JP4030882B2 - めっき治具 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状の部分を有する被処理物(平板状の製品、円筒状の製品等)に電気めっき処理を行う際にその被処理物を保持するめっき治具に関し、特に、めっき引掛け、めっき及びめっき外しの一連の工程を効率良く自動化するのに適応されためっき治具の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の電気めっき処理の方式は、ばねの力などを利用した通電可能なめっき治具に被処理物を挟み持たせる形で保持させ、被処理物をめっき治具と共にめっき処理液中に浸漬し、めっき治具を介して被処理物への給電を行ってめっき処理を行う方式が主流である。かかる電気めっき処理を行うのに用いられるめっき治具には、被処理物の形状や寸法などにより種々の形態があるが、図3はその一例を示したものである。
【0003】
図3は従来例に係るめっき治具の構成を模式的に示したもので、図中、(a)はめっき治具50を斜視的に見た全体構成、(b)は(a)における給電ピン41を拡大して斜視的に見た形状をそれぞれ示しており、また、(c)は給電ピン41の形状に起因する問題点を説明するための図である。
【0004】
図3に示すめっき治具50は、めっき治具本体としての通電可能な搬送枠40に給電ピン41を固定的に取り付けてなる構造を有している。給電ピン41は、電気めっき処理の対象とする被処理物(半導体チップ等の平板状製品1)を挟む形で保持する機能(図3(b)参照)と、この平板状製品1への給電を行う機能とを兼用している。図示の例では、4本の給電ピン41によって1個の平板状製品1を保持している。この平板状製品1は、一辺が20mm程度の正方形で、厚さが3mm程度の大きさを有している。
【0005】
搬送枠40は、図3(a)に示すようにステンレス鋼板(厚さが3mm程度)を矩形状に折り曲げ加工し、その終端部を溶接により接合して形成されている。また、給電ピン41には、ばね性を有するステンレス鋼の丸棒(直径が0.8mm程度)が使用され、給電ピン41の被処理物(平板状製品1)に接触する先端部分41aは丸棒の折り曲げ加工によって形成され、また、給電ピン41の根元部分41bは搬送枠40にスポット溶接で取り付けられている。
【0006】
また、搬送枠40には、その搬送方向又はその直交方向に給電用フック42が突設されている。この給電用フック42は、給電ピン41に被処理物(平板状製品1)を保持させた状態で搬送枠40(めっき治具50)をめっき自動化工程へ搬送した時に、めっき処理液中に浸漬装備した電極(陽極)に係合される。これによって、電極から給電用フック42、搬送枠40及び給電ピン41を介して被処理物(平板状製品1)に電流が流れ、その表面に金属が還元析出される(電気めっき処理)。また、給電用フック42を備えた搬送枠40(めっき治具50)は、めっき処理を行う前とめっき処理を行った後に、被処理物(平板状製品1)の着脱自動化工程へ搬送される。
【0007】
上記の従来技術に関連する技術としては、例えば、めっき処理槽の槽内の底部に被処理物への給電を行う液中給電装置を設置し、被処理物を保持した搬送処理用のバスケットをめっき処理槽に浸漬したときに、バスケットの底部に液中給電装置が入り込み、かつ、バスケットに保持されている被処理物が液中給電装置に乗る形で接触するように構成してめっき処理を行うようにしたものがある(例えば、特許文献1参照)。
【0008】
【特許文献1】
特開2001−115300号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来例に係るめっき治具50(図3)の構成では、平板状製品に対するめっき引掛け、めっき及びめっき外しの一連の工程を自動化するにあたり、以下に記述するように改善すべき様々な問題点があった。
【0010】
先ず、生産性を上げるためにめっき治具50への被処理物(平板状製品1)の取り付け個数を増やすと、それに応じて搬送枠40(めっき治具50)の大きさ及び重量が増大するため、着脱自動化工程やめっき自動化工程へ搬送するための機構(搬送装置)及び各工程における自動機の規模(占有スペース、設備費用)が大きくなるといった問題点があった。また、搬送装置については、その搬送対象であるめっき治具50の重量が大きいために搬送効率が低下し、結果的に効率の良い自動化を図ることができないといった不都合もあった。
【0011】
また、給電用フック42が搬送枠40の側面に突出しているため、めっき治具50を被処理物(平板状製品1)の着脱自動化工程へ搬送したときに、その突出している給電用フック42の存在により、個々の製品の着脱に際しての位置決めの精度が低下するといった問題点があった。これは、効率の良い自動化を阻害する要因となる。
【0012】
また、給電ピン41については、その先端部分41aは丸棒(ステンレス鋼)の折り曲げ加工によって鉤状に加工されているため、その先端部分41aで被処理物(平板状製品1)を保持するのに十分な形状面での精度が確保できず(つまり、折り曲げ加工精度が悪く)、また、その根元部分41bは搬送枠40にスポット溶接で取り付けられているため、めっき治具本体(搬送枠40)に対する給電ピン41の取付位置精度が低下するといった問題点があった。これは、めっき引掛け及びめっき外しの障害となるもので、結果的に、効率の良い自動化を阻害する要因となる。
【0013】
また、給電ピン41の先端部分41aの形状面での精度が確保できないため、給電ピン41の被処理物(平板状製品1)に対する十分な保持力を維持することが難しく、そのため、場合によってはめっき装置内で製品1が落下する可能性があった。
【0014】
かかる不都合に対処するための手段として、給電ピン41の材料である丸棒の径を大きくして保持力を高めることが考えられるが、給電ピン41の径を大きくすると、それに応じて給電ピン41(先端部分41a)の製品1に接触する部分の投影面積(図3(c)においてハッチングで示す部分)も大きくなるため、めっき未着部分の発生率が高くなるといった問題点があった。
【0015】
本発明は、かかる従来技術における課題に鑑み創作されたもので、給電ピンの加工精度と位置精度を向上させ、めっき引掛け、めっき及びめっき外しの一連の工程を効率良く自動化することに寄与すると共に、めっき未着部分の発生率を低減することができるめっき治具を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上述した従来技術の課題を解決するため、本発明に係るめっき治具は、それぞれ通電が可能な外枠及び内枠を備え、前記内枠を保持し、かつ前記内枠への給電を行うためのばね性を有する第1の保持/給電板が、前記外枠の所要の箇所に固設され、電気めっき処理の対象とする被処理物を保持し、かつ前記被処理物への給電を行うためのばね性を有する第2の保持/給電板(給電ピン)が、前記内枠と一体的に形成されていると共に、前記第2の保持/給電板(給電ピン)の前記被処理物に接触する先端部分が、前記第2の保持/給電板(給電ピン)の長手方向と直交する面内で90°捻られ、前記内枠と前記外枠とは、電気めっき処理を行う時に前記第1の保持/給電板を介して合体され、前記被処理物の前記第2の保持/給電板(給電ピン)への着脱時に分離されることを特徴とする。
【0017】
本発明に係るめっき治具の構成によれば、物理的に分けた外枠と内枠を、電気めっき処理を行う時に合体し、被処理物の着脱時に分離するようにしており、さらに外枠と内枠の合体/分離を、ばね性を有する第1の保持/給電板を介して行うようにしているので、めっき引掛け、めっき及びめっき外しの一連の工程を自動化するにあたりその効率化を図ることができる。
【0018】
また、板状の給電ピンは内枠と一体的に形成されているので、被処理物を保持するのに十分な形状面での加工精度と共に、内枠に対する位置精度を向上させることができる。
【0019】
また、板状の給電ピンの被処理物に接触する先端部分がその長手方向と直交する面内で90°捻られているので、被処理物に接触している部分は給電ピンの板厚に相当する部分の一部のみとなる。これによって、給電ピンの被処理物に対する接触部分の投影面積を大いに減らすことができ、めっき未着部分の発生率を低減することが可能となる。
【0020】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一実施形態に係るめっき治具の構成を模式的に示したものである。図中、(a)は本実施形態に係るめっき治具30を斜視的に見た全体構成、(b)は(a)における給電ピン21を拡大して斜視的に見た形状をそれぞれ示しており、また、(c)は給電ピン21の先端部分21aの形状に基づく効果を説明するための図である。
【0021】
本実施形態に係るめっき治具30は、図1(a)に示すように物理的に分けられた外枠(搬送枠)10と内枠(搬送枠)20とによって構成されており、各搬送枠10,20は、いずれも通電が可能な材料(本実施形態ではステンレス鋼)によって形成されている。外枠(搬送枠)10と内枠(搬送枠)20は、後述するように電気めっき処理を行う時に合体され、被処理物(平板状製品1)の着脱時に分離されるようになっている。
【0022】
外枠10は、図1(a)に示すようにステンレス鋼板(厚さが3mm程度)を矩形状に折り曲げ加工し、その終端部を溶接により接合して形成されている。この外枠10には、その搬送方向又はその直交方向に給電用フック11が突設されている。この給電用フック11を備えた外枠10は、後述するように内枠20が合体された状態でめっき自動化工程へ搬送されるが、被処理物(平板状製品1)の着脱自動化工程へは搬送されない。つまり、めっき処理を行う前とめっき処理を行った後に着脱自動化工程へ搬送されるのは内枠20のみである。
【0023】
また、外枠10の所要の箇所には、内枠20を保持し、かつ内枠20への給電を行うための板ばね(給電板12)が、溶接により接合されている。給電板12は、ばね性を有するステンレス鋼板の表面に「ブルーイング(blueing) 」と呼ばれる熱処理を施して形成されている。このブルーイングは、ステンレス鋼の耐食性などを改善するために行うもので、適切な温度、空気、水蒸気又は化学薬品にさらして、ステンレス鋼を加熱してその表面に鉄の酸化物被膜を形成させる処理である。
【0024】
一方、内枠20は、ステンレス鋼の薄板(厚さが1.2mm程度)の折り曲げ加工によって矩形状に形成され、さらに、図1(a)の右側の詳細図に示すように、矩形の各辺の長手方向と直交する断面の形状がL字状となるように折り曲げ加工されている。
【0025】
また、内枠20の所要の箇所には、被処理物(平板状製品1)を保持し、かつ被処理物(平板状製品1)への給電を行うための板ばね(給電ピン21)が設けられており、図示の例では4本の給電ピン21によって1個の平板状製品1を保持している。給電ピン21は、ばね性を有するステンレス鋼の薄板(厚さが0.3mm程度)の打ち抜き加工によって内枠20と一体的に形成され、さらに、その表面に熱処理(ブルーイング)を施して形成されている。給電ピン21の被処理物(平板状製品1)に接触する先端部分21aは、1.5mm〜2.0mm程度の幅に形成され、さらに、図1(b)に示すようにその長手方向と直交する面内で90°捻られている。これによって、先端部分21aが被処理物(平板状製品1)に接触する部分は、給電ピン21の板厚(この場合、0.3mm程度)に相当する部分の一部のみとなる(図1(c)参照)。
【0026】
また、給電ピン21の内枠20につながる根元部分21bには、図1(b)に模式的に示すようにリブ出し加工が施されている。このリブ出し加工は、板ばねとしての耐久性を改善するために行うもので、給電ピン21の根元部分21bの一部(ステンレス鋼板)を内側方向にプレスして凹部状(内側から見てリブ状)に成形する処理である。
【0027】
また、内枠20の所定の箇所には、外枠10との合体時に外枠10の各給電板12にそれぞれ対応して接触される給電接触部22が設けられている。なお、図1の例では簡単化のため、外枠10によって保持される内枠20の個数が2個の場合について示しているが、実際には6個の内枠20が外枠10によって保持されるようになっている。
【0028】
図2は、内枠20と外枠10の合体時及び分離時の給電板12の状態をそれぞれ示したものである。
【0029】
内枠20は、電気めっき処理を行う時に外枠10に合体される(図2(a)参照)。この場合、先ず板ばね(給電板12)を▲1▼の方向に偏倚させておき、内枠20を所定の位置に位置合わせした後、板ばね(給電板12)を離すとそのばね力によって内枠20が▲2▼の方向に押さえつけられ、内枠20と外枠10が給電板12を介して合体される。一方、内枠20は、板ばね(給電ピン21)への被処理物(平板状製品1)の着脱時に外枠10から分離される(図2(b)参照)。この場合、図2(a)に示したように板ばね(給電板12)を▲1▼の方向に偏倚させた後、内枠20を所定の位置(破線で表示)から▲3▼の方向に外して、外枠10から分離する。
【0030】
以上に説明した本実施形態に係るめっき治具30の構成によれば、物理的に分けた外枠10と内枠20を、電気めっき処理を行う時に合体し、被処理物(平板状製品1)の着脱時に分離するようにしており、さらに外枠10と内枠20の合体/分離を、給電機能と保持機能を兼用させた板ばね(給電板12)を介して行うようにしているので(図2参照)、めっき引掛け、めっき及びめっき外しの一連の工程を自動化するにあたりその効率化を図ることができる。これは、めっき処理に要する作業人員の削減に寄与する。
【0031】
従来例の構成(図3参照)では、めっき治具50を被処理物(平板状製品1)の着脱自動化工程へ搬送したときに、搬送枠40の側面に突設された給電用フック42の存在により、個々の製品の着脱に際しての位置決めの精度が低下するといった問題点があったが、本実施形態に係るめっき治具30の構成(図1参照)では、平板状製品1を保持するための給電ピン21が一体形成された内枠20のみを外枠10から分離して着脱自動化工程へ搬送することができるので、従来例に見られたようなめっき治具の搬送に係る問題点は生じない。このことは、効率の良い自動化に寄与し、ひいては作業人員の削減化に寄与する。
【0032】
また、給電ピン21はステンレス鋼板の打ち抜き加工によって内枠20と一体形成されているので、被処理物(平板状製品1)を保持するのに十分な形状面での加工精度と共に、内枠20に対する位置精度を向上させることができる。
【0033】
従来例(図3)では、ステンレス鋼の丸棒の折り曲げ加工によって給電ピン41を形成していたために被処理物(平板状製品1)を保持するのに十分な形状面での折り曲げ加工精度が悪く、また、丸棒状の給電ピン41を搬送枠40にスポット溶接で取り付けていたために給電ピン41の取付位置精度が悪いといった問題点があったが、本実施形態(図1)では、ステンレス鋼板の打ち抜き加工によって内枠20と給電ピン21を一体形成しているので、従来例に見られたようなめっき引掛け及びめっき外しの障害となるような問題点は生じない。これは、効率の良い自動化に寄与するものである。
【0034】
また、給電ピン21の被処理物(平板状製品1)に接触する先端部分21aがその長手方向と直交する面内で90°捻られているので(図1(b)参照)、先端部分21aの接触している部分は給電ピン21の板厚(本実施形態では0.3mm程度)に相当する部分の一部のみとなる。これによって、先端部分21aの接触部分の投影面積を大いに減らすことができ(図1(c)参照)、めっき未着部分の発生率を低減することが可能となる。
【0035】
さらに、給電機能をもたせる必要がある給電板12及び給電ピン21の材料であるステンレス鋼板の表面に熱処理(ブルーイング)を施しているので、各給電部材12,21の耐性を向上させることができる。各給電部材12,21の耐性の向上により、めっき治具30の経年使用に対する耐性を高めることができ、ひいてはめっき治具30の寿命を延ばすことができる。
【0036】
さらに、給電ピン21の内枠20につながる根元部分21bにリブ出し加工を施しているので(図1(b)参照)、板ばねとしての耐久性を向上させることができ、ひいては給電ピン21の被処理物(平板状製品1)に対する保持力を増大させることが可能となる。このように給電ピン21の保持力を強くすることで、従来例(図3)に見られたようなめっき装置内での被処理物(平板状製品1)の落下の可能性を排除することができる。これは、効率の良い自動化に寄与するものである。
【0037】
さらに、内枠20については、薄い板厚(本実施形態では1.2mm)のステンレス鋼板の折り曲げ加工によって矩形状に形成し、さらに、矩形の各辺の長手方向と直交する断面をL字状に形成しているので、内枠20の精度の向上と共に軽量化を図ることができる。
【0038】
従来例(図3)では、搬送枠40は比較的厚い板厚(3mm程度)のステンレス鋼板を単に矩形状に折り曲げ加工しただけの構造であったため、搬送枠としての形状面での精度が必ずしも良いとは限らず、めっき自動化工程や着脱自動化工程への搬送時にその形状が歪む可能性があったが、本実施形態(図1)では、内枠20をステンレス鋼の薄板の折り曲げ加工によって所定の断面形状に形成しているので、着脱自動化工程やめっき自動化工程(この時は外枠10と合体されている)への搬送時においてもその形状が歪むことはない。つまり、内枠20の精度が向上する。さらに、内枠20全体として軽量化されているので、搬送装置の負担の軽減、ひいては搬送効率の向上にも寄与する。
【0039】
上述した実施形態では、半導体チップ等の平板状製品1(被処理物)に対して電気めっき処理を行う場合を例にとって説明したが、被処理物の形態はこれに限定されないことはもちろんである。要は、図1に示したような給電ピン21の先端部分21aによって保持することが可能な板状の部分を有していれば十分であり、例えば、円筒状の製品等を被処理物として扱うことも可能である。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、めっき治具を構成する搬送枠を外枠と内枠とに分けておき、外枠と内枠を電気めっき処理を行う時に合体し、被処理物の着脱時に分離できるように構成することにより、給電ピンの加工精度と位置精度を向上させ、めっき引掛け、めっき及びめっき外しの一連の工程を効率良く自動化することに寄与することができると共に、めっき未着部分の発生率を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るめっき治具の構成を模式的に示す斜視図である。
【図2】図1における内枠と外枠の合体時及び分離時の給電板の状態をそれぞれ示す図である。
【図3】従来例に係るめっき治具の構成を模式的に示す斜視図である。
【符号の説明】
1…平板状製品(被処理物)、
10…外枠(搬送枠)、
11…給電用フック、
12…給電板(第1の保持/給電板)、
20…内枠(搬送枠)、
21…給電ピン(第2の保持/給電板)、
21a…給電ピンの先端部分(90°捻られた部分)、
21b…給電ピンの根元部分(リブ出し加工を施した部分)、
22…給電接触部、
30…めっき治具。
Claims (6)
- それぞれ通電が可能な外枠及び内枠を備え、
前記内枠を保持し、かつ前記内枠への給電を行うためのばね性を有する第1の保持/給電板が、前記外枠の所要の箇所に固設され、
電気めっき処理の対象とする被処理物を保持し、かつ前記被処理物への給電を行うためのばね性を有する第2の保持/給電板が、前記内枠と一体的に形成されていると共に、前記第2の保持/給電板の前記被処理物に接触する先端部分が、前記第2の保持/給電板の長手方向と直交する面内で90°捻られ、
前記内枠と前記外枠とは、電気めっき処理を行う時に前記第1の保持/給電板を介して合体され、前記被処理物の前記第2の保持/給電板への着脱時に分離されることを特徴とするめっき治具。 - 前記第1の保持/給電板及び第2の保持/給電板は、それぞれステンレス鋼板の表面に熱処理を施して形成されていることを特徴とする請求項1に記載のめっき治具。
- 前記第2の保持/給電板は、前記内枠につながる根元部分にリブ出し加工が施されていることを特徴とする請求項1に記載のめっき治具。
- 前記内枠は、ステンレス鋼板の折り曲げ加工により、矩形状に形成されていると共に、該矩形の各辺の長手方向と直交する断面がL字状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のめっき治具。
- 前記内枠及び第2の保持/給電板は、ステンレス鋼板の打ち抜き加工によって一体的に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のめっき治具。
- 保持すべき個々の被処理物に対応してそれぞれ少なくとも4個の前記第2の保持/給電板が前記内枠に設けられ、電気めっき処理を行う時に複数個の前記内枠が前記外枠に合体されることを特徴とする請求項1に記載のめっき治具。
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