JP4005910B2 - パターン描画方法及び描画装置 - Google Patents
パターン描画方法及び描画装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4005910B2 JP4005910B2 JP2002382390A JP2002382390A JP4005910B2 JP 4005910 B2 JP4005910 B2 JP 4005910B2 JP 2002382390 A JP2002382390 A JP 2002382390A JP 2002382390 A JP2002382390 A JP 2002382390A JP 4005910 B2 JP4005910 B2 JP 4005910B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pattern
- back surface
- distribution
- calculated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路やその他の微細な素子パターンを半導体ウェハやマスク等の基板上に形成するためのパターン描画方法及び描画装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体ウェハ上にLSIのパターンを形成するために、ガラス基板上にCrのパターンを形成した露光用マスクを用い、このマスクのパターンをウェハ上に順次転写する、いわゆるステッパ(転写装置)が広く用いられている。ステッパの縮小率は5分の1程度であり、光の波長限界から1μm以下のパターンは解像できないと言われてきたが、光学系・照明系の改良や位相シフトマスク等の出現により、サブミクロンのパターンを解像するに至っている。更に、50ナノメートル線幅レベルのパターン形成のために、光源として更に短波長の光を用いるEUV(Extreme Ultra Violet)露光技術の開発が進められている。
【0003】
ステッパにおいては、マスク表面とウェハ表面において結像関係を保つ必要がある。パターンの微細化に伴いレンズの焦点深度は1μm程度と極めて浅くなり、マスクを構成するガラス基板の平面度を良好に保つ必要がある。EUV露光においては、露光光が基板面に対し7度傾斜入射する構成であるため、1μmの平坦度でも水平方向のずれが1μm×2×tan7°=250nmとなり、非常に大きな誤差が生じることになる。従って、基板の平面度を更に向上させる必要がある。
【0004】
基板の平坦度は研磨により仕上げられているが、現状では2〜0.5μm程度の凹凸が存在する。そこで、パターン転写時には基板を真空チャック等により平坦面に吸着させることにより、基板平坦度を向上させる方法が採用されている。
【0005】
一方、ステッパに用いるマスクは、集束した電子或いはレーザ等を光源としたパターン描画装置により、ガラス基板上に被着したCrにパターンを描画することにより形成される。電子ビームなどを用いたパターン描画装置においては、高精度のパターン位置精度を実現するために、
(1) 装置にマスクを搭載する際の保持力に起因するマスクの変形を、3点で支持することにより排除し、自重による変位は材料力学的に予め求めておき補正する方法(特許文献1参照)。
【0006】
(2) マスクが支持点上に載置された状態でマスク表面の基準面に対する高さ分布のデータを取得し、マスクが弾性変形を受けた際の変形量を求めておき補正する方法(特許文献2参照)。
【0007】
等が提案されている。
【0008】
しかしながら、上記の方法においては次のような問題があった。マスク上のパターンをウェハ上に転写する際、マスクはステッパ内に保持されるが、先に述べたように、パターンが形成されている面を高い平坦度に保つため、静電力や真空力などを利用して、高精度の平坦度に仕上げられたチャックに裏面を吸着させる方法が採られる。
【0009】
このとき、(1) の方法によりパターンを描画した場合には、マスクに矯正力が働かない状態において良好なパターン位置精度が得られるので、マスクの裏面をチャックした際にはマスクの裏面形状に起因してパターンのシフトが生じてしまう。また、(2) の方法によりパターンを描画した場合には、パターンを形成する面が平坦になるように矯正された状態においては良好なパターン位置精度が得られる。しかし、マスクの面形状は表と裏では各々独立に決まるため、マスクの裏面をチャックすることにより裏面が平坦に矯正された状態でパターンを形成する面も平坦になるわけではなく、従って表面と裏面の形状差によりパターン位置誤差が生じてしまう。
【0010】
【特許文献1】
特開平8−250394号公報
【0011】
【特許文献2】
特公平3−52210号公報
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来、パターン描画装置でパターンが形成されたマスクをステッパに搭載してウェハ上にパターンを転写する際、マスクのパターン形成面の位置ずれにより転写精度が低下する問題があった。
【0013】
本発明は、上記事情を考慮して成されたもので、その目的とするところは、被描画基板の裏面が所定の基準面に密着されたときのパターン形成面の位置ずれを加味したパターン描画を行うことができ、ステッパ等を用いたパターン転写精度の向上に寄与し得るパターン描画方法及び描画装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
(構成)
上記課題を解決するために本発明は、次のような構成を採用している。
【0015】
即ち本発明は、基板保持部に保持された被描画基板に対して、エネルギービームにより所望パターンを描画するパターン描画方法であって、前記基板を前記基板保持部に保持した状態で、前記基板のパターンを形成する面と対向する裏面の高さ位置の分布を測定し、測定された高さ位置の分布を基に、前記基板の裏面が任意の曲面又は平面に矯正された状態で生じる、前記パターンを形成する面の位置ずれ量を計算し、計算された位置ずれ量に基づき前記パターンを描画する際のパターン描画位置を補正することを特徴とする。
【0016】
また本発明は、基板保持部に保持された被描画基板に対して、エネルギービームにより所望パターンを描画するパターン描画方法であって、前記基板を前記基板保持部に保持する前に、前記基板を該基板のパターンを形成する面と対向する裏面が重力の働く方向軸を含むように保持した状態で、裏面の凹凸分布を測定しておき、この測定結果に基づき、前記基板が前記基板保持部に保持された状態における裏面の高さ位置の分布を計算し、計算された高さ位置の分布を基に、前記基板の裏面が任意の曲面又は平面に矯正された状態で生じる、前記パターンを形成する面の位置ずれ量を計算し、計算された位置ずれ量に基づき前記パターンを描画する際のパターン描画位置を補正することを特徴とする。
【0017】
また本発明は、上記方法を実施するためのパターン描画装置において、被描画基板にエネルギービームの照射により半導体装置の回路パターンを描画する手段と、前記基板を保持する手段と、前記基板のパターンを形成する面と対向する裏面の高さ位置の分布を測定する手段と、前記測定された高さ位置の分布を基に、前記基板の裏面が任意の曲面又は平面に矯正された状態で生じる、前記パターンを形成する面の位置ずれ量を計算する手段と、前記計算された位置ずれ量に基づきパターン描画位置を補正する手段とを具備してなることを特徴とする。
【0018】
ここで、本発明の望ましい実施態様としては次のものが挙げられる。
【0019】
(1) エネルギービームは、電子ビーム又はレーザビームであること。
【0020】
(2) 被描画基板の裏面の高さ位置を測定するために、基板裏面に対し斜め方向から光を照射し、基板裏面からの反射光を2分割検出器等の位置センサで検出すること。
【0021】
(3) 基板保持部は、被描画基板を3点支持により保持するものであること。
【0022】
(4) 基板裏面の高さ位置の分布を計算するために、基板裏面の凹凸分布の測定結果と基板の自重による撓みを算出した結果とを加えること。
【0023】
(作用)
基板を平坦な面に密着させた前後の基板表面の位置変動を考える。図5(a)に示すように、基板が上側に凸に湾曲していると、基板裏面を平坦な面に密着させることにより、基板表面には圧縮歪みが発生する。これがパターン位置ずれとなる。また、基板に湾曲がない場合であっても、基板の厚さが均一でなく基板裏面に凹凸を有する場合、図5(b)に示すように、基板裏面を平坦な面に密着させると、基板表面には基板裏面の形状及び基板の厚さ分布を反映した凹凸が生じ、基板表面に位置ずれが発生する。また、基板裏面が下側に凸に湾曲している場合、基板裏面を平坦な面に密着させると、基板の表面には引っ張り歪みが発生する。これがパターン位置ずれとなる。
【0024】
このように、基板の裏面を全面に渡って平坦に形成することは極めて困難であり、基板裏面には少なからず高さ位置の分布が生じる。このため、基板の裏面を平坦な面に密着させると、基板表面には基板裏面の形状を反映した凹凸や歪みが発生し、これがパターン位置ずれの要因となる。本発明は、これを予め考慮してパターン描画の際に上記位置ずれに伴う補正を加えるものである。
【0025】
即ち、被描画基板を基板保持部に保持した状態における基板裏面の高さ位置の分布を予め求めておけば、基板裏面を平坦な面に密着した状態において基板表面に如何なる歪みが加わるか判断することができ、基板表面の水平方向の位置ずれを算出することができる。そして、この位置ずれの分だけパターン描画の際に補正しておけば、基板裏面が平坦な面に密着された状態において基板表面に本来のパターンが形成されていることになる。
【0026】
従って、被描画基板としてマスクを用いた場合、マスクにパターンを描画する際に、マスクをステッパに搭載して用いる際に位置ずれのないパターンとなるように補正することができる。これにより、ステッパによるパターン転写精度の向上に寄与し得るマスクを実現することが可能となる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
【0028】
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係わる電子ビーム描画装置を示す概略構成図である。
【0029】
真空保持される描画室10上に、電子銃,各種偏向系及び各種レンズ等を備えた電子光学鏡筒20が設置されている。電子光学鏡筒20は描画制御回路21により制御され、後述する被描画基板11の表面に電子ビームを照射して所望のパターンを描画するものである。描画室10内には、露光用マスクとなる被描画基板11を保持するためのステージ12が収容されている。ステージ12による基板11の保持は、基板11を下側から支えるバネ機構13と、基板11の表面に当接して基板表面の高さ位置を規定するガイド14によって行われる。この基板11の保持は、図2に示すように例えば3点支持となっている。
【0030】
ステージ12は、前記描画制御回路21の制御の下にモータ15により水平方向(X,Y方向)に移動可能となっている。また、基板11の裏面の高さ位置(凹凸)を測定するための高さ測定器が設けられている。この測定器は、基板11の裏面に対して斜め方向から光を照射する照射系17と、基板11の裏面からの反射光を2分割検出器等で検出する検出系18から構成され、検出出力を信号処理することにより基板裏面の高さ位置を測定できるようになっている。そして、モータ15によりステージ12をX方向及びY方向に逐次移動することにより、基板11の裏面全体の高さ分布を測定することができる。
【0031】
測定器で得られた高さ分布h(x,y)(x,yは測定座標)は演算回路22に供給される。そして、演算回路22の演算結果が描画制御回路21に供給され、電子光学鏡筒20によるパターン描画位置が補正されるものとなっている。
【0032】
次に、上記の装置を用いたパターン描画方法を説明する。
【0033】
まず、被描画基板11をステージ12上に保持する。この保持は、先に説明したようにバネ機構13及びガイド14を用いた3点支持である。なお、この基板11は最終的に露光用マスクとなるものであり、例えばガラス基板上の全面にCr膜が形成され、その上にレジストが塗布されたものである。また、基板11の厚さ分布は、基板データとして与えられており、予め分かっているものとする。基板11の厚さ分布が分かっていない場合は、描画の前工程として、マイクロメータなどの接触型計測器或いは光学原理等に基づく非接触型変位計を用いて表面と裏面の間隔を測定することにより、基板11の厚さ分布を測定する。
【0034】
次いで、測定器により基板11の裏面の高さ位置を測定すると共に、ステージ12をX,Y方向に移動することにより裏面の高さ分布を測定する。測定された高さ分布と基板11の厚さ分布を基に演算回路22により補正量を算出する。即ち、基板11の高さ分布と厚さ分布を基に、基板11がパターン描画装置のステージ12上に保持された状態から、基板11の裏面が平坦にチャックされた場合に、基板11のパターン描画面が水平方向にどれだけ変位するかを計算し、この変位量によってパターン描画位置の補正量を算出する。そして、描画制御回路21によりパターン描画位置を補正してパターン描画を行う。
【0035】
このパターン描画により、前記レジストにLSIパターンが描画された後に、レジストを現像してレジストパターンを形成し、このレジストパターンをマスクにCr膜を選択エッチングすることによりCr膜にLSIパターンが形成されることになる。そして、このように形成された露光用マスクをステッパに搭載し、裏面を真空チャック等により平坦な面に吸着された状態でマスクパターンの転写を行うことになる。なお、ステッパにおけるマスクパターンの転写方式は、反射型であっても良いし透過型であっても良い。マスクの裏面側にチャック部材等が存在し、これらが影になるおそれがある場合は、反射型の方が望ましい。
【0036】
このように本実施形態によれば、ステージ12上に保持された基板11に対して基板裏面の高さ分布を測定し、この基板11がステッパに搭載されて裏面が平坦に保持された場合における基板表面の位置ずれを算出し、この算出結果を基に基板11がステッパに搭載された状態で最適パターンとなるように描画が行われる。従って、ステッパに基板11の裏面が平坦に保持された際に高精度のパターン位置精度を実現することが可能となり、パターン転写精度の向上をはかることができる。
【0037】
(第2の実施形態)
図3は、本発明の第2の実施形態に係わる電子ビーム描画装置を示す概略構成図である。なお、図1と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
【0038】
この装置は、図1の装置から高さ測定器を省略し、基板裏面の高さ分布を測定する代わりに、計算によって高さ分布を求めるものである。本実施形態においては、露光用マスクとなる被描画基板11をステージ12上に搭載する前に、予め描画時の補正量を計算により求める。
【0039】
まず、図4に示すように、基板11をパターン描画面及びそれに対向する裏面が重力軸方向を含むように(垂直に)設置する。基板11の裏面は、オプティカルフラット(高精度に平坦度・平行度を仕上げたガラスプレート:プレーンパラレル)41と近接して配置され、波面が制御された照明光源42によりハーフミラー43を介して照明される。基板11とプレーンパラレル41が近接して設置されているため、観察光学系44により基板11の平坦度に応じて干渉縞が観測される。縞の形状を信号処理回路45にて画像処理することにより、マスク裏面の凹凸(平坦度)を精密に測定することができる。そして、この測定結果から、マスク裏面を平坦面にチャックした場合におけるマスク表面(パターン描画面)の変位量を計算することができる。
【0040】
次に、同じ基板11を描画室10内に収容されたステージ12上に載置する。このとき、基板11は3点で支持されるため、基板11はその自重により変形する。しかし、この変形量は材料力学に基づき基板材質,支持点位置,基板寸法等により一意的に決まるので、予め自重撓みによる変形量を求めることができる。そして、この変形量を基にマスクの自重撓みによるパターン描画面の変位量を計算することができる。
【0041】
従って、描画に際して演算回路22に自重撓みによる変位量と、マスク裏面の測定結果に基づく変位量を入力しておくことにより、パターン描画位置の補正量を算出することができる。そして、この補正量を基に電子光学鏡筒20によりパターン描画位置を補正してパターン描画を行うことにより、パターン転写装置に基板11の裏面が平坦に保持された際に高精度のパターン位置精度を実現することができる。
【0042】
パターン描画位置の補正量の算出は、次のようにして行うことも可能である。基板11の自重による撓みは予め計算できることから、基板自重による基板裏面の変形量も計算することができる。従って、先に測定した基板裏面の凹凸と自重撓みによる基板裏面の変形量とを加えることにより、基板11をステージ12上に搭載した状態における基板11の裏面の高さ分布を計算することができる。基板裏面の高さ分布が解れば、第1の実施形態と同様に、基板11の裏面が平坦にチャックされた場合に、基板11のパターン描画面が水平方向にどれだけ変位するかを計算することができ、この変位量によってパターン描画位置の補正量を算出することができる。
【0043】
このように本実施形態においても、先の第1の実施形態と同様に、基板11の裏面が平坦に保持された際に高精度のパターン位置精度となるようにLSIパターンを描画することが可能となり、ステッパによるパターン転写精度の向上をはかることができる。そしてこの場合、補正計算のための演算回路22を設けるのみで実現することができ、描画装置に高さ測定器を設ける必要がないことから、描画装置として従来装置をそのまま使用できる利点がある。
【0044】
(変形例)
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。実施形態では、パターンを描画するために電子ビームを用いたが、電子ビームの代わりにイオンビームやレーザビーム等を用いることもできる。
【0045】
また、被描画基板は必ずしも露光用マスクに限るものではなく、半導体ウェハであっても良い。半導体ウェハには複数のパターンが転写されるが、精度とスループットの両方を達成するために、微細パターンを電子ビームで描画し、その他のパターンをステッパで転写する方法がある。このように、半導体ウェハ上に、電子ビーム描画装置によるパターンの描画とステッパによるパターン転写とを組み合わせてLSIパターンを形成する場合に、本発明を有効に適用することが可能である。
【0046】
また、実施形態においては、被描画基板をステッパに搭載する際に基板裏面を平坦面に密着させることを前提に説明したが、基板搭載面は必ずしも平坦面に限るものではなく、曲面であっても本発明を同様に適用可能である。また、基板の裏面の高さを測定する手段としては、斜入射照明によるものに限らず、基板裏面に垂直方向からレーザ光を照射して基板裏面までの距離を測長するレーザ干渉計を用いることができる。更には、基板裏面と非接触で測定可能な測定器であれば用いることが可能である。
【0047】
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【0048】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、被描画基板の裏面が所定の基準面に密着されたときのパターン形成面の位置ずれを加味したパターン描画を行うことができ、ステッパ等を用いたパターン転写精度の向上に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に係わる電子ビーム描画装置を示す概略構成図。
【図2】第1の実施形態において、マスクをステージ上に3点支持する様子を示す図。
【図3】第2の実施形態に係わる電子ビーム描画装置を示す概略構成図。
【図4】第2の実施形態において、マスクの裏面の平坦度を測定する様子を示す図。
【図5】マスクの裏面を平坦な面に密着した際に生じるマスク表面の位置ずれの様子を示す図。
【符号の説明】
10…描画室
11…被描画基板
12…ステージ
13…バネ機構
14…ガイド
15…モータ
17…照射系
18…検出系
20…電子光学鏡筒
21…描画制御回路
22…演算回路
41…オプティカルフラット
42…照明光源
43…ハーフミラー
44…観察光学系
45…信号処理回路
Claims (3)
- 基板保持部に保持された被描画基板に対して、エネルギービームにより所望パターンを描画するパターン描画方法であって、
前記基板を前記基板保持部に保持した状態で、前記基板のパターンを形成する面と対向する裏面の高さ位置の分布を測定し、測定された高さ位置の分布を基に、前記基板の裏面が任意の曲面又は平面に矯正された状態で生じる、前記パターンを形成する面の位置ずれ量を計算し、計算された位置ずれ量に基づき前記パターンを描画する際のパターン描画位置を補正することを特徴とするパターン描画方法。 - 基板保持部に保持された被描画基板に対して、エネルギービームにより所望パターンを描画するパターン描画方法であって、
前記基板を前記基板保持部に保持する前に、前記基板を該基板のパターンを形成する面と対向する裏面が重力の働く方向軸を含むように保持した状態で、裏面の凹凸分布を測定しておき、この測定結果に基づき、前記基板が前記基板保持部に保持された状態における裏面の高さ位置の分布を計算し、計算された高さ位置の分布を基に、前記基板の裏面が任意の曲面又は平面に矯正された状態で生じる、前記パターンを形成する面の位置ずれ量を計算し、計算された位置ずれ量に基づき前記パターンを描画する際のパターン描画位置を補正することを特徴とするパターン描画方法。 - 被描画基板にエネルギービームの照射により半導体装置の回路パターンを描画する手段と、前記基板を保持する手段と、前記基板のパターンを形成する面と対向する裏面の高さ位置の分布を測定する手段と、前記測定された高さ位置の分布を基に、前記基板の裏面が任意の曲面又は平面に矯正された状態で生じる、前記パターンを形成する面の位置ずれ量を計算する手段と、前記計算された位置ずれ量に基づきパターン描画位置を補正する手段とを具備してなることを特徴とするパターン描画装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002382390A JP4005910B2 (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | パターン描画方法及び描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002382390A JP4005910B2 (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | パターン描画方法及び描画装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004214415A JP2004214415A (ja) | 2004-07-29 |
JP4005910B2 true JP4005910B2 (ja) | 2007-11-14 |
Family
ID=32817964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002382390A Expired - Fee Related JP4005910B2 (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | パターン描画方法及び描画装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4005910B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4157486B2 (ja) | 2004-03-24 | 2008-10-01 | 株式会社東芝 | 描画パターンデータの生成方法及びマスクの描画方法 |
JP4634992B2 (ja) * | 2005-11-04 | 2011-02-16 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 位置計測装置及び位置ずれ量計測方法 |
US7554107B2 (en) | 2005-11-04 | 2009-06-30 | Nuflare Technology, Inc. | Writing method and writing apparatus of charged particle beam, positional deviation measuring method, and position measuring apparatus |
JP5087258B2 (ja) * | 2005-11-04 | 2012-12-05 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置、位置ずれ量計測方法及び位置計測装置 |
US7643130B2 (en) | 2005-11-04 | 2010-01-05 | Nuflare Technology, Inc. | Position measuring apparatus and positional deviation measuring method |
JP4891804B2 (ja) * | 2007-02-21 | 2012-03-07 | 日本電子株式会社 | パターン描画方法 |
US8175831B2 (en) * | 2007-04-23 | 2012-05-08 | Kla-Tencor Corp. | Methods and systems for creating or performing a dynamic sampling scheme for a process during which measurements are performed on wafers |
JP5634864B2 (ja) | 2007-05-30 | 2014-12-03 | ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation | リソグラフィック・プロセスに於ける、プロセス制御方法およびプロセス制御装置 |
JP5184188B2 (ja) | 2008-04-09 | 2013-04-17 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 電子ビーム描画装置及び位置ずれ量補正方法 |
JP5376987B2 (ja) | 2009-02-18 | 2013-12-25 | キヤノン株式会社 | レチクルの製造方法、および面形状計測装置 |
WO2012102313A1 (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-02 | 旭硝子株式会社 | フォトマスクの製造方法 |
JP6556673B2 (ja) * | 2016-07-26 | 2019-08-07 | Hoya株式会社 | フォトマスクの製造方法、描画装置、表示装置の製造方法、フォトマスク基板の検査方法、及びフォトマスク基板の検査装置 |
-
2002
- 2002-12-27 JP JP2002382390A patent/JP4005910B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004214415A (ja) | 2004-07-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6538740B1 (en) | Adjusting method for position detecting apparatus | |
US20100062350A1 (en) | Photomask substrate, photomask substrate forming member, photomask substrate fabrication method, photomask, and exposing method that uses the photomask | |
TWI414783B (zh) | 確認於基板中的缺陷之方法及用於在微影處理中曝露基板之裝置 | |
JP4005910B2 (ja) | パターン描画方法及び描画装置 | |
JP2000228356A (ja) | 位置検出方法、位置合わせ方法及び露光装置 | |
TW201704894A (zh) | 基板支架、微影設備及製造裝置之方法 | |
JP3393947B2 (ja) | 半導体回路パターンの評価方法と評価システム及び描画方法及び描画システム | |
KR20200024947A (ko) | 마스크 블랭크의 결함을 보상하기 위한 방법 및 장치 | |
JP4774335B2 (ja) | リソグラフィ装置、予備位置合わせ方法、デバイス製造方法、および予備位置合わせデバイス | |
TW201229686A (en) | Lithographic apparatus and removable member | |
JP4268447B2 (ja) | 基板保持具、基板処理装置、基板検査装置及びこれらの使用方法 | |
JP4588010B2 (ja) | リソグラフィ装置 | |
JP2024016068A (ja) | Euvマスクのパターン検査装置及びeuvマスクのパターン検査方法 | |
JP5652105B2 (ja) | 露光装置 | |
JPS6349895B2 (ja) | ||
JP6748428B2 (ja) | リソグラフィ装置、物品の製造方法、ステージ装置及び計測装置 | |
JP7312264B2 (ja) | 動作環境における反射フォトリソグラフィマスクのパターン要素の配置を決定するためのデバイスおよびその方法 | |
KR102395738B1 (ko) | 계측 장치, 리소그래피 장치, 물품의 제조 방법 및 계측 방법 | |
KR101679941B1 (ko) | 임프린트 장치 및 디바이스 제조 방법 | |
KR20220065872A (ko) | 계측 방법 및 리소그래피 장치 | |
TWI798773B (zh) | 在沿至少一軸可位移且對至少一軸可旋轉的樣品台上確定對準光罩的裝置和方法以及包含指令的電腦程式 | |
JP7383732B2 (ja) | 放射スポットの中心を決定するための方法、センサ、及びステージ装置 | |
US20220373894A1 (en) | Measurement system and method for characterizing a patterning device | |
KR20080114423A (ko) | 전자빔 리소그래피 장비의 포토마스크 위치 보정 장치 | |
JP2009135443A (ja) | 基板の搬送方法、搬送システムおよびリソグラフィ投影装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040609 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070821 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070824 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110831 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110831 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120831 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120831 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130831 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |