させるX線検査装置及びX線検査方法を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本発明のX線検査装置は、検査対象に照射するX線を発生するX線発生装置、検査対象の透過X線画像を計測するX線検出装置と、X線検出装置の出力信号の演算処理を行ない検査対象の画像を求めるデータ処理装置とを有し、かつ、データ処理装置は、計測された出力信号に対して、X線検出装置で発生する透過X線画像の残像を補正する残像補正の演算処理と、画像の計測条件に依存するX線検査装置全体の感度の変化を補正するシステム感度補正の演算処理と、X線が検査対象内を透過する距離に依存するX線のエネルギー分布の変化を補正するサイズ依存性補正の演算処理とを実行する。
【0019】
また、本発明のX線検査装置におけるデータ処理装置は、(1)1つの透過X線画像の計測時間当たりの残像の減衰比rを算出し、今回(i番目に)計測された出力信号を(1+r)倍した値から今回の出力信号の計測の1回前に((i−1)番目に)計測された出力信号をr倍した値を減算して残像処理を実行する演算処理と、(2)X線発生装置の動作条件及びX線検出装置の動作条件により定まる、透過X線画像の計測条件を用いて、X線検査装置全体の感度を補正するシステム感度補正項(量)を算出して、(2a)上記(1)の演算処理の結果又は上記出力信号を、感度補正項で除算した結果を対数変換し、あるいは、(2b)対数変換した上記(1)の演算処理結果又は対数変換した上記出力信号から対数変換した感度補正項を減算し、システム感度を補正する演算処理と、(3)X線が検査対象内を透過する距離(サイズ)に依存するエネルギー分布の変化を示すサイズ依存性補正項(量)を算出し、対数変換した上記出力信号又は上記(2)の演算処理の結果にサイズ依存性補正項を乗算して検査対象のサイズ依存性を補正する演算処理とのうちの、1つ、又は、2つ、又は、3つの演算処理を実行する。上記(1)、(2)、(3)から選択された、1つ、又は、2つ、又は、3つの補正項目は、補正設定手段に設定される。また、検査対象の画像を計測する計測モードは、透視計測、撮影計測、CT計測、マルチスライスCT計測、コーンビームCT計測、螺旋スキャンCT計測を含み、検査対象の画像を計測する際に選択された計測モードは、計測モード設定手段に設定される。更に、データ処理装置は、上記(1)の演算処理の結果に、今回の出力信号の計測の次に計測された出力信号に係数wを乗算した値を加算する。この時、係数wは、w=r2、又は、w={r2/(1−r2)}とする。
【0020】
また、本発明のX線検査装置におけるデータ処理装置は、(1)検査対象を置かずにX線を照射して計測されたエア画像、及び上記透過X線画像からそれぞれ、X線を照射しないで計測されたオフセット画像を減算するオフセット補正処理を行なう演算処理と、(2)X線発生装置の動作条件及びX線検出装置の動作条件により定まる、上記透過X線画像の計測条件を用いて、X線検査装置全体の感度を補正する感度補正項を算出して、オフセット補正処理された上記透過X線画像の画素値と、オフセット補正処理されたエア画像の画素値にシステム感度補正項と係数s(但し、0≦s≦1)とを乗算した飽和判定値とを比較し、オフセット補正処理された上記透過X線画像の画素値が飽和判定値より大きい時に、オフセット補正処理された上記透過X線画像の画素値をエア画像の画素値にシステム感度補正項を乗算した値に置換して、飽和値復元補正処理を行なう演算処理と、(3)飽和値復元補正処理がなされた出力信号を使用して、1つの透過X線画像の計測時間当たりの残像の減衰比rを算出し、今回計測された出力信号を(1+r)倍した値から今回の出力信号の計測の1回前に計測された出力信号をr倍した値を減算して残像補正する演算処理と、(4)上記(3)の演算処理の結果を感度補正項で除算した結果を対数変換する演算処理、又は、対数変換した上記(3)の演算処理結果から対数変換した感度補正項を減算してシステム感度補正を行なう演算処理と、(5)上記(4)で得られたシステム感度補正がなされた上記透過X線画像の画像から対数変換したエア画像を減算して不均一補正を行なう演算処理と、(6)検査対象のサイズに依存するエネルギー分布の変化を示すサイズ依存性補正項を算出し、上記(5)の演算処理の結果にサイズ依存性補正項を乗算してサイズ依存性補正を行なう演算処理とを実行する。更に、データ処理装置は、上記(3)の演算処理の結果に、今回の出力信号の計測の次に計測された出力信号に係数wを乗算した値を加算する演算を行ない、係数wは、w=r2、又は、w={r2/(1−r2)}である。
【0021】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の実施例のX線検査装置に適用される補正処理の一例を示すフローチャートである。計測された検査対象の画像101に対して、(1)残像補正処理104、(2)対数変換処理107、(3)システム感度補正処理108、(4)サイズ依存性補正処理111がこの順に補正が実行され、検査対象の補正処理された画像113が得られる。画像113は3次元再構成処理に使用される。なお、画像101に対して、(1)残像補正処理104、(2)システム感度補正処理108、(3)対数変換処理107、(4)サイズ依存性補正処理111の順に補正を行なっても良い。
【0022】
補正処理に必要な補正パラメータは、画像の計測条件を記憶する計測条件ファイル、調整する画像の計測条件の各々と画像の画素値との関係を示す関係ファイルに記憶される各データ、1つの透過X線画像の計測時間当たりの、X線検出装置で発生する残像の減衰比r、検査対象のサイズに依存するエネルギー分布の変化を表わすサイズ依存性テーブル等である。検査装置の構成要素及び幾何学的配置が変化しなければ、計測条件ファイルに記憶される各データ以外の補正パラメータは固定化される。即ち、装置の設置時に一度、計測及び算出すれば良い。
【0023】
調整する画像の計測条件の各々と画像の画素値との関係は、数式化、又は、テーブル化して保存される。上記の関係を数式化することにより演算が容易となり、ファイルサイズを小さくでき、その結果、演算処理が高速化できる。上記の関係をテーブル化することにより複雑な関係に対応できる。
【0024】
計測条件ファイルは、画像の計測時に作成される。計測条件ファイルには、角度毎に計測される画像の計測条件が記憶される。画像の計測条件は、X線発生装置を動作させる条件(X線パルス幅、X線管電流、X線管電圧等)、X線検出装置を動作させる条件(ゲイン、光学系のパラメータ等)、幾何学的条件(X線管の焦点、検査対象、X線検出装置のX線入射面の相対位置関係)、散乱X線遮蔽用グリッドの構成条件等である。計測条件ファイルと関係ファイルを用いて、画像の計測条件に依存するX線検査装置全体の感度の補正項(システム感度補正項)を算出する。
【0025】
(残像補正処理の説明)
まず、計測された検査対象の画像101に対して、残像補正処理104を行なう。X線検出装置で生じる残像は時間と共に指数関数的に減少する。iフレーム(i:整数)でX線を照射してX線検出装置で計測された画像データをdi、次に、(i+1)フレームでX線を照射しないでX線検出装置で計測された画像データをdi+1とする時、1フレーム(1つの透過X線画像)の計測時間当りの残像の減衰比rは、(式3)により各画素毎に算出される。
r=di+1/di …(式3)
前述の従来技術8および9では、前の画像データから残像成分を推定し、現在の画像データから減算している。即ち、従来技術8および9では、i番目(今回)による計測による画像データをdiとすると、残像補正処理されたi番目に計測された画像データfiは、(式1)と同じく(式4)で示される。
fi=di−r・di-1 …(式4)
これに対し、本発明の実施例での残像補正処理は以下のように行われる。(式5)に示すように、(i−1)番目(今回の画像データの計測の1回前)に計測された画像データをr倍して残像成分(r・di-1)を推定し、i番目(今回)の計測による画像データを(1+r)倍した値から残像成分を減算する。
fi=(1+r)・di−r・di-1 …(式5)
(式4)と(式5)を比較すると、(式5)では、(式4)の右辺にr・diの信号が付加されている。(式5)の右辺の、r・diの信号は、di≒di-1と仮定する時、(i−1)番目の計測による残像により、i番目(今回)計測で損失した信号の推定補正成分に相当する。その結果、(式5)では、残像補正処理前と同等の信号レベルを維持でき、残像補正処理によるS/Nの低下を防止できる。また、(式5)では、今回の画像データの計測の1回前に計測された画像データ、今回計測された画像データを用いて平滑化しているので、S/Nを向上できる。
【0026】
本発明の実施例の別の残像補正処理は以下のように行われる。(式5)の右辺に、更に、(i+1)番目に計測された画像データをw倍した値を加算する。(式6)では、今回の画像データの計測の1回前に計測された画像データ、今回計測された画像データ、今回の画像データの計測の次に計測された画像データを用いて平滑化しているので、(式5)による残像補正処理よりも、残像補正処理の精度を低下させずに信号を増大させてS/Nを向上できる。(式6)の右辺の第1項、w・di+1は、(i+1)番目(今回の画像データの計測の次)の計測による画像データに含まれる、i番目(今回)の計測による画像データの残像成分の推定補正成分に相当する。係式wは(式7)、又は(式8)により与えられる。なお、(式5)、(式6)による残像補正処理は画像の全ての画素について行なう。
fi=w・di+1+(1+r)・di−r・di-1 …(式6)
w=r2 …(式7)
w={r2/(1−r2)} …(式8)
(対数変換処理の説明)
残像補正処理された画像の全ての画素値を対数変換する(107)。
【0027】
(システム感度補正処理の説明)
対数変換後の画像に対してシステム感度補正処理(108)を行なう場合には、対数変換後の画像の各画素値からシステム感度補正項(量)を減算する。対数変換後の画像の画素値から対数変換したシステム感度補正項を減算するので補正処理が容易であり、高速化が可能である。対数変換前の画像に対してシステム感度補正処理を行なう場合には、システム感度補正処理前の画像の各画素値をシステム感度補正項で除算する。以下、システム感度補正項の算出について説明する。
【0028】
X線発生装置を動作させる条件(X線管電流、X線管電圧、X線パルス幅)と、透過X線を計測する条件(X線検出装置に於ける感度(ゲイン)、光学系のパラメータ)を用いて、システム感度補正項を算出する。画像の計測条件によってX線検査装置全体の感度(システム感度)が変化する。例えば、同じ検査対象の画像を計測する場合、システム感度が2倍である時、画像の画素値も2倍になる。
【0029】
エア画像(検査対象を置かないで得た空気の透過X線画像)の計測時の感度をシステム感度の基準とする。即ち、エア画像の計測条件を基準計測条件として、エア画像の計測時の感度を基準感度とする。基準感度に対するシステム感度をシステム感度補正項と定義する。計測される画像毎に最適化される画像の計測条件が、各々線形特性をもつ、X線パルス幅、光学絞り、X線管電流である場合、計測される画像rに於けるシステム感度補正項(量)Srは(式9)で示される。なお、検査対象の画像の計測時の、X線パルス幅をpr、光学絞り効率をqr、X線管電流をbrとし、エア画像の計測時の、X線パルス幅をpa、光学絞り効率をqa、X線管電流をbaとする。
Sr=(pr/pa)(qr/qa)(br/ba) …(式9)
システム感度補正項は、検査対象の画像を計測する各角度に於ける、基準計測条件の値に対する検査対象の画像の計測条件の値の比である。この比は、画像の画素値に換算される。即ち、基準計測条件で計測した画像の画素値の推定値を、実際に計測された画像の画素値で除算した結果である。基準計測条件として、エア画像の計測条件、又は、最初に計測する検査対象の画像の計測条件を用いる。
【0030】
基準計測条件として、エア画像の計測条件を用いると、後述する飽和値復元補正処理の際に、エア画像を基準計測条件での画像へ変換する必要がなくなり演算処理が高速化できる。
【0031】
基準計測条件として、最初に計測された検査対象の画像の計測条件を用いると、システム感度補正項を算出する際にエア画像の計測条件を参照する必要がなくなり演算処理が簡素化できる。以下、エア画像の計測条件を基準計測条件としたシステム感度補正項を用いる。
【0032】
(サイズ依存性補正処理の説明)
システム感度補正処理が実行された画像の画素値に対してサイズ依存性補正処理(111)を行なう。対数変換データP(x)は(式10)で示される。(式10)に於いて、検査対象のサイズ(X線が検査対象内を透過する距離)x、X線吸収係数の平均値μave、ベーリンググレア補正処理及び散乱X線補正処理の誤差e(x)である。
P(x)=μave・x+e(x) …(式10)
検査対象の組成が均一であってもサイズxが増大するとX線の平均エネルギーが増大するため、μaveはxが増大すると減少する。従って、xが増大すると、P(x)はxとの比例関係からはずれ、P(x)は原点を通る直線から下に離れる。また、対数変換された画像に於けるベーリンググレア及び散乱線の影響は、xが増大するに従って増大する。従って、ベーリンググレア補正処理及び散乱線補正処理が不足である場合には、上記の比例関係からの乖離はより大きくなる。これらの結果、組成が均一な検査対象であっても、検査対象のサイズxに依存してX線吸収係数μaveが変化する。サイズ依存性補正処理は、以下のように行なう。
【0033】
種々の値の直径xをもつ円柱状ファントムの円柱の対象軸に垂直な断面の画像を計測し、計測された画像に対して各種の補正処理を実行し、対数変換後の画像の画素の最大値を求める。直径xと画像の画素の最大値との関係式P(x)を多項式フィッティングにより求める。関係式P(x)の1次の項のみを抽出した式を求め、検査対象サイズxに理想的に比例する対数変換データPc(x)とする。
【0034】
図2は、本発明の実施例において計測された、アクリル製の枠内に水を詰めた円柱状ファントムを用いた場合の直径xと画像の画素の最大値との関係を示す図である。xが増大するに従って、計測される画像の画素の最大値は比例関係にある理想値Pc(x)から乖離して行く。(式11)に示すように、Pc(x)と実際の対数変換データP(x)との比をサイズ依存性補正項(量)Q{P(x)}と定義する。
Q{P(x)}=Pc(x)/P(x) …(式11)
サイズ依存性補正処理では、対数変換データP(x)にサイズ依存性補正項Qを乗算する。QをxではなくP(x)の関数として求めることにより、サイズ依存性補正処理は、入力P、出力Qのテーブル参照処理とすることができ、補正処理が簡略化、高速化できる。計測された画像の各画素値にサイズ依存性補正項を乗算する。
【0035】
以上の演算処理により、計測された画像に対して、残像補正処理104、対数変換処理107、システム感度補正処理108、サイズ依存性補正処理111がなされた、補正処理された画像113が得られる。補正処理された画像113は、後述する図5に示す3次元再構成処理315に用いられる。
【0036】
図3は、本発明の実施例における、XII−カメラ型X線検出器を用いたX線検査装置での補正処理の一例を示すフローチャートである。計測された画像101に対して、オフセット補正処理102、飽和値復元補正処理103、残像補正処理104、ベーリンググレア補正処理105、散乱X線補正処理106、対数変換処理107、システム感度補正処理108、不均一補正処理109、幾何学的歪補正処理110、サイズ依存性補正処理111、はみ出し補正処理112を行なう。これら補正処理により補正処理された画像113が、後述する図5に示す3次元再構成処理315に用いられる。
【0037】
補正処理に必要な補正パラメータ、計測条件ファイル、関係ファイル、残像の減衰比r、サイズ依存性テーブル等の説明は前述の通りである。
【0038】
(オフセット補正処理の説明)
まず、計測された画像101に対して、オフセット補正処理102を行なう。X線を照射せずに単数又は複数のオフセット画像を計測する。検査対象を置かずにX線を照射して単数又は複数のエア画像(空気の透過X線画像)を計測する。複数のオフセット画像の平均画像及び複数のエア画像の平均画像を用いることにより、補正処理の際にノイズの増加を抑止できる。オフセット画像及びエア画像の時間的変動が大きい場合には、オフセット画像及びエア画像を、検査対象の画像の計測時点に近い時点で計測するほど、補正処理の精度を向上できる。従って、検査対象の画像の計測の直前又は直後に計測することが望ましい。
【0039】
検査対象の画像を計測する角度毎に、オフセット画像及びエア画像の変動、後述する歪テーブルの変動が大きい場合には、検査対象の画像を計測する角度毎に、オフセット画像及びエア画像の計測、歪テーブルの作成により、補正処理の精度を向上できる。
【0040】
また、検査対象の画像を計測する幾つかの角度毎での、オフセット画像及びエア画像の計測、歪テーブルの作成を行なう。それ以外の角度では、最も近い角度に於けるオフセット画像及びエア画像、歪テーブルを用いる、又は、既に得られているオフセット画像及びエア画像、歪テーブルから推定して用いる。この結果、オフセット画像及びエア画像、歪テーブルの記憶に要するメモリを節約でき、補正処理の精度を向上できる。勿論、他の補正処理のパラメータについても変動が大きい場合にも、上記と同様にして同様の効果が得られる。
【0041】
計測された画像に対するオフセット補正処理102では、計測された画像の各画素値からオフセット画像の画素値を減算してオフセット補正処理された計測された画像と、エア画像の各画素値からオフセット画像の画素値を減算してオフセット補正処理されたエア画像とが求められる。
【0042】
以下の説明では、エア画像計測条件を基準計測条件としたシステム感度補正項(量)を用いる。
【0043】
(飽和値復元補正処理の説明)
オフセット補正処理された計測された画像に対して飽和値復元補正処理103を行なう。各画素に於いて以下の処理を行なう。オフセット補正処理された計測された画像の画素値と、オフセット補正処理されたエア画像の画素値にシステム感度補正項と係数s(但し、0≦s≦1)とを乗算した飽和判定値とを比較する。オフセット補正処理された計測された画像の画素値が飽和判定値より大きければ、その画素は飽和していると判断して、オフセット補正処理された計測された画像の画素値を、エア画像の画素値にシステム感度補正項を乗算した値に置換する。
【0044】
画像の計測に於ける統計的な変動を考慮すると、係数sを約0.8とする。係数sを1.0に近づけると、飽和領域の判定の精度を向上できる。係数sを0に近づけると、ノイズ等の変動の影響を受けにくくなり、安定した飽和領域の判定をできる。上記の置換により生じる画素値の不連続性を補正すると、再構成画像に於けるストリークアーチファクトを低減できる。上記の置換により生じる画素値の不連続性を補正しない場合、アーチファクトが発生しない領域で定量性の精度が向上できる。
【0045】
(残像補正処理の説明)
飽和値復元補正処理された計測された画像に対して先述の残像補正処理104を行なう。ここでは、(式8)に従って、各画素において、今回(i番目に)計測された画像の画素値を(1+r)倍した値から、今回の画像の計測の1回前に((i−1)番目に)計測された画像の画素値をr倍した値を減算して、今回の画像の計測の次に((i+1)番目に)計測された画像の画素値を{r2/(1−r2)}倍した値を加算する。同様にして、オフセット補正処理されたエア画像に対しても残像補正処理を行なう。
【0046】
(拡散光(ベーリンググレア)補正処理の説明)
残像補正処理された計測された画像に対して拡散光補正処理105を行なう。残像補正処理が実行された計測された画像に拡散光点像分布関数をコンボリューションし、さらに拡散光強度比を乗算して拡散光成分像を求める。残像補正処理が実行された計測された画像から拡散光成分像を減算して、拡散光補正処理された計測された画像を求める。同様にして、残像補正処理されたエア画像に対しても拡散光補正処理を行なう。
【0047】
(散乱X線補正処理の説明)
拡散光補正処理された計測された画像に対して散乱X線補正処理106を行なう。拡散光補正処理された計測された画像に散乱X線点像分布関数をコンボリューションし、更に散乱X線強度比を乗算して散乱X線成分像を求める。拡散光補正処理された計測された画像から散乱X線成分像を減算して、散乱X線補正処理された計測された画像を求める。
【0048】
(対数変換処理の説明)
散乱X線補正処理された計測された画像、及び拡散光補正処理されたエア画像に対して対数変換処理107を行なう。
【0049】
(システム感度補正処理の説明)
対数変換後の計測された画像に対して先述のシステム感度補正処理108を行なう。各画素に於いて、対数変換後の計測された画像の画素値からシステム感度補正項を減算する。
【0050】
(不均一補正処理の説明)
システム感度補正処理された計測された画像に対して不均一補正処理109を行なう。各画素に於いて、システム感度補正処理された画像の画素値から対数変換後のエア画像を減算する。
【0051】
(幾何学的歪補正処理の説明)
不均一補正処理された計測された画像に対して幾何学的歪補正処理110を行なう。歪テーブルは、各画素に於いて、歪が無い場合と有る場合の関係を示すテーブルである。例えば、歪テーブルは、歪が無い場合の任意の画素が歪がある場合にはどの画素に移動するかを記しており、任意の画素に歪テーブルに記された画素の値を設定する。
【0052】
(サイズ依存性補正処理の説明)
歪補正処理された計測された画像に対して先述のサイズ依存性補正処理111を行なう。各画素に於いて、歪補正処理された画像の画素値にサイズ依存性補正項を乗算する。
【0053】
(はみ出し補正処理の説明)
サイズ依存性補正処理された計測された画像に対してはみ出し補正処理112を行なう。
【0054】
以上説明した種々の補正処理から、必要な補正処理を取捨選択できる。例えば、平面型X線検出器では、ベーリンググレア補正処理及び幾何学的歪補正処理は省略できる。不要な補正処理を省略して高速化できる。また、以上説明した種々の補正処理は順序を変更できる。
【0055】
図4は、本発明の実施例のX線検査装置の構成例を示す図である。図4に示すX線検査装置は、Cアームを用いたコーンビームCT計測装置の例である。検査対象203に照射するX線を発生させるX線発生装置のX線管201と、検査対象203を透過したX線による透過X線画像を計測するX線検出装置204と、Cアーム202によりX線管201及びX線検出装置204を対として固定し、X線管201及びX線検出装置204を検査対象203の周りで回転させる回転駆動装置208と、X線管201と回転駆動装置208とX線検出装置204とを制御して、X線検出装置204の出力を画像データとして収集するデータ収集装置205と、画像データの演算処理を行なうデータ処理装置206と、画像データ又は/及び演算処理された結果を表示する表示装置207とから構成される。
【0056】
図4に示す装置構成に加えて、X線検出装置204の前面に散乱X線遮蔽用グリッドを配置しても良い。また、X線検出装置204の内部に作り込まれている散乱X線遮蔽用グリッドを使用しても良い。
【0057】
複数方向からの検査対象の画像の計測を実行しない場合には、回転駆動装置208により特定の角度に設定された後は、回転駆動装置208を駆動させない。データ収集装置205、データ処理装置206、表示装置207等が一体化されたディスプレイを有する処理装置を使用しても良い。また、データ処理装置に、本発明の補正処理を実行するためのボード、チップ等が内蔵されていても良い。
【0058】
図4に示す例では、X線検出装置204として、検出素子が2次元に配列した面状の平面型2次元X線検出器を使用している。例えば、蛍光板、aSiPHD、TFTにより構成される周知の平面型2次元X線検出器、aSiTFT上にaSe半導体から構成される周知の平面型2次元X線検出器を使用できる。なお、平面型2次元検出器の代りに、1次元に検出素子を配列した1次元検出器を複数列並べたマルチロー検出器も使用できる。更に、X線検出装置として、XII、光学系、TVから構成されるXII−TVカメラ型X線検出器、XII、光学系、CCDカメラから構成されるXII−CCDカメラ型X線検出器も使用できる。
【0059】
本発明の補正処理は、データ処理装置206で実行される。何れの補正処理を実行するかの情報は、補正設定手段(例えば、データ処理装置に配置されるスイッチ、ボタン、タッチパネル、あるいは、データ処理装置の表示画面に表示される画面のウインドウ)に設定される。本発明の実施例の代表的な補正処理である、(1)残像補正、(2)システム感度補正、(3)サイズ依存性補正処理の補正項目のちの選択された、1つ、又は、2つ、又は、3つの補正項目が補正設定手段に設定される。
【0060】
図4に示すX線検査装置の構成例では、検査対象の画像を計測する計測モードとして、透視計測、撮影計測、CT計測、マルチスライスCT計測、コーンビームCT計測、螺旋スキャンCT計測等の計測モードが可能である。検査対象の画像を計測する際に選択された計測モードは計測モード設定手段(例えば、データ処理装置に配置されるスイッチ、ボタン、タッチパネル、あるいは、データ処理装置の表示画面に表示される画面のウインドウ)に設定される。以下、代表的な画像計測モードとして、コーンビームCT計測モードを例にとって説明する。
【0061】
X線管201とX線検出装置204を回転駆動装置208により検査対象203の周囲で回転させてコーンビームCT計測を行なう。または、X線管201とX線検出装置204を固定し、回転駆動装置208により検査対象203を回転させてコーンビームCT計測を行なう。
【0062】
図4に示す各装置は、データ収集装置205により制御され、検査対象203の画像の計測を実行され画像データが取得される。データ収集装置205は、各装置の状態の検出、端末等の外部入力手段を用いた計測条件の入手、計測された画像を用いた計測条件の算出、各装置に対する条件の設定、画像の計測条件を記述した計測条件ファイルの作成等を行なう。
【0063】
図5は、本発明の実施例において、コーンビームCT計測を行なうX線検査装置における補正処理を含む処理の例を示すフローチャートである。Cアーム202を回転開始角度に移動させる(301)。X線発生装置、X線検出装置、回転駆動装置等のスタンバイ情報を確認する(302)。Cアームの回転を開始させる(303)。Cアームが画像計測を開始する角度に到達したことを検出し(304)、検査対象の画像101の計測を開始する。Cアームが画像を計測する角度に達したことを検出し(305)、X線管からX線を検査対象に照射し(306)、X線検出装置により検査対象の透過X線画像を計測し(307)、X線検出装置の出力信号を画像データとしてデータ収集し(308)、計測された画像データ及び計測条件を用いて、次の検査対象の計測条件を算出し(309)、求められた計測条件に従って、検査対象に照射するX線のパルス幅を調整して(310)、X線検出装置に於けるゲインを調整する(311)。Cアームが画像計測を終了する角度に到達したことを検出する(312)まで、305から311を繰り返す。Cアームが画像計測を終了する角度に到達したことを検出した時点で、Cアームの回転を終了する(313)。
【0064】
データ処理装置206は、計測された画像データに対して、図1又は図3に示される補正処理314を実行し、補正処理された画像データ113を用いて3次元再構成処理315を実行し、3次元再構成画像に対してレンダリング処理316を実行してレンダリング画像を得る。表示装置207にレンダリング画像を表示する(317)。
【0065】
図5に示す実施例では、角度毎に画像の計測条件に従って、X線パルス幅、X線検出装置に於けるゲインを調整する場合を示したが、X線パルス幅、X線検出装置に於けるゲインの何れか一方を調整しても良いし、又は、X線パルス幅、X線検出装置に於けるゲインの双方を一定としても良い。更に、X線管電圧、X線管電流、X線減弱フィルタの厚さ等を変更しても良い。図5に示す実施例では、パルスX線による画像の計測について説明したが、連続X線により画像の計測を行える。
【0066】
X線検出装置204のゲイン調整法は、構成によって異なる。例えば、X線検出装置204が、XII、光学系、CCDカメラから構成される場合、光学系の内部に設置された光学絞りの開口面積によってゲイン調整が可能である。光学絞りは、CCDカメラに入射する光量を調節する。例えば、X線検出装置204が平面型2次元X線検出器の場合、検出素子の出力強度を調整するアンプによってゲイン調整が可能である。ゲイン調整はA/D変換器の入出力特性によっても可能である。
【0067】
以上の説明では、XII−カメラ型X線検出器を用いたX線検査装置、Cアームを用いたコーンビームCT計測装置を具体例にとって説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。本発明のX線検査装置は、透視計測、撮影計測、CT計測、マルチスライスCT計測、コーンビームCT計測、螺旋スキャンCT計測の何れか計測モードで実行することが可能である。
【0068】
以下、本発明のX線検査方法の構成例について説明する。本発明のX線検査方法は、X線発生装置から発生するX線を検査対象に照射して、前記検査対象の透過X線画像をX線検出装置により計測する工程と、前記X線検出装置の出力信号の演算処理を行ない前記検査対象の画像を求める工程とを有する。
【0069】
本発明の第1のX線検査方法における前記演算処理を行なう工程は、(1)1つの前記透過X線画像の計測時間当たりの残像の減衰比rを算出し、今回計測された前記出力信号を(1+r)倍した値から今回の前記出力信号の計測の1回前に計測された前記出力信号をr倍した値を減算する演算処理と、(2)前記X線発生装置の動作条件及び前記X線検出装置の動作条件により定まる、前記透過X線画像の計測条件を用いて、X線検査装置全体の感度を補正するシステム感度補正項を算出して、(1)の演算処理の結果を前記感度補正項で除算した結果を対数変換する演算処理、又は、対数変換した(1)の演算処理結果から対数変換した前記感度補正項を減算する演算処理と、(3)前記検査対象のサイズに依存するエネルギー分布の変化を示すサイズ依存性補正項を算出し、(2)の演算処理の結果に前記サイズ依存性補正項を乗算する演算処理とを含む。更に、(1)の演算処理の結果に、今回の前記出力信号の計測の次に計測された前記出力信号に係数wを乗算した値を加算する。係数wとして、w=r2、又は、w={r2/(1−r2)}を使用する。
【0070】
本発明の第2のX線検査方法における前記演算処理を行なう工程は、1つの前記透過X線画像の計測時間当たりの残像の減衰比rを算出し、今回計測された前記出力信号を(1+r)倍した値から今回の前記出力信号の計測の1回前に計測された前記出力信号をr倍した値を減算する演算処理を含む。更に、この演算処理の結果に、今回の前記出力信号の計測の次に計測された前記出力信号に係数wを乗算した値を加算する。係数wとして、w=r2、又は、w={r2/(1−r2)}を使用する。
【0071】
本発明の第3のX線検査方法における前記演算処理を行なう工程は、前記X線発生装置の動作条件及び前記X線検出装置の動作条件により定まる、前記透過X線画像の計測条件を用いて、X線検査装置全体の感度を補正するシステム感度補正項を算出して、前記出力信号を前記感度補正項で除算した結果を対数変換する演算処理、又は、対数変換した前記出力信号から対数変換した前記感度補正項を減算する演算処理を含む。
【0072】
本発明の第4のX線検査方法における前記演算処理を行なう工程は、検査対象のサイズに依存するエネルギー分布の変化を示すサイズ依存性補正項を算出し、対数変換した前記出力信号に前記サイズ依存性補正項を乗算する演算処理を含む。
【0073】
本発明の第5のX線検査方法における前記演算処理を行なう工程は、(1)1つの前記透過X線画像の計測時間当たりの残像の減衰比rを算出し、今回計測された前記出力信号を(1+r)倍した値から今回の前記出力信号の計測の1回前に計測された前記出力信号をr倍した値を減算する演算処理と、(2)前記X線発生装置の動作条件及び前記X線検出装置の動作条件により定まる、前記透過X線画像の計測条件を用いて、X線検査装置全体の感度を補正する感度補正項を算出して、(1)の演算処理の結果を前記感度補正項で除算した結果を対数変換する演算処理、又は、対数変換した(1)の演算処理結果から対数変換した前記感度補正項を減算する演算処理とを含む。更に、(1)の演算処理の結果に、今回の前記出力信号の計測の次に計測された前記出力信号に係数wを乗算した値を加算する。係数wとして、w=r2、又は、w={r2/(1−r2)}を使用する。
【0074】
本発明の第6のX線検査方法における前記演算処理を行なう工程は、(1)前記X線発生装置の動作条件及び前記X線検出装置の動作条件により定まる、前記透過X線画像の計測条件を用いて、X線検査装置全体の感度を補正する感度補正項を算出して、前記出力信号を前記感度補正項で除算した結果を対数変換する演算処理、又は、対数変換した前記出力信号から対数変換した前記感度補正項を減算する演算処理と、(2)前記検査対象のサイズに依存するエネルギー分布の変化を示すサイズ依存性補正項を算出し、(1)の演算処理の結果に前記サイズ依存性補正項を乗算する演算処理とを含む。
【0075】
本発明の第7のX線検査方法における前記演算処理を行なう工程は、(1)1つの前記透過X線画像の計測時間当たりの残像の減衰比rを算出し、今回計測された前記出力信号を(1+r)倍した値から今回の前記出力信号の計測の1回前に計測された前記出力信号をr倍した値を減算する演算処理と、(2)前記検査対象のサイズに依存するエネルギー分布の変化を示すサイズ依存性補正項を算出し、対数変換した(1)の演算処理結果に前記サイズ依存性補正項を乗算する演算処理とを含む。更に、(1)の演算処理の結果に、今回の前記出力信号の計測の次に計測された前記出力信号に係数wを乗算した値を加算する。係数wとして、w=r2、又は、w={r2/(1−r2)}を使用する。
【0076】
本発明の第8のX線検査方法は、X線発生装置から発生するX線を検査対象に照射して、前記検査対象の透過X線画像をX線検出装置により計測する工程と、前記検査対象の画像を求めるために、前記X線検出装置の出力信号の演算処理を行なう工程とを有し、前記演算処理を行なう工程は、(1)前記検査対象を置かずにX線を照射して計測されたエア画像、及び前記透過X線画像からそれぞれ、X線を照射しないで計測されたオフセット画像を減算するオフセット補正処理を行なう演算処理と、(2)前記X線発生装置の動作条件及び前記X線検出装置の動作条件により定まる、前記透過X線画像の計測条件を用いて、X線検査装置全体の感度を補正する感度補正項を算出して、前記オフセット補正処理された前記透過X線画像の画素値と、前記オフセット補正処理された前記エア画像の画素値に前記システム感度補正項と係数とを乗算した飽和判定値とを比較し、前記オフセット補正処理された前記透過X線画像の画素値が前記飽和判定値より大きい時に、前記オフセット補正処理された前記透過X線画像の画素値を前記エア画像の画素値に前記システム感度補正項を乗算した値に置換して、飽和値復元補正処理を行なう演算処理と、(3)前記飽和値復元補正処理がなされた前記出力信号を使用して、1つの前記透過X線画像の計測時間当たりの残像の減衰比rを算出し、今回計測された前記出力信号を(1+r)倍した値から今回の前記出力信号の計測の1回前に計測された前記出力信号をr倍した値を減算して残像補正する演算処理と、(4)前記(3)の演算処理の結果を前記感度補正項で除算した結果を対数変換する演算処理、又は、対数変換した(3)の演算処理結果から対数変換した前記感度補正項を減算してシステム感度補正を行なう演算処理と、(5)(4)で得られた前記システム感度補正がなされた前記透過X線画像の画像から対数変換した前記エア画像を減算して不均一補正を行なう演算処理と、(6)前記検査対象のサイズに依存するエネルギー分布の変化を示すサイズ依存性補正項を算出し、(5)の演算処理の結果に前記サイズ依存性補正項を乗算してサイズ依存性補正を行なう演算処理とを含む。更に、(3)の演算処理の結果に、今回の前記出力信号の計測の次に計測された前記出力信号に係数wを乗算した値を加算する。係数wとして、w=r2、又は、w={r2/(1−r2)}を使用する。
【0077】
本発明の第9のX線検査方法は、X線発生装置から発生するX線を検査対象に照射して、前記検査対象の透過X線画像をX線検出装置により計測する工程と、前記検査対象の画像を求めるために、前記X線検出装置の出力信号の演算処理を行なう工程とを有し、前記演算処理を行なう工程は、(1)1つの前記透過X線画像の計測時間当たりの残像の減衰比rを算出し、今回計測された前記出力信号を(1+r)倍した値から今回の前記出力信号の計測の1回前に計測された前記出力信号をr倍した値を減算して残像処理を実行する工程と、(2)前記X線発生装置の動作条件及びX線検出装置の動作条件により定まる、前記透過X線画像の計測条件を用いて、X線検査装置全体の感度を補正する感度補正項を算出して、(2a)(1)の演算処理の結果又は前記出力信号を、前記感度補正項で除算した結果を対数変換し、あるいは、(2b)対数変換した(1)の演算処理結果又は対数変換した前記出力信号から対数変換した前記感度補正項を減算し、システム感度を補正する工程と、(3)前記検査対象のサイズに依存するエネルギー分布の変化を示すサイズ依存性補正項を算出し、対数変換した前記出力信号又は(2)の演算処理の結果に前記サイズ依存性補正項を乗算して検査対象のサイズ依存性を補正する工程とのうちの、1つの工程、又は、2つの工程、又は、3つの工程を実行する。前記(1)、(2)、(3)の工程から選択された、1つの工程、又は、2つの工程、又は、3つの工程を、補正設定手段に設定する工程を有する。また、前記検査対象の画像を計測する計測モードは、透視計測、撮影計測、CT計測、マルチスライスCT計測、コーンビームCT計測、螺旋スキャンCT計測を含み、前記検査対象の画像を計測する際に選択された前記計測モードを、計測モード設定手段に設定する工程を有する。更に、前記演算処理を行なう工程は、(1)の工程の演算処理の結果に、今回の前記出力信号の計測の次に計測された前記出力信号に係数wを乗算した値を加算する。この時、係数wは、w=r2、又は、w={r2/(1−r2)}とする。
【0078】
本発明によるX線検査方法は、透視計測、撮影計測、CT計測、マルチスライスCT計測、コーンビームCT計測、螺旋スキャンCT計測の何れかの計測モードを実行するX線検査装置に適用可能である。
【0079】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、定量性を向上させた画像が得られるX線検査装置及びX線検査方法を提供できる。また、本発明によれば、画像の計測条件に依存するX線検査装置全体の感度(システム感度)の変化、検査対象のサイズに依存するエネルギー分布の変化、X線検出装置で発生する残像を、補正処理し、更に、必要に応じて他の各種の補正処理を行ない、画像の定量性を向上させるX線検査装置及びX線検査方法を提供できる。更に、3次元再構成画像の定量性を向上できるので、レンダリング画像の画質向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例のX線検査装置に適用される補正処理の一例を示すフローチャート。
【図2】本発明の実施例において計測された、円柱状ファントムを用いた場合の直径xと画像の画素の最大値との関係を示す図。
【図3】本発明の実施例における、XII−カメラ型X線検出器を用いたX線検査装置での補正処理の一例を示すフローチャート。
【図4】本発明の実施例のX線検査装置の一構成例を示す図。
【図5】本発明の実施例における、コーンビームCT計測を行なうX線検査装置に於ける補正処理を含む処理の例を示すフローチャート。
【符号の説明】
101…計測された画像、102…オフセット補正処理、103…飽和値復元補正処理、104…残像補正処理、105…ベーリンググレア補正処理、106…散乱X線補正処理、107…対数変換処理、108…システム感度補正処理、109…不均一補正処理、110…幾何学的歪補正処理、111…サイズ依存性補正処理、112…はみ出し補正処理、103…補正処理された画像、201…X線管、202…Cアーム、203…検査対象、204…X線検出装置、205…データ収集装置、206…データ処理装置、207…表示装置、208…回転駆動装置、301…回転開始角度移動、302…スタンバイ情報確認、303…回転開始、304…画像計測開始角度検出、305…画像計測角度検出、306…X線照射、307…透過X線画像の計測、308…データ収集、309…計測条件算出、310…パルス幅調整、311…ゲイン調整、312…画像計測終了角度検出、313…回転終了、314…補正処理、315…再構成処理、316…レンダリング処理、317…表示。
Claims (2)
- 検査対象に照射するX線を発生するX線発生装置、前記検査対象の透過X線画像を計測するX線検出装置と、前記X線検出装置の出力信号の演算処理を行ない前記検査対象の画像を求めるデータ処理装置とを具備し、前記データ処理装置は、(1)1つの前記透過X線画像の計測時間当たりの残像の減衰比(r)を算出し、i番目(i:整数)に計測された前記出力信号を(1+r)倍した値から(i−1)番目に計測された前記出力信号をr倍した値を減算して、残像補正を実行する演算処理と、(2)前記X線発生装置および前記X線検出装置の動作条件により定まる、前記透過X線画像の計測条件を用いて、X線検査装置全体の感度を補正するシステム感度補正量を算出して、前記(1)の演算処理の結果又は前記出力信号を、前記感度補正量で除算した結果を対数変換し、あるいは、対数変換した前記(1)の演算処理結果又は対数変換した前記出力信号から対数変換した感度補正量を減算して、システム感度の変化を補正する演算処理と、(3)X線が前記検査対象内を透過する距離に依存するX線のエネルギー分布の変化を示すサイズ依存性補正量を算出し、対数変換した前記出力信号又は前記(2)の演算処理の結果に前記サイズ依存性補正量を乗算して、前記検査対象のサイズ依存性を補正する演算処理とを順に実行することを特徴とするX線検査装置。
- 検査対象に照射するX線を発生するX線発生装置と、前記検査対象の透過X線画像を計測するX線検出装置と、前記X線検出装置の出力信号の演算処理を行ない前記検査対象の画像を求めるデータ処理装置とを有し、前記データ処理装置は、(1)前記検査対象を置かずにX線を照射して計測されたエア画像、および前記透過X線画像から、それぞれ、X線を照射しないで計測されたオフセット画像を減算するオフセット補正を行なう演算処理と、(2)前記X線発生装置および前記X線検出装置の動作条件により定まる、前記透過X線画像の計測条件を用いて、X線検査装置全体の感度を補正するシステム感度補正量を算出して、前記オフセット補正処理された前記透過X線画像の画素値と、前記オフセット補正処理された前記エア画像の画素値に前記感度補正量と係数s(但し、0≦s≦1)とを乗算した飽和判定値とを比較し、前記オフセット補正処理された前記透過X線画像の画素値が前記飽和判定値より大きい時に、前記オフセット補正処理された前記透過X線画像の画素値を前記エア画像の画素値に前記感度補正量を乗算した値に置換して、飽和値復元補正処理を行なう演算処理と、(3)前記飽和値復元補正処理がなされた前記出力信号を使用して、1つの前記透過X線画像の計測時間当たりの残像の減衰比(r)を算出し、i番目(i:整数)に計測された前記出力信号を(1+r)倍した値から(i−1)番目に計測された前記出力信号をr倍した値を減算して残像補正する演算処理と、(4)前記(3)の演算処理の結果を前記感度補正量で除算した結果を対数変換する演算処理、もしくは対数変換した前記(3)の演算処理結果から対数変換した前記感度補正量を減算してシステム感度補正を行なう演算処理と、(5)前記(4)で得られた前記システム感度補正がなされた前記透過X線画像の画像から対数変換した前記エア画像を減算して不均一補正を行なう演算処理と、(6)X線が前記検査対象内を透過する距離に依存するX線のエネルギー分布の変化を示すサイズ依存性補正量を算出し、前記(5)の演算処理の結果に前記サイズ依存性補正量を乗算してサイズ依存性補正を行なう演算処理とを順に実行することを特徴とするX線検査装置。
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