JPH05184831A - エアフィルターの密封取付構造 - Google Patents
エアフィルターの密封取付構造Info
- Publication number
- JPH05184831A JPH05184831A JP65392A JP65392A JPH05184831A JP H05184831 A JPH05184831 A JP H05184831A JP 65392 A JP65392 A JP 65392A JP 65392 A JP65392 A JP 65392A JP H05184831 A JPH05184831 A JP H05184831A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorine
- contg
- filter module
- filter
- sealed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Gasket Seals (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Sealing Material Composition (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【構成】 フィルターモジュール１の縁部２とフィルタ
ーモジュール支持枠３のモジュール設置部４との間をシ
ール材料により密封したエアフィルター密封取付構造に
おいて、シール材料として、含フッ素熱可塑性ゴム及び
含フッ素液状ゴムからなる組成物並びに含フッ素オイル
及びポリテトラフルオロエチレンからなる組成物からな
る群から選択された組成物を用いる。 【効果】 支持枠とフィルターモジュールの縁部との間
のシールがきわめて簡単な施工で行え、かつ完全なシー
ル性が達成でき、シール材料からのオフガスによる気流
の汚染や腐蝕性ガスからの劣化を長期にわたって防止
し、さらには熱風にも耐えることができる。更に、シー
ル材料が、重力や５００mmＨ2Ｏ程度の静圧では流動す
ることがないので、フィルターモジュールをどの様な角
度でも取付けシールすることができる。
ーモジュール支持枠３のモジュール設置部４との間をシ
ール材料により密封したエアフィルター密封取付構造に
おいて、シール材料として、含フッ素熱可塑性ゴム及び
含フッ素液状ゴムからなる組成物並びに含フッ素オイル
及びポリテトラフルオロエチレンからなる組成物からな
る群から選択された組成物を用いる。 【効果】 支持枠とフィルターモジュールの縁部との間
のシールがきわめて簡単な施工で行え、かつ完全なシー
ル性が達成でき、シール材料からのオフガスによる気流
の汚染や腐蝕性ガスからの劣化を長期にわたって防止
し、さらには熱風にも耐えることができる。更に、シー
ル材料が、重力や５００mmＨ2Ｏ程度の静圧では流動す
ることがないので、フィルターモジュールをどの様な角
度でも取付けシールすることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エアフィルターの密封
取付構造に関し、更に詳しくは超高性能エアフィルタ
(ＨＥＰＡフィルタ:Ｈigh Ｅfficiency Ｐarticulate
Ａir Ｆilter)の密閉取付構造に関する。
取付構造に関し、更に詳しくは超高性能エアフィルタ
(ＨＥＰＡフィルタ:Ｈigh Ｅfficiency Ｐarticulate
Ａir Ｆilter)の密閉取付構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ(集積回路)、ＬＳＩ(大規模集積回
路)、超ＬＳＩの製造工場、医薬品の製造工場、病院の
手術室、治療室など、空気中に浮遊する非常に微細な塵
埃及び／又は微生物の影響が問題とされるところでは、
高度に無塵無菌化された清浄室、いわゆるクリーンルー
ム又はバイオクリーンルームが使用されている。
路)、超ＬＳＩの製造工場、医薬品の製造工場、病院の
手術室、治療室など、空気中に浮遊する非常に微細な塵
埃及び／又は微生物の影響が問題とされるところでは、
高度に無塵無菌化された清浄室、いわゆるクリーンルー
ム又はバイオクリーンルームが使用されている。
【０００３】そこで、クリーンルームの空気を高度の清
浄状態に保持するために、通常フィルターモジュールの
バンクにより天井(垂直層流方式)又は壁面(水平層流方
式)が全面遮蔽される。すなわち、循環空気はクリーン
ルームに入る前に、ＨＥＰＡフィルターを通過させるた
め、フィルターモジュール上に加圧下で導入され、濾過
された清浄空気がクリーンルームに供給される。
浄状態に保持するために、通常フィルターモジュールの
バンクにより天井(垂直層流方式)又は壁面(水平層流方
式)が全面遮蔽される。すなわち、循環空気はクリーン
ルームに入る前に、ＨＥＰＡフィルターを通過させるた
め、フィルターモジュール上に加圧下で導入され、濾過
された清浄空気がクリーンルームに供給される。
【０００４】個々のフィルターモジュールは、互に締結
されるように設計され、そのバンクはリべット止め又は
熔接などにより支持構造を形成する金属支持枠を囲んで
取付けられる。隣接する支持枠の間の空気洩れを防止す
るため、フィルターモジュール枠の縁部と金属支持枠と
の間には、一般にネオプレンガスケット又は他の類似材
料のガスケットを介在させる。
されるように設計され、そのバンクはリべット止め又は
熔接などにより支持構造を形成する金属支持枠を囲んで
取付けられる。隣接する支持枠の間の空気洩れを防止す
るため、フィルターモジュール枠の縁部と金属支持枠と
の間には、一般にネオプレンガスケット又は他の類似材
料のガスケットを介在させる。
【０００５】しかしながら、締付けの不均等、ガスケッ
トの経時劣化などのためガスケット方式では空気の漏洩
は避け得ず、特に高度のクリーンルームでは、僅かの漏
洩でも清浄度に重大な影響を及ぼす。
トの経時劣化などのためガスケット方式では空気の漏洩
は避け得ず、特に高度のクリーンルームでは、僅かの漏
洩でも清浄度に重大な影響を及ぼす。
【０００６】そこで、特開昭５８−６５３７０ではガス
ケット方式と粘ちゅう性液体シール剤とを併用し、空気
の漏洩を完全に防止し、クリーンルームの清浄度を安全
に維持することのできるエアフィルターの密閉取付構造
が提案されている。
ケット方式と粘ちゅう性液体シール剤とを併用し、空気
の漏洩を完全に防止し、クリーンルームの清浄度を安全
に維持することのできるエアフィルターの密閉取付構造
が提案されている。
【０００７】
【発明が課題しようとする課題】しかし、この構造では
シール材が液状であるために、液がこぼれないよう溝を
設けなければならない。そのためにフィルターモジュー
ルを横向又は傾斜して取付けると、シール材が流動する
ので長期間の使用に耐えられない。本発明は、空気の漏
洩を完全に防止できるとともに、横向又は傾斜位置で取
り付けても長期間の使用に耐えられるフィルターモジュ
ール取付構造を提供しようとするものである。また、本
発明は、耐熱性、耐薬品性に優れたシール材料を提供し
て、クリーンルームの清浄度を長期間高度に保つことが
できるフィルターモジュール取付構造を提供しようとす
るものである。
シール材が液状であるために、液がこぼれないよう溝を
設けなければならない。そのためにフィルターモジュー
ルを横向又は傾斜して取付けると、シール材が流動する
ので長期間の使用に耐えられない。本発明は、空気の漏
洩を完全に防止できるとともに、横向又は傾斜位置で取
り付けても長期間の使用に耐えられるフィルターモジュ
ール取付構造を提供しようとするものである。また、本
発明は、耐熱性、耐薬品性に優れたシール材料を提供し
て、クリーンルームの清浄度を長期間高度に保つことが
できるフィルターモジュール取付構造を提供しようとす
るものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、フィルターモ
ジュール(１)の縁部(２)とフィルターモジュール支持枠
(３)のモジュール設置部(４)との間をシール材料(５)に
より密封したエアフィルター密封取付構造において、シ
ール材料として、含フッ素熱可塑性ゴム及び含フッ素液
状ゴムからなる組成物並びに含フッ素オイル及びポリテ
トラフルオロエチレンからなる組成物よりなる群から選
択された組成物を用いることを特徴とするエアフィルタ
ーの密封取付構造により、上記課題を解決する。
ジュール(１)の縁部(２)とフィルターモジュール支持枠
(３)のモジュール設置部(４)との間をシール材料(５)に
より密封したエアフィルター密封取付構造において、シ
ール材料として、含フッ素熱可塑性ゴム及び含フッ素液
状ゴムからなる組成物並びに含フッ素オイル及びポリテ
トラフルオロエチレンからなる組成物よりなる群から選
択された組成物を用いることを特徴とするエアフィルタ
ーの密封取付構造により、上記課題を解決する。
【０００９】本発明に用いるシール材は、汎用のフィル
ターモジュールの自重あるいは軽度の締付けで変形する
が、静圧５００mmＨ2Ｏ程度の空気圧では変形も流動も
しないので、完全にシールができるとともに、フィルタ
ーモジュールの取付方向を上向、下向、横向又は傾斜方
向のいずれにもすることができる。さらには、特開昭５
８−６５３７０号公報に開示の構造に示されるような流
動防止のセキや溝は必要なく、さらに木枠などへの浸透
が起こらない。
ターモジュールの自重あるいは軽度の締付けで変形する
が、静圧５００mmＨ2Ｏ程度の空気圧では変形も流動も
しないので、完全にシールができるとともに、フィルタ
ーモジュールの取付方向を上向、下向、横向又は傾斜方
向のいずれにもすることができる。さらには、特開昭５
８−６５３７０号公報に開示の構造に示されるような流
動防止のセキや溝は必要なく、さらに木枠などへの浸透
が起こらない。
【００１０】本発明に用いるシール材料の好ましい一例
は、含フッ素熱可塑性ゴム及び含フッ素液状ゴムからな
る組成物である。このフッ素ゴム組成物は、特願平２−
１３６６８１号公報に詳細に記載されている。
は、含フッ素熱可塑性ゴム及び含フッ素液状ゴムからな
る組成物である。このフッ素ゴム組成物は、特願平２−
１３６６８１号公報に詳細に記載されている。
【００１１】シール材料の第２の好ましい例は、ポリテ
トラフルオロエチレン(ＰＴＦＥ)と含フッ素オイルとの
組成物である。含フッ素オイルとしては、ポリフルオロ
ポリエーテルが例示でき、特にパーフルオロポリエーテ
ル(たとえば、ダイキン工業株式会社製デムナム(登録商
標))が好ましい。
トラフルオロエチレン(ＰＴＦＥ)と含フッ素オイルとの
組成物である。含フッ素オイルとしては、ポリフルオロ
ポリエーテルが例示でき、特にパーフルオロポリエーテ
ル(たとえば、ダイキン工業株式会社製デムナム(登録商
標))が好ましい。
【００１２】ＰＴＦＥとしては、ＰＴＦＥファインパウ
ダーが好ましい。ＰＴＦＥファインパウダーにはペース
ト押出可能範囲で繊維化しないモールディング用のＰＴ
ＦＥ粒子や分子量１００万以下の低分子量ＰＴＦＥ粒子
(たとえば、ダイキン工業会社製ルブロン(登録商標))を
添加したり、ポリイミド粒子などの有機高分子や酸化チ
タン、グラファイトなどの無機粒子を添加してもよい。
ダーが好ましい。ＰＴＦＥファインパウダーにはペース
ト押出可能範囲で繊維化しないモールディング用のＰＴ
ＦＥ粒子や分子量１００万以下の低分子量ＰＴＦＥ粒子
(たとえば、ダイキン工業会社製ルブロン(登録商標))を
添加したり、ポリイミド粒子などの有機高分子や酸化チ
タン、グラファイトなどの無機粒子を添加してもよい。
【００１３】含フッ素オイルとＰＴＦＥ(固形分)の割合
は、ＰＴＦＥ１００重量部当たり含フッ素オイル２０〜
１００重量部である。含フッ素オイルは、ＰＴＦＥファ
インパウダーの成形助剤として作用し、この組成物は、
押出成型によりシール材に加工できる。押出成型物から
は、助剤を抽出することなく使用できる。
は、ＰＴＦＥ１００重量部当たり含フッ素オイル２０〜
１００重量部である。含フッ素オイルは、ＰＴＦＥファ
インパウダーの成形助剤として作用し、この組成物は、
押出成型によりシール材に加工できる。押出成型物から
は、助剤を抽出することなく使用できる。
【００１４】本発明のフィルターモジュール密封取付構
造を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、エ
アフィルターの天井取付方式を示したものであり、気流
が天井の上から床面に向う例である。
造を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、エ
アフィルターの天井取付方式を示したものであり、気流
が天井の上から床面に向う例である。
【００１５】フィルターモジュール(１)は、ガラス繊維
濾布などを折り込み、それを縁部(２)に接着して、濾布
面のみから気流が通過するような構造を有している。
濾布などを折り込み、それを縁部(２)に接着して、濾布
面のみから気流が通過するような構造を有している。
【００１６】この縁部(２)は、フィルターモジュールを
天井に取り付ける為の支持枠(３)のモジュール設置部
(４)に設置されるが、この縁部(２)と設置部(４)との間
から気流が漏洩しないように、この間を本発明のシール
材料(５)により密封する。
天井に取り付ける為の支持枠(３)のモジュール設置部
(４)に設置されるが、この縁部(２)と設置部(４)との間
から気流が漏洩しないように、この間を本発明のシール
材料(５)により密封する。
【００１７】
【発明の効果】本発明では、このシール材料として上記
のような材料を使用しているので、支持枠(３)とフィル
ターモジュールの縁部(４)との間のシールがきわめて簡
単な施工で行え、かつ完全なシール性が達成でき、シー
ル材料からのオフガスによる気流の汚染や腐蝕性ガスか
らの劣化を長期にわたって防止し、さらには熱風にも耐
えることができる。更に、本発明のシール材料は、重力
や５００mmＨ2Ｏ程度の静圧では流動することがないの
で、フィルターモジュールをどの様な角度でも取付けシ
ールすることができる。
のような材料を使用しているので、支持枠(３)とフィル
ターモジュールの縁部(４)との間のシールがきわめて簡
単な施工で行え、かつ完全なシール性が達成でき、シー
ル材料からのオフガスによる気流の汚染や腐蝕性ガスか
らの劣化を長期にわたって防止し、さらには熱風にも耐
えることができる。更に、本発明のシール材料は、重力
や５００mmＨ2Ｏ程度の静圧では流動することがないの
で、フィルターモジュールをどの様な角度でも取付けシ
ールすることができる。
【図１】 本発明のフィルターモジュール密封取付構造
の部分断面図。
の部分断面図。
１…フィルターモジュール、２…縁部、３…支持枠、４
…設置部。
…設置部。
Claims (1)
- 【請求項１】 フィルターモジュール(１)の縁部(２)と
フィルターモジュール支持枠(３)のモジュール設置部
(４)との間をシール材料(５)により密封したエアフィル
ター密封取付構造において、シール材料として、含フッ
素熱可塑性ゴム及び含フッ素液状ゴムからなる組成物並
びに含フッ素オイル及びポリテトラフルオロエチレンか
らなる組成物よりなる群から選択された組成物を用いる
ことを特徴とするエアフィルターの密封取付構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP65392A JPH05184831A (ja) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | エアフィルターの密封取付構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP65392A JPH05184831A (ja) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | エアフィルターの密封取付構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05184831A true JPH05184831A (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=11479680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP65392A Pending JPH05184831A (ja) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | エアフィルターの密封取付構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05184831A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007069678A1 (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-21 | Sharp Kabushiki Kaisha | フィルタユニット |
| JP2009119420A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Nitto Denko Corp | フィルタユニットパネルの製造方法、およびフィルタユニット |
-
1992
- 1992-01-07 JP JP65392A patent/JPH05184831A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007069678A1 (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-21 | Sharp Kabushiki Kaisha | フィルタユニット |
| JP2007160251A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Sharp Corp | 液滴吐出装置 |
| JP2009119420A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Nitto Denko Corp | フィルタユニットパネルの製造方法、およびフィルタユニット |
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