JP4016317B2 - クリーンルーム用の搬送車 - Google Patents
クリーンルーム用の搬送車 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4016317B2 JP4016317B2 JP2001273037A JP2001273037A JP4016317B2 JP 4016317 B2 JP4016317 B2 JP 4016317B2 JP 2001273037 A JP2001273037 A JP 2001273037A JP 2001273037 A JP2001273037 A JP 2001273037A JP 4016317 B2 JP4016317 B2 JP 4016317B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transport vehicle
- clean room
- air
- article
- moving direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム内を移動して物品を搬送するクリーンルーム用の搬送車に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記構成のクリーンルーム用の搬送車において、従来では、例えば特開２０００−１４２４１７号公報に示されるように、搬送車の移動方向後部側箇所から外部の空気を車体内に吸引して、その吸引した空気を車体の横側箇所から車体外部に排気するように空気を通風させる送風ファンを車体内部に備えるように構成したものがあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術においては、後部側箇所から外部の空気を車体内に吸引させるようにして、搬送車の移動に伴って車体の移動方向後方側箇所で発生する空気の渦流の発生をできるだけ少なくさせるようにしている。従って、上記従来技術の構成によれば、このような車体の後部側で生じる空気の渦流に起因して床面に堆積している塵埃を巻き上げたりすることを抑制することは可能である。
尚、前記渦流は、搬送車の移動に伴って車体の移動方向後方側箇所に周囲の圧力よりも低圧となる部分が形成されて、周囲の空気がこの低圧部分に巻き込まれることによって発生するものである。
しかしながら、上記従来技術においても、次のような点で未だ改善すべき余地があった。
【０００４】
すなわち、上記従来技術によれば、搬送車が移動するに伴って、搬送車の移動方向前方側に存在する空気は搬送車の前面部によって受止められて、例えば搬送車の左右両側部に振り分けられて流動していくことになる。このとき、搬送車の移動速度が速ければ空気は勢いよく左右両側箇所に振り分けて流動されることになるので、車体の左右両側箇所においてこの振り分け流動された空気の流れによって、クリーンルームの天井面から吹き出し供給されている清浄化されたエアー（ダウンフロー）の流れが乱されて乱流が発生して、他の装置の空気清浄度の維持に悪影響を与えるおそれがあった。
【０００５】
本発明はかかる点に着目してなされたものであり、その目的は、搬送車の移動に伴って上記したような乱流が発生することを極力少ない状態に抑制して、他の装置の空気清浄度の維持に悪影響を与えるおそれが少ないクリーンルーム用の搬送車を提供する点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１によれば、クリーンルーム内を移動して物品を搬送するクリーンルーム用の搬送車において、クリーンルームの床面上を移動走行する走行機体と、この走行機体の上部側に設けられて前記物品の積み込みと荷下ろしを行う物品移載装置とを備えて構成され、移動方向視で前記走行機体の中央部に位置する箇所に、移動方向に沿って車体を貫通する状態で風洞部が形成されていることを特徴とする。
【０００７】
すなわち、本願発明に係る搬送車には、移動方向に沿って車体を貫通する状態で風洞部が形成されているから、クリーンルーム内を高速で移動するようにしても、その移動に伴って、車体の移動方向前方側に存在する空気は、従来技術のように車体の左右両側箇所に振り分け流動されずに、そのまま風洞部を通り搬送車の移動方向後方側に向けて通過していくことになる。
【０００８】
従って、上記構成によれば、車体の移動方向前方側に存在する空気は、そのまま風洞部を通り搬送車の移動方向後方側に向けて通過していくので、移動方向前方側に存在する空気が振り分け流動されることによって乱流が発生するおそれを極力少ないものに抑制することが可能となり、しかも、従来のように搬送車の移動方向後方側箇所に周囲の圧力よりも低圧となる低圧部分が形成されることがなく、周囲の空気がこのような低圧部分に回り込んで渦流が発生するおそれが少ないものになる。
その結果、搬送車の移動方向後方側箇所における渦流の発生や、搬送車の左右両側箇所や上方側箇所における乱流の発生を抑制することが可能となって、クリーンルーム内における他の装置の空気清浄度の維持に悪影響を与えるおそれを少ないものにすることが可能となった。
又、搬送車がクリーンルームの床面上を走行する場合には、従来のように、搬送車が移動するに伴って搬送車の移動方向前方側に存在する空気が搬送車の左右両側箇所に振り分けられて流動するものであれば、搬送車の左右両側箇所に位置する床面に堆積している塵埃が乱流によって巻き上げられるおそれがあるが、本願発明の上記構成によれば、このような床面上の塵埃を巻き上げるといった不利を有効に回避させることができる。
【０００９】
請求項２によれば、請求項１において、前記風洞部の開度を変更調整自在な開度調節手段が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
上記構成によれば、例えば、要求される搬送処理能力等に応じて搬送車の移動速度を互いに異なる値に変更させるような場合や、搬送車の横側箇所に他の装置が存在するか、あるいは、このような装置が存在せず空間が形成されているか等の各種の設備の設置状況が変更される場合に、それらの各種の条件に応じて、前記開度調節手段によって風洞部の開度を変更調整することで、風洞部を通過する空気の通流状態を適切な状態に調整することが可能となり、請求項１を実施するのに好適な手段が得られる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るクリーンルーム用の搬送車について図面に基づいて説明する。
【００１４】
図１に、例えば液晶表示素子や半導体製品等を製造するための製造用設備の一部が示されている。この設備は上記したよう製品を製造するために塵埃の少ない清浄化された室内空間に設置される構成となっている。
この設備が設置される設置空間は、所謂、クリーンルームとして構成され、そのクリーンルームＲ１の床部は、通気孔が多数形成されたメッシュ状のグレーティング床１に形成され、このグレーティング床１の下方側には、吸気用空間Ｑが形成される吸気ルームＲ２が設けられており、図に示すように、クリーンルームＲ１内の空気が吸気ルームＲ２内の空間及び循環路Ｑを通して通風ファンＦによって吸気されるとともに、吸気された空気はクリーンルームＲ１の天井面２の上方側に形成された空気チャンバー室３を経由して、クリーンルームＲ１の天井面２に備えられた例えばＨＥＰＡフィルター等からなるエアーフィルター４を通して清浄化された後に、クリーンルームＲ１内に向けて下向きに吹き出し供給される構成となっている。従って、クリーンルームＲ１の空気が、上記したような経路を通して循環通風されて、常に清浄化された空気が天井面２から下方に吹き出される状態で供給されて清浄度の高い状態が維持できる構成となっている。
【００１５】
この設備は、上記したような製品の製造途中での半製品等の物品に対して所定の処理を行う複数の製造用の物品処理装置Ａと、これらの物品処理装置の物品搬出入箇所Ｈに対して上記したような物品を搬送する物品搬送装置Ｂとが設けられている。
又、前記物品処理装置Ａは、物品搬送装置Ｂによる物品搬送方向に沿って並ぶ状態で複数並列配備されている。これらの複数の物品処理装置Ａは、具体的な処理内容については詳述はしないが、例えば液晶表示素子を製造するための化学的な複数種の処理を順次行うような構成となっている。
【００１６】
次に、前記物品搬送装置Ｂの構成について説明する。
この物品搬送装置Ｂは、ガイドレール５に沿ってクリーンルームＲ１の床面上に沿って移動走行自在な搬送車６を備えて構成されている。この搬送車６は、４個の走行車輪７によって床面上を移動走行する走行機体８と、この走行機体８の上部側に設けられて前記物品の積み込みと荷下ろしを行う物品移載装置９と、走行機体８をガイドレール５に沿わせて移動すべく案内する案内機構１０等を備えて構成されている。
詳述すると、図２〜図６に示すように、前記走行機体８には、移動方向前後両側部に夫々左右一対の床面上に接地する走行車輪７を備えて、そのうちの２つを電動モータＭにて駆動して床面上を移動走行するように構成されている。又、前記クリーンルームＲ１の床面よりも下方側に入り込む状態でガイドレール５が設置されており、走行機体８の前後２箇所において夫々前記案内機構１０が備えられている。つまり、前後夫々の案内機構１０は、夫々、走行機体８のフレーム１１に対して上下軸芯周りで回動自在に枢支された支持枠体１２によってガイドレール５の左右両側部に接当作用して横方向への振れ止めを行う４個の振れ止め輪体１３を上下軸芯周りで回動自在に支持する構成となっており、例えば、ガイドレール５が円弧状に湾曲している場合であっても、円滑に搬送車６を移動案内させることができるように構成されている。
【００１７】
又、図３に示すように、ガイドレール５の横側部に、ガイドレール５に沿って給電レール１４が配備されており、前記支持枠体１２には、走行機体８の移動走行に伴ってこの給電レール１４に摺接しながら電動モータＭの駆動用電力を受け取る給電部１５が設けられている。図中１６は、電動モータＭや物品移載装置９の動作を制御する制御装置である。尚、詳述はしないが、この搬送車６には、走行しながら、前記物品処理装置Ａの物品搬出入箇所Ｈに達したか否かについて、及び、複数の物品処理装置Ａのうち目標とするものであるか否か等を検出することが可能な検出センサや位置合わせ用のセンサ等が備えられ、制御装置１６によって移動状態が制御される構成となっている。
【００１８】
前記物品移載装置９は移載機９ａ，９ｂを２台並べて備える状態で構成され、前記各移載機９ａ，９ｂは、いわゆる多関節型に構成されている。つまり、図２に示すように、互いに逆方向に回動する一対のアーム１７、１８の回動端夫々と物品移載用の載置作用部１９とを一対のリンク２０、２１で枢支連結してリンク連係機構２２を構成し、前記一対のアーム１７、１８の回動操作に伴って、前記載置作用部１９が搬送車６内に引退する引退位置と、物品処理装置Ａの物品搬出入箇所Ｈにまで突出する突出位置とにわたって水平移動するように構成されている。又、リンク連係機構２２の全体が上下方向に昇降自在、且つ、上下軸芯周りで回動自在に設けられている。
従って、リンク連係機構２２の全体を下方側に下げた状態で載置作用部１９を突出位置に移動させ、且つ、リンク連係機構２２の全体を上昇させることで載置作用部１９により物品を受止め支持する状態となり、その状態で載置作用部１９を引退位置にまで引退させると、物品Ｃが搬送車６の上部にまで移動することになる。その引退状態で搬送車６を走行させて、搬送目標である物品処理装置Ａに至ると、載置作用部１９を突出位置に移動させてリンク連係機構２２の全体を下降させることにより、載置作用部１９にて載置支持している物品Ｃを物品搬出入箇所Ｈに移載させることができるのである。
【００１９】
そして、この搬送車６には、移動方向視でほぼ前記走行機体８の中央部に位置する箇所に、移動方向に沿って車体を貫通する状態で断面形状が略矩形状の風洞部２３が形成されている。この風洞部２３は、移動方向両側部の端部では、より多くの空気を導入することができるように内方側よりも開口面積が大になるような空気導入部２４が設けられている。
又、走行機体８の左右両側面、及び、前後両側部における前記風洞部２３を除く他の箇所は外壁材２５にて閉塞される構成となっており、搬送車がクリーンルームＲ１内を走行することによって、天井面２から下方に吹き出される清浄化された空気の流れ（ダウンフロー）が極力乱されることがないようにしている。
【００２０】
そして、上記したような風洞部２３が形成されることによって、搬送車６がクリーンルームＲ１内を高速で移動走行するような場合であっても、例えば、図７に示すように、車体の移動方向前方側に存在する空気は、車体の左右両側箇所に振り分け流動されることなく、そのまま風洞部２３を通り搬送車６の移動方向後方側に向けて通過していくことになるので、その結果、車体の左右両側箇所や上方側箇所において、前記ダウンフローが流動空気によって乱されて空気の乱流が発生するおそれが少ないものとなる。
【００２１】
〔別実施形態〕
以下、別実施形態を列記する。
【００２２】
（１）上記実施形態では、前記風洞部は、移動方向に沿って車体を貫通するものであり、空気の移動に抵抗になる部材を設けない構成としたが、このような構成に限らず、例えば、図８に示すように、前記風洞部２３の移動方向方向両側部に夫々、風洞部２３の開度を変更調整自在な開度調節手段Ｋが設けられる構成としてもよい。開度調節手段Ｋの詳細な構成については詳述しないが、例えばスライド操作機構や揺動操作機構等の一般的な開口量調整構造により、そこを通過する空気の量すなわち通過空気量を調整可能な構成とするものでよい。
又、このような開度調節手段は、前記風洞部の移動方向方向両側部に夫々設ける構成に限らず、いずれか一方に、又は、移動方向の途中箇所に設ける構成としてもよい。
【００２３】
（２）上記実施形態では、風洞部が、断面形状として略矩形状に設けられる構成としたが、このような構成に限らず、断面形状を丸型や３角形等の各種の形態で実施してもよく、その形状は限定されない。又、搬送車の外形形状に対する風洞部の大きさの比率も図示の構成に限らず、各種の比率で構成するものでもよい。
【００２４】
（３）上記実施形態では、クリーンルームの床面に設置されたガイドレールに沿って案内され、且つ、給電レールにて給電される状態で走行する搬送車を例示したが、これに限らず、例えば、天井部に設けられたレールに沿って走行する搬送車でもよく、床面上に設置された磁気テープに沿って移動走行するバッテリー搭載式の搬送車、あるいは、車輪で走行する構成に限らず、磁気浮上型のリニアモータにて駆動しながら移動する搬送車等、各種の形態で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】製造用設備の全体構成を示す側面図
【図２】製造用設備の平面図
【図３】搬送車の正面図
【図４】搬送車の横断平面図
【図５】搬送車の縦断正面図
【図６】ガイド構造を示す平面図
【図７】空気の流動状態を示す図
【図８】別実施形態の搬送車の横断平面図
【符号の説明】
２３ 風洞部
Ｋ 開度調節手段
Ｒ１ クリーンルーム
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム内を移動して物品を搬送するクリーンルーム用の搬送車に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記構成のクリーンルーム用の搬送車において、従来では、例えば特開２０００−１４２４１７号公報に示されるように、搬送車の移動方向後部側箇所から外部の空気を車体内に吸引して、その吸引した空気を車体の横側箇所から車体外部に排気するように空気を通風させる送風ファンを車体内部に備えるように構成したものがあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術においては、後部側箇所から外部の空気を車体内に吸引させるようにして、搬送車の移動に伴って車体の移動方向後方側箇所で発生する空気の渦流の発生をできるだけ少なくさせるようにしている。従って、上記従来技術の構成によれば、このような車体の後部側で生じる空気の渦流に起因して床面に堆積している塵埃を巻き上げたりすることを抑制することは可能である。
尚、前記渦流は、搬送車の移動に伴って車体の移動方向後方側箇所に周囲の圧力よりも低圧となる部分が形成されて、周囲の空気がこの低圧部分に巻き込まれることによって発生するものである。
しかしながら、上記従来技術においても、次のような点で未だ改善すべき余地があった。
【０００４】
すなわち、上記従来技術によれば、搬送車が移動するに伴って、搬送車の移動方向前方側に存在する空気は搬送車の前面部によって受止められて、例えば搬送車の左右両側部に振り分けられて流動していくことになる。このとき、搬送車の移動速度が速ければ空気は勢いよく左右両側箇所に振り分けて流動されることになるので、車体の左右両側箇所においてこの振り分け流動された空気の流れによって、クリーンルームの天井面から吹き出し供給されている清浄化されたエアー（ダウンフロー）の流れが乱されて乱流が発生して、他の装置の空気清浄度の維持に悪影響を与えるおそれがあった。
【０００５】
本発明はかかる点に着目してなされたものであり、その目的は、搬送車の移動に伴って上記したような乱流が発生することを極力少ない状態に抑制して、他の装置の空気清浄度の維持に悪影響を与えるおそれが少ないクリーンルーム用の搬送車を提供する点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１によれば、クリーンルーム内を移動して物品を搬送するクリーンルーム用の搬送車において、クリーンルームの床面上を移動走行する走行機体と、この走行機体の上部側に設けられて前記物品の積み込みと荷下ろしを行う物品移載装置とを備えて構成され、移動方向視で前記走行機体の中央部に位置する箇所に、移動方向に沿って車体を貫通する状態で風洞部が形成されていることを特徴とする。
【０００７】
すなわち、本願発明に係る搬送車には、移動方向に沿って車体を貫通する状態で風洞部が形成されているから、クリーンルーム内を高速で移動するようにしても、その移動に伴って、車体の移動方向前方側に存在する空気は、従来技術のように車体の左右両側箇所に振り分け流動されずに、そのまま風洞部を通り搬送車の移動方向後方側に向けて通過していくことになる。
【０００８】
従って、上記構成によれば、車体の移動方向前方側に存在する空気は、そのまま風洞部を通り搬送車の移動方向後方側に向けて通過していくので、移動方向前方側に存在する空気が振り分け流動されることによって乱流が発生するおそれを極力少ないものに抑制することが可能となり、しかも、従来のように搬送車の移動方向後方側箇所に周囲の圧力よりも低圧となる低圧部分が形成されることがなく、周囲の空気がこのような低圧部分に回り込んで渦流が発生するおそれが少ないものになる。
その結果、搬送車の移動方向後方側箇所における渦流の発生や、搬送車の左右両側箇所や上方側箇所における乱流の発生を抑制することが可能となって、クリーンルーム内における他の装置の空気清浄度の維持に悪影響を与えるおそれを少ないものにすることが可能となった。
又、搬送車がクリーンルームの床面上を走行する場合には、従来のように、搬送車が移動するに伴って搬送車の移動方向前方側に存在する空気が搬送車の左右両側箇所に振り分けられて流動するものであれば、搬送車の左右両側箇所に位置する床面に堆積している塵埃が乱流によって巻き上げられるおそれがあるが、本願発明の上記構成によれば、このような床面上の塵埃を巻き上げるといった不利を有効に回避させることができる。
【０００９】
請求項２によれば、請求項１において、前記風洞部の開度を変更調整自在な開度調節手段が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
上記構成によれば、例えば、要求される搬送処理能力等に応じて搬送車の移動速度を互いに異なる値に変更させるような場合や、搬送車の横側箇所に他の装置が存在するか、あるいは、このような装置が存在せず空間が形成されているか等の各種の設備の設置状況が変更される場合に、それらの各種の条件に応じて、前記開度調節手段によって風洞部の開度を変更調整することで、風洞部を通過する空気の通流状態を適切な状態に調整することが可能となり、請求項１を実施するのに好適な手段が得られる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るクリーンルーム用の搬送車について図面に基づいて説明する。
【００１４】
図１に、例えば液晶表示素子や半導体製品等を製造するための製造用設備の一部が示されている。この設備は上記したよう製品を製造するために塵埃の少ない清浄化された室内空間に設置される構成となっている。
この設備が設置される設置空間は、所謂、クリーンルームとして構成され、そのクリーンルームＲ１の床部は、通気孔が多数形成されたメッシュ状のグレーティング床１に形成され、このグレーティング床１の下方側には、吸気用空間Ｑが形成される吸気ルームＲ２が設けられており、図に示すように、クリーンルームＲ１内の空気が吸気ルームＲ２内の空間及び循環路Ｑを通して通風ファンＦによって吸気されるとともに、吸気された空気はクリーンルームＲ１の天井面２の上方側に形成された空気チャンバー室３を経由して、クリーンルームＲ１の天井面２に備えられた例えばＨＥＰＡフィルター等からなるエアーフィルター４を通して清浄化された後に、クリーンルームＲ１内に向けて下向きに吹き出し供給される構成となっている。従って、クリーンルームＲ１の空気が、上記したような経路を通して循環通風されて、常に清浄化された空気が天井面２から下方に吹き出される状態で供給されて清浄度の高い状態が維持できる構成となっている。
【００１５】
この設備は、上記したような製品の製造途中での半製品等の物品に対して所定の処理を行う複数の製造用の物品処理装置Ａと、これらの物品処理装置の物品搬出入箇所Ｈに対して上記したような物品を搬送する物品搬送装置Ｂとが設けられている。
又、前記物品処理装置Ａは、物品搬送装置Ｂによる物品搬送方向に沿って並ぶ状態で複数並列配備されている。これらの複数の物品処理装置Ａは、具体的な処理内容については詳述はしないが、例えば液晶表示素子を製造するための化学的な複数種の処理を順次行うような構成となっている。
【００１６】
次に、前記物品搬送装置Ｂの構成について説明する。
この物品搬送装置Ｂは、ガイドレール５に沿ってクリーンルームＲ１の床面上に沿って移動走行自在な搬送車６を備えて構成されている。この搬送車６は、４個の走行車輪７によって床面上を移動走行する走行機体８と、この走行機体８の上部側に設けられて前記物品の積み込みと荷下ろしを行う物品移載装置９と、走行機体８をガイドレール５に沿わせて移動すべく案内する案内機構１０等を備えて構成されている。
詳述すると、図２〜図６に示すように、前記走行機体８には、移動方向前後両側部に夫々左右一対の床面上に接地する走行車輪７を備えて、そのうちの２つを電動モータＭにて駆動して床面上を移動走行するように構成されている。又、前記クリーンルームＲ１の床面よりも下方側に入り込む状態でガイドレール５が設置されており、走行機体８の前後２箇所において夫々前記案内機構１０が備えられている。つまり、前後夫々の案内機構１０は、夫々、走行機体８のフレーム１１に対して上下軸芯周りで回動自在に枢支された支持枠体１２によってガイドレール５の左右両側部に接当作用して横方向への振れ止めを行う４個の振れ止め輪体１３を上下軸芯周りで回動自在に支持する構成となっており、例えば、ガイドレール５が円弧状に湾曲している場合であっても、円滑に搬送車６を移動案内させることができるように構成されている。
【００１７】
又、図３に示すように、ガイドレール５の横側部に、ガイドレール５に沿って給電レール１４が配備されており、前記支持枠体１２には、走行機体８の移動走行に伴ってこの給電レール１４に摺接しながら電動モータＭの駆動用電力を受け取る給電部１５が設けられている。図中１６は、電動モータＭや物品移載装置９の動作を制御する制御装置である。尚、詳述はしないが、この搬送車６には、走行しながら、前記物品処理装置Ａの物品搬出入箇所Ｈに達したか否かについて、及び、複数の物品処理装置Ａのうち目標とするものであるか否か等を検出することが可能な検出センサや位置合わせ用のセンサ等が備えられ、制御装置１６によって移動状態が制御される構成となっている。
【００１８】
前記物品移載装置９は移載機９ａ，９ｂを２台並べて備える状態で構成され、前記各移載機９ａ，９ｂは、いわゆる多関節型に構成されている。つまり、図２に示すように、互いに逆方向に回動する一対のアーム１７、１８の回動端夫々と物品移載用の載置作用部１９とを一対のリンク２０、２１で枢支連結してリンク連係機構２２を構成し、前記一対のアーム１７、１８の回動操作に伴って、前記載置作用部１９が搬送車６内に引退する引退位置と、物品処理装置Ａの物品搬出入箇所Ｈにまで突出する突出位置とにわたって水平移動するように構成されている。又、リンク連係機構２２の全体が上下方向に昇降自在、且つ、上下軸芯周りで回動自在に設けられている。
従って、リンク連係機構２２の全体を下方側に下げた状態で載置作用部１９を突出位置に移動させ、且つ、リンク連係機構２２の全体を上昇させることで載置作用部１９により物品を受止め支持する状態となり、その状態で載置作用部１９を引退位置にまで引退させると、物品Ｃが搬送車６の上部にまで移動することになる。その引退状態で搬送車６を走行させて、搬送目標である物品処理装置Ａに至ると、載置作用部１９を突出位置に移動させてリンク連係機構２２の全体を下降させることにより、載置作用部１９にて載置支持している物品Ｃを物品搬出入箇所Ｈに移載させることができるのである。
【００１９】
そして、この搬送車６には、移動方向視でほぼ前記走行機体８の中央部に位置する箇所に、移動方向に沿って車体を貫通する状態で断面形状が略矩形状の風洞部２３が形成されている。この風洞部２３は、移動方向両側部の端部では、より多くの空気を導入することができるように内方側よりも開口面積が大になるような空気導入部２４が設けられている。
又、走行機体８の左右両側面、及び、前後両側部における前記風洞部２３を除く他の箇所は外壁材２５にて閉塞される構成となっており、搬送車がクリーンルームＲ１内を走行することによって、天井面２から下方に吹き出される清浄化された空気の流れ（ダウンフロー）が極力乱されることがないようにしている。
【００２０】
そして、上記したような風洞部２３が形成されることによって、搬送車６がクリーンルームＲ１内を高速で移動走行するような場合であっても、例えば、図７に示すように、車体の移動方向前方側に存在する空気は、車体の左右両側箇所に振り分け流動されることなく、そのまま風洞部２３を通り搬送車６の移動方向後方側に向けて通過していくことになるので、その結果、車体の左右両側箇所や上方側箇所において、前記ダウンフローが流動空気によって乱されて空気の乱流が発生するおそれが少ないものとなる。
【００２１】
〔別実施形態〕
以下、別実施形態を列記する。
【００２２】
（１）上記実施形態では、前記風洞部は、移動方向に沿って車体を貫通するものであり、空気の移動に抵抗になる部材を設けない構成としたが、このような構成に限らず、例えば、図８に示すように、前記風洞部２３の移動方向方向両側部に夫々、風洞部２３の開度を変更調整自在な開度調節手段Ｋが設けられる構成としてもよい。開度調節手段Ｋの詳細な構成については詳述しないが、例えばスライド操作機構や揺動操作機構等の一般的な開口量調整構造により、そこを通過する空気の量すなわち通過空気量を調整可能な構成とするものでよい。
又、このような開度調節手段は、前記風洞部の移動方向方向両側部に夫々設ける構成に限らず、いずれか一方に、又は、移動方向の途中箇所に設ける構成としてもよい。
【００２３】
（２）上記実施形態では、風洞部が、断面形状として略矩形状に設けられる構成としたが、このような構成に限らず、断面形状を丸型や３角形等の各種の形態で実施してもよく、その形状は限定されない。又、搬送車の外形形状に対する風洞部の大きさの比率も図示の構成に限らず、各種の比率で構成するものでもよい。
【００２４】
（３）上記実施形態では、クリーンルームの床面に設置されたガイドレールに沿って案内され、且つ、給電レールにて給電される状態で走行する搬送車を例示したが、これに限らず、例えば、天井部に設けられたレールに沿って走行する搬送車でもよく、床面上に設置された磁気テープに沿って移動走行するバッテリー搭載式の搬送車、あるいは、車輪で走行する構成に限らず、磁気浮上型のリニアモータにて駆動しながら移動する搬送車等、各種の形態で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】製造用設備の全体構成を示す側面図
【図２】製造用設備の平面図
【図３】搬送車の正面図
【図４】搬送車の横断平面図
【図５】搬送車の縦断正面図
【図６】ガイド構造を示す平面図
【図７】空気の流動状態を示す図
【図８】別実施形態の搬送車の横断平面図
【符号の説明】
２３ 風洞部
Ｋ 開度調節手段
Ｒ１ クリーンルーム
Claims (2)
- クリーンルーム内を移動して物品を搬送するクリーンルーム用の搬送車であって、
クリーンルームの床面上を移動走行する走行機体と、この走行機体の上部側に設けられて前記物品の積み込みと荷下ろしを行う物品移載装置とを備えて構成され、
移動方向視で前記走行機体の中央部に位置する箇所に、移動方向に沿って車体を貫通する状態で風洞部が形成されているクリーンルーム用の搬送車。 - 前記風洞部の開度を変更調整自在な開度調節手段が設けられている請求項１記載のクリーンルーム用の搬送車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001273037A JP4016317B2 (ja) | 2001-09-10 | 2001-09-10 | クリーンルーム用の搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001273037A JP4016317B2 (ja) | 2001-09-10 | 2001-09-10 | クリーンルーム用の搬送車 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003086652A JP2003086652A (ja) | 2003-03-20 |
| JP4016317B2 true JP4016317B2 (ja) | 2007-12-05 |
Family
ID=19098309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001273037A Expired - Lifetime JP4016317B2 (ja) | 2001-09-10 | 2001-09-10 | クリーンルーム用の搬送車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4016317B2 (ja) |
-
2001
- 2001-09-10 JP JP2001273037A patent/JP4016317B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2003086652A (ja) | 2003-03-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3788296B2 (ja) | クリーンルーム用の物品保管設備 | |
| JP4756372B2 (ja) | 基板処理方法 | |
| JP4807579B2 (ja) | 基板収納設備及び基板処理設備 | |
| TWI814621B (zh) | 搬運室 | |
| US8757401B2 (en) | Article transport device | |
| US6435330B1 (en) | In/out load port transfer mechanism | |
| JP4953010B2 (ja) | 基板収納用の収納容器 | |
| TWI408090B (zh) | 物品保管庫 | |
| JP4378659B2 (ja) | 物品保管庫及びクリーンルーム用の物品保管設備 | |
| JP2008007223A (ja) | 物品収納設備 | |
| JP4378652B2 (ja) | 浄化空気通風式の物品保管設備 | |
| JP4016317B2 (ja) | クリーンルーム用の搬送車 | |
| JP3882139B2 (ja) | クリーン搬送車 | |
| JPH11301475A (ja) | 搬送車 | |
| GB2141680A (en) | Automated cassette rail transport system operating under clean air conditions | |
| JP2007230748A (ja) | 物品保管庫及びクリーンルーム用の物品保管設備 | |
| TWI412477B (zh) | 物品收納設備（二） | |
| JP3637947B2 (ja) | 搬送設備 | |
| JPH03192005A (ja) | クリーンルーム内の荷保管設備 | |
| JP4623381B2 (ja) | 物品収納設備 | |
| JP2009126631A (ja) | 保管倉庫設備 | |
| TWI408091B (zh) | 物品收納設備（一） | |
| JP2009007125A (ja) | 物品搬送車 | |
| JPH06183663A (ja) | クリーンルーム用昇降機 | |
| JP2009107778A (ja) | クリーンルーム用搬送設備 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040126 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070322 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070327 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070525 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070614 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070730 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070823 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070905 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100928 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110928 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110928 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110928 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120928 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120928 Year of fee payment: 5 |