JP4011418B2 - 改善した酸素化学量論比およびジュウテリウム曝露を用いた光ファイバ製造方法および装置 - Google Patents

改善した酸素化学量論比およびジュウテリウム曝露を用いた光ファイバ製造方法および装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は光ファイバに関する。詳細には、本発明は、波長領域700から1600ナノメートルに対する伝送特性が改善された光ファイバの製造に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、光ファイバは、コアよりも屈折率の低い保護ガラス・クラッド層で囲まれた屈折性のガラス・コアを備えた固体ガラス・ロッドを通常備えた、光ファイバ・プリフォームの一部を加熱して、線引きをすることによって製造される。光ファイバは、たとえば放射線により硬化される1つまたは複数の保護コーティング材料で被覆される。
【0003】
従来、内付け化学気相成長法(MCVD)、気相軸付け法(VAD)および外付け気相成長法(OVD)を含む、いくつかの光ファイバ・プリフォームの製造方法がある。従来のVAD法およびOVD法では、ガラス粒子すなわち「スート」の層が、それぞれ出発ロッドの端末表面、または外側表面に堆積する。次に、堆積したスート層を、たとえば塩素またはフッ素含有雰囲気中で乾燥または脱水し、焼結または固結して固体プリフォーム・コア・ロッドを形成する。
【0004】
プリフォーム・コア・ロッドが形成された後、光ファイバをそれから直接線引きするか、あるいは、光ファイバをそれから線引きする前にその上に1つまたは複数のオーバークラッド層を形成する。オーバークラッド層を、たとえばプリフォーム・コア・ロッドの形成に使用したのと類似のスート堆積技法によって、プリフォーム・コア・ロッド上に形成する。あるいは、オーバークラッド層を、シリカを基材とするチューブすなわちスリーブをプリフォーム・コア・ロッドの周囲に収縮(collapse)させることによって形成する。通常、このようなプロセスを、ロッド・イン・チューブ(RIT)法と呼ぶ。たとえば、本出願と所有者が同じである米国特許第4,820,322号を参照されたい。
【0005】
光ファイバの伝送特性は、たとえば、レイリー散乱などの散乱、ファイバの曲がり、およびヒドロキシ・イオン(OH)吸収などの吸収を含むいくつかの要素に応じて変わる。OH吸収すなわち「水」吸収は、特に重要である。というのは、OH吸収がなければ比較的伝送損失が少ない700〜1600ナノメートル(nm)、すなわち多くの現行光システムが動作する波長領域で、有効に行われる帯域幅を減少させるからである。
【0006】
OH吸収は、ファイバ中のヒドロキシ・イオンの振動オーバートーンによるものであるが、通常、700〜1600nmの領域内に3個の損失ピーク:950nm、1240nm、1385nmを生じる。この水損失ピーク、特に1385nm付近を中心とする水損失ピークを減少させることが望ましい。というのは、百万分の1(ppm)のOH濃度でも、シングル・モード・ファイバでは1385nmで65dB/kmもの大きな損失を生じさせるからである。さらに、1385nmの水損失ピークを減少させると、比較的伝送損失の少ない1200〜1600nmの連続領域が有効に得られる。1200〜1600nmの波長領域は特に重要である。というのは、リン化インジウム(InP)を用いた光源など光源の利用可能性が豊富なためである。たとえば、本出願と所有者が同じで、本出願の譲受人に譲渡された米国特許第6,131,415号を参照されたい。
【0007】
水損失の悪影響を減少させる現行の技術には、高温度(たとえば約1000℃)OH/OD変換反応で、水素原子の部分をジュウテリウム原子で変換することが含まれる。たとえば、米国特許第4,445,918号、米国特許第4,583,997号、および米国特許第4,389,230号を参照されたい。これらにおいては、光ファイバ・プリフォーム製造の様々な段階でジュウテリウムが使用されている。米国特許第4,685,945号も参照されたい。ここでは、光ファイバ・プリフォームを高度照度光とともにジュウテリウムに曝して、OH欠陥を減少させている。
【0008】
ジュウテリウムは、光ファイバを含めたガラス体の屈折率の変化を起こさせるのにも使用されることに留意されたい。たとえば、米国特許第5,930,420号、米国特許第5,500,031号、および米国特許第4,515,612号を参照されたい。これらはすべて、本出願と所有者が同じで、本出願の譲受人に譲渡された。
【0009】
減少または除去することが求められている別のタイプの吸収損失は、ファイバの耐用年数の間に起こる、水素エージング損失を含むエージング損失である。このような損失は、光ファイバ中の様々の欠陥と、たとえば光ファイバ・ケーブル環境中などの光ファイバ環境中の水素との化学反応のために生じるものと考えられる。このような欠陥には、たとえば、その製造の間に光ファイバ中に導入されたゲルマニウム(Ge)欠陥およびケイ素(Si)欠陥が含まれる。この化学反応は、たとえば水素が容易に光ファイバ中に拡散できることによって可能になる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
ファイバおよびこのような光ファイバを含む光ファイバ・システムの耐用年数にわたって、エージング損失または水素エージング損失をさらに減少させた、シングル・モード光ファイバを含めた光ファイバを製造する方法を可能にすることが望ましい。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ファイバおよびこのような光ファイバを含む光ファイバ・システムの耐用年数にわたって、エージング損失または水素エージング損失を減少させた光ファイバを製造する方法で実施される。本発明の諸実施形態は、ファイバ製造環境のケイ素/酸素の化学量論比を改善して、光ファイバ・プリフォーム中のSi欠陥量を減少させ、併せて、それに続きプリフォームから線引きしたファイバをジュウテリウムに曝して、時間がたつにつれ水素原子を引き付けそれと結合して分子を形成して水吸収損失を増大させる一因となる原子欠陥を光ファイバ中に持つ可能性を低下させる。このような改善されたケイ素/酸素化学量論比は、酸素原子が過剰でなく、そのためシリカ・ガラス中に形成され続いてその中にトラップされる酸素に富んだ欠陥(Si−O−O−Si欠陥)数が減少することもなく、また酸素原子が不足でもなく、そのため形成される酸素不足の欠陥(Si−Si欠陥)数が減少することもない。後でジュウテリウムに曝す間に、ジュウテリウム原子はSi−O・欠陥やSi・欠陥などのSi欠陥と反応して、それぞれSiODまたはSiDを形成する。それによって、ファイバ中のSi欠陥の量が減少し、その結果Si欠陥と水素との起こり得る反応の量が減少する。この反応では、通常、ファイバ中でSiOHおよびSiH損失が生じる。
【0012】
本発明の実施形態による光ファイバを製造する方法は、光ファイバ・プリフォームを製造するステップと、ファイバをプリフォームから線引きするステップと、線引きしたファイバをジュウテリウムに曝すステップであって、たとえば線引きしたファイバを、たとえばジュウテリウムの分圧が約0.01気圧であるジュウテリウム雰囲気に室温で約6日間曝すステップ、または、分圧0.05気圧のジュウテリウムに室温で約1.5日間曝すステップとを含む。ファイバ製造ステップは、ガラス・コア・ロッドを形成するステップと、ガラス・コア・ロッドを脱水するステップと、ガラス・コア・ロッドを固結するステップと、ガラス・コア・ロッドの周辺にオーバークラッド領域を形成するステップとを含む。本発明の実施形態によれば、脱水は、酸素、あるいは酸素と1種または複数の塩素含有ガス、フッ素含有ガス、および/または一酸化炭素(CO)を含有する気体中で、ガス分圧を、かつ/または酸素過剰にも酸素不足にもならない環境になるように確立し、かつ/または調整して実施する。あるいは、オーバークラッド領域形成ステップをほぼ同じ気体中で、改善したケイ素/酸素化学量論比が得られるようにガスの分圧を確立して実施する。
【0013】
本発明の実施形態による方法によって製造された光ファイバは、伝送特性が改善される。たとえば、本発明の光ファイバの伝送損失は、1385ナノメートルで0.33dB/km未満であり、その後の損失の増加は0.04dB/km未満である。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下の説明では、図面の説明を通して本発明の理解をしやすくするために、同様の参照番号は同様の構成要素を指すものとする。また、以下に具体的な特徴、配置、構成を論じるが、それは例示的な目的に行われるにすぎないことに留意されたい。当業者なら、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、他のステップ、配置、構成も有用であることが理解できよう。
【0015】
図1に、本発明の実施形態による、シングル・モード光ファイバを含めた、光ファイバを製造する方法10の簡略化したブロック図を示す。方法10は、光ファイバをそれから線引きするプリフォームのコア・ロッド部分を形成するステップ12を含む。コア・ロッドを製造する1つの典型的な方式は、スート堆積ステップ14、脱水ステップ16、および固結ステップ18を含む。
【0016】
スート堆積ステップ14は、ガラス粒子(すなわち「スート」)層をシリカ出発ロッドなどの出発ロッド上に堆積させて、ガラス・コア・ロッドを形成する。気相軸付け(VAD)法では、スートを出発ロッドの末端の表面に堆積させ、軸方向に蓄積する。外付け気相成長(OVD)法では、スートを出発ロッドの外側表面上に堆積させ、半径方向に蓄積する。スート粒子は、たとえば、屈折率ドーピングのためのゲルマニウム、リン、フッ素などの気化化合物、および酸素と反応してガラス原料の成分のシリカ(SiO)を生成する四塩化ケイ素(SiCl)を含む。
【0017】
脱水ステップ16は、堆積したスートを乾燥または脱水することを含む。通常は、堆積したスート体を出発ロッドから取り外し、温度約1200℃の乾燥ガスを含む環境中を通過させる。こうしたガスには、たとえば酸素、フッ素、フッ素含有ガス、塩素、塩素含有ガスがある。この考察では、フッ素含有ガスは、フッ素を含有し、ドーピングおよび/または脱水に使用されることが知られているガスである。同様に、この考察では、塩素含有ガスは、塩素を含有しドーピングおよび/または脱水に使用されることが知られているガスである。この段階のコア・ロッドは多孔質、すなわちスート体であるため、フッ素や塩素ガスはコア・ロッドに浸透し、OHイオンをそこから除去する。OHイオンの除去率は、たとえば脱水温度、脱水環境をスート体が通過する速度、フッ素や塩素のガス流量によって決まる。光ファイバから除去されないOHイオンは、OH吸収、すなわち水吸収の一因となり、前記のように光ファイバの伝送損失の一因となる。
【0018】
固結ステップ18は、脱水したコア・ロッドを焼結または固結して均質な状態にする。たとえば、固結ステップ18は、脱水したコア・ロッドを約1500℃の酸素およびヘリウムの環境中を通過させることを含む。このステップ中に、堆積したスート粒子は焼結されて堅固な比較的高密度のガラス・コア・ロッドになる。従来の脱水および固結ステップについての具体的な詳細は、たとえば米国特許第3,933,454号、1976年1月20日発行に出ている。
【0019】
コア・ロッドが形成された後、次のステップ22は、光ファイバの線引きをする。形成ステップ12によって形成したガラス・コア・ロッドから光ファイバを線引きすることも可能ではあるが、通常はガラス・コア・ロッドは、オーバークラッド・ステップ24でオーバークラッドされてオーバークラッド・プリフォームを形成してから、光ファイバをそれから線引きする。コア・ロッドの周囲にオーバークラッド領域を形成すると、より大きなプリフォームが形成され、オーバークラッドのない小さなプリフォームより、プリフォーム当たり多くの線引きされた光ファイバを得る。
【0020】
オーバークラッド・ステップ24では、たとえばオーバークラッド・スート堆積技法26によって、あるいはロッド・イン・チューブ(RIT)法28によって、コア・ロッドの周囲に1つまたは複数のオーバークラッド領域を形成する。コア・ロッドの周囲にオーバークラッド領域を形成すると、オーバークラッド・コア・ロッド、すなわちオーバークラッド光ファイバ・プリフォームが得られる。オーバークラッド・スート堆積技法26は、ガラス・コア・ロッドを形成するステップ12に関して前述したスート堆積ステップ14、16、18と同様である。オーバークラッド・スート堆積技法26は、あらかじめ形成したガラス・コア・ロッド上にガラス原料のスート粒子を堆積するステップ34と、堆積したスート粒子を脱水するステップ36と、堆積した粒子を固結してコア・ロッドの周囲のオーバークラッド領域にするステップ38とを含んでいる。
【0021】
RIT法28は、通常、プリフォーム・コア・ロッドの周囲に、たとえばシリカを基材とするチューブ、すなわちスリーブなどのチューブまたはスリーブを収縮させることを含むものである。より具体的には、オーバークラッド・チューブをガラス・コア・ロッドの周囲で位置決めし、その長さに沿って加熱して、チューブをガラス・コア・ロッド上に収縮させ、それによってオーバークラッド光ファイバ・プリフォームを形成する。たとえば、本出願と同じ所有者の米国特許第4,820,322号を参照されたい。
【0022】
ガラスの原料のスート粒子は、VADまたはOVDなどの方法を用いて堆積される。堆積したスート粒子は、通常四塩化ケイ素(SiCl)などのガラス原料化合物を含むが、コア・ロッドの形成に使用するスート粒子とは異なって、通常はマグネシウム、リン、フッ素など追加のドーピング材料は含まない。スート粒子がコア・ロッド上に堆積された後、オーバークラッド・スート粒子を、たとえば酸素、フッ素、フッ素含有ガス、塩素、塩素含有ガスなどの乾燥ガスを含む環境中で約1200℃の温度で脱水する。脱水は、たとえばオーバークラッド・スート体からOHイオンを除去するために実施する。前述のように、光ファイバ・プリフォームの様々な領域にOHイオンが存在すると問題となる。固結は、たとえば酸素およびヘリウム環境中で約1500℃で実施される。固結により、堆積したスート層はコア・ロッドを取り囲むオーバークラッド領域中に固化される。
【0023】
光ファイバ・プリフォームを形成した後、ステップ22のプリフォームからの光ファイバの線引きを実施する。ファイバ線引きステップ22は、加熱したプリフォームの末端からの光ファイバ線引きを含んでいる。たとえば、プリフォームを垂直に吊るし、制御された速度で炉の中に入れ移動させる。プリフォームは、加熱(たとえば、約1200℃に)するにつれて軟化し、ガラス・ファイバーがプリフォームの溶融した末端から炉外の下側にある他の適当な装置のキャプスタンによって線引きされる。
【0024】
前述したように、光ファイバの伝送特性は、ヒドロキシ・イオン(OH)吸収(すなわち、水吸収)を含むいくつかの要因によって影響される。700〜1600ナノメートル(nm)の領域で、水吸収は約950nm、1240nm、1385nmに損失ピークを生じる。このような損失ピークは、たとえば、700から1600nmの波長領域における代表的な光ファイバの伝送損失のグラフである図2aで明確に分かる。また、水吸収ピークを減少させるため多大な努力が払われてきた。たとえば、本出願と所有者が同じで、本出願の譲受人に譲渡された米国特許第6,131,415号(Chang他)を参照されたい。図2bは、米国特許第6,131,415号に開示の方法による光ファイバの700から1600nmにおける伝送損失のグラフを示す。
【0025】
ただし、もう1つのタイプの吸収損失として(水素)エージング損失がある。従来の光ファイバでは、通常光ファイバのエージングにつれて伝送損失の増大が見られる。これは、たとえば光ファイバの耐用年数の間に光ファイバ中で水素と様々な欠陥との化学反応によって生じる。たとえば、光ファイバ中のゲルマニウム(Ge)欠陥と光ファイバを取り巻く環境中に存在する痕跡量の水素とが化学的に反応して、光ファイバの耐用年数を通してGeOH損失の一因となる。
【0026】
さらに、ファイバの製造過程で光ファイバに導入されたケイ素(Si)欠陥は、通常SiOH損失およびSiH損失をファイバ中に導入する。これは同様に、時間がたつにつれSi欠陥とファイバ(またはケーブル)環境中に存在する水素の反応によって生じる。あいにく、SiOH損失およびSiH損失は大きいことが多く、たとえばGeOH損失に比べると耐用年数の早い時期に生じる。たとえばSiOHエージング損失は、しばしば1385nmで約0.21dB/km以上になることがある。
【0027】
本発明の実施形態によると、多くのSiOH損失の原因であると考えられるSi欠陥は、酸素に富んだ欠陥(Si−O−O−Si欠陥)である。Si−O−O−Si欠陥は、たとえば光ファイバ・プリフォームを酸素に富んだ環境で製造するなど、シリカ・ガラス中の過剰な酸素原子によって生じると考えられる。このSi−O−O−Si欠陥がシリカ・ガラス中に存在すると、後続の熱処理(たとえば、ファイバの線引き)でいくつかのSi−O−O−Si欠陥が切断されたSi−O結合欠陥(Si−O・欠陥)に変えられ、それがファイバ中にトラップされるようになる。このSi−O・欠陥は、時間がたつにつれて水素原子を引き付けてSiOH分子を形成し、前述のようにそれが水吸収損失を生じさせる。
【0028】
本発明の実施形態によると、SiH損失の一因と考えられるSi欠陥は酸素不足の欠陥(Si−Si欠陥)である。Si−Si欠陥は、光ファイバ・プリフォーム(シリカ・ガラス)を酸素不足条件で製造する結果生じると考えられる。後続の熱処理により、いくつかのSi−Si結合欠陥から切断されたSi結合欠陥(Si・欠陥)が形成される。このSi・欠陥はファイバにトラップされるようになり、ファイバのエージングにつれてSi・欠陥は水素原子と反応してSiH分子を生成し、それが1530nmの吸収損失ピークを生じさせる。
【0029】
本発明の実施形態によると、ファイバ製造環境における酸素の化学量論条件を改善することによってエージング損失およびその他の損失が減少して、光ファイバ・プリフォームおよびそれから線引きされる光ファイバ中に酸素に富んだまたは酸素不足のSi欠陥が生成する可能性が下がる。これらのSi欠陥は、時間がたつにつれ水素原子を引き付け、結合して分子を形成し、水吸収損失や他の損失を増大させる一因となる。さらに詳細には、酸素原子を過剰に含まない環境が確立される。この環境は、シリカ・ガラス中で形成されその後トラップされるSi−O−O−Si欠陥数を減少させる。また、酸素不足ではない環境も確立される。この環境は、形成されるSi−Si欠陥数を減少させる。
【0030】
たとえば酸素化学量論比を調整することにより、光ファイバ製造プロセス中の1つまたは複数のステップで改善された酸素環境が確立される。たとえば酸化/還元条件を調整することによって、この環境が酸素原子過剰でも、酸素不足でもないように、コア・ロッド形成の脱水ステップ16が実施される環境の酸素化学量論比が確立される。あるいは、このようにして、オーバークラッド脱水ステップ36が実施される環境の酸素化学量論比が確立される。また、本発明の代替実施形態によると、シリカ材料が酸素原子過剰でも酸素不足でもないように、コア・ロッド形成の堆積ステップ14および/またはオーバークラッド堆積ステップ34が実施される環境の酸素化学量論比が確立される。また、本発明の他の代替実施形態によると、それぞれの環境がシリカ材料を酸素原子過剰にも酸素不足にもさせないように、コア・ロッド形成の固結ステップ18および/またはオーバークラッド固結ステップ38が実施される環境の酸素化学量論比が確立される。
【0031】
1つまたは複数のこれらの環境の酸素化学量論比を、たとえば、プロセス・ステップの具体的詳細に基づいて調整する。たとえば、酸化条件を改善するために選択された環境への酸素流量を調整することにより、前述の1つまたは複数の環境における酸素分圧または他の条件が確立される。あるいは、選択された環境の還元条件を改善するためにたとえば一酸化炭素(CO)などのガスを導入する。また、たとえば、前に確立された酸素化学量論比の効果が、1つまたは複数のこれらの環境の酸素化学量論比を確立するため基礎となる。
【0032】
酸素環境は通常、たとえば温度、流量、継続時間、スート濃度分布、反応容器の寸法と設計など多くの要因の関数である。線引きしたファイバについての水素試験により、ファイバをそれから線引きするプリフォーム上のある環境によって生じた欠陥の数や欠陥のタイプ(すなわち、酸素過剰か、酸素不足か)がしばしば決まる。
【0033】
図1にもどると、本発明の実施形態は、所望の環境の酸素化学量論比を確立するステップ42を含む。コア・ロッド形成ステップ14、16、18の1つまたは複数を実施する環境、および/またはオーバークラッド領域形成ステップ34、36、38の1つまたは複数を実施する環境に対する酸素化学量論比が確立される。たとえば、コア・ロッド製造ステップ12において、脱水ステップ16を実施する環境に対する、改善された酸素化学量論比が確立される。すなわち、たとえば、流量調整または他の条件により、シリカ材料中に導入される酸素原子が過剰または不足にならないように酸素化学量論比が確立される。したがって、光ファイバ・プリフォーム中にSi欠陥が生成される可能性が下がり、その結果として、このプリフォームから線引きされる光ファイバでの後続の水素エージング損失の可能性が下がる。通常は、コア・ロッド形成の脱水ステップ16を実施する環境に対する、改善された酸素化学量論比が確立される。ただし、本発明の実施形態は、コア・ロッド形成プロセスのステップ14、16、18のいずれか1つまたは複数を実施する環境の酸素化学量論比の改善を含むことに留意されたい。
【0034】
また、図に示すように、確立するステップ42は、オーバークラッド領域の形成ステップ24が実施される1つまたは複数の環境、すなわち、オーバークラッド領域の形成ステップ34、36、38の1つまたは複数を実施する環境の酸素化学量論比を改善することも含む。たとえば、本発明の実施形態によると、オーバークラッド脱水ステップ36を実施する環境に対する、改善された酸素化学量論比が確立される。ただし、本発明の実施形態は、オーバークラッド領域形成プロセスのステップ34、36、38のいずれか1つまたは複数が実施される環境の酸素化学量論比を改善することも含むことに留意されたい。
【0035】
1つまたは複数の改善された酸素化学量論比の環境が確立された後、様々なコア・ロッドおよびオーバークラッド領域形成ステップが実施され、光ファイバ・プリフォーム、またはより一般的には、オーバークラッド・光ファイバ・プリフォームが形成される。次に、たとえば前述したように、光ファイバ線引きステップ22が実施される。
【0036】
ステップ42によって改善された酸素化学量論比の状態が確立されると、製造の際に光ファイバ・プリフォーム中にSi欠陥が現われる可能性は下がるが、本発明の実施形態によると、光ファイバ・プリフォームから光ファイバを線引きした後で別の予防ステップを行うことが有用である。本発明の実施形態によると、線引きした光ファイバをジュウテリウムに曝すステップ44は、さらに光ファイバ中のSi欠陥が水素と反応して、水素エージング損失が増大する可能性を下げる。上述のように、利用可能なSi欠陥数が減少すると、水素原子がそれと化学的に反応する機会が減少し、その結果、使用状態の光ファイバ中の水素エージング損失量が減少する。
【0037】
一般に、シリカ含有ガラス中のジュウテリウムの拡散特性は、水素の拡散特性とほぼ同じであるため、ジュウテリウムは比較的短時間のうちに微視的な距離を拡散する。拡散するジュウテリウム原子がSi−O・欠陥やSi・欠陥などの反応性Si欠陥に遭遇すると、それと反応して、それぞれSiODまたはSiDを形成する。これらはともに、700〜1600nmの丁度外側の電気通信に使用する波長領域に吸収損失を有する。すなわち、光ファイバをジュウテリウムに曝すと、後続の水素との反応で利用可能なSi欠陥の濃度が減少し、その結果、使用状態でのファイバ中の水素エージング損失の可能性および/または程度が下がる。
【0038】
本発明の実施形態に従って製造した光ファイバは、たとえば光ファイバ・プリフォーム加工の1つまたは複数のステップ中の改善された酸素化学量論環境と、後続のプリフォームから線引きする光ファイバをジュウテリウムに曝すこととの組合せから利益を得ることができる。このように、本発明の実施形態に従って製造された光ファイバは、水素エージング損失特性が改善される。従来のジュウテリウム処理は、ファイバ・プリフォームの製造過程で通常比較的高温(たとえば、 )で実施される。従来のジュウテリウム処理により、すでに形成されたOHがODに交換/除去される。このような従来のジュウテリウム処理では、ファイバの当初の1385nmの損失は減少する。しかし、このようなジュウテリウム処理では、上述のように、ファイバが線引きされ使用された後に開始される水素エージング損失を低減することは企図されていない。本発明の実施形態によると、線引き済みのファイバを室温でジュウテリウム処理をすると、ファイバ製造プロセスで形成されたSi欠陥との反応が引き起こされる。このように、線引きしたファイバに既に存在して、もし対処しなければ後続の水素エージング損失を加速するであろうSi欠陥がジュウテリウムと反応して、水素との結合に使われて水素エージング損失の原因となるSi欠陥の量をさらに減少させる。過大な初期損失を加えることなしに、700〜1600nmの波長領域で利用可能なSi欠陥がさらに低減される。
【0039】
本発明の実施形態によると、ステップ42は、酸素過剰でも酸素不足でもないシリカ材料をもたらす改善されたガス流量や他の改善された状態を確立する。また、本発明の実施形態によると、光ファイバ・プリフォームを形成しファイバをそれから線引きした(すなわち、ステップ22)後で、線引きしたファイバを、たとえば0.01気圧のジュウテリウム環境中で室温で約6日間ジュウテリウムに曝す。あるいは、本発明の実施形態によると、線引きされたファイバを、たとえば0.05気圧のジュウテリウム環境中で室温で約1.5日間ジュウテリウムに曝す。本発明の実施形態によると、たとえば上記の方式でジュウテリウムに曝し、そのプリフォームが1つまたは複数の改善した酸素環境で製造された光ファイバは、(1385nmでの)伝送損失が0.33dB/km未満で、その後の水素エージング損失が0.04dB/km未満を示す。
【0040】
図3は、本発明の実施形態が有用である光システム50の簡略化した概略図である。光通信システム50は、たとえば、従来の方式で1つまたは複数の光ファイバ54に結合された1つまたは複数の光源52を含む。光ファイバ54は、たとえば従来の方式で1つまたは複数の光検出装置すなわち光受信装置56と結合される。光源52および光受信装置56は、直接(たとえば、光源52aおよび受信装置56a参照)、あるいは、マルチプレクサ58(システムの光源側)またはデマルチプレクサ59(システムの受信装置側)を介して光ファイバ54に動作可能に結合される。
【0041】
1つまたは複数の光ファイバ54は、たとえば上述のように、本発明の実施形態により製造される。すなわち、少なくとも1つの光ファイバ54を、たとえば酸素もしくはCOの流量または他の適当な状態により酸素量論比を改善した、1つまたは複数のプロセス環境で製造して、エージング損失およびOH吸収損失など他の損失の一因となる欠陥が減少したプリフォームから線引きされ、かつ、光ファイバをそのプリフォームから線引きした後で、室温でジュウテリウムに曝す。本発明の実施形態により製造された光ファイバ54の1385nmでの伝送損失は、通常0.33dB/km未満で、その後の水素エージング損失の増加は0.04dB/km未満である。
【0042】
当業者なら、頭記の特許請求およびそのすべての範囲の均等物に定義された本発明の精神および範囲から逸脱することなく、本明細書に記載した光ファイバおよび光ファイバの製造方法の実施形態に様々な変更および置換を加えることができることは明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態による光ファイバ製造方法の簡略化したブロック図である。
【図2a】一般の光ファイバの、700から1600ナノメートル(nm)の波長領域における伝送損失のグラフである。
【図2b】米国特許第6,131,415号に開示された方法による光ファイバの、700から1600ナノメートル(nm)の波長領域における伝送損失のグラフである。
【図3】本発明の実施形態が有用である光システムの簡略化したブロック図である。

Claims (10)

  1. 光ファイバを製造する方法(10)であって、
    スート堆積によってスート体を形成するステップ(14)を含み、前記スート体がクラッド領域によって囲まれたコア領域を有しており、さらに、
    酸素を単独で含むか、または塩素含有ガス、フッ素含有ガス、および一酸化炭素の少なくとも1つとともに酸素を含む第1の環境中で前記スート体を脱水するステップ(16)を含み、前記第1の環境が酸素過剰でも酸素不足でもないものであり、さらに、
    酸素過剰でも酸素不足でもないように、前記第1の環境の酸素化学量論比を調整するステップと、
    ガラスコアロッドを形成するために、脱水した前記スート体を固結するステップ(18)と、
    オーバクラッド光ファイバプリフォームを形成するために、前記ガラスコアロッドの周囲にオーバークラッド領域を形成するステップ(24、26、28)と、
    前記オーバークラッド光ファイバプリフォームからファイバを線引きするステップ(22)と、
    線引きした前記ファイバを室温でジュウテリウムを含む雰囲気に曝すステップ(44)とを含むことを特徴とする方法。
  2. 前記オーバークラッド領域を形成するステップ(24)がさらに、
    前記ガラスコアロッドの周囲にスートを堆積するステップ(34)と、
    酸素を単独で含むか、または塩素含有ガス、フッ素含有ガス、および一酸化炭素の少なくとも1つとともに酸素を含む第2の環境中で、堆積した前記スートを脱水するステップ(36)とを含み、前記第2の環境が酸素過剰でも酸素不足でもないものであり、さらに、
    前記ガラスコアロッドの周囲に前記堆積したスートを固結するステップ(38)とを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
  3. 前記オーバークラッド領域を形成するステップにおけるスート堆積(34)が、気相軸付け(VAD)法および外付け気相成長(OVD)法からなる群から選択されることを特徴とする請求項2に記載の方法。
  4. 前記曝すステップ(44)がさらに、前記線引きした光ファイバを、ジュウテリウムの分圧が約0.01気圧であるジュウテリウム雰囲気に室温で約6日間曝すステップか、前記線引きした光ファイバを、ジュウテリウムの分圧が約0.05気圧であるジュウテリウム雰囲気に室温で約1.5日間曝すステップかのいずれか一方を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
  5. 前記オーバークラッドを領域する形成ステップ(28)がさらに、
    オーバークラッドチューブを前記ガラスコアロッドの周囲で位置決めするステップと、
    前記オーバークラッドチューブが前記ガラスコアロッド上に収縮するように、前記オーバークラッドチューブをその長さに沿って加熱して、オーバークラッド光ファイバプリフォームを形成するステップとを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
  6. 前記スート体を形成するステップにおけるスート堆積が、気相軸付け(VAD)法および外付け気相成長(OVD)法からなる群から選択されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
  7. 光ファイバを製造する方法(10)であって、
    スート堆積によってスート体を形成するステップ(14)を含み、前記スート体がクラッド領域によって囲まれたコア領域を有しており、さらに、
    酸素を単独で含むか、または塩素含有ガス、フッ素含有ガス、および一酸化炭素の少なくとも1つとともに酸素を含む第1の環境中で前記スート体を脱水するステップ(16)を含み、前記第1の環境が酸素過剰でも酸素不足でもないものであり、さらに、
    ガラスコアロッドを生成するために、脱水した前記スート体を固結するステップ(18)と、
    前記ガラスコアロッドから光ファイバを線引きするステップ(22)と、
    線引きした前記光ファイバを室温でジュウテリウム雰囲気に曝すステップ(44)とを含み、
    前記光ファイバの伝送損失が1385ナノメートル(nm)で0.33dB/km未満であり、水素エージングの将来の増加を前記1385ナノメートルにおける伝送損失において0.04dB/km未満に制限するのに十分な期間だけジュウテリウムを含む雰囲気に前記線引きした光ファイバを曝することを特徴とする含む方法。
  8. 前記曝すステップ(44)がさらに、前記線引きした光ファイバを、ジュウテリウムの分圧が約0.01気圧であるジュウテリウム雰囲気に室温で約6日間曝すステップか、前記線引きした光ファイバを、ジュウテリウムの分圧が約0.05気圧であるジュウテリウム雰囲気に室温で約1.5日間曝すステップかのいずれか一方を含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。
  9. 光ファイバを製造する方法(10)であって、
    スート堆積によってスート体を形成するステップ(14)を含み、前記スート体がクラッド領域によって囲まれたコア領域を有するものであり、前記方法はさらに、
    酸素を単独で含むか、または塩素含有ガス、フッ素含有ガス、および一酸化炭素の少なくとも1つとともに酸素を含む第1の環境中で前記スート体を脱水するステップ(16)を含み、前記第1の環境が酸素過剰でも酸素不足でもないものであり、前記方法はさらに、
    酸素過剰でも酸素不足でもないように、前記第1の環境の酸素化学量論比を調整するステップと、
    ガラスコアロッドを形成するために、脱水した前記スート体を固結するステップ(18)と、
    オーバークラッド光ファイバプリフォームを形成するために、前記ガラスコアロッドの周囲にオーバークラッド領域を形成するステップ(24)とを含み、
    前記オーバークラッド領域を形成するステップが、前記ガラスコアロッドの周囲にスートを堆積するステップ(34)と、酸素を単独で含むか、または塩素含有ガス、フッ素含有ガス、および一酸化炭素の少なくとも1つとともに酸素を含む第2の環境中で、堆積した前記スートを脱水するステップ(36)と、オーバークラッド領域を形成するために前記堆積したスートを固結するステップ(38)とを含み、前記第2の環境が酸素過剰でも酸素不足でもないものであり、前記方法はさらに、
    前記オーバークラッド光ファイバプリフォームから光ファイバを線引きするステップ(22)と
    線引きした前記光ファイバを室温でジュウテリウムを含む雰囲気に曝すステップ(44)とを含むことを特徴とする方法。
  10. 前記曝すステップ(44)がさらに、前記線引きした光ファイバを、ジュウテリウムの分圧が約0.01気圧であるジュウテリウム雰囲気に室温で約6日間曝すステップか、前記線引きした光ファイバを、ジュウテリウムの分圧が約0.05気圧であるジュウテリウム雰囲気に室温で約1.5日間曝すステップかのいずれか一方を含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。
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