JP5231153B2 - 基板を配置する方法、基板を搬送する方法、支持システムおよびリソグラフィ投影装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 346
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 55
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 44
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 40
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims description 26
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 23
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 4
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 25
- 230000009471 action Effects 0.000 description 22
- 208000006011 Stroke Diseases 0.000 description 19
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 6
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 3
- 206010000496 acne Diseases 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70783—Handling stress or warp of chucks, masks or workpieces, e.g. to compensate for imaging errors or considerations related to warpage of masks or workpieces due to their own weight
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/70616—Monitoring the printed patterns
- G03F7/70633—Overlay, i.e. relative alignment between patterns printed by separate exposures in different layers, or in the same layer in multiple exposures or stitching
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Description
および
第2第1
− 放射ビームB(例えばUV放射またはEUV放射)を調整するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
− パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1ポジショナPMに接続されている支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
− 基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、特定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第2ポジショナPWに接続されている基板ホルダ、例えば基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
− パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つまたは複数のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSとを含む。
Claims (17)
- 基板ホルダの表面上に基板を配置する方法であって、前記表面には複数のバールが設けられており、前記方法は、
前記複数のバールの位置に関連するデータを測定することによって、前記複数のバールの位置を取得し、
前記複数のバールの前記取得された位置に基づいて、前記基板ホルダの表面上にある前記複数のバールの位置に対して特定の位置に前記基板を配置できるようにするための基板配置データを計算し、
前記基板配置データに従って前記特定の位置に前記基板を配置することを含み、
前記特定の位置が、基板を配置した結果、最小のオーバレイ誤差になる位置である、方法。 - 前記複数のバールの位置を取得することが、
結像装置によって前記基板ホルダの表面上にある前記複数のバールの像を取得し、
前記像を処理することによって、前記基板ホルダの表面上にある前記複数のバールの位置を割り出すことを含み、
前記基板配置データを計算することが、
前記複数のバールの前記割り出された位置に基づいて、前記複数のバールの位置に対する前記特定の位置に前記基板を配置できるようにするための基板配置データを計算することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記像を処理することによって前記複数のバールの位置を割り出すことが、パターン認識技術を使用することによって実行される、請求項2に記載の方法。
- 前記複数のバールの位置を取得することが、
測定センサによって前記複数のバールそれぞれの位置を測定し、
測定した前記複数のバールそれぞれの位置を処理することによって、前記基板ホルダの表面上にある前記複数のバールの位置を構築することを含み、
前記基板配置データを割り出すことが、
前記複数のバールの前記構築された位置に基づいて、前記複数のバールの位置に対する前記特定の位置に前記基板を配置できるようにするための基板配置データを計算することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記基板配置データを割り出すことが、
前記複数のバールの位置に関連する位置データを備えるメモリを設け、
複数のマークを備える基板を設け、
前記基板ホルダの前記表面上の第1位置に前記基板を配置して、前記複数のマークの各マークの位置を測定し、
前記基板ホルダの前記表面上の第2位置へと前記基板をシフトさせ、前記複数のマークの各マークの位置を測定し、
前記シフトおよび測定を所定の回数繰り返し、
各測定のオーバレイ誤差を計算し、
計算した最小誤差を有する基板の位置を使用しながら前記複数のバールの位置に対する前記特定の位置に前記基板を配置できるようにするための基板配置データを計算することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記基板配置データを割り出すことが、
前記基板ホルダに設けた少なくとも3つのマークセクションの位置に対する前記複数のバールの位置に関連する位置データを備えるメモリを設け、
前記基板ホルダに設けた前記少なくとも3つのマークセクションの位置を測定し、
前記少なくとも3つのマークセクションの位置に対する前記複数のバールの位置を前記メモリから読み出し、
測定した少なくとも3つのマークセクションの位置、および読み出した少なくとも3つのマークセクションに対する複数のバールの位置を用いることにより、基板配置データを計算することであって、前記複数のバールに対する前記特定の位置に前記基板を配置することを可能にする該計算することを含む、請求項1に記載の方法。 - コンピュータアセンブリにロードされるとコンピュータアセンブリによる請求項1から6のいずれか一項に記載の配置方法の制御を可能にするコンピュータ実行可能コードを備えるコンピュータ読み取り可能媒体。
- 基板を第1基板ホルダから第2基板ホルダへ、搬送ユニットによってそれに利用できる搬送データに基づいて搬送する方法であって、第2基板ホルダは複数のバールを設けた表面を備えており、
前記基板を前記第1基板ホルダに設け、
基板を前記搬送ユニットによって前記搬送データに従い第1基板ホルダから前記第2基板ホルダ上の複数のバールに対する前記特定の位置へと搬送し、
前記基板を前記第2基板ホルダの前記特定の位置に配置することを含み、
前記配置することが、請求項1から6のいずれか一項に記載の基板を基板ホルダの表面に配置する方法にしたがって実行される方法。 - コンピュータアセンブリにロードされるとコンピュータアセンブリによる請求項8に記載の搬送方法の制御を可能にするコンピュータ実行可能コードを備えるコンピュータ読み取り可能媒体。
- 基板を支持する支持システムであって、
前記基板を保持するように構成され、複数のバールを設けた表面を備える基板ホルダと、
基板配置データに従って基板を前記基板ホルダ上に配置する基板処理デバイスと、
前記複数のバールの位置に関連するデータを測定することによって、前記基板ホルダの表面に設けられた前記複数のバールの位置を割り出すために使用可能な測定を実行する測定ユニットと、
前記複数のバールの前記割り出された位置に基づいて、前記複数のバールの位置に対する特定の位置にて前記基板を前記基板ホルダの表面に配置できるようにする前記基板配置データを計算するプロセッサと、を含み、
前記特定の位置が、基板を配置した結果、最小のオーバレイ誤差になる位置である、支持システム。 - 前記測定ユニットが、前記基板ホルダの表面上にある前記複数のバールの像を取得する結像装置であり、前記プロセッサがさらに、処理することによって複数のバールの位置を割り出し、前記基板配置データを計算する、請求項10に記載の支持システム。
- プロセッサが、パターン認識技術を使用することによって前記像を処理する、請求項11に記載の支持システム。
- 前記測定ユニットが、前記複数のバールそれぞれの位置を測定する測定センサであり、前記プロセッサがさらに、測定した前記複数のバールそれぞれの位置を処理することによって前記複数のバールの位置を構築し、前記基板配置データを計算する、請求項10に記載の支持システム。
- 前記基板ホルダに少なくとも3つのマークセクションが設けられ、前記支持システムがさらに、前記プロセッサに通信可能に接続されたメモリを備え、前記メモリが、前記少なくとも3つのマークセクションの位置に対する前記複数のバールの位置に関する位置データを備え、前記測定ユニットが、前記少なくとも3つのマークセクションの位置を測定する、請求項11に記載の支持システム。
- 放射ビームを提供する照明システムと、
前記放射ビームの断面にパターンを付与する働きをするパターニングデバイスを支持する支持構造と、
請求項10から14のいずれか一項に記載の基板を支持する支持システムと、
前記パターン付きビームを前記基板上に浴びせる投影システムとを含むリソグラフィ装置。 - 請求項15に記載のリソグラフィ投影装置を使用してパターン付き放射ビームを基板上に投影することを含むデバイス製造方法。
- コンピュータアセンブリにロードされるとコンピュータアセンブリによる請求項16に記載のデバイス製造方法の制御を可能にするコンピュータ実行可能コードを備えるコンピュータ読み取り可能媒体。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US96069907P | 2007-10-10 | 2007-10-10 | |
US60/960,699 | 2007-10-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009170874A JP2009170874A (ja) | 2009-07-30 |
JP5231153B2 true JP5231153B2 (ja) | 2013-07-10 |
Family
ID=40716965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008264460A Active JP5231153B2 (ja) | 2007-10-10 | 2008-10-10 | 基板を配置する方法、基板を搬送する方法、支持システムおよびリソグラフィ投影装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8149387B2 (ja) |
JP (1) | JP5231153B2 (ja) |
KR (1) | KR100977762B1 (ja) |
CN (1) | CN101470358B (ja) |
NL (1) | NL1036040A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9551311B2 (en) | 2014-07-17 | 2017-01-24 | Continental Automotive Gmbh | Nozzle body, the valve assembly and fluid injection valve |
US9557659B2 (en) | 2013-10-23 | 2017-01-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Lithography apparatus, determination method, and method of manufacturing article |
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JP2001127144A (ja) | 1999-08-19 | 2001-05-11 | Canon Inc | 基板吸着保持方法、基板吸着保持装置および該基板吸着保持装置を用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 |
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- 2008-10-10 JP JP2008264460A patent/JP5231153B2/ja active Active
- 2008-10-10 KR KR1020080099881A patent/KR100977762B1/ko active IP Right Grant
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CN101470358A (zh) | 2009-07-01 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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