JP3995695B2

JP3995695B2 - フィルタユニット

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Publication number: JP3995695B2
Application number: JP2005361632A
Authority: JP
Inventors: 吉紀中島; 利之田中; 宏次的場
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2005-12-15
Filing date: 2005-12-15
Publication date: 2007-10-24
Anticipated expiration: 2025-12-15
Also published as: CN101330958B; WO2007069678A1; EP1967246A4; EP1967246B1; US20090289006A1; JP2007160251A; CN101330958A; EP1967246A1

Description

この発明は、液体を濾過するフィルタユニット関し、特に、液滴吐出装置に用いられるフィルタユニットに関する。

液滴吐出装置は、複数のノズルを介して液滴を吐出する液滴吐出ユニットを備える。液滴吐出ユニットは、液体収容部から液体の供給を受ける。通常、液滴吐出ユニットと液体収容部との間には、フィルタユニットが配置される。フィルタユニットは、液体収容部と液滴吐出ユニットとの間を流れる液体を濾過する。

フィルタユニットの一般的な構成として、２つのハウジング部材を液密に接合し、これらのハウジング部材に挟み込まれるようにフィルタ部材を設ける構成が挙げられる。そして、ハウジング部材にフィルタ部材を固定する方法として、フィルタ部材の外周部分を接着剤を用いてハウジング部材に接着する方法、フィルタ部材の外周部分をハウジング部材に熱溶着または超音波溶着する方法、またはフィルタ部材を押圧するパッキンを用いる方法が用いられることが多かった。これらの方法のうちのいずれの方法を用いるかによって、フィルタユニットの組み立ての難易度が変化する。例えば、パッキンを用いてフィルタ部材を固定する場合には、フィルタユニットの組み立てが比較的容易になることが多かった。その理由は、ハウジング部材の加工精度ムラやフィルタ部材の厚みムラを吸収するようにパッキンが弾性変形するからである。従来技術の中には、フィルタ部材に圧接することによってフィルタ部材を固定するパッキン、および２つのハウジング部材の接合部分をシールするためのパッキンを用いる構成を採り入れたものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
実開平２−９５５０８号公報

しかしながら、特許文献１に記載のフィルタホルダは、ハウジング部材の接合部分のシールをパッキンのみで行なっているため、ハウジング部材間の液漏れが発生する虞があった。液漏れの発生は、フィルタユニットの信頼性を著しく低下させるものであるため、これを確実に防止することが重要である。

この発明の目的は、簡易に、かつ、液漏れが発生しないように組み立てることが可能なフィルタユニットを提供することである。

（１）第１の発明に係るフィルタユニットは、内部を通過する液体を濾過するフィルタユニットであって、第１のハウジング部材、第２のハウジング部材、フィルタ部材、およびＯリングを備える。第１，第２のハウジング部材は、有底筒状を呈する。また、第１，第２のハウジング部材は、互いに液密に接合される。フィルタ部材は、第１のハウジング部材と第２のハウジング部材との間に挟み込まれるように配置される。Ｏリングは、フィルタ部材の端部に当接しつつフィルタ部材とともに第１のハウジング部材と第２のハウジング部材との間に挟み込まれるように配置される。

第１のハウジング部材における、Ｏリングとの当接位置の外環側には環状の凸部が形成される。また、第２のハウジング部材における凸部と対向する位置には、凸部が導入される環状の凹部が形成される。そして、凸部および凹部の間に封止剤が充填される。

この構成においては、ハウジング部材の加工精度ムラやフィルタ部材の厚みムラを吸収するようにＯリングが弾性変形する。このため、各部材の加工精度を厳密にしなくても、フィルタユニットの組み立てに支障を来しにくい。この結果、フィルタユニットの組み立てが容易化する。さらに、ハウジング部材間に封止剤を充填することによって、ハウジング部材間での液漏れが防止し易くなる。

（２）第２の発明に係るフィルタユニットは、（１）に記載のフィルタユニットであって、Ｏリングが、
フィルタ部材の端部に当接するフィルタ固定部と、
フィルタ固定部に連続するとともに、第１のハウジング部材と第２のハウジング部材との接合面に沿って外環側に延びるシール部と、
を含むことを特徴とする。

この構成においては、封止剤が充填される箇所とフィルタ部材の配置箇所との間が、Ｏリングによって封止される。Ｏリングにおけるシール部および封止剤によって２重にハウジング部材間がシールされるため、液漏れの発生がさらに防止し易くなる。また、過剰に封止剤が用いられたことにより封止剤が流れ出すことがあっても、シール部の存在によって、流れ出した封止剤がフィルタ部材に達することはない。この結果、接着剤によってフィルタ部材が目詰まりを起こすことが防止される。

さらに、上述のように、封止剤が充填される箇所とフィルタ部材の配置箇所との間のシール性が高められることによって、フィルタユニット内部の液体と封止剤とが接触しにくくなる。このため、フィルタユニット内部の液体の種類によって封止剤の素材が制限されたり、用いる封止剤の種類によってフィルタユニット内部で濾過可能な液体が制限されたりすることがなくなる。

（３）第３の発明に係るフィルタユニットは、（１）または（２）に記載のフィルタユニットであって、
第１，第２のハウジング部材に、Ｏリングが嵌め込まれる保持部が形成されることを特徴とする。Ｏリングは保持部によって保持されるため、Ｏリングの位置決めが行ない易くなる。

（４）第４の発明に係るフィルタユニットは、（１）〜（３）のいずれか１項に記載のフィルタユニットであって、
第１，第２のハウジング部材が、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）で構成されており、
Ｏリングが、パーフロムゴムで構成されることを特徴とする。

この構成においては、耐薬品性の高い部材を用いることによって、耐薬品性に優れたフィルタユニットが組み立てられる。

通常、ＰＥＥＫのように高融点、高粘度樹脂は、熱溶着によってフィルタ部材をハウジング部材に固定することが困難である。ただし、上述のように、Ｏリングによってフィルタ部材を固定し、封止剤によって液漏れを防止する構成であれば、ＰＥＥＫを用いてフィルタユニットが組み立て易い。

（１）第１の発明によれば、簡易に、かつ、液漏れが発生しないように組み立てることができる。

（２）第２の発明によれば、フィルタユニットにおける液漏れの発生をより確実に防止することができる。

（３）第３の発明によれば、Ｏリングの位置決めを容易に行なうことができる。

（４）第４の発明によれば、フィルタユニットの耐薬品性を向上させることができる。

図１（Ａ），（Ｂ）は、本発明のフィルタユニットが適用されるインクジェットヘッド１を示す。インクジェットヘッド１は、カバー部材１８、ベースユニット２、およびフィルタユニット３を備える。カバー部材１８は、ベースユニット２およびフィルタユニット３のインク吐出側の面を覆うように配置される。なお、図１（Ａ）ではベースユニット２およびフィルタユニット３にカバー部材１８が取り付けられた状態を示しており、図１（Ｂ）ではベースユニット２およびフィルタユニット３からカバー部材１８が取り外された状態を示している。

続いて、図２〜図５を用いてベースユニット２の構成を説明する。図２に示すように、ベースユニット２の基本的構成は左右対称である。ベースユニット２は、ヘッドベース１３、チップマウント１２、ヘッドチップ１１、フレキシブル基板２６、ドライバ基板４、マニホールド１４Ａ，１４Ｂを備える。

ヘッドベース１３は、金属性素材によって構成される。本実施形態では、ヘッドベース１３の素材としてＳＵＳ（線膨張係数約１１×１０^-6ｍ／Ｋ）を用いている。図３に示すように、ヘッドベース１３は、その表面に凸状の台座部１３１が形成されているおり、その断面は逆Ｔ字型を呈している。台座部１３１は、ヘッドベース１３における短手方向（以下、幅方向という。）の中央部において、長手方向（以下、長さ方向）に沿って形成される。台座部１３１において、長さ方向に沿って第１の台１３２Ａ、第２の台１３２Ｂ、第３の台１３２Ｃが配置される。

図４に示すように、第１の台１３２Ａには接着剤を介してチップマウント１２が接着される。チップマウント１２は、アルミナ（線膨張係数約４×１０^-6ｍ／Ｋ）によって構成される。また、チップマウント１２には接着剤を介してヘッドチップ１１が接着される。本実施形態では、接着剤としてエポキシ系接着剤が用いられる。ただし、接着剤の種類は、本実施形態のものに限定されるものではない。なお、本実施形態では、第１の台１３２Ａ、第２の台１３２Ｂ、および第３の台１３２Ｃの幅はすべて１２ｍｍであり、チップマウント１２の幅は１１．５ｍｍであり、かつ、ヘッドチップ１１の幅は１２ｍｍである。第１の台１３２Ａにチップマウント１２を固定する際には、チップマウント１２の幅方向の両端部が、第１の台１３２Ａの幅方向の両端部より約０．２５ｍｍずつ凹んだ状態になるようにチップマウント１２が配置される。このとき、第１の台１３２Ａ、第２の台１３２Ｂ、および第３の台１３２Ｃの幅方向の両端面とヘッドチップ１１の幅方向の両端面とが、それぞれ略同一平面上に配置される。

第２の台１３２Ｂは、幅方向の両端面に、複数の雌ネジ部３１および複数の位置決め用穴３２を有している。また、第２の台１３２Ｂには、ドライバ基板４が取り付けられる。第２の台１３２Ｂにおけるドライバ基板４を取り付ける面には、ネジ穴１３３Ａ，１３３Ｂが形成されている。このため、ドライバ基板４に形成された孔を通ったネジ１３４Ａ，１３４Ｂがネジ穴１３３Ａ，１３３Ｂにそれぞれねじ込まれることによって、ドライバ基板４が第２の台１３２Ｂに固定される。ドライバ基板４は、フレキシブル基板２６を介して、ヘッドチップ１１に接続される。

図５は、チップマウント１２、ヘッドチップ１１、およびフレキシブル基板２６の構成を示す図である。

ヘッドチップ１１は、チタン酸ジルコン亜鉛［（ＰＺＴ）線膨張係数２〜７×１０^-6ｍ／Ｋ］で構成される２枚の圧電体基板１１１および圧電体基板１１２が互いに重ねあわせられることによって構成される。

圧電体基板１１１は分極しており、圧電体基板１１２と対向すべき面に互いに平行な複数の溝が形成される。この複数の溝のそれぞれの側面には駆動電極が形成されている。これに対して、圧電体基板１１２は分極しておらず、圧電体基板１１１における溝形成面側に接着される。圧電体基板１１２には幅方向の全域に渡って溝２４が形成されており、断面が略逆Ｕ字状を呈している。圧電体基板１１１および圧電体基板１１２が接着された際に、圧電体基板１１１に形成された複数の溝のそれぞれは個別液室を構成し、圧電体基板１１２に形成された溝２４は共通液室を構成する。なお、個別液室、共通液室、およびヘッドチップ１１の外側には、パリレン成膜による保護膜が形成される。

溝２４は、ヘッドチップ１１における幅方向の第１の側面に液体導入口２３Ａとなって表れる。また、溝２４は、第１の側面の反対側に位置する第２の側面に、液体排出口２３Ｂとなって表れる。この結果、ヘッドチップ１１内の共通液室を介して液体導入口２３Ａおよび液体排出口２３Ｂが連通する。

圧電体基板１１１および圧電体基板１１２を重ね合わせた際に、圧電体基板１１１に形成された複数の溝がインク吐出面に露出する。インク吐出面には、ポリイミドフィルムからなるノズルプレート１５が接着される。ノズルプレート１５は、圧電体基板１１１の複数の溝と同じ間隔で配列された複数のノズル孔１４を備える。

ヘッドチップ１１は、インク吐出面と反対側に、複数の個別液室のそれぞれから引き出された接続電極を備える。接続電極は、ＡＣＦ（異方性導電膜）によってフレキシブル基板２６に電気的に接続される。

ここで、再び図３を用いて、マニホールド１４Ａ，１４Ｂについて説明する。説明の便宜上、マニホールド１４Ａにおけるベースユニット２と向かい合う面をマニホールド１４Ａの内側面といい、マニホールド１４Ｂにおけるベースユニット２と向かい合う面をマニホールド１４Ｂの内側面という。

マニホールド１４Ａ，１４Ｂは、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）によって構成される。マニホールド１４Ａ，１４Ｂは、互いに対称な形状を呈している。マニホールド１４Ａ，１４Ｂの内部には共通液室に連続すべき液体流路が形成されている。マニホールド１４Ａ内の液体流路は、第１の開口５７Ａおよび第２の開口５７Ｂの間に形成される。一方、マニホールド１４Ｂ内の液体流路は、第１の開口５６Ａおよび第２の開口５６Ｂの間に形成される。マニホールド１４Ａの第２の開口５７Ｂは、液体導入口２３Ａに対応する位置に配置される。第２の開口５７Ｂの周囲に凹部５１Ａが形成される。同様に、マニホールド１４Ｂの第２の開口５６Ｂは、液体排出口２３Ｂに対応する位置に配置される。第２の開口５６Ｂの周囲に凹部５１Ｂが形成される。なお、本実施形態では、凹部５１Ａ，５１Ｂの凹みの深さは０．８ｍｍである。

マニホールド１４Ａ，１４Ｂは、それぞれの内側面に、複数の貫通孔５４および複数の位置決めピン５５がそれぞれ形成される。さらに、マニホールド１４Ａ，１４Ｂの内側面には、それぞれＶ字溝５２が形成される。なお、マニホールド１４Ａ，１４Ｂをベースユニット２に取り付ける際に、Ｖ字溝５２にエポキシ系接着剤が塗布される。

マニホールド１４Ａ，１４Ｂをベースユニット２に取り付ける際には、第２の開口５７Ｂと液体導入口２３Ａとの間に弾性シール部材１５Ａが配置され、第２の開口５６Ｂと液体排出口２３Ｂとの間に弾性シール部材１５Ｂが配置される。本実施形態では、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂとして、パーフロゴムからなる額縁状のパッキンが用いられる。弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂの中空領域の大きさは、それぞれ液体導入口２３Ａおよび液体排出口２３Ｂの開口と同一の大きさ（２．４×１．１ｍｍ）になるように設計されている。弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂは、凹部５１Ａ，５１Ｂにそれぞれ嵌め込まれる。弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂの厚みは、１．１ｍｍであり、凹部５１Ａ，５１Ｂの凹みの深さより約０．３ｍｍだけ大きい。このため、マニホールド１４Ａ，１４Ｂをベースユニット２に取り付ける際に、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂは圧縮されて弾性変形する。また、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂによって、マニホールド１４Ａ内の液体流路およびマニホールド１４Ｂ内の液体流路が、それぞれヘッドチップ１１内の共通液室に連通する。なお、ここでは弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂは、０．３ｍｍ圧縮した際に、約９．８Ｎの反発力を生じる。

また、マニホールド１４Ａ，１４Ｂをベースユニット２に取り付ける際には、複数の位置決めピン５５が複数の位置決め用穴３２にそれぞれ嵌め込まれる。さらに、複数の貫通孔５４を介して複数の雌ネジ部３１にネジを嵌め込むことにより、マニホールド１４Ａ，１４Ｂがベースユニット２に固定される。

続いて、図６および図７を用いて、フィルタユニット３の構成を説明する。フィルタユニット３は、一方に開放した有底角筒状のハウジング１６１、１６２を備える。なお、本構成のフィルターユニット３の有底角筒状の凹み３００は、図１２に示すような形状である。

ハウジング１６１、１６２は、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）で構成される。ハウジング１６１、１６２は、それぞれ開放面を重ねあわせるように接合される。また、ハウジング１６１、１６２に挟み込まれるようにフィルタプレート１６４が配置される。

ハウジング１６１には、環状のパッキンを保持する環状の溝１６９が形成される。本実施形態では、溝１６９は本発明の保持部を構成する。溝１６９には、略Ｌ字状の断面を有する環状のパッキン１６５Ａが配置される。本実施形態ではパッキン１６５Ａの素材として、パーフロムゴムを用いている。なお、ハウジング１６１の液室は、後述する液体収容部１００（図１０参照。）から液体が導入される導入口が形成される。

ハウジング部材１６２には、フィルタプレート１６４の端部を支持するための環状のフィルタ支持部１７０が形成される。ハウジング１６２の液室内には、マニホールド１４Ａにおける第１の開口５７Ａに連通されるべき流路が形成される。さらに、ハウジング１６２には、マニホールド１４Ｂの第１の開口５６Ａに連通されるべき図示しないベント流路が形成されている。なお、このベント流路は、ハウジング１６１に形成されたベント流路を介して、液体収容部１００に接続される。

ハウジング１６１における、Ｏリング１６５Ａとの当接位置の外環側には凸部１６７が形成される。ハウジング１６２には、凸部１６７が導入される凹部１６６が形成される。そして、凸部１６７および凹部１６６の間に封止剤１６８が充填される。

図８に示すように、マニホールド１４Ａ，１４Ｂには溝１６Ａ，１６Ｂがそれぞれ形成されている。溝１６Ａ，１６Ｂには、マニホールド１４Ａ，１４Ｂとフィルタユニット６との取り付け時に接着剤が充填される。溝１６Ａ，１６Ｂには、フィルタユニット６やマニホールド１４Ａ，１４Ｂの素材と近い線膨張係数のものを用いるのが好ましい。本実施形態では、溝１６Ａ，１６Ｂにエポキシ系接着剤が充填される。なお、フィルタユニット６とマニホールド１４Ａ，１４Ｂとが接着剤によって接着された状態を図９に示す。

図１０は、インクジェットヘッド１の概略構成を示す図である。図１０のハッチングを付した部分は、液体流路の１部分の断面を示している。上述したように、チップマウント１２は、ヘッドチップ１１およびヘッドベース１３の台座１３１より幅狭になっているため、チップマウント１２とマニホールド１４Ａの間、およびチップマウント１２とマニホールド１４Ｂの間にはそれぞれ空隙が形成される。このため、ヘッドチップ１１とチップマウント１２を接着する接着剤、または、チップマウント１２とヘッドベース１３を接着する接着剤の量が過剰であった場合でも、余った分の接着剤は上述の空隙にて吸収される。この結果、接着剤がヘッドチップ１１とマニホールド１４Ａ，１４Ｂの間に流れ込んだり、ヘッドベース１３とマニホールド１４Ａ，１４Ｂの間に流れ込んだりすることがない。

本実施形態では、ヘッドチップ１１およびマニホールド１４Ａ，１４Ｂは、直接固着されていない。このため、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂの反発力がヘッドチップ１１に作用することによって、ヘッドチップ１１とチップマウント１２との間に摩擦力が発生し得る。ただし、弾性シール部材１５Ａからヘッドチップ１１に作用する力、および弾性シール部材１５Ｂからヘッドチップ１１に作用する力は、それぞれ逆方向であり互いに打ち消しあうため、ヘッドチップ１１とチップマウント１２との間に発生する摩擦力が微小に抑えられる。

以上の構成において、液体の初期充填時には、液体収容部１００からチューブ管６１を介してハウジング１６１内に液体が供給される。ハウジング１６１内に供給された液体は、フィルタプレート通過してハウジング１６２内に導かれる際に濾過される。液体は、ハウジング１６２からマニホールド１４Ａを介してヘッドチップ１１の共通液室に案内される。さらに、共通液室を通過した液体は、マニホールド１４Ｂ内の流路、ハウジング１６１，１６２に形成されたベント流路、およびチューブ管６２を介して液体収容部１００に帰還する。そして、液体が循環する際に、共通液室に存在する残留エアが除去される。残留エアの除去が終わると、マニホールド１４Ｂと液体収容部１００との間の帰還流路が図示しない弁によって閉じられる。その後、制御部２００がドライバ基板４を制御し、ヘッドチップ１１の個別液室内の駆動電極を駆動することによって、ヘッドチップ１１から液体が吐出する。

以上のように、本実施形態に係るインクジェットヘッド１によれば、液体収容部１００、フィルタユニット３、ヘッドチップ１１の間で液体を循環させることによって、共通液室に存在する残留エアが効率よく排出されるというメリットがある。また、ヘッドチップ１１に液体導入口２３Ａと液体排出口２３Ｂとが設けられているため、液体を循環させる流路を簡易に構築することができる。

なお、液体導入口２３Ａと液体排出口２３Ｂを液体が循環する構成でなくとも良い。

例えば、液体をヘッドチップに充填する初期段階で、液体導入口２３Ａ側から液体を導入し、液体排出口２３Ｂと通じているドレイン（図示せず）により排出し、残留エアーを除去後に液体排出口２３Ｂと通じているドレインを閉じる構成でも良い。この場合でも、排出液とともに残留エアーを効率よく排出することができる。また、残留エアー除去性を確保しつつ、流路をさらに簡素化し、装置コストを低減することが可能となる。

続いて、再び図８を用いて、本実施形態に係るインクジェットヘッド１の他のメリットを説明する。同図に示すように、ヘッドベース１３上のドライバ基板４およびフレキシブル基板２６は、マニホールド１４Ａ，１４Ｂおよびフィルタユニット３によって覆われる。具体的には、ハウジング１６１，１６２から延び出すように設けられたプレート部１６３、マニホールド１４Ａにおける流路構成部から延び出すように設けられたプレート部１４１、およびマニホールド１４Ｂにおける流路構成部から延び出すように設けられたプレート部１４２によって、ドライバ基板４の略全域が覆われて保護される。このため、ドライバ基板４に液体がかかってドライバ基板４が破損することが防止される。さらに、マニホールド１４Ａ，１４Ｂおよびフィルタユニット３のように必要不可欠な部材によってドライバ基板４を保護するため、ドライバ基板４を保護するためにのみ用いる別部材を用意する必要がなく、構成要素を減らすことができる。

また、図８に示すように、ヘッドチップ１１の両側に位置するマニホールド１４Ａ，１４Ｂの間をフィルタユニット３によって連結し、全体として門型の構成にすることによって、流路を構成する部分の剛性が増す。このため、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂからの反発力や外部からの外力が作用した場合でも流路が壊れにくい。

上述の実施形態では、略Ｌ字状の断面を有するパッキン１６５Ａを用いる例を説明したが、以下に示す形状のパッキンを用いることもできる。

図１１（Ａ）は、縦に長い形状のパッキン１６５Ｂを用いた例を示している。この例では、パッキン１６５Ｂは、専らフィルタプレート１６４を固定するように機能している。

図１１（Ｂ）は、横に長い形状のパッキン１６５Ｃを用いた例を示している。この例では、パッキン１６５Ｃは、フィルタプレート１６４の固定およびハウジング１６１，１６２間のシールの両方の機能を果たす。パッキン１６５Ｃは、フィルタプレート１６４と強く圧接しないため、大きく変形することがない。このため、パッキン１６５Ｃが変形することによって、ハウジング１６１，１６２間のシールに支障を来すことがない。

上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。ベースユニットの構成を示す斜視図である。ベースユニットの概略構成を示す分解図である。ヘッドベース、チップマウント、およびヘッドチップの構成を示す図である。ヘッドチップの構成を示す斜視図である。フィルタユニットの構成を示す斜視図である。フィルタユニットの構成を示す斜視図である。ベースユニットとフィルタユニットとを分解した状態を示す図である。ベースユニットとフィルタユニットとを結合した状態を示す図である。インクジェットヘッドの概略構成を示す図である。フィルタユニットの構成を示す斜視図である。フィルタユニットの構成を示す斜視図である。

符号の説明

１−インクジェットヘッド
３−フィルタユニット
１６１，１６２−ハウジング部材
１６４−フィルタ部材
１６５Ａ〜１６５Ｃ−Ｏリング
１６６−凹部
１６７−凸部
１６８−接着剤

Claims

内部を通過する液体を濾過するフィルタユニットであって、
有底筒状を呈する第１のハウジング部材と、
有底筒状を呈しており、前記第１のハウジング部材に液密に接合される第２のハウジング部材と、
前記第１のハウジング部材と前記第２のハウジング部材との間に挟み込まれるように配置されるフィルタ部材と、
前記フィルタ部材の端部に当接しつつ前記フィルタ部材とともに前記第１のハウジング部材と前記第２のハウジング部材との間に挟み込まれるように配置されるＯリングと、
を備えており、
前記第１のハウジング部材は、前記Ｏリングとの当接位置の外環側に配置された環状の凸部を有し、
前記第２のハウジング部材は、前記凸部と対向する位置に配置され、前記凸部が導入される環状の凹部を有し、かつ、
前記凸部および前記凹部の間に封止剤が充填されることを特徴とするフィルタユニット。
前記Ｏリングは、
前記フィルタ部材の端部に当接するフィルタ固定部と、
前記フィルタ固定部に連続するとともに、前記第１のハウジング部材と前記第２のハウジング部材との接合面に沿って外環側に延びるシール部と、
を含むことを特徴とする請求項１に記載のフィルタユニット。
前記第１，第２のハウジング部材に、前記Ｏリングが嵌め込まれる保持部が形成されることを特徴とする請求項１または２に記載のフィルタユニット。
前記第１，第２のハウジング部材が、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）で構成されており、
前記Ｏリングが、パーフロムゴムで構成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のフィルタユニット。