JP3988799B2 - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
以上説明したように、本発明によれば、第一の遮光層と第二の遮光層とに分かれた導電性の遮光層を第一平坦化膜の上に形成することにより、導電性遮光層による遮光性能の向上を図り、光リーク電流による画質低下を抑えることができる。又、導電性の遮光層を第二平坦化膜で平坦化した上で画素電極や配向膜を形成している。これにより、配向状態が大幅に改善可能である。配向処理におけるプロセスマージンが拡大する為生産性が向上するとともに、表示品位も大幅に改善可能である。この様に、導電性の遮光層を上下から二層の平坦化膜で挟持する構成とすることにより、遮光性能の改善及び表示品質の改善が可能になる。特に、第二平坦化膜を用いることで、TFT基板上に微細なスペーサを形成しても、液晶の配向が乱れることがなくなる。
チャック回転数 60rpm
テーブル回転数 4rpm
リテーナ高さ 840μm
研磨レート 500nm/分で4分研磨
ドレス方式 in−situドレス
スラリー SS−25(KOH液にシリカ粒を分散したスラリー) 1/2純水希釈液使用
Claims (8)
- 基板上に透明な画素電極を駆動するための薄膜トランジスタが設けられ、この薄膜トランジスタの上層でかつ上記画素電極の下層の位置に液晶側から入射した光を遮光する導電性の遮光層が設けられている液晶表示装置において、
第一の平坦化膜が該薄膜トランジスタの凹凸を埋める様に形成されており、その平坦化された第一の平坦化膜の上に該遮光層が配され、
第二の平坦化膜が該遮光層の段差を埋める様に形成されており、その平坦化された第二の平坦化膜の上に該画素電極が配されており、
前記導電性の遮光層は、少なくとも該薄膜トランジスタのゲート電極の上方を覆っており、
前記導電性の遮光層は、第一の遮光層と第二の遮光層とに分離しており、前記第一の遮光層は該画素電極に接続しており、前記第二の遮光層は共通電位にあることを特徴とする液晶表示装置。 - 前記画素電極を形成した基板は、入射した光を透過する透過領域と遮光する遮光領域とに分かれており、
前記導電性の遮光層の下層に、前記導電性の遮光層又は前記薄膜トランジスタと接続した配線電極が配され、
前記導電性の遮光層と、前記配線電極との重ね合わせにより、該遮光領域の遮光がなされていることを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置。 - 前記画素電極を形成した基板は、入射した光を透過する透過領域と遮光する遮光領域とに分かれており、
前記遮光領域には、該導電性の遮光層の下層でさらに該薄膜トランジスタの下層に別の遮光層が形成されていることを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置。 - 前記薄膜トランジスタのゲート電極の少なくとも一部はWSiで形成されており、前記別の遮光層の少なくとも一部もWSiで形成されていることを特徴とする請求項3記載の液晶表示装置。
- 基板上に透明な画素電極を駆動するための薄膜トランジスタを形成し、この薄膜トランジスタの上層で且つ上記画素電極の下層の位置に液晶側から入射した光を遮光する導電性の遮光層を形成する液晶表示装置の製造方法において、
第一の平坦化膜を該薄膜トランジスタの凹凸を埋める様に形成する第一平坦化工程と、
第一の平坦化膜の上に該遮光層を形成する第一処理工程と、
第二の平坦化膜を該遮光層の段差を埋める様に形成する第二平坦化工程と、
第二の平坦化膜の上に該画素電極を形成する第二処理工程とを行ない、
前記第一処理工程は、前記導電性の遮光層で、少なくとも該薄膜トランジスタのゲート電極の上方を覆うとともに、
該導電性の遮光層を第一の遮光層と第二の遮光層とに分離して形成し、前記第一の遮光層は該画素電極に接続し、前記第二の遮光層は共通電位に接続することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記画素電極を形成した基板は、入射した光を透過する透過領域と遮光する遮光領域とに分かれており、
前記導電性の遮光層又は前記薄膜トランジスタと接続する配線電極を形成する工程を含んでおり、
前記導電性の遮光層と前記配線電極との重ね合わせにより、該遮光領域の遮光を行うことを特徴とする請求項5記載の液晶表示装置の製造方法。 - 前記画素電極を形成した基板は、入射した光を透過する透過領域と遮光する遮光領域とに分かれており、
前記遮光領域に、該導電性の遮光層の下層でさらに該薄膜トランジスタの下層に別の遮光層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項5記載の液晶表示装置の製造方法。 - 前記薄膜トランジスタのゲート電極の少なくとも一部をWSiで形成し、前記別の遮光層の少なくとも一部もWSiで形成することを特徴とする請求項7記載の液晶表示装置の製造方法。
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