JP4024049B2 - 強誘電体メモリ - Google Patents
強誘電体メモリ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4024049B2 JP4024049B2 JP2002028082A JP2002028082A JP4024049B2 JP 4024049 B2 JP4024049 B2 JP 4024049B2 JP 2002028082 A JP2002028082 A JP 2002028082A JP 2002028082 A JP2002028082 A JP 2002028082A JP 4024049 B2 JP4024049 B2 JP 4024049B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferroelectric
- cell
- memory
- memory cell
- pulse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Memories (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、強誘電体メモリに関し、特に、強誘電体膜を有する強誘電体メモリに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、モバイル機器を始めとする電子機器の発展とともに、低消費電力で、高速に大容量のデータを処理する半導体デバイスが必要となっている。特に、半導体メモリでは、低消費電力で、高速に大容量のデータを扱える不揮発性メモリの実現が期待されている。このような要求を満たす不揮発性メモリとして、強誘電体薄膜をストレージ用キャパシタとして用いた強誘電体メモリの研究・開発が精力的に行われている。
【0003】
強誘電体メモリでは、強誘電体薄膜の自発分極の反転速度が速いため、DRAM(Dynamic Random Access Memory)並の高速な書き込みや読み出しが可能である。
【0004】
図9は、従来の最も一般的に用いられている1トランジスタ1キャパシタ型の強誘電体メモリの代表的な等価回路図であり、図10は、図9に対応する断面構造図である。図9および図10を参照して、この従来の構造では、半導体基板101の表面上の所定領域に素子分離領域102が形成されている。素子分離領域102によって囲まれた素子形成領域には、所定の間隔を隔てて、ソース/ドレイン領域103および104が形成されている。ソース/ドレイン領域103と104との間に位置するチャネル領域上には、ゲート絶縁膜105を介して、ワード線(WL)を構成するゲート電極106が形成されている。ソース/ドレイン領域104には、ビット線(BL)113が電気的に接続されている。
【0005】
また、ソース/ドレイン領域103には、プラグ電極108を介して、下部電極109が形成されている。下部電極109上には、強誘電体層110を介して、プレート線(PL)を構成する上部電極111が形成されている。この下部電極109、強誘電体層110および上部電極111によって、強誘電体キャパシタ112が構成されている。また、ソース/ドレイン領域103および104と、ゲート絶縁膜105と、ゲート電極106とによって、トランジスタ107が構成されている。このトランジスタ107は、メモリセルの選択を行うスイッチとして機能する。また、図9に示すように、1つのメモリセル100は、1つのトランジスタ107と、1つの強誘電体キャパシタ112とによって構成されている。
【0006】
このように、従来の強誘電体メモリセルの構造は、DRAMのメモリセルの構造と基本的に同様である。従来の強誘電体メモリセルとDRAMとのメモリセル構造の異なる点は、DRAMではキャパシタ材料として自発分極を持たない誘電体(常誘電体)を用いるのに対して、強誘電体メモリでは、強誘電体性の誘電体を用いる点である。
【0007】
また、従来の強誘電体メモリでは、セルアレイ構成もDRAMと同様である。具体的には、図10に示した従来の強誘電体メモリは、図11に示すような平面レイアウトを有する。この場合の最小セルサイズは、2F×4F=8F2(Fは最小加工寸法)である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図10に示した従来の1トランジスタ1キャパシタ型の強誘電体メモリの構造では、8F2サイズより小さいサイズのメモリセルを実現することが困難であるという問題点があった。
【0009】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、
この発明の1つの目的は、従来の1トランジスタ1キャパシタ型の強誘電体メモリの構造に比べて、メモリセルの面積を小さくすることが可能な強誘電体メモリを提供することである。
【0010】
この発明のもう1つの目的は、上記の強誘電体メモリにおいて、非選択のメモリセルにおけるディスターブを回避することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記した目的を達成するために、請求項1による強誘電体メモリは、互いに交差するように配置された複数のワード線および複数のビット線と、ワード線とビット線とが交差する位置にそれぞれ配置された複数のメモリセルと、ビット線に所定のパルス幅を有するパルスを印加するためのパルス印加手段とを備え、各々のメモリセルは、ゲートおよびソース/ドレイン領域を有するトランジスタと、トランジスタのソース/ドレイン領域に接続された第1電極と、第1電極上に形成された強誘電体膜と、強誘電体膜上に形成された第2電極とを含み、各々のメモリセルのトランジスタのゲートには、ワード線が接続され、各々のメモリセルの第2電極には、ビット線が接続され、メモリセルは、同一のビット線で、かつ、異なるワード線に接続された、選択された第1セルと、非選択の第2セルとを含み、パルス印加手段は、第1セルを分極反転させるとともに、第2セルを実質的に分極反転させないような所定のパルス幅を有するパルスをビット線に印加するように構成されている。
【0012】
請求項1では、上記のように構成することによって、選択されたメモリセルに対しては、書き込みまたは読み出しを行うことができるとともに、非選択のメモリセルに対しては、ほとんど分極反転を生じないようにすることができる。その結果、非選択のメモリセルにおけるディスターブを回避することができる。
【0016】
なお、上記の強誘電体メモリにおいて、強誘電体膜は、SBT、SBNT、PZT、PLZT、BITおよびBLTのいずれかを含んでいてもよい。
【0017】
また、本発明の別の局面として、以下のような強誘電体メモリの動作方法も考えられる。すなわち、一対のソース/ドレイン領域を有するトランジスタと、トランジスタのソース/ドレイン領域に接続された電極と、電極上に形成された強誘電体膜と、強誘電体膜上に形成されたビット線とを含むメモリセルと、強誘電体膜に高い電圧を印加した場合には分極反転を生じるとともに、強誘電体膜に低い電圧を印加した場合には実質的に分極反転を生じないような所定のパルス幅を有するパルスをメモリセルに印加するためのパルス印加手段とを備えた強誘電体メモリの動作方法であって、データの書き込み時および読み出し時の少なくともいずれか一方の時に、選択されたメモリセルには、所定のパルス幅を有する高い電圧のパルスを印加するとともに、非選択のメモリセルには、所定のパルス幅を有する低い電圧のパルスを印加する。このように構成すれば、メモリセル面積を小さくすることができ、かつ、非選択のメモリセルにおけるディスターブを回避することが可能な強誘電体メモリの動作方法を提供することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【0019】
(参考例)
図1は、本発明の参考例による強誘電体メモリの等価回路図であり、図2は、図1に対応する断面構造図である。また、図3は、図2に示した参考例による強誘電体メモリの平面レイアウト図である。
【0020】
まず、図1および図2を参照して、この参考例による構造では、半導体基板1の表面上に、ウェル領域2が形成されている。ウェル領域2の表面には、ソース/ドレイン領域3および4が所定の間隔を隔てて形成されている。ソース/ドレイン領域3と4との間に位置するチャネル領域上には、ゲート絶縁膜5を介して、ゲート電極6が形成されている。ゲート電極6には、ワード線(WL)13が接続されている。なお、ゲート電極6とワード線(WL)13とを一体的に形成してもよい。また、各ソース/ドレイン領域3および4には、それぞれ、プラグ電極8を介して、下部電極9が形成されている。なお、下部電極9が本発明の「電極」の一例である。下部電極9上には、強誘電体層10を介して、ビット線(BL)を構成する上部電極11が形成されている。この下部電極9、強誘電体層10および上部電極11によって、強誘電体キャパシタ12が構成されている。このように、参考例では、各ソース/ドレイン領域3および4の上に、強誘電体キャパシタ12が形成される。
【0021】
また、ソース/ドレイン領域3および4と、ゲート絶縁膜5と、ゲート電極6とによって、トランジスタ7が構成されている。このトランジスタ7は、メモリセルの選択を行うスイッチとして機能する。また、図1に示すように、1つのメモリセル50(51)は、1つのトランジスタ7と1つの強誘電体キャパシタ12とによって構成されている。
【0022】
また、この参考例では、直列に接続されたメモリセル構造の端部に、選択トランジスタ61および62が設けられている。なお、図1および図2に示した選択トランジスタ61(62)は、WLと接続せずに独立に制御するようにしてもよい。そして、その選択トランジスタ61(62)を構成する一方のソース/ドレイン領域61a(62a)には、プレート線(PL)14が接続されている。
【0023】
参考例では、上記のように、各ソース/ドレイン領域3および4上に強誘電体キャパシタ12を形成することができるので、各ソース/ドレイン領域3および4毎に1つのメモリセルを形成することができる。これにより、一対のソース/ドレイン領域毎に1つのメモリセルが形成される従来の1トランジスタ1キャパシタ型の強誘電体メモリの構造(図9〜図11参照)に比べて、メモリセルの面積を小さくすることができる。具体的には、参考例では、図3に示すように、最小セルサイズを、2F×3F=6F2(Fは最小加工寸法)で形成することができる。
【0024】
図4は、本発明の参考例による強誘電体メモリのメモリセルアレイ構造を説明するための等価回路図であり、図5は、図4の回路における読み込みシーケンスおよび再書き込みシーケンスの一例を示した図である。図4を参照して、このメモリセルアレイでは、図2に示した参考例による強誘電体メモリセル構造を直列に並べて形成するとともに、その一方の端部に選択トランジスタ61および62を接続することによって、メモリセル50および51のブロックを構成している。また、他方の端部は、ゲートを接地したトランジスタ63および64により終端している。
【0025】
次に、図4および図5を参照して、参考例による強誘電体メモリの動作について説明する。まず、選択セルに接続しているワード線WL1をハイレベルにすることにより、選択トランジスタ61およびWL1に接続されるメモリセル50のトランジスタ7をオン状態にする。これにより、メモリブロックを選択する。この時、全てのビット線BLは、0Vにする。次に、選択セルに接続しているビット線BL1をフローティング状態にすると同時に、プレート線PL1と、ビット線BL1以外のビット線BLとをハイレベルにする。この時、強誘電体キャパシタに情報「1」が書き込まれている場合には、分極反転し、情報「0」の場合に比べて大きな電圧がビット線BL1に現れる。次に、このビット線BL1に現れる電圧をセンシングする。これにより、情報「1」の場合はハイレベルに、情報「0」の場合は0Vとなる。このようにして、情報の判定が行われる。
【0026】
その後、プレート線PL1と、ビット線BL1以外のビット線BLとを0Vにすることにより、再書き込みを行う。そして、ビット線BL1を0Vにし、続いて、ワード線WL1を0Vにする。
【0027】
参考例では、上記のように、図2に示した強誘電体メモリセル構造を直列に並べるとともに、その端部に選択トランジスタ61および62を接続することにより、メモリセル50のブロックを構成することによって、容易に、メモリセル50をアレイ化することができる。
【0028】
(実施形態)
図6は、本発明の実施形態による強誘電体メモリのメモリセルアレイの一部を示した等価回路図であり、図7は、図6に示した実施形態による強誘電体メモリの書き込み時の電圧変化をシミュレーションした図である。図8は、印加電圧をパラメータとして、強誘電体キャパシタにパルスを印加した場合のパルス幅と分極反転電荷量との関係を示した図である。
【0029】
この実施形態では、図6に示すように、ビット線BLは、カラムデコーダ71に接続されている。カラムデコーダ71には、パルス印加回路72が設けられている。なお、このパルス印加回路72は、本発明の「パルス印加手段」の一例である。
【0030】
図6に示した実施形態によるメモリセルアレイに対して、書き込み動作のシミュレーションを行った結果が図7に示される。この場合、強誘電体薄膜としては、SBT膜を適用した。図7には、Vccを3Vとし、第1セルを選択セルとした場合のノード1〜ノード4と、ビット線BL1およびBL2との電位変化が示されている。ただし、図7に示す0〜50nsの時間内において、WL1はハイレベルであり、WL2とPL1とPL2とは0Vであるとする。
【0031】
図7のシミュレーション結果から明らかなように、選択セルの強誘電体キャパシタには、BL1とノード1との電位差であるほぼVccの電圧が印加される。また、ノード3および4と、BL2とは電位差がないので、非選択の第3セルおよび第4セルの強誘電体キャパシタには、電圧が印加されない。
【0032】
これに対して、非選択の第2セルの強誘電体キャパシタには、ノード2とビット線BL1との電位差である0.2V程度の電圧が印加されていることがわかる。このような小さな電圧印加でも、ディスターブの原因となる可能性がある。
【0033】
そこで、この実施形態では、図8に示したパルス幅と分極反転電荷量との関係から導き出される現象を利用する。具体的には、図8に示すように、短いパルス幅(たとえば30ns以下)のパルス電圧を印加すれば、電圧が小さい場合(たとえば、0.4V以下)には、ほとんど分極状態に影響を与えることがないことがわかる。これを利用して、ディスターブを回避する。
【0034】
すなわち、図6に示したパルス印加回路72を用いて、データの書き込み時に、選択された第1セルには、たとえば30ns以下の短いパルス幅を有し、かつ、強誘電体キャパシタの分極反転を生じさせることが可能な高い電圧のパルスを印加する。このとき、非選択の第2セルの強誘電体キャパシタに印加されるパルスを0.4V以下になるように制御すれば、選択された第1セルに対しては、書き込みを行うことができるとともに、非選択の第2セルに対しては、ほとんど分極反転を生じないようにすることができる。その結果、非選択のメモリセルにおけるディスターブを回避することができる。
【0035】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【0036】
たとえば、上記実施形態では、強誘電体層として、SBT膜を用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、SBNT、PZT、PLZT、BIT、BLTまたはこれに準ずる強誘電体層を用いてもよい。
【0037】
また、上記実施形態では、データの書き込み時に、短いパルス幅の電圧を印加することにより非選択セルのディスターブを回避する例を示したが、本発明はこれに限らず、データの読み出し(読み込み)時にも同様に適用可能である。
【0038】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、従来の1トランジスタ1キャパシタ型の強誘電体メモリの構造に比べて、メモリセルの面積を小さくすることが可能な強誘電体メモリを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の参考例による強誘電体メモリのメモリセル構造を示した等価回路図である。
【図2】 図1に示した参考例による強誘電体メモリの断面構造図である。
【図3】 図2に示した参考例による強誘電体メモリのメモリセル構造に対応する平面レイアウト図である。
【図4】 本発明の参考例による選択トランジスタを有するメモリセルアレイ構造を示した等価回路図である。
【図5】 図4に示した参考例による強誘電体メモリの読み込みおよび再書き込みシーケンスを示す図である。
【図6】 本発明の実施形態による強誘電体メモリの等価回路図である。
【図7】 図6に示した強誘電体メモリの書き込み時のノード1〜4と、ビット線BL1、BL2の電圧変化をシミュレーションした図である。
【図8】 印加電圧をパラメータとして強誘電体キャパシタにパルスを印加した場合のパルス幅と分極反転電荷量との関係を示した相関図である。
【図9】 従来の強誘電体メモリの等価回路図である。
【図10】 図9に示した従来の強誘電体メモリの断面構造図である。
【図11】 図10に示した従来の強誘電体メモリのメモリセル構造に対応する平面レイアウト図である。
Claims (1)
- 互いに交差するように配置された複数のワード線および複数のビット線と、
前記ワード線と前記ビット線とが交差する位置にそれぞれ配置された複数のメモリセルと、
前記ビット線に所定のパルス幅を有するパルスを印加するためのパルス印加手段とを備え、
各々の前記メモリセルは、ゲートおよびソース/ドレイン領域を有するトランジスタと、前記トランジスタのソース/ドレイン領域に接続された第1電極と、前記第1電極上に形成された強誘電体膜と、前記強誘電体膜上に形成された第2電極とを含み、
各々の前記メモリセルのトランジスタのゲートには、前記ワード線が接続され、各々の前記メモリセルの第2電極には、前記ビット線が接続され、
前記メモリセルは、同一の前記ビット線で、かつ、異なる前記ワード線に接続された、選択された第1セルと、非選択の第2セルとを含み、
前記パルス印加手段は、前記第1セルを分極反転させるとともに、前記第2セルを実質的に分極反転させないような前記所定のパルス幅を有するパルスを前記ビット線に印加するように構成されている、強誘電体メモリ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002028082A JP4024049B2 (ja) | 2002-02-05 | 2002-02-05 | 強誘電体メモリ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002028082A JP4024049B2 (ja) | 2002-02-05 | 2002-02-05 | 強誘電体メモリ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003229545A JP2003229545A (ja) | 2003-08-15 |
JP4024049B2 true JP4024049B2 (ja) | 2007-12-19 |
Family
ID=27749410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002028082A Expired - Fee Related JP4024049B2 (ja) | 2002-02-05 | 2002-02-05 | 強誘電体メモリ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4024049B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11972811B2 (en) | 2018-11-18 | 2024-04-30 | NEO Semiconductor, Inc. | Methods and apparatus for NAND flash memory |
CN113711310B (zh) * | 2018-11-18 | 2023-01-24 | Neo半导体公司 | 用于nand闪速存储器的方法和装置 |
-
2002
- 2002-02-05 JP JP2002028082A patent/JP4024049B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003229545A (ja) | 2003-08-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6301145B1 (en) | Ferroelectric memory and method for accessing same | |
KR100243294B1 (ko) | 반도체장치의 강유전체 메모리 셀 및 어레이 | |
US6969617B2 (en) | Method for manufacturing NAND type nonvolatile ferroelectric memory cell | |
JP4531886B2 (ja) | 強誘電体メモリ装置 | |
US6028784A (en) | Ferroelectric memory device having compact memory cell array | |
WO2001069602A2 (en) | Ferroelectric memory and method of operating same | |
JP2006190395A (ja) | 半導体メモリ | |
JP2008108355A (ja) | 強誘電体半導体記憶装置及び強誘電体半導体記憶装置の読み出し方法 | |
JP2002269972A (ja) | 強誘電体メモリ装置および強誘電体キャパシタからなるメモリセルに対する動作方法 | |
KR100745938B1 (ko) | 강유전체 메모리 및 그 동작 방법 | |
KR100428652B1 (ko) | 인접 셀간에 셀 플레이트를 공유하는 강유전체 메모리 소자 | |
JP4024049B2 (ja) | 強誘電体メモリ | |
JP2001076493A (ja) | 強誘電体記憶装置 | |
KR100279299B1 (ko) | 불 휘발성 메모리 장치 및 그것의 제조 방법 | |
KR100449953B1 (ko) | 강유전체 메모리 장치의 셀어레이 | |
JP3350241B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
JPH04341995A (ja) | ダイナミック型メモリセルおよびダイナミック型メモリ | |
JP3430117B2 (ja) | 強誘電体メモリ及びその動作制御方法並びに強誘電体メモリセル構造及びその製造方法 | |
JPH11102980A (ja) | FeRAMセル及びその書込方法並びにこのセルを用いたFeRAMセルアレイ及びFeRAM | |
JP3945498B2 (ja) | メモリセル及び半導体記憶装置 | |
JPH08212771A (ja) | 強誘電体記憶装置 | |
JP2762785B2 (ja) | 記憶装置 | |
JP2001084759A (ja) | 不揮発性強誘電体メモリ装置及びその製造方法 | |
JPH0294473A (ja) | 不揮発性半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070724 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070904 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071002 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111012 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |