JP3999574B2 - 基板処理システム - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板処理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶ディスプレイなどの製品は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処理を施すことにより製造されている。従来より、これらの諸処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニット等を組み込んだ基板処理装置において行われている。基板処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニットに基板を順次搬送することによって該基板に一連の処理が行われるのである。
【０００３】
このような基板処理装置を構成する部品には消耗品も含まれている。かかる消耗品としては、例えば、処理槽内に吐出されて溢れ出た処理液を回収して元の処理液供給経路に戻す際の不純物除去用のフィルタや、除去液を排出するための除去液ポンプ及び純粋を送出するための純粋ポンプ等のポンプ類や、基板を回転させるためのスピンモータ及び搬送ロボット等を駆動するための搬送モータ等のモータ類等がある。
【０００４】
このような消耗品は、使用とともに消耗・劣化するものであって、消耗の程度が進行すると、使用不能となるため、定期的に新たな部品を発注して交換する必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来においては、複数の基板処理装置が設置されている場合に、消耗品の交換の要否や発注管理を各基板処理装置毎に実施していたため、作業が繁雑であり、また新たな部品の発注をまとめて行うなどの効率的な管理が困難であった。
【０００６】
そこで、この発明の課題は、複数の基板処理装置内の消耗品の管理を効率的に実施し得る基板処理システム及びそれに関連する技術を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく、請求項１に記載の発明は、工場内に設置され、コントローラによって動作が制御される複数の処理部が配置される複数の基板処理装置と、前記基板処理装置に対応して設置され、前記基板処理装置に接続されて、当該各基板処理装置内の各処理部における消耗品の消耗度に関するデータを収集するデータ収集コントローラと、前記データ収集コントローラに工場内ネットワークを通じて接続された単一の消耗品一括管理手段と、を備え、前記基板処理装置が、当該基板処理装置内の各処理部において前記消耗品の消耗度に関するデータを測定して、接続された前記データ収集コントローラにデータを出力する消耗度計測手段、をそれぞれ当該基板処理装置内に設けられて有し、前記消耗品一括管理手段が、前記消耗度計測手段で計測されて各処理部から前記データ収集コントローラを介して前記工場内ネットワークを通じて得られたデータに基づいて、前記各消耗品が消耗しているか否かを判断する消耗判断手段と、前記消耗判断手段で消耗していると判断された消耗品のうち少なくとも同一種類の消耗品についてはその全てを特定する情報を一括して前記基板処理装置ごとに表示する表示手段と、を備えるものである。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理システムであって、前記処理部における消耗品は、流体を供給するための所定の管路に着脱可能に設けられるフィルターと、流体を供給するための着脱可能なポンプと、着脱可能なモータと、である。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理システムであって、前記消耗品が、流体を供給するための所定の管路に着脱可能に設けられるフィルターを含み、前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、前記管路の１次側における前記流体の圧力を測定する圧力センサを含み、前記消耗判断手段が、前記圧力センサで測定された圧力が所定の圧力基準値を超えた場合に前記フィルターが消耗していると判断するものである。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理システムであって、前記消耗品が、流体を供給するための所定の管路に着脱可能に設けられるフィルターを含み、前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、前記管路の２次側における前記流体の流量を測定する流量センサを含み、前記消耗判断手段が、前記流量センサで測定された流量が所定の流量基準値未満であった場合に前記フィルターが消耗していると判断するものである。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載の基板処理システムであって、前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、前記管路の２次側における前記流体の流量を測定する流量センサを含み、前記消耗判断手段が、前記流量センサで測定された流量が所定の流量基準値未満であった場合に前記フィルターが消耗していると判断するものである。
【００１１】
請求項６に記載の発明は、請求項１、および請求項３ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理システムであって、前記消耗品が、流体を供給するための着脱可能なポンプを含み、前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、流体を供給するためのポンプの動作を検出するポンプ動作センサを含み、前記消耗判断手段が、前記ポンプ動作センサで検出された前記ポンプの動作の回数をカウントし、当該カウント結果が所定の基準回数を超えた場合に前記ポンプが消耗していると判断するものである。
【００１２】
請求項７に記載の発明は、請求項１、および請求項３ないし請求項６のいずれかに記載の基板処理システムであって、前記消耗品が着脱可能なモータを含み、前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、前記モータの駆動状態を検出するモータ状態検出センサを含み、前記消耗判断手段が、前記モータ状態検出センサで検出された前記モータの駆動状態が所定の許容範囲を超えた場合に前記モータが消耗していると判断するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
近年、半導体製造工場内の各種装置の有効稼働率の改善と性能維持・向上を目的として、ＥＥＳ（Equipment Engineering System）と呼ばれるネットワークシステムが構築されつつある。この発明の一の実施の形態の基板処理システムは、図１の如く、半導体製造工場１内において複数の基板処理装置２ａ，２ｂ…が設置されている場合に、これらの各基板処理装置２ａ，２ｂ…内に装備された消耗品の交換管理について、ＥＥＳとしての工場ネットワークを用いて一括管理するものである。
【００１４】
即ち、この基板処理システムは、複数の基板処理装置２ａ，２ｂ…と、各基板処理装置２ａ，２ｂ…の消耗品の消耗度に関するデータを収集するデータ収集コントローラ３ａ，３ｂ…と、工場内ネットワーク５に接続されて各基板処理装置２ａ，２ｂ…内の消耗品を一括管理するホストコンピュータ（消耗品一括管理手段）６とを備える。
【００１５】
基板処理装置２ａ，２ｂ…の例として、ポリマーが生成された半導体基板からポリマーを除去するポリマー除去処理装置を説明する。
【００１６】
この各基板処理装置２ａ，２ｂ…は、図２の如く、搬入搬出部１３及び回転処理部１５が並べて配置されてなる。
【００１７】
搬入搬出部１３は、未処理の基板Ｗを収容したキャリアＣが載置される搬入部２５と、処理済みの基板Ｗを収容したキャリアＣが載置される搬出部２１と、受渡し部２３とを有する。
【００１８】
搬入部２５はテーブル状の載置台を有し、装置外の搬送機構によってキャリアＣが２個、搬入される。キャリアＣは例えば２５枚の基板Ｗを水平姿勢で互いに間隔を空けて垂直方向に並べた状態で保持する。搬出部２１もテーブル状の載置台を有し、該載置台に２個のキャリアＣが載置され、該２個のキャリアＣは装置外の搬送機構によって搬出される。
【００１９】
受渡し部２３は搬入部２５、搬出部２１のキャリアＣの並び方向に沿って移動し、かつキャリアＣに対して基板Ｗを搬入、搬出する搬入搬出機構２７と、受渡し台２９とを有する。搬入搬出機構２７は、図示を省略する搬入搬出用アームを備え、水平方向に沿った移動の他に鉛直方向を軸とする回転動作や鉛直方向に沿った昇降動作や該搬入搬出用アームの進退動作を行うことができる。これにより、搬入搬出機構２７はキャリアＣに対して基板Ｗの搬出入を行うとともに、受渡し台２９に対して基板Ｗを授受する。
【００２０】
回転処理部１５は搬入搬出部１３に隣接して設けられ、基板Ｗを収容して反応生成物の除去処理を施す４つの回転処理ユニット３１と、受渡し台２９に対して基板Ｗを授受するとともに、４つの回転処理ユニット３１に対して基板Ｗを授受する基板搬送機構３３とを有している。
【００２１】
回転処理ユニット３１は搬入搬出部１３のキャリアＣの並び方向と直交する方向に沿って２つ並ぶことで回転処理ユニット３１の列を形成し、この回転処理ユニット３１の列が間隔を開けて合計２列、キャリアＣの並び方向に沿って並んでいる。そして、前記回転処理ユニット３１の列と列との間隔に基板搬送機構３３が設けられている。なお、回転処理ユニット３１の詳細についてはさらに後述する。
【００２２】
基板搬送機構３３は、搬送アーム３５を備え、水平方向に沿った移動、鉛直方向を軸とする回転動作、鉛直方向に沿った昇降動作および搬送アーム３５の進退動作を行うことができる。これにより、基板搬送機構３３は、回転処理ユニット３１の列と列との間隔に沿って走行し、各回転処理ユニット３１に対して基板Ｗを授受するとともに、受渡し台２９に対して基板Ｗを授受する。
【００２３】
図３は回転処理ユニット３１の構成を示す模式図である。
【００２４】
回転処理ユニット３１は、１枚の基板Ｗを水平状態に保持して回転する基板保持手段４１と、保持された基板Ｗの周囲を取り囲むカップ４２と、保持された基板Ｗに除去液を供給する除去液供給手段４３と、保持された基板Ｗに純水を供給する純水供給手段４４と、基板保持手段４１に保持されている基板Ｗを収容するチャンバ４５とを有する。また、回転処理ユニット３１は、チャンバ４５に対して基板を搬出入するための搬出入口５０から進入する光を遮光するためのシャッタ５１と、チャンバ４５の内部を照明するランプ５２と、チャンバ４５の内部を観察するための観察窓５３とを備えている。なお、カップ４２は不図示の機構で昇降する。
【００２５】
チャンバ４５は、基板Ｗを収容して反応生成物の除去処理を行うための処理室である。チャンバ４５は、光を透過しない遮光材料によって構成されている。チャンバ４５の側壁（基板搬送機構３３側の側壁）には、チャンバ４５に対して基板Ｗを搬出入するための搬出入口５０が設けられている。なお、チャンバ４５内は常に常圧の状態であり、チャンバ４５内の雰囲気は不図示の排気機構によって、装置外の所定の排気ダクトへ排出されている。このため、処理液のミストや蒸気などを含んだ雰囲気がチャンバ４５から漏出することが防止されている。
【００２６】
また、チャンバ４５にはシャッタ５１が設けられている。シャッタ５１は、図３中矢印ＡＲ５１にて示すように、シャッタ開閉機構５４によって昇降自在とされている。シャッタ開閉機構５４がシャッタ５１を上昇させているときには、シャッタ５１が搬出入口５０を閉鎖する。シャッタ５１も光を透過しない遮光材料によって構成されており、シャッタ５１が搬出入口５０を閉鎖しているときには、搬出入口５０からチャンバ４５の内部に進入する光を遮光することができる。一方、シャッタ開閉機構５４がシャッタ５１を下降させているときには、搬出入口５０が開放される。搬出入口５０が開放されているときには、基板搬送機構３３（図２）が搬出入口５０からチャンバ４５内に基板Ｗを搬入または搬出することができる。なお、後述するように、少なくとも除去液によって反応生成物の除去処理を行っている間は、シャッタ５１によって搬出入口５０を閉鎖するようにしている。
【００２７】
基板保持手段４１は、チャンバ４５の外部に設けられたモータ４６と、モータ４６に駆動されることによって垂直方向に沿った軸を中心に回転するチャック４７とを有する。
【００２８】
カップ４２は上面視略ドーナツ型で中央の開口にチャック４７が通過可能な開口を有している。また、カップ４２は回転する基板Ｗから飛散する液体（例えば除去液や純水）を捕集するとともに下部に設けられている排液口４８から捕集した液体を排出する。排液口４８にはドレン６０へ通ずるドレン配管６１が連通接続され、該ドレン配管６１の途中にはドレン配管６１の管路を開閉するドレン弁６２が設けられている。ドレン弁６２を開放することによって、排液口４８からドレン６０へと液体を排出することができる。
【００２９】
除去液供給手段４３はチャンバ４５の外部にねじ止め等により着脱可能に設けられたモータ６３と、モータ６３によって回動するアーム６４と、アーム６４の先端に設けられ除去液を下方に吐出する除去液ノズル６５と、除去液ノズル６５に向って除去液を供給するための第１のポンプ６６ａが設置された除去液源６６とを有する。尚、第１のポンプ６６ａは、チャンバ４５内でねじ止め等により着脱可能に固定される。また、除去液ノズル６５と除去液源６６とは管路によって連通接続され、該管路には除去液弁６７が設けられているとともに、除去液を濾過して異物を除去するための第１のフィルター８１が、チャンバ４５に形成された所定のスリットに填め込まれるなどして着脱自在に取り付けられる。なお、モータ６３を昇降させることで除去液ノズル６５を昇降させる不図示の昇降手段が設けられている。
【００３０】
このモータ６３を駆動することによって、除去液ノズル６５は基板Ｗの回転中心の上方の吐出位置とカップ４２外の待機位置との間で往復移動する（図２参照）。
【００３１】
純水供給手段４４は、チャンバ４５の外部にねじ止め等により着脱可能に設けられたモータ６８と、モータ６８によって回動するアーム６９と、アーム６９の先端に設けられ純水を下方に吐出する純水ノズル７１と、純水ノズル７１に向って純水を供給するための第２のポンプ７２ａが設置された純水源７２とを有する。尚、第２のポンプ７２ａは、チャンバ４５内でねじ止め等により着脱可能に固定される。また、純水ノズル７１と純水源７２は管路によって連通接続され、該管路には純水弁７３が設けられているとともに、純水を濾過して異物を除去するための第２のフィルター８２が、チャンバ４５に形成された所定のスリットに填め込まれるなどして着脱自在に取り付けられる。なお、モータ６８を昇降させることで純水ノズル７１を昇降させる不図示の昇降手段が設けられている。
【００３２】
このモータ６８を駆動することによって、純水ノズル７１は基板Ｗの回転中心の上方の吐出位置とカップ４２外の待機位置との間で往復移動する。
【００３３】
チャンバ４５の側壁（基板搬送機構３３と反対側の側壁）には、チャンバ４５の内部を観察するための観察窓５３が設けられている。また、チャンバ４５には観察窓５３を開閉するための観察扉７５が設けられている。観察扉７５は図３中矢印ＡＲ７５にて示すように開閉可能とされており、観察扉７５が図中実線位置にあるときは観察窓５３が開放状態とされ、図中二点差線位置にあるときは観察窓５３が閉鎖状態とされる。観察扉７５も光を透過しない遮光材料によって構成されており、観察扉７５が観察窓５３を閉鎖しているときには、観察窓５３からチャンバ４５の内部に進入する光を遮光することができる。
【００３４】
一方、観察扉７５が観察窓５３を開放しているときには、オペレータが観察窓５３からチャンバ４５の内部を観察することができる。なお、チャンバ４５には開閉ロック機構７６が設けられている。開閉ロック機構７６は、観察窓５３が閉鎖されているときに観察扉７５を図中二点差線位置に固定する機能、すなわち観察窓５３の開放を禁止する機能を有する。具体的には、例えば観察扉７５がステンレス製であるときには電磁石を作動させて観察窓５３の開放を禁止するようにすれば良い。また、開閉ロック機構７６は、機械的に観察窓５３の開放を禁止するようにしても良い。
【００３５】
また、チャンバ４５の内側天井部分には、チャンバ４５の内部を照明するランプ５２が設けられている。ランプ５２を点灯させた状態にて観察窓５３を開放することにより、ダミーランニング等の際にオペレータは観察窓５３からチャンバ４５の内部を観察することができ、例えば除去液ノズル６５から基板Ｗの回転中心に正確に除去液が吐出されているか否かを確認することができる。
【００３６】
さらに、回転処理ユニット３１はチャンバ４５の外部にコントローラ７７を備えている。コントローラ７７は、少なくともシャッタ開閉機構５４、ランプ５２、開閉ロック機構７６および除去液弁６７と電気的に接続されており、これらの動作を制御する。その具体的な制御態様についてはさらに後述する。また、コントローラ７７に、モータ４６，６３，６８等を制御させて回転処理ユニット３１全体の動作を管理させるようにしても良い。
【００３７】
そして、この基板処理装置２ａ，２ｂ…には、各フィルター８１，８２、各ポンプ６６ａ，７２ａ及び各モータ６３，６８といった消耗品の消耗度に関するデータを計測する消耗度計測手段を備えており、具体的には、図３及び図４の如く、第１のフィルター８１の除去液源６６側（１次側）の圧力を測定する第１の圧力センサ８３と、第１のフィルター８１の除去液ノズル６５側（２次側）における除去液の流量を測定する第１の流量センサ８４と、第２のフィルター８２の純水源７２側（１次側）の圧力を測定する第２の圧力センサ８５と、第２のフィルター８２の純水ノズル７１側（２次側）における純水の流量を測定する第２の流量センサ８６と、第１のポンプ６６ａの動作毎にオン／オフ切換する第１のポンプ動作センサ８７と、第２のポンプ７２ａの動作毎にオン／オフ切換する第２のポンプ動作センサ８８と、除去液供給手段４３のモータ６３の回転速度等の所定の動作状態を監視するための第１のモータ状態検出センサ８９と、純水供給手段４４のモータ６８の回転速度等の所定の動作状態を監視するための第２のモータ状態検出センサ９０とを備えている。
【００３８】
そして、これらの各消耗度計測手段８３〜９０が、それぞれの基板処理装置２ａ，２ｂ…に対応して設置されたデータ収集コントローラ３ａ，３ｂ…に接続され、それぞれにおいて計測された各データが、データ収集コントローラ３ａ，３ｂ…を通じてホストコンピュータ６に与えられる。
【００３９】
データ収集コントローラ３ａ，３ｂ…は、各圧力センサ８３，８５、各流量センサ８４，８６、各ポンプ動作センサ８７，８８及び各モータ状態検出センサ８９，９０から与えられたデータを、その基板処理装置２ａ，２ｂ…に固有の識別データを付与して工場内ネットワーク５を通じてホストコンピュータ６に送信する。
【００４０】
ホストコンピュータ６は、図５の如く、ハードディスク装置、ＲＯＭ、ＲＡＭ及びＣＰＵ等を備えたコンピュータ本体９４とディスプレイ装置（表示手段）９５等の周辺装置とを備えた一般的なコンピュータ装置であって、工場内ネットワーク５を通じた通信機能を有しており、工場内ネットワーク５を通じて全てのデータ収集コントローラ３ａ，３ｂ…から与えられた各基板処理装置２ａ，２ｂ…のデータを収集して各消耗品が消耗しているか否かを判断する機能を有している。具体的に、このホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４は、ハードディスク装置内に予め格納されたソフトウェアプログラムで規律された手順に従ってＣＰＵが動作することで動作する機能要素であり、工場内の全ての基板処理装置２ａ，２ｂ…の各圧力センサ８３，８５で測定された各フィルター８１，８２の１次側の圧力と各流量センサ８４，８６で測定された２次側での流量とに基づいて各フィルター８１，８２の消耗の有無を一括して判断するフィルター一括管理機能９１と、工場内の全ての基板処理装置２ａ，２ｂ…の各ポンプ動作センサ８７，８８で検出された各ポンプ６６ａ，７２ａの動作に基づいて各ポンプ６６ａ，７２ａの消耗の有無を一括して判断するポンプ一括管理機能機能９２と、工場内の全ての基板処理装置２ａ，２ｂ…の各モータ状態検出センサ８９，９０で検出された各モータ６３，６８の回転速度等の動作状態に基づいて各モータ６３，６８の消耗の有無を一括して判断するモータ一括管理機能９３とを備える。これらフィルター一括管理機能９１、ポンプ一括管理機能機能９２及びモータ一括管理機能９３は、消耗度計測手段８３〜９０が計測してデータ収集コントローラ３ａ，３ｂ…を介して得られた各種データに基づいて、各消耗品（各フィルター８１，８２、各ポンプ６６ａ，７２ａ及び各モータ６３，６８）が消耗しているか否かを判断する消耗判断手段として機能する。
【００４１】
フィルター一括管理機能９１では、各フィルター８１，８２が目詰まりしているか否かを判断するようになっており、各圧力センサ８３，８５で測定された各フィルター８１，８２の１次側の圧力が所定の圧力基準値を超えた場合に、当該各フィルター８１，８２が消耗したと判断する一方、各フィルター８１，８２の１次側の圧力が上記圧力基準値未満の場合に、当該各フィルター８１，８２が消耗していないと判断する圧力判断機能と、各流量センサ８４，８６で測定された２次側での流量が所定の流量基準値を超えた場合に、当該各フィルター８１，８２が消耗したと判断する一方、各フィルター８１，８２の２次側での流量が上記流量基準値未満の場合に、当該各フィルター８１，８２が消耗していないと判断する流量判断機能とを備える。尚、圧力判断機能及び流量判断機能において、測定された圧力や流量が圧力基準値や流量基準値と等しい場合には、各フィルター８１，８２が消耗したと判断することとしてもよいし、または各フィルター８１，８２が消耗していないと判断することとしてもよい。そして、フィルター一括管理機能９１は、消耗していると判断されたフィルター８１，８２が存在している場合は、そのフィルター８１，８２と当該フィルター８１，８２が実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報をディスプレイ装置９５に一括して表示する。
【００４２】
ポンプ一括管理機能機能９２は、各基板処理装置２ａ，２ｂ…の各ポンプ動作センサ８７，８８のオン／オフ切換の回数をカウントし、所定の基準回数を超えた場合にそのポンプ６６ａ，７２ａが消耗したと判断する一方、上記基準回数を超えていない場合にそのポンプ６６ａ，７２ａが消耗していないと判断する。尚、ポンプ一括管理機能機能９２において、測定された圧力や流量が圧力基準値や流量基準値と等しい場合には、各ポンプ６６ａ，７２ａが消耗したと判断することとしてもよいし、または各ポンプ６６ａ，７２ａが消耗していないと判断することとしてもよい。そして、ポンプ一括管理機能機能９２は、消耗していると判断された各ポンプ６６ａ，７２ａが存在する場合に、そのポンプ６６ａ，７２ａ及び当該ポンプ６６ａ，７２ａが実装された基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報をディスプレイ装置９５に一括して表示する。
【００４３】
モータ一括管理機能９３は、各基板処理装置２ａ，２ｂ…の各モータ状態検出センサ８９，９０で検出されたモータ回転速度等のデータの値が所定の許容範囲内であるか否かを比較判断し、許容範囲外である場合にモータ６３，６８が消耗していると判断する一方、許容範囲内である場合にモータ６３，６８が消耗していないと判断する。そして、モータ一括管理機能９３は、消耗していると判断されたモータ６３，６８が存在する場合に、そのモータ６３，６８及び当該モータ６３，６８が実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報をディスプレイ装置９５に一括して表示する。
【００４４】
上記構成の基板処理システムにおいて、まず、キャリアＣに収容された基板Ｗが搬入部２１に搬入される。そして、搬入部２１のキャリアＣから搬入搬出機構２７により基板Ｗが１枚取り出され、受渡し台２９に載置される。受渡し台２９に載置された基板Ｗは基板搬送機構３３により持ち出され、４つの回転処理ユニット３１のうちの所定の１つに搬入される。回転処理ユニット３１ではシャッタ５１を下降させて搬出入口５０を開放し、基板搬送機構３３が搬送してきた基板Ｗをチャック４７にて受取り保持する。基板Ｗを受けとった回転処理ユニット３１では基板保持手段４１が基板を保持する。またドレン弁６２は開放しておく。
【００４５】
次に、基板保持手段４１はモータ４６を回転させて基板Ｗを回転させる。そして、基板Ｗが所定の回転速度に達すると除去液供給が実行される。即ち、モータ６３が回動して待機位置にある除去液ノズル６５が吐出位置に移動する。
【００４６】
この際、第１のモータ状態検出センサ８９は、モータ６３の回転速度等の駆動状態を検出しており、ホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４のモータ一括管理機能９３は、第１のモータ状態検出センサ８９で検出されたモータ回転速度等が所定の許容範囲内であるか否かを比較判断し、許容範囲外である場合にモータ６３が消耗していると判断する。ここでモータ６３が消耗していると判断された場合は、そのモータ６３及び当該モータ６３が実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報がディスプレイ装置９５に一括して表示される。
【００４７】
そして、除去液弁６７を開放して、第１のフィルター８１により不純物を濾過しながら、除去液ノズル６５から基板Ｗに除去液を供給する。基板Ｗに供給された除去液は基板Ｗの外に落下してカップ４２にて集められ、ドレン配管６１を通じてドレン６０に排出される。
【００４８】
この際、各基板処理装置２ａ，２ｂ…中の第１の圧力センサ８３は、第１のフィルター８１の除去液源６６側（１次側）の圧力を測定している。そして、ホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４のフィルター一括管理機能９１において、第１のフィルター８１の１次側の圧力が所定の圧力基準値を超えた場合に、当該第１のフィルター８１が消耗していると判断する。
【００４９】
また、各基板処理装置２ａ，２ｂ…中の第１の流量センサ８４は、各第１のフィルター８１の除去液ノズル６５側（２次側）における除去液の流量を測定している。そして、第１の流量センサ８４で測定された流量が所定の流量基準値を超えた場合に、当該第１のフィルター８１が消耗したと判断する。
【００５０】
このように第１のフィルター８１が消耗していると判断した場合には、その旨と、その消耗している第１のフィルター８１及びこれが実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報を示す情報がディスプレイ装置９５に一括して表示される。
【００５１】
さらに、この間、各基板処理装置２ａ，２ｂ…中の第１のポンプ動作センサ８７は、除去液を供給するための第１のポンプ６６ａの動作毎にオン／オフ切換を行っている。そして、ホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４のポンプ一括管理機能機能９２において、第１のポンプ動作センサ８７のオン／オフ回数をカウントし、そのカウント結果（即ち、第１のポンプ６６ａの動作回数）が所定の回数基準値を超えた場合に、当該第１のポンプ６６ａが消耗していると判断する。このように第１のポンプ６６ａが消耗していると判断した場合には、その旨と、その消耗している第１のポンプ６６ａ及びこれが実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報がディスプレイ装置９５に一括して表示される。
【００５２】
所定時間、除去液を供給すると除去液弁６７を閉止し、除去液ノズル６５を待機位置に戻す。
【００５３】
除去液によって反応生成物の除去処理を行っている間は、コントローラ７７がシャッタ開閉機構５４を制御してシャッタ５１によって搬出入口５０を閉鎖するとともに、ランプ５２を消灯する。さらに、少なくとも除去液によって反応生成物の除去処理を行っている間は、コントローラ７７が開閉ロック機構７６を制御して観察窓５３の開放を禁止するようなインターロックをかけている。このため、少なくとも除去液によって基板上の反応生成物の除去処理を行っている間は、シャッタ５１によって搬出入口５０が遮光されるとともに、観察窓５３も遮光されることとなり、光を触媒とした悪影響を防止するためにチャンバ４５内が暗室とされる。
【００５４】
次に純水供給が実行される。純水供給ではモータ６８が回動して待機位置にある純水ノズル７１が吐出位置に移動する。
【００５５】
この際、第２のモータ状態検出センサ９０は、モータ６８の回転速度等の駆動状態を検出しており、ホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４のモータ一括管理機能９３は、第２のモータ状態検出センサ９０で検出されたモータ回転速度等が所定の許容範囲内であるか否かを比較判断し、許容範囲外である場合にモータ６８が消耗していると判断する。ここでモータ６８が消耗していると判断された場合は、そのモータ６８及び当該モータ６８が実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報がディスプレイ装置９５に一括して表示される。
【００５６】
そして、純水弁７３を開放して、第２のフィルター８２で不純物を濾過しながら、純水ノズル７１から基板Ｗに純水を供給して、基板Ｗ上の汚染物質を洗い流す。基板Ｗに供給された純水は基板Ｗの外に落下してカップ４２にて集められ、ドレン配管６１を通じてドレン６０に排出される。
【００５７】
この際、各基板処理装置２ａ，２ｂ…中の第２の圧力センサ８５は、第２のフィルター８２の純水源７２側（１次側）の圧力を測定している。そして、ホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４のフィルター一括管理機能９１において、第２の圧力センサ８５で測定された１次側の圧力が所定の圧力基準値を超えた場合に、当該第２のフィルター８２が消耗していると判断する。
【００５８】
また、各基板処理装置２ａ，２ｂ…中の第２の流量センサ８６は、各第２のフィルター８２の純水ノズル７１側（２次側）における純水の流量を測定している。そして、第２の流量センサ８６で測定された流量が所定の流量基準値を超えた場合に、当該第２のフィルター８２が消耗したと判断する。
【００５９】
このように第２のフィルター８２が消耗していると判断した場合には、その旨と、その消耗している第２のフィルター８２及びこれが実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報がディスプレイ装置９５に一括して表示される。
【００６０】
さらに、この間、各基板処理装置２ａ，２ｂ…中の第２のポンプ動作センサ８８は、除去液を供給するための第２のポンプ７２ａの動作毎にオン／オフ切換を行っている。そして、ホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４のポンプ一括管理機能機能９２において、第２のポンプ動作センサ８８のオン／オフ回数をカウントし、そのカウント結果（即ち、第２のポンプ７２ａの動作回数）が所定の回数基準値を超えた場合に、当該第２のポンプ７２ａが消耗していると判断する。このように第２のポンプ７２ａが消耗していると判断した場合には、その旨と、その消耗している第２のポンプ７２ａ及びこれが実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報がディスプレイ装置９５に一括して表示される。
【００６１】
所定時間、純水を供給すると純水弁７３を閉止し、純水ノズル７１を待機位置に戻す。
【００６２】
次に液切りが実行される。液切りでは基板Ｗを高速で回転させることにより、基板Ｗ上にある液体を振切る。これにより、基板Ｗがほぼ乾燥する。
【００６３】
その後、基板搬送機構３３によって基板Ｗが搬出される。
【００６４】
かかる一連の動作は、工場内の全ての基板処理装置２ａ，２ｂ…について実行され、各フィルター８１，８２、各ポンプ６６ａ，７２ａまたは各モータ６３，６８といった消耗品が消耗していた場合は、それらの消耗品及び当該消耗品が実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報が自動的にディスプレイ装置９５に一括して表示される。したがって、これらの消耗品の交換の要否や発注管理を、工場内の全ての基板処理装置２ａ，２ｂ…に対して一括して実施することができるので、新たな部品の発注をまとめて行うなどの効率的な管理を実施することが可能となる。
【００６５】
図６は、図１のディスプレイ６における上記の一括表示の例を示している。この表示例では、交換が必要とされた消耗品の種別ごとに、それが属する複数の基板処理装置の識別番号（No．0001、No．0002など）が一括表示される。ただし、これらの基板処理装置は、図１における基板処理装置２ａ，２ｂ…に相当する。
【００６６】
図７は、ディスプレイ６における一括表示の他の例を示しており、この場合には、交換を要する消耗品のリストが装置ごとに列挙され、各装置について同様のリストが並列的に表示されることによって消耗品の一括表示がなされる。
【００６７】
なお、いずれの場合においても、交換を要する全ての消耗品を特定する情報を一括表示することにより消耗品としての全体管理が特に容易になるが、実質的に同一の構成を持つ消耗品の種別ごと（たとえばフィルターごと、モータごと）に一括表示してもかまわない。 尚、この実施の形態では、基板処理装置２ａ，２ｂ…としてポリマー除去処理装置を例に挙げて説明したが、これに限るものではなく、フィルター８１，８２等の消耗品を利用している基板処理装置であればどのようなものについて適用しても差し支えない。
【００６８】
また、消耗品として、除去液供給手段４３及び純水供給手段４４に実装されるフィルター８１，８２、ポンプ６６ａ，７２ａ及びモータ６３，６８を例に挙げて説明したが、例えばエアフィルターや、基板を回転させるためのスピンモータまたは搬送ロボット等を駆動するための搬送モータ等を適用しても差し支えない。
【００６９】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、複数の基板処理装置内にそれぞれ設けられた消耗度計測手段での計測結果に基づいて、各消耗品が消耗しているか否かを判断し、消耗していると判断された消耗品のうち少なくとも同一種類の消耗品についてその全てを特定する情報を単一の表示手段に一括して表示するので、これらの消耗品の交換の要否や発注管理を、工場内の全ての基板処理装置に対して一括して実施することができる。したがって、新たな部品の発注をまとめて行うなどの効率的な管理を実施することが可能となる。
【００７０】
請求項３に記載の発明によれば、消耗度計測手段としての圧力センサが管路の１次側における流体の圧力を測定し、その圧力が所定の圧力基準値を超えた場合に管路内に設けられたフィルターの目詰まりの状態を判断できるので、そのフィルターの消耗について容易に一括管理できる。
【００７１】
請求項４及び請求項５に記載の発明によれば、消耗度計測手段としての流量センサが管路の２次側における流体の流量を測定し、その流量が所定の流量基準値を超えた場合に管路内に設けられたフィルターの目詰まりの状態を判断できるので、そのフィルターの消耗について容易に一括管理できる。
【００７２】
請求項６に記載の発明によれば、消耗品が、流体を供給するための着脱可能なポンプを含み、消耗度計測手段が、流体を供給するためのポンプの動作を検出するポンプ動作センサを含み、消耗判断手段が、ポンプ動作センサで検出されたポンプの動作の回数をカウントし、当該カウント結果が所定の基準回数を超えた場合にポンプが消耗していると判断するので、ポンプの消耗について容易に一括管理することができる。
【００７３】
請求項７に記載の発明によれば、消耗品が着脱可能なモータを含み、消耗度計測手段が、モータの駆動状態を監視するモータ状態検出センサを含み、消耗判断手段が、モータ状態検出センサで検出されたモータの駆動状態が所定の許容範囲を超えた場合にモータが消耗していると判断するので、モータの消耗について容易に一括管理できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一の実施の形態に係る基板処理システムの全体構成を示すブロック図である。
【図２】基板処理装置の一例を示す平面図である。
【図３】基板処理装置の一例において回転処理ユニットの構成を示す模式図である。
【図４】基板処理装置内の消耗度計測手段及びデータ収集コントローラを示すブロック図である。
【図５】消耗品一括管理手段としてのホストコンピュータを示すブロック図である。
【図６】交換を要する消耗品の一括表示の例を示す図である。
【図７】交換を要する消耗品の一括表示の他の例を示す図である。
【符号の説明】
１ 半導体製造工場
２ａ，２ｂ… 基板処理装置
３ａ，３ｂ… データ収集コントローラ
５ 工場内ネットワーク
６ ホストコンピュータ
４３ 除去液供給手段
４４ 純水供給手段
６３，６８ モータ
６６ａ，７２ａ ポンプ
８１，８２ フィルター
８３，８５ 圧力センサ
８４，８６ 流量センサ
８７，８８ ポンプ動作センサ
８９，９０ モータ状態検出センサ
９１ フィルター一括管理機能
９２ ポンプ一括管理機能機能
９３ モータ一括管理機能
９４ コンピュータ本体
９５ ディスプレイ装置
Ｗ 基板
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板処理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶ディスプレイなどの製品は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処理を施すことにより製造されている。従来より、これらの諸処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニット等を組み込んだ基板処理装置において行われている。基板処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニットに基板を順次搬送することによって該基板に一連の処理が行われるのである。
【０００３】
このような基板処理装置を構成する部品には消耗品も含まれている。かかる消耗品としては、例えば、処理槽内に吐出されて溢れ出た処理液を回収して元の処理液供給経路に戻す際の不純物除去用のフィルタや、除去液を排出するための除去液ポンプ及び純粋を送出するための純粋ポンプ等のポンプ類や、基板を回転させるためのスピンモータ及び搬送ロボット等を駆動するための搬送モータ等のモータ類等がある。
【０００４】
このような消耗品は、使用とともに消耗・劣化するものであって、消耗の程度が進行すると、使用不能となるため、定期的に新たな部品を発注して交換する必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来においては、複数の基板処理装置が設置されている場合に、消耗品の交換の要否や発注管理を各基板処理装置毎に実施していたため、作業が繁雑であり、また新たな部品の発注をまとめて行うなどの効率的な管理が困難であった。
【０００６】
そこで、この発明の課題は、複数の基板処理装置内の消耗品の管理を効率的に実施し得る基板処理システム及びそれに関連する技術を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく、請求項１に記載の発明は、工場内に設置され、コントローラによって動作が制御される複数の処理部が配置される複数の基板処理装置と、前記基板処理装置に対応して設置され、前記基板処理装置に接続されて、当該各基板処理装置内の各処理部における消耗品の消耗度に関するデータを収集するデータ収集コントローラと、前記データ収集コントローラに工場内ネットワークを通じて接続された単一の消耗品一括管理手段と、を備え、前記基板処理装置が、当該基板処理装置内の各処理部において前記消耗品の消耗度に関するデータを測定して、接続された前記データ収集コントローラにデータを出力する消耗度計測手段、をそれぞれ当該基板処理装置内に設けられて有し、前記消耗品一括管理手段が、前記消耗度計測手段で計測されて各処理部から前記データ収集コントローラを介して前記工場内ネットワークを通じて得られたデータに基づいて、前記各消耗品が消耗しているか否かを判断する消耗判断手段と、前記消耗判断手段で消耗していると判断された消耗品のうち少なくとも同一種類の消耗品についてはその全てを特定する情報を一括して前記基板処理装置ごとに表示する表示手段と、を備えるものである。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理システムであって、前記処理部における消耗品は、流体を供給するための所定の管路に着脱可能に設けられるフィルターと、流体を供給するための着脱可能なポンプと、着脱可能なモータと、である。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理システムであって、前記消耗品が、流体を供給するための所定の管路に着脱可能に設けられるフィルターを含み、前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、前記管路の１次側における前記流体の圧力を測定する圧力センサを含み、前記消耗判断手段が、前記圧力センサで測定された圧力が所定の圧力基準値を超えた場合に前記フィルターが消耗していると判断するものである。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理システムであって、前記消耗品が、流体を供給するための所定の管路に着脱可能に設けられるフィルターを含み、前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、前記管路の２次側における前記流体の流量を測定する流量センサを含み、前記消耗判断手段が、前記流量センサで測定された流量が所定の流量基準値未満であった場合に前記フィルターが消耗していると判断するものである。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載の基板処理システムであって、前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、前記管路の２次側における前記流体の流量を測定する流量センサを含み、前記消耗判断手段が、前記流量センサで測定された流量が所定の流量基準値未満であった場合に前記フィルターが消耗していると判断するものである。
【００１１】
請求項６に記載の発明は、請求項１、および請求項３ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理システムであって、前記消耗品が、流体を供給するための着脱可能なポンプを含み、前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、流体を供給するためのポンプの動作を検出するポンプ動作センサを含み、前記消耗判断手段が、前記ポンプ動作センサで検出された前記ポンプの動作の回数をカウントし、当該カウント結果が所定の基準回数を超えた場合に前記ポンプが消耗していると判断するものである。
【００１２】
請求項７に記載の発明は、請求項１、および請求項３ないし請求項６のいずれかに記載の基板処理システムであって、前記消耗品が着脱可能なモータを含み、前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、前記モータの駆動状態を検出するモータ状態検出センサを含み、前記消耗判断手段が、前記モータ状態検出センサで検出された前記モータの駆動状態が所定の許容範囲を超えた場合に前記モータが消耗していると判断するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
近年、半導体製造工場内の各種装置の有効稼働率の改善と性能維持・向上を目的として、ＥＥＳ（Equipment Engineering System）と呼ばれるネットワークシステムが構築されつつある。この発明の一の実施の形態の基板処理システムは、図１の如く、半導体製造工場１内において複数の基板処理装置２ａ，２ｂ…が設置されている場合に、これらの各基板処理装置２ａ，２ｂ…内に装備された消耗品の交換管理について、ＥＥＳとしての工場ネットワークを用いて一括管理するものである。
【００１４】
即ち、この基板処理システムは、複数の基板処理装置２ａ，２ｂ…と、各基板処理装置２ａ，２ｂ…の消耗品の消耗度に関するデータを収集するデータ収集コントローラ３ａ，３ｂ…と、工場内ネットワーク５に接続されて各基板処理装置２ａ，２ｂ…内の消耗品を一括管理するホストコンピュータ（消耗品一括管理手段）６とを備える。
【００１５】
基板処理装置２ａ，２ｂ…の例として、ポリマーが生成された半導体基板からポリマーを除去するポリマー除去処理装置を説明する。
【００１６】
この各基板処理装置２ａ，２ｂ…は、図２の如く、搬入搬出部１３及び回転処理部１５が並べて配置されてなる。
【００１７】
搬入搬出部１３は、未処理の基板Ｗを収容したキャリアＣが載置される搬入部２５と、処理済みの基板Ｗを収容したキャリアＣが載置される搬出部２１と、受渡し部２３とを有する。
【００１８】
搬入部２５はテーブル状の載置台を有し、装置外の搬送機構によってキャリアＣが２個、搬入される。キャリアＣは例えば２５枚の基板Ｗを水平姿勢で互いに間隔を空けて垂直方向に並べた状態で保持する。搬出部２１もテーブル状の載置台を有し、該載置台に２個のキャリアＣが載置され、該２個のキャリアＣは装置外の搬送機構によって搬出される。
【００１９】
受渡し部２３は搬入部２５、搬出部２１のキャリアＣの並び方向に沿って移動し、かつキャリアＣに対して基板Ｗを搬入、搬出する搬入搬出機構２７と、受渡し台２９とを有する。搬入搬出機構２７は、図示を省略する搬入搬出用アームを備え、水平方向に沿った移動の他に鉛直方向を軸とする回転動作や鉛直方向に沿った昇降動作や該搬入搬出用アームの進退動作を行うことができる。これにより、搬入搬出機構２７はキャリアＣに対して基板Ｗの搬出入を行うとともに、受渡し台２９に対して基板Ｗを授受する。
【００２０】
回転処理部１５は搬入搬出部１３に隣接して設けられ、基板Ｗを収容して反応生成物の除去処理を施す４つの回転処理ユニット３１と、受渡し台２９に対して基板Ｗを授受するとともに、４つの回転処理ユニット３１に対して基板Ｗを授受する基板搬送機構３３とを有している。
【００２１】
回転処理ユニット３１は搬入搬出部１３のキャリアＣの並び方向と直交する方向に沿って２つ並ぶことで回転処理ユニット３１の列を形成し、この回転処理ユニット３１の列が間隔を開けて合計２列、キャリアＣの並び方向に沿って並んでいる。そして、前記回転処理ユニット３１の列と列との間隔に基板搬送機構３３が設けられている。なお、回転処理ユニット３１の詳細についてはさらに後述する。
【００２２】
基板搬送機構３３は、搬送アーム３５を備え、水平方向に沿った移動、鉛直方向を軸とする回転動作、鉛直方向に沿った昇降動作および搬送アーム３５の進退動作を行うことができる。これにより、基板搬送機構３３は、回転処理ユニット３１の列と列との間隔に沿って走行し、各回転処理ユニット３１に対して基板Ｗを授受するとともに、受渡し台２９に対して基板Ｗを授受する。
【００２３】
図３は回転処理ユニット３１の構成を示す模式図である。
【００２４】
回転処理ユニット３１は、１枚の基板Ｗを水平状態に保持して回転する基板保持手段４１と、保持された基板Ｗの周囲を取り囲むカップ４２と、保持された基板Ｗに除去液を供給する除去液供給手段４３と、保持された基板Ｗに純水を供給する純水供給手段４４と、基板保持手段４１に保持されている基板Ｗを収容するチャンバ４５とを有する。また、回転処理ユニット３１は、チャンバ４５に対して基板を搬出入するための搬出入口５０から進入する光を遮光するためのシャッタ５１と、チャンバ４５の内部を照明するランプ５２と、チャンバ４５の内部を観察するための観察窓５３とを備えている。なお、カップ４２は不図示の機構で昇降する。
【００２５】
チャンバ４５は、基板Ｗを収容して反応生成物の除去処理を行うための処理室である。チャンバ４５は、光を透過しない遮光材料によって構成されている。チャンバ４５の側壁（基板搬送機構３３側の側壁）には、チャンバ４５に対して基板Ｗを搬出入するための搬出入口５０が設けられている。なお、チャンバ４５内は常に常圧の状態であり、チャンバ４５内の雰囲気は不図示の排気機構によって、装置外の所定の排気ダクトへ排出されている。このため、処理液のミストや蒸気などを含んだ雰囲気がチャンバ４５から漏出することが防止されている。
【００２６】
また、チャンバ４５にはシャッタ５１が設けられている。シャッタ５１は、図３中矢印ＡＲ５１にて示すように、シャッタ開閉機構５４によって昇降自在とされている。シャッタ開閉機構５４がシャッタ５１を上昇させているときには、シャッタ５１が搬出入口５０を閉鎖する。シャッタ５１も光を透過しない遮光材料によって構成されており、シャッタ５１が搬出入口５０を閉鎖しているときには、搬出入口５０からチャンバ４５の内部に進入する光を遮光することができる。一方、シャッタ開閉機構５４がシャッタ５１を下降させているときには、搬出入口５０が開放される。搬出入口５０が開放されているときには、基板搬送機構３３（図２）が搬出入口５０からチャンバ４５内に基板Ｗを搬入または搬出することができる。なお、後述するように、少なくとも除去液によって反応生成物の除去処理を行っている間は、シャッタ５１によって搬出入口５０を閉鎖するようにしている。
【００２７】
基板保持手段４１は、チャンバ４５の外部に設けられたモータ４６と、モータ４６に駆動されることによって垂直方向に沿った軸を中心に回転するチャック４７とを有する。
【００２８】
カップ４２は上面視略ドーナツ型で中央の開口にチャック４７が通過可能な開口を有している。また、カップ４２は回転する基板Ｗから飛散する液体（例えば除去液や純水）を捕集するとともに下部に設けられている排液口４８から捕集した液体を排出する。排液口４８にはドレン６０へ通ずるドレン配管６１が連通接続され、該ドレン配管６１の途中にはドレン配管６１の管路を開閉するドレン弁６２が設けられている。ドレン弁６２を開放することによって、排液口４８からドレン６０へと液体を排出することができる。
【００２９】
除去液供給手段４３はチャンバ４５の外部にねじ止め等により着脱可能に設けられたモータ６３と、モータ６３によって回動するアーム６４と、アーム６４の先端に設けられ除去液を下方に吐出する除去液ノズル６５と、除去液ノズル６５に向って除去液を供給するための第１のポンプ６６ａが設置された除去液源６６とを有する。尚、第１のポンプ６６ａは、チャンバ４５内でねじ止め等により着脱可能に固定される。また、除去液ノズル６５と除去液源６６とは管路によって連通接続され、該管路には除去液弁６７が設けられているとともに、除去液を濾過して異物を除去するための第１のフィルター８１が、チャンバ４５に形成された所定のスリットに填め込まれるなどして着脱自在に取り付けられる。なお、モータ６３を昇降させることで除去液ノズル６５を昇降させる不図示の昇降手段が設けられている。
【００３０】
このモータ６３を駆動することによって、除去液ノズル６５は基板Ｗの回転中心の上方の吐出位置とカップ４２外の待機位置との間で往復移動する（図２参照）。
【００３１】
純水供給手段４４は、チャンバ４５の外部にねじ止め等により着脱可能に設けられたモータ６８と、モータ６８によって回動するアーム６９と、アーム６９の先端に設けられ純水を下方に吐出する純水ノズル７１と、純水ノズル７１に向って純水を供給するための第２のポンプ７２ａが設置された純水源７２とを有する。尚、第２のポンプ７２ａは、チャンバ４５内でねじ止め等により着脱可能に固定される。また、純水ノズル７１と純水源７２は管路によって連通接続され、該管路には純水弁７３が設けられているとともに、純水を濾過して異物を除去するための第２のフィルター８２が、チャンバ４５に形成された所定のスリットに填め込まれるなどして着脱自在に取り付けられる。なお、モータ６８を昇降させることで純水ノズル７１を昇降させる不図示の昇降手段が設けられている。
【００３２】
このモータ６８を駆動することによって、純水ノズル７１は基板Ｗの回転中心の上方の吐出位置とカップ４２外の待機位置との間で往復移動する。
【００３３】
チャンバ４５の側壁（基板搬送機構３３と反対側の側壁）には、チャンバ４５の内部を観察するための観察窓５３が設けられている。また、チャンバ４５には観察窓５３を開閉するための観察扉７５が設けられている。観察扉７５は図３中矢印ＡＲ７５にて示すように開閉可能とされており、観察扉７５が図中実線位置にあるときは観察窓５３が開放状態とされ、図中二点差線位置にあるときは観察窓５３が閉鎖状態とされる。観察扉７５も光を透過しない遮光材料によって構成されており、観察扉７５が観察窓５３を閉鎖しているときには、観察窓５３からチャンバ４５の内部に進入する光を遮光することができる。
【００３４】
一方、観察扉７５が観察窓５３を開放しているときには、オペレータが観察窓５３からチャンバ４５の内部を観察することができる。なお、チャンバ４５には開閉ロック機構７６が設けられている。開閉ロック機構７６は、観察窓５３が閉鎖されているときに観察扉７５を図中二点差線位置に固定する機能、すなわち観察窓５３の開放を禁止する機能を有する。具体的には、例えば観察扉７５がステンレス製であるときには電磁石を作動させて観察窓５３の開放を禁止するようにすれば良い。また、開閉ロック機構７６は、機械的に観察窓５３の開放を禁止するようにしても良い。
【００３５】
また、チャンバ４５の内側天井部分には、チャンバ４５の内部を照明するランプ５２が設けられている。ランプ５２を点灯させた状態にて観察窓５３を開放することにより、ダミーランニング等の際にオペレータは観察窓５３からチャンバ４５の内部を観察することができ、例えば除去液ノズル６５から基板Ｗの回転中心に正確に除去液が吐出されているか否かを確認することができる。
【００３６】
さらに、回転処理ユニット３１はチャンバ４５の外部にコントローラ７７を備えている。コントローラ７７は、少なくともシャッタ開閉機構５４、ランプ５２、開閉ロック機構７６および除去液弁６７と電気的に接続されており、これらの動作を制御する。その具体的な制御態様についてはさらに後述する。また、コントローラ７７に、モータ４６，６３，６８等を制御させて回転処理ユニット３１全体の動作を管理させるようにしても良い。
【００３７】
そして、この基板処理装置２ａ，２ｂ…には、各フィルター８１，８２、各ポンプ６６ａ，７２ａ及び各モータ６３，６８といった消耗品の消耗度に関するデータを計測する消耗度計測手段を備えており、具体的には、図３及び図４の如く、第１のフィルター８１の除去液源６６側（１次側）の圧力を測定する第１の圧力センサ８３と、第１のフィルター８１の除去液ノズル６５側（２次側）における除去液の流量を測定する第１の流量センサ８４と、第２のフィルター８２の純水源７２側（１次側）の圧力を測定する第２の圧力センサ８５と、第２のフィルター８２の純水ノズル７１側（２次側）における純水の流量を測定する第２の流量センサ８６と、第１のポンプ６６ａの動作毎にオン／オフ切換する第１のポンプ動作センサ８７と、第２のポンプ７２ａの動作毎にオン／オフ切換する第２のポンプ動作センサ８８と、除去液供給手段４３のモータ６３の回転速度等の所定の動作状態を監視するための第１のモータ状態検出センサ８９と、純水供給手段４４のモータ６８の回転速度等の所定の動作状態を監視するための第２のモータ状態検出センサ９０とを備えている。
【００３８】
そして、これらの各消耗度計測手段８３〜９０が、それぞれの基板処理装置２ａ，２ｂ…に対応して設置されたデータ収集コントローラ３ａ，３ｂ…に接続され、それぞれにおいて計測された各データが、データ収集コントローラ３ａ，３ｂ…を通じてホストコンピュータ６に与えられる。
【００３９】
データ収集コントローラ３ａ，３ｂ…は、各圧力センサ８３，８５、各流量センサ８４，８６、各ポンプ動作センサ８７，８８及び各モータ状態検出センサ８９，９０から与えられたデータを、その基板処理装置２ａ，２ｂ…に固有の識別データを付与して工場内ネットワーク５を通じてホストコンピュータ６に送信する。
【００４０】
ホストコンピュータ６は、図５の如く、ハードディスク装置、ＲＯＭ、ＲＡＭ及びＣＰＵ等を備えたコンピュータ本体９４とディスプレイ装置（表示手段）９５等の周辺装置とを備えた一般的なコンピュータ装置であって、工場内ネットワーク５を通じた通信機能を有しており、工場内ネットワーク５を通じて全てのデータ収集コントローラ３ａ，３ｂ…から与えられた各基板処理装置２ａ，２ｂ…のデータを収集して各消耗品が消耗しているか否かを判断する機能を有している。具体的に、このホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４は、ハードディスク装置内に予め格納されたソフトウェアプログラムで規律された手順に従ってＣＰＵが動作することで動作する機能要素であり、工場内の全ての基板処理装置２ａ，２ｂ…の各圧力センサ８３，８５で測定された各フィルター８１，８２の１次側の圧力と各流量センサ８４，８６で測定された２次側での流量とに基づいて各フィルター８１，８２の消耗の有無を一括して判断するフィルター一括管理機能９１と、工場内の全ての基板処理装置２ａ，２ｂ…の各ポンプ動作センサ８７，８８で検出された各ポンプ６６ａ，７２ａの動作に基づいて各ポンプ６６ａ，７２ａの消耗の有無を一括して判断するポンプ一括管理機能機能９２と、工場内の全ての基板処理装置２ａ，２ｂ…の各モータ状態検出センサ８９，９０で検出された各モータ６３，６８の回転速度等の動作状態に基づいて各モータ６３，６８の消耗の有無を一括して判断するモータ一括管理機能９３とを備える。これらフィルター一括管理機能９１、ポンプ一括管理機能機能９２及びモータ一括管理機能９３は、消耗度計測手段８３〜９０が計測してデータ収集コントローラ３ａ，３ｂ…を介して得られた各種データに基づいて、各消耗品（各フィルター８１，８２、各ポンプ６６ａ，７２ａ及び各モータ６３，６８）が消耗しているか否かを判断する消耗判断手段として機能する。
【００４１】
フィルター一括管理機能９１では、各フィルター８１，８２が目詰まりしているか否かを判断するようになっており、各圧力センサ８３，８５で測定された各フィルター８１，８２の１次側の圧力が所定の圧力基準値を超えた場合に、当該各フィルター８１，８２が消耗したと判断する一方、各フィルター８１，８２の１次側の圧力が上記圧力基準値未満の場合に、当該各フィルター８１，８２が消耗していないと判断する圧力判断機能と、各流量センサ８４，８６で測定された２次側での流量が所定の流量基準値を超えた場合に、当該各フィルター８１，８２が消耗したと判断する一方、各フィルター８１，８２の２次側での流量が上記流量基準値未満の場合に、当該各フィルター８１，８２が消耗していないと判断する流量判断機能とを備える。尚、圧力判断機能及び流量判断機能において、測定された圧力や流量が圧力基準値や流量基準値と等しい場合には、各フィルター８１，８２が消耗したと判断することとしてもよいし、または各フィルター８１，８２が消耗していないと判断することとしてもよい。そして、フィルター一括管理機能９１は、消耗していると判断されたフィルター８１，８２が存在している場合は、そのフィルター８１，８２と当該フィルター８１，８２が実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報をディスプレイ装置９５に一括して表示する。
【００４２】
ポンプ一括管理機能機能９２は、各基板処理装置２ａ，２ｂ…の各ポンプ動作センサ８７，８８のオン／オフ切換の回数をカウントし、所定の基準回数を超えた場合にそのポンプ６６ａ，７２ａが消耗したと判断する一方、上記基準回数を超えていない場合にそのポンプ６６ａ，７２ａが消耗していないと判断する。尚、ポンプ一括管理機能機能９２において、測定された圧力や流量が圧力基準値や流量基準値と等しい場合には、各ポンプ６６ａ，７２ａが消耗したと判断することとしてもよいし、または各ポンプ６６ａ，７２ａが消耗していないと判断することとしてもよい。そして、ポンプ一括管理機能機能９２は、消耗していると判断された各ポンプ６６ａ，７２ａが存在する場合に、そのポンプ６６ａ，７２ａ及び当該ポンプ６６ａ，７２ａが実装された基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報をディスプレイ装置９５に一括して表示する。
【００４３】
モータ一括管理機能９３は、各基板処理装置２ａ，２ｂ…の各モータ状態検出センサ８９，９０で検出されたモータ回転速度等のデータの値が所定の許容範囲内であるか否かを比較判断し、許容範囲外である場合にモータ６３，６８が消耗していると判断する一方、許容範囲内である場合にモータ６３，６８が消耗していないと判断する。そして、モータ一括管理機能９３は、消耗していると判断されたモータ６３，６８が存在する場合に、そのモータ６３，６８及び当該モータ６３，６８が実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報をディスプレイ装置９５に一括して表示する。
【００４４】
上記構成の基板処理システムにおいて、まず、キャリアＣに収容された基板Ｗが搬入部２１に搬入される。そして、搬入部２１のキャリアＣから搬入搬出機構２７により基板Ｗが１枚取り出され、受渡し台２９に載置される。受渡し台２９に載置された基板Ｗは基板搬送機構３３により持ち出され、４つの回転処理ユニット３１のうちの所定の１つに搬入される。回転処理ユニット３１ではシャッタ５１を下降させて搬出入口５０を開放し、基板搬送機構３３が搬送してきた基板Ｗをチャック４７にて受取り保持する。基板Ｗを受けとった回転処理ユニット３１では基板保持手段４１が基板を保持する。またドレン弁６２は開放しておく。
【００４５】
次に、基板保持手段４１はモータ４６を回転させて基板Ｗを回転させる。そして、基板Ｗが所定の回転速度に達すると除去液供給が実行される。即ち、モータ６３が回動して待機位置にある除去液ノズル６５が吐出位置に移動する。
【００４６】
この際、第１のモータ状態検出センサ８９は、モータ６３の回転速度等の駆動状態を検出しており、ホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４のモータ一括管理機能９３は、第１のモータ状態検出センサ８９で検出されたモータ回転速度等が所定の許容範囲内であるか否かを比較判断し、許容範囲外である場合にモータ６３が消耗していると判断する。ここでモータ６３が消耗していると判断された場合は、そのモータ６３及び当該モータ６３が実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報がディスプレイ装置９５に一括して表示される。
【００４７】
そして、除去液弁６７を開放して、第１のフィルター８１により不純物を濾過しながら、除去液ノズル６５から基板Ｗに除去液を供給する。基板Ｗに供給された除去液は基板Ｗの外に落下してカップ４２にて集められ、ドレン配管６１を通じてドレン６０に排出される。
【００４８】
この際、各基板処理装置２ａ，２ｂ…中の第１の圧力センサ８３は、第１のフィルター８１の除去液源６６側（１次側）の圧力を測定している。そして、ホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４のフィルター一括管理機能９１において、第１のフィルター８１の１次側の圧力が所定の圧力基準値を超えた場合に、当該第１のフィルター８１が消耗していると判断する。
【００４９】
また、各基板処理装置２ａ，２ｂ…中の第１の流量センサ８４は、各第１のフィルター８１の除去液ノズル６５側（２次側）における除去液の流量を測定している。そして、第１の流量センサ８４で測定された流量が所定の流量基準値を超えた場合に、当該第１のフィルター８１が消耗したと判断する。
【００５０】
このように第１のフィルター８１が消耗していると判断した場合には、その旨と、その消耗している第１のフィルター８１及びこれが実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報を示す情報がディスプレイ装置９５に一括して表示される。
【００５１】
さらに、この間、各基板処理装置２ａ，２ｂ…中の第１のポンプ動作センサ８７は、除去液を供給するための第１のポンプ６６ａの動作毎にオン／オフ切換を行っている。そして、ホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４のポンプ一括管理機能機能９２において、第１のポンプ動作センサ８７のオン／オフ回数をカウントし、そのカウント結果（即ち、第１のポンプ６６ａの動作回数）が所定の回数基準値を超えた場合に、当該第１のポンプ６６ａが消耗していると判断する。このように第１のポンプ６６ａが消耗していると判断した場合には、その旨と、その消耗している第１のポンプ６６ａ及びこれが実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報がディスプレイ装置９５に一括して表示される。
【００５２】
所定時間、除去液を供給すると除去液弁６７を閉止し、除去液ノズル６５を待機位置に戻す。
【００５３】
除去液によって反応生成物の除去処理を行っている間は、コントローラ７７がシャッタ開閉機構５４を制御してシャッタ５１によって搬出入口５０を閉鎖するとともに、ランプ５２を消灯する。さらに、少なくとも除去液によって反応生成物の除去処理を行っている間は、コントローラ７７が開閉ロック機構７６を制御して観察窓５３の開放を禁止するようなインターロックをかけている。このため、少なくとも除去液によって基板上の反応生成物の除去処理を行っている間は、シャッタ５１によって搬出入口５０が遮光されるとともに、観察窓５３も遮光されることとなり、光を触媒とした悪影響を防止するためにチャンバ４５内が暗室とされる。
【００５４】
次に純水供給が実行される。純水供給ではモータ６８が回動して待機位置にある純水ノズル７１が吐出位置に移動する。
【００５５】
この際、第２のモータ状態検出センサ９０は、モータ６８の回転速度等の駆動状態を検出しており、ホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４のモータ一括管理機能９３は、第２のモータ状態検出センサ９０で検出されたモータ回転速度等が所定の許容範囲内であるか否かを比較判断し、許容範囲外である場合にモータ６８が消耗していると判断する。ここでモータ６８が消耗していると判断された場合は、そのモータ６８及び当該モータ６８が実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報がディスプレイ装置９５に一括して表示される。
【００５６】
そして、純水弁７３を開放して、第２のフィルター８２で不純物を濾過しながら、純水ノズル７１から基板Ｗに純水を供給して、基板Ｗ上の汚染物質を洗い流す。基板Ｗに供給された純水は基板Ｗの外に落下してカップ４２にて集められ、ドレン配管６１を通じてドレン６０に排出される。
【００５７】
この際、各基板処理装置２ａ，２ｂ…中の第２の圧力センサ８５は、第２のフィルター８２の純水源７２側（１次側）の圧力を測定している。そして、ホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４のフィルター一括管理機能９１において、第２の圧力センサ８５で測定された１次側の圧力が所定の圧力基準値を超えた場合に、当該第２のフィルター８２が消耗していると判断する。
【００５８】
また、各基板処理装置２ａ，２ｂ…中の第２の流量センサ８６は、各第２のフィルター８２の純水ノズル７１側（２次側）における純水の流量を測定している。そして、第２の流量センサ８６で測定された流量が所定の流量基準値を超えた場合に、当該第２のフィルター８２が消耗したと判断する。
【００５９】
このように第２のフィルター８２が消耗していると判断した場合には、その旨と、その消耗している第２のフィルター８２及びこれが実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報がディスプレイ装置９５に一括して表示される。
【００６０】
さらに、この間、各基板処理装置２ａ，２ｂ…中の第２のポンプ動作センサ８８は、除去液を供給するための第２のポンプ７２ａの動作毎にオン／オフ切換を行っている。そして、ホストコンピュータ６のコンピュータ本体９４のポンプ一括管理機能機能９２において、第２のポンプ動作センサ８８のオン／オフ回数をカウントし、そのカウント結果（即ち、第２のポンプ７２ａの動作回数）が所定の回数基準値を超えた場合に、当該第２のポンプ７２ａが消耗していると判断する。このように第２のポンプ７２ａが消耗していると判断した場合には、その旨と、その消耗している第２のポンプ７２ａ及びこれが実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報がディスプレイ装置９５に一括して表示される。
【００６１】
所定時間、純水を供給すると純水弁７３を閉止し、純水ノズル７１を待機位置に戻す。
【００６２】
次に液切りが実行される。液切りでは基板Ｗを高速で回転させることにより、基板Ｗ上にある液体を振切る。これにより、基板Ｗがほぼ乾燥する。
【００６３】
その後、基板搬送機構３３によって基板Ｗが搬出される。
【００６４】
かかる一連の動作は、工場内の全ての基板処理装置２ａ，２ｂ…について実行され、各フィルター８１，８２、各ポンプ６６ａ，７２ａまたは各モータ６３，６８といった消耗品が消耗していた場合は、それらの消耗品及び当該消耗品が実装されている基板処理装置２ａ，２ｂ…のそれぞれを特定する情報が自動的にディスプレイ装置９５に一括して表示される。したがって、これらの消耗品の交換の要否や発注管理を、工場内の全ての基板処理装置２ａ，２ｂ…に対して一括して実施することができるので、新たな部品の発注をまとめて行うなどの効率的な管理を実施することが可能となる。
【００６５】
図６は、図１のディスプレイ６における上記の一括表示の例を示している。この表示例では、交換が必要とされた消耗品の種別ごとに、それが属する複数の基板処理装置の識別番号（No．0001、No．0002など）が一括表示される。ただし、これらの基板処理装置は、図１における基板処理装置２ａ，２ｂ…に相当する。
【００６６】
図７は、ディスプレイ６における一括表示の他の例を示しており、この場合には、交換を要する消耗品のリストが装置ごとに列挙され、各装置について同様のリストが並列的に表示されることによって消耗品の一括表示がなされる。
【００６７】
なお、いずれの場合においても、交換を要する全ての消耗品を特定する情報を一括表示することにより消耗品としての全体管理が特に容易になるが、実質的に同一の構成を持つ消耗品の種別ごと（たとえばフィルターごと、モータごと）に一括表示してもかまわない。 尚、この実施の形態では、基板処理装置２ａ，２ｂ…としてポリマー除去処理装置を例に挙げて説明したが、これに限るものではなく、フィルター８１，８２等の消耗品を利用している基板処理装置であればどのようなものについて適用しても差し支えない。
【００６８】
また、消耗品として、除去液供給手段４３及び純水供給手段４４に実装されるフィルター８１，８２、ポンプ６６ａ，７２ａ及びモータ６３，６８を例に挙げて説明したが、例えばエアフィルターや、基板を回転させるためのスピンモータまたは搬送ロボット等を駆動するための搬送モータ等を適用しても差し支えない。
【００６９】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、複数の基板処理装置内にそれぞれ設けられた消耗度計測手段での計測結果に基づいて、各消耗品が消耗しているか否かを判断し、消耗していると判断された消耗品のうち少なくとも同一種類の消耗品についてその全てを特定する情報を単一の表示手段に一括して表示するので、これらの消耗品の交換の要否や発注管理を、工場内の全ての基板処理装置に対して一括して実施することができる。したがって、新たな部品の発注をまとめて行うなどの効率的な管理を実施することが可能となる。
【００７０】
請求項３に記載の発明によれば、消耗度計測手段としての圧力センサが管路の１次側における流体の圧力を測定し、その圧力が所定の圧力基準値を超えた場合に管路内に設けられたフィルターの目詰まりの状態を判断できるので、そのフィルターの消耗について容易に一括管理できる。
【００７１】
請求項４及び請求項５に記載の発明によれば、消耗度計測手段としての流量センサが管路の２次側における流体の流量を測定し、その流量が所定の流量基準値を超えた場合に管路内に設けられたフィルターの目詰まりの状態を判断できるので、そのフィルターの消耗について容易に一括管理できる。
【００７２】
請求項６に記載の発明によれば、消耗品が、流体を供給するための着脱可能なポンプを含み、消耗度計測手段が、流体を供給するためのポンプの動作を検出するポンプ動作センサを含み、消耗判断手段が、ポンプ動作センサで検出されたポンプの動作の回数をカウントし、当該カウント結果が所定の基準回数を超えた場合にポンプが消耗していると判断するので、ポンプの消耗について容易に一括管理することができる。
【００７３】
請求項７に記載の発明によれば、消耗品が着脱可能なモータを含み、消耗度計測手段が、モータの駆動状態を監視するモータ状態検出センサを含み、消耗判断手段が、モータ状態検出センサで検出されたモータの駆動状態が所定の許容範囲を超えた場合にモータが消耗していると判断するので、モータの消耗について容易に一括管理できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一の実施の形態に係る基板処理システムの全体構成を示すブロック図である。
【図２】基板処理装置の一例を示す平面図である。
【図３】基板処理装置の一例において回転処理ユニットの構成を示す模式図である。
【図４】基板処理装置内の消耗度計測手段及びデータ収集コントローラを示すブロック図である。
【図５】消耗品一括管理手段としてのホストコンピュータを示すブロック図である。
【図６】交換を要する消耗品の一括表示の例を示す図である。
【図７】交換を要する消耗品の一括表示の他の例を示す図である。
【符号の説明】
１ 半導体製造工場
２ａ，２ｂ… 基板処理装置
３ａ，３ｂ… データ収集コントローラ
５ 工場内ネットワーク
６ ホストコンピュータ
４３ 除去液供給手段
４４ 純水供給手段
６３，６８ モータ
６６ａ，７２ａ ポンプ
８１，８２ フィルター
８３，８５ 圧力センサ
８４，８６ 流量センサ
８７，８８ ポンプ動作センサ
８９，９０ モータ状態検出センサ
９１ フィルター一括管理機能
９２ ポンプ一括管理機能機能
９３ モータ一括管理機能
９４ コンピュータ本体
９５ ディスプレイ装置
Ｗ 基板
Claims (7)
- 工場内に設置され、コントローラによって動作が制御される複数の処理部が配置される複数の基板処理装置と、
前記基板処理装置に対応して設置され、前記基板処理装置に接続されて、当該各基板処理装置内の各処理部における消耗品の消耗度に関するデータを収集するデータ収集コントローラと、
前記データ収集コントローラに工場内ネットワークを通じて接続された単一の消耗品一括管理手段と、
を備え、
前記基板処理装置が、
当該基板処理装置内の各処理部において前記消耗品の消耗度に関するデータを測定して、接続された前記データ収集コントローラにデータを出力する消耗度計測手段、
をそれぞれ当該基板処理装置内に設けられて有し、
前記消耗品一括管理手段が、
前記消耗度計測手段で計測されて各処理部から前記データ収集コントローラを介して前記工場内ネットワークを通じて得られたデータに基づいて、前記各消耗品が消耗しているか否かを判断する消耗判断手段と、
前記消耗判断手段で消耗していると判断された消耗品のうち少なくとも同一種類の消耗品についてはその全てを特定する情報を一括して前記基板処理装置ごとに表示する表示手段と、
を備える基板処理システム。 - 請求項１に記載の基板処理システムであって、
前記処理部における消耗品は、
流体を供給するための所定の管路に着脱可能に設けられるフィルターと、
流体を供給するための着脱可能なポンプと、
着脱可能なモータと、
であることを特徴とする基板処理システム。 - 請求項１に記載の基板処理システムであって、
前記消耗品が、流体を供給するための所定の管路に着脱可能に設けられるフィルターを含み、
前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、前記管路の１次側における前記流体の圧力を測定する圧力センサを含み、
前記消耗判断手段が、前記圧力センサで測定された圧力が所定の圧力基準値を超えた場合に前記フィルターが消耗していると判断することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項１に記載の基板処理システムであって、
前記消耗品が、流体を供給するための所定の管路に着脱可能に設けられるフィルターを含み、
前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、前記管路の２次側における前記流体の流量を測定する流量センサを含み、
前記消耗判断手段が、前記流量センサで測定された流量が所定の流量基準値未満であった場合に前記フィルターが消耗していると判断することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項３に記載の基板処理システムであって、
前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、前記管路の２次側における前記流体の流量を測定する流量センサを含み、
前記消耗判断手段が、前記流量センサで測定された流量が所定の流量基準値未満であった場合に前記フィルターが消耗していると判断することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項１、および請求項３ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理システムであって、
前記消耗品が、流体を供給するための着脱可能なポンプを含み、
前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、流体を供給するためのポンプの動作を検出するポンプ動作センサを含み、
前記消耗判断手段が、前記ポンプ動作センサで検出された前記ポンプの動作の回数をカウントし、当該カウント結果が所定の基準回数を超えた場合に前記ポンプが消耗していると判断することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項１、および請求項３ないし請求項６のいずれかに記載の基板処理システムであって、
前記消耗品が着脱可能なモータを含み、
前記消耗度計測手段が、前記消耗度に関するデータとして、前記モータの駆動状態を検出するモータ状態検出センサを含み、
前記消耗判断手段が、前記モータ状態検出センサで検出された前記モータの駆動状態が所定の許容範囲を超えた場合に前記モータが消耗していると判断することを特徴とする基板処理システム。
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