JP3993185B2 - トランジスタの作製方法 - Google Patents
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Description
102、202、302・・・下地絶縁膜
103、203、303・・・島状半導体領域
104、204、304・・・ゲート絶縁膜
105、205、305・・・ゲート電極
106、206、306・・・陽極酸化物
107、207 ・・・薄い絶縁膜
108、208、307・・・不純物領域
109、209、308・・・層間絶縁物
110、210、309・・・ソース、ドレイン電極
Claims (3)
- ガラス基板上に下地絶縁膜を形成し、
前記下地絶縁膜上に、シリコン半導体膜を形成し、
前記シリコン半導体膜をレーザーアニールして前記シリコン半導体膜を結晶化させ、
前記結晶化させたシリコン半導体膜をパターニングして島状半導体領域を形成し、
前記島状半導体領域上にゲート絶縁膜を形成し、
前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成し、
前記ゲート電極を形成した後、前記ゲート絶縁膜をエッチングして、前記ゲート絶縁膜を薄くし、
前記ゲート電極をマスクとして前記薄くしたゲート絶縁膜を介して前記島状半導体領域中に不純物を注入し、
前記ゲート絶縁膜及び前記ゲート電極上に層間絶縁膜を形成し、
前記ゲート絶縁膜及び前記層間絶縁膜を通して前記島状半導体領域にレーザー光を照射して前記島状半導体領域を活性化させることを特徴とするトランジスタの作製方法。 - ガラス基板上に下地絶縁膜を形成し、
前記下地絶縁膜上に、シリコン半導体膜を形成し、
前記シリコン半導体膜をレーザーアニールして前記シリコン半導体膜を結晶化させ、
前記結晶化させたシリコン半導体膜をパターニングして島状半導体領域を形成し、
前記島状半導体領域上にゲート絶縁膜を形成し、
前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成し、
前記ゲート電極を形成した後、前記ゲート絶縁膜をエッチングして、前記ゲート絶縁膜を薄くし、
前記ゲート電極をマスクとして前記薄くしたゲート絶縁膜を介して前記島状半導体領域中にN型の不純物を注入し、
前記ゲート絶縁膜及び前記ゲート電極上に層間絶縁膜を形成し、
前記ゲート絶縁膜及び前記層間絶縁膜を通して前記島状半導体領域にレーザー光を照射して前記島状半導体領域を活性化させることを特徴とするトランジスタの作製方法。 - 請求項1又は2において、
前記ゲート電極は、ドープドシリコン、モリブテン、タングステン、チタン、アルミニウム又はそれらの合金のいずれかでなることを特徴とするトランジスタの作製方法。
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