JP2009135443A - 基板の搬送方法、搬送システムおよびリソグラフィ投影装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、リソグラフィ投影装置において、基板を、第1基板ホルダから第2基板ホルダへ、搬送ユニットによってそれに利用可能な搬送データに基づいて搬送する方法に関する。第2基板ホルダは、複数の第1バールが設けられた表面を含む。この方法では、バール位置データおよび基板位置データが符号化されたメモリが提供される。それにより、基板は第1基板ホルダ上に提供される。その後、基板の位置誤差および方向が測定される。バール位置データ、基板位置データ、および測定された方向に基づいて、方向調整データが計算される。次いで、方向調整データに従って基板の方向が調整される。その後、基板は、第1基板ホルダから第2基板ホルダへ搬送ユニットにより搬送され、第2基板ホルダ上に配置される。
【選択図】図5
Description
前記第2基板ホルダの前記表面上に設けられた前記複数の第1バールの位置に関するバール位置データと、前記基板に対して行われた先行プロセス工程で使用された第3基板ホルダの表面上に設けられた複数の第2バールに対する前記基板の位置および方向に関する基板位置データとが符号化されたメモリを提供し、
前記基板を前記第1基板ホルダ上に提供し、
前記第1基板ホルダ上に提供された前記基板の位置誤差および方向を測定し、
前記バール位置データ、前記基板位置データおよび前記測定された方向に基づいて、方向調整データを計算し、
前記基板の方向を、前記計算された方向調整データに従って調整し、および
前記基板を、前記搬送ユニットを使用して、前記第1基板ホルダから前記第2基板ホルダへ、前記搬送データに従って搬送し、かつ前記基板を、第2基板ホルダ上に配置することを含む。
前記基板を保持する表面を設けた第1基板ホルダと、
前記第1基板ホルダに提供されたときの前記基板の位置誤差および方向を割り出すセンサと、
複数の第1バールが設けられた表面を含む第2基板ホルダであって、前記表面が前記基板を保持する第2基板ホルダと、
前記第2基板ホルダの前記表面上に設けられた前記複数の第1バールの位置に関するバール位置データと、前記基板に対して行われた先行プロセス工程で使用された第3基板ホルダに設けられた複数の第2バールに対する前記基板の位置および方向に関する基板位置データとが符号化されたメモリと、
前記センサおよび前記メモリと通信するプロセッサであって、前記バール位置データ、前記基板位置データ、および前記特定された方向に基づいて、方向調整データを計算するプロセッサと、
前記プロセッサにより計算された前記方向調整データに従って前記第1基板ホルダ上の前記基板の方向を調整する方向調整ユニットと、
前記搬送データに従って第1基板ホルダから第2基板ホルダへ前記基板を搬送する搬送ユニットとを含む
放射ビームを提供する照明システムと、
放射ビームの断面にパターンを付与する働きをするパターニングデバイスを支持する支持構造と、
基板を保持する基板テーブルと、
前記パターン付きビームを前記基板上に浴びせる投影システムとを含み、
請求項4〜7のいずれかに記載の搬送システムをさらに含み、前記基板テーブルが前記搬送システムにおける前記第2基板ホルダである。
Claims (10)
- リソグラフィ投影装置において、基板を、第1基板ホルダから第2基板ホルダへ、搬送ユニットを用いてそれに利用可能な搬送データに基づいて搬送する方法であって、前記第2基板ホルダは複数の第1バールが設けられた表面を含み、前記方法は、
前記第2基板ホルダの前記表面上に設けられた前記複数の第1バールの位置に関するバール位置データと、前記基板に対して行われた先行プロセス工程で使用された第3基板ホルダの表面上に設けられた複数の第2バールに対する前記基板の位置および方向に関する基板位置データとが符号化されたメモリを提供し、
前記基板を前記第1基板ホルダ上に提供し、
前記第1基板ホルダ上に提供された前記基板の位置誤差および方向を測定し、
前記バール位置データ、前記基板位置データおよび前記測定された方向に基づいて、方向調整データを計算し、
前記基板の前記方向を、前記計算された方向調整データに従って調整し、および
前記基板を、前記搬送ユニットを使用して、前記第1基板ホルダから前記第2基板ホルダへ、前記搬送データに従って搬送し、かつ前記基板を、前記第2基板ホルダ上に配置することを含む方法。 - 前記位置誤差は、偏心センサにより測定される偏心誤差である、請求項1に記載の方法。
- コンピュータアセンブリにロードされるとコンピュータアセンブリによる請求項1または2のいずれかに記載の搬送方法の制御を可能にするコンピュータ実行可能コードを含むコンピュータ読み取り可能媒体。
- 利用可能な搬送データに基づいて基板を搬送する搬送システムであって、
前記基板を保持する表面を備えた第1基板ホルダと、
前記第1基板ホルダに提供された際の前記基板の位置誤差および方向を割り出すセンサと、
複数の第1バールが設けられた表面を含む第2基板ホルダであって、前記表面が前記基板を保持する第2基板ホルダと、
前記第2基板ホルダの前記表面上に設けられた前記複数の第1バールの位置に関するバール位置データと、前記基板に対して行われた先行プロセス工程で使用された第3基板ホルダに設けられた複数の第2バールに対する前記基板の位置および方向に関する基板位置データとが符号化されたメモリと、
前記センサおよび前記メモリと通信するプロセッサであって、前記バール位置データ、前記基板位置データ、および前記割り出された方向に基づいて、方向調整データを計算するプロセッサと、
前記プロセッサにより計算された前記方向調整データに従って前記第1基板ホルダ上の前記基板の方向を調整する方向調整ユニットと、
前記搬送データに従って第1基板ホルダから第2基板ホルダへ前記基板を搬送する搬送ユニットとを含む搬送システム。 - 前記搬送システムは、前記第1基板ホルダ上に提供された際の前記基板上に設けられた1つ以上のマークの位置誤差および方向を割り出す追加センサをさらに含む、請求項4に記載の搬送システム。
- 前記搬送ユニットは、前記追加基板テーブル内に位置する少なくとも3つの伸縮可能ピンを含む、請求項4または5に記載の搬送システム。
- 前記搬送システムは、前記少なくとも3つの伸縮可能ピンの伸縮を制御するアクチュエータをさらに含む、請求項6に記載の搬送システム。
- リソグラフィ投影装置であって、
放射ビームを提供する照明システムと、
前記放射ビームの断面にパターンを付与する働きをするパターニングデバイスを支持する支持構造と、
基板を保持する基板テーブルと、
前記パターン付きビームを前記基板上に浴びせる投影システムとを含み、
請求項4〜7のいずれかに記載の搬送システムをさらに含み、前記基板テーブルは前記搬送システムにおける前記第2基板ホルダである、リソグラフィ投影装置。 - 請求項8に記載のリソグラフィ投影装置を使用してパターン付き放射ビームを基板上に投影することを含むデバイス製造方法。
- コンピュータアセンブリにロードされるとコンピュータアセンブリによる請求項9に記載のデバイス製造方法の制御を可能にするコンピュータ実行可能コードで符号化されたコンピュータ読み取り可能媒体。
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