JP3985978B2 - 半導体レーザ素子の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスクの光源として用いられる半導体レーザ素子及びその製造方法に関し、特にディスクからの戻り光によるトラッキングエラーを回避できる半導体レーザ素子及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
CD(コンパクトディスク)、MD(ミニディスク)等の光ディスクは近年急速に普及している。光ディスクの場合、ピックアップとディスクが非接触であるため、信号ピットの位置を検出しレーザビーム光を信号ピットに沿って移動させなければならない。この方式として現在広く用いられているのが、光源を主ビームと1次回折光に分離した3ビームのトラッキングサーボ方式である。
【0003】
ところが、この3ビーム方式の場合、図4に示すように、分離した1次回折光がディスク43から反射されてきた後、対物レンズ44を介してハーフミラー45に入射する。ハーフミラー45に入射した光は反射され光の進行方向が直角に曲げられて、回折格子46を介してレーザチップ出射端面47にも戻り光49となって戻ってくる。この戻り光49が更にレーザチップ出射端面47に反射してノイズ光を発生するため、信号検出に悪影響を及ぼしていた。
【0004】
こうした問題を回避するには、戻り光がチップ出射端面に当たらないようにするか、もしくは当たっても反射しないようにすれば良い。
【0005】
そこで、従来より行われているディスクからの戻り光によるトラッキングエラーを回避する3つの回避方法について、以下に説明する。
【0006】
図5は第1の回避方法を示す。この方法はレーザチップ端面の反射膜を、レーザ光出射部分に対し戻り光49が当たる部分を低反射膜50として、戻り光49が反射するのを防止して光検出部に反射されるノイズ光を低減している。
【0007】
図6は第2の回避方法を示す。この方法はレーザチップ端面の戻り光49が当たる部分をダイシング面を利用するなどの方法を用いて粗面51にすることで、戻り光49を散乱させ、これにより光検出部に反射されるノイズ光を低減している。
【0008】
図7は第3の回避方法を示す。この方法は、レーザウェハの厚さを薄くして、戻り光49がレーザチップ端面に当たらないようにして、反射によるノイズ光が発生しないようにしている。
【0009】
ところで、第3の回避方法による場合は、光学系にもよるが、戻り光がチップ端面に当たる位置は一般に出射領域から上下に約60μm程離れた位置である。従って、レーザウェハの厚さの条件としては、図7(b)に示したように、発光領域から上側の厚さをLp、発光領域より下側の厚さをLnとした場合に、Lp≦60μm,Ln≦60μmとすればよい。
【0010】
ところが、レーザウェハの厚さが70μm以下の場合には、ウェハの割れや欠けが発生し易く、ウェハエ程作業上支障となるため、Lp+Ln≧70μmである必要がある。
【0011】
従って、レーザウェハの厚さは、70μm≦Lp+Ln≦120μmとなり、且つ、Lp及びLnの範囲は、10μm≦Lp≦60μm、10μm≦Ln≦60μmとなる。
【0012】
上述のような厚さの成膜には、液相成長法(LPE法)、有機金属気相成長法(MOCVD法)又は電子ビーム蒸着法(MBE法)が用いられている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
上記第3の回避方法による場合のレーザウェハの層構造を考えた場合、図7(b)に示す厚さLpのレーザウェハと厚さLnのレーザウェハは、一方がN−GaAs基板であり、他方が成長したP−GaAsキャップ層である。
【0014】
P−GaAsキャップ層をLPE法で成長させる場合、成長温度は約800℃と高く、発光領域周辺のドーパント不純物が拡散し、特性悪化の要因となる。また、数nmの薄膜を積層した量子井戸構造では、上記のような高温に晒されると、不純物拡散と共に母材原子の移動(マイグレーション)が起こり、量子井戸構造が崩れてしまうといった問題が生じる。こういった点から、LPE法は高性能の半導体レーザ素子を再現性良く作製するには適していない。
【0015】
また、P−GaAsキャップ層をMOCVD法で成長させる場合、成長温度は550℃〜700℃であるため、発光領域付近のドーパント拡散の抑制が可能である。しかしながら、GaAsキャップ層を数十μm成長させるには、本来成長速度が遅いために長い成長時間を要するといった問題が生じる。更には、トリメチルガリウム(TMG)やアルシンガス(AsH3)などの材料を多量に使用するために、レーザチップのコストアップにつながるといった問題も生じる。
【0016】
本発明は、こうした従来技術の課題を解決するものであり、ディスクからの戻り光によるトラッキングエラーを回避でき、良好な素子特性及び高信頼性を享受でき、かつ生産性を向上できる半導体レーザ素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体レーザ素子の製造方法は、基板上に、第1導電型クラッド層と、第2導電型クラッド層と、該第1導電型クラッド層と該第2導電型クラッド層との間に形成された活性層とが設けられるとともに表面にキャップ層が形成されたレーザウェハの該キャップ層上に単結晶からなる第2のウェハを熱処理により接着し、その後、相互に接着された前記レーザウェハおよび前記第2のウェハが研磨またはエッチングされた状態で、劈開分割により個々のレーザチップに分割することにより、該活性層が該レーザチップの厚さの中央部に位置するとともに、前記活性層よりも上側の厚さをLp、前記活性層よりも下側の厚さをLnとした場合に、下記(1)式の条件を満たす半導体レーザ素子を製造する方法であって、
70μm≦Lp+Ln≦120μm、10μm≦Lp≦60μm、10μm≦Ln≦60μm・・・・(1)
MOCVD法を用いて前記基板上に前記第1導電型クラッド層と前記活性層と前記第2導電型クラッド層と前記キャップ層とが成長された前記レーザウェハの成長表面と前記第2のウェハの鏡面とを硫酸系のエッチング液で前処理する工程と、その後に、前記レーザウェハの成長表面と前記第2のウェハの鏡面とを劈開方向を合わせた状態で接触させ、水素雰囲気中で熱処理することにより接着する接着工程とを包含し、そのことにより上記目的が達成される。
【0019】
前記接着工程が、前記レーザウェハを位置決めする凹部を上面に形成した保持部材の該凹部に、該レーザウェハの成長表面と前記第2のウェハの鏡面とを劈開方向を合わせて接触させた状態で位置決めして載置し、所定の加重を加えた状態で水素雰囲気中で熱処理することにより行われる。
【0022】
以下に、本発明の作用について説明する。
【0023】
上記構成によれば、レーザウェハのキャップ層上に単結晶からなる第2のウェハを熱処理により接着するので、成長による不純物拡散に起因する特性悪化がなくなる。また、レーザウェハと第2のウェハが接着されて構成されるレーザチップの厚さのほぼ中央に活性層を配置するので、戻り光がレーザチップ端面に当たらないようになり、反射によるノイズ光が発生しないので、ディスクからの戻り光によるトラッキングエラーが回避される。
【0024】
特に、上記レーザウェハの厚さに相当するレーザチップの厚さ及び上記第2のウェハの厚さに相当するレーザチップの厚さを上記の条件式(1)を満たす構成とすると、戻り光がレーザチップ端面に確実に当たらないようになり、反射によるノイズ光が発生しないので、戻り光によるトラッキングエラーをより一層確実に回避することが可能となる。
【0025】
また、上記の製造方法によれば、レーザウェハのキャップ層上に単結晶からなる第2のウェハを劈開方向を合わせた状態で接触させ熱処理により接着する方法をとるので、成長時間が不要となり、加えて成長による不純物拡散に起因する特性悪化もなくなる。このため、素子特性の良好な半導体レーザ素子を高い信頼性と高い生産性をもって製造することが可能となる。
【0026】
また、レーザウェハを位置決めする凹部を上面に形成した保持部材を用いる方法による場合には、この凹部にレーザウェハの成長表面と前記第2のウェハの鏡面とが劈開方向を合わせ接触させた状態で位置決めして載置され、さらに所定の加重を加えた状態で熱処理するので、位置ずれもなく接着が一層確実なものとなる。
【0027】
さらに、上記の製造方法において、レーザウェハの成長表面と単結晶からなる第2のウェハの鏡面とを硫酸系のエッチング液で前処理すると、ウェハ表面にOH基が吸着され、ウェハを接触させた時にそれらが水素結合を起こし密着するため、両ウェハの熱処理による接着がより一層確実なものとなる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を図面に基づいて具体的に説明する。
【0029】
図1は、本発明の半導体レーザ素子の断面構造を示す。
【0030】
この半導体レーザ素子は、N−GaAs基板11の上に、層厚0.5μmのN−GaAsバッファ層12、層厚1.0μmのN−Al0.5Ga0.5Asクラッド層13、層厚0.08μmのAl0.14Ga0.86As活性層14、層厚0.35μmのP−Al0.5Ga0.5Asクラッド層15、層厚0.6μmのN−GaAs電流狭窄層16、層厚1.0μmのP−Al0.5Ga0.5Asクラッド層17及び層厚0.5μmのP−GaAsキャップ層18を順次積層し、その上にP−GaAs層19を接着した構造を有する。
【0031】
そして、活性層14を中央として全体の層厚が約100μmになるように、即ち、発光領域より上側の層厚が約50μm、発光領域より下側の層厚が約50μmとなるようにして、上下両面にそれぞれ電極23、24を形成した構造を有する。
【0032】
図2は、本発明の半導体レーザ素子の作製プロセスを示す。
【0033】
図2(a)に示すように、N−GaAs基板11の上にMOCVD法を用いて、層厚0.5μmのN−GaAsバッファ層12、層厚1.0μmのN−Al0.5Ga0.5Asクラッド層13、層厚0.08μmAl0.14Ga0.86As活性層14、層厚0.35μmのP−Al0.5Ga0.5Asクラッド層15及び層厚0.6μmのN−GaAs電流狭窄層16を順次成長させる。その時の成長条件は、成長温度が700℃、成長速度が0.05μm/min、V族モル比/III族モル比が60である。
【0034】
次に、MOCVD装置から上記積層体を取り出し、図2(b)に示すように、この積層体の表面にフォトレジスト21を塗布した後、フォトリソグラフィーを行う。
【0035】
次に、エッチャントを用いてN−GaAs電流狭窄層16をエッチングする。このエッチャントとしては、NH4OH:H2O2:H2O=1:30:50のように、GaAsに比べAlGaAsへのエッチング速度が極めて小さいものを用いる。この場合のエッチング条件は、例えば、10℃、30秒である。
【0036】
このエッチングにより、図2(c)に示すように、溝22がN−GaAs電流狭窄層16を分断するように、P−Al0.5Ga0.5Asクラッド層15の直上に達するまで形成される。その後、アセトン、メタノール及び純水による洗浄等の公知のレジスト除去方法によりフォトレジスト21を除去する。
【0037】
次に、MOCVD装置に上記積層体をセットし、図2(d)に示すように、MOCVD法を用いて、その上面に層厚1.0μmのP−Al0.5Ga0.5Asクラッド層17、層厚0.5μmのP−GaAsキャップ層18を順次成長させる。その時の成長条件は、成長温度が650℃、クラッド層17及びキャップ層18の成長速度が0.05μm/min、V族モル比/III族モル比が60である。
【0038】
次に、上記積層体のGaAsキャップ層の表面を、硫酸系のエッチャントでエッチングし、水洗、乾燥を行う。エッチャントは、H2SO4:H2O2:H2O=1:8:50のようにGaAsに対して比較的エッチング速度の遅いエッチャントを用い、エッチング条件を10℃、10秒とした。
【0039】
図3は、本発明の半導体レーザ素子の熱処理方法を示す。
【0040】
図3(a)に示すように、保持部材であるカーボン製のボート34には、上記積層体であるレーザウェハ33を位置決めする凹部36が上面に形成されており、この凹部36に乾燥されたレーザウェハ33を成長面の鏡面を上にして位置決めしてセットし、その上にP型のGaAs単結晶のウェハ32を、その鏡面を下にして両ウェハの鏡面同士を密着させる。この際、両ウェハの劈開方向を合わせておく。更に、その上に30g/cm2のカーボン製等の重し31を載せ、所定の加重を加える。ここで、上記ウェハ32は、Znドープされキャリア濃度が5×1018cm-3〜1×1019cm-3、転位密度が10000cm-2であるP型のGaAs単結晶を、前述のエッチング方法と同じようにエッチングをして作製したものである。
【0041】
次に、図3(b)に示すように、カーボン製のボート34とカーボン製等の重し31で挟まれた両ウェハを、600℃、流量1L(リットル)/minの水素雰囲気の石英チューブ35内で、1時間の熱処理を行った。両ウェハはこの熱処理によって接着される。
【0042】
ここで、両ウェハの熱処理による接着のメカニズムについて説明する。
【0043】
上記のように、両ウェハを硫酸系のエッチャントで前処理することにより、表面にOH基が吸着され、基板を接触させた時にそれらが水素結合を起こし密着する。このため、両ウェハは室温でも接着強度は弱いながらも接着する。その後の熱処理で脱水縮合により結合強度が強くなると共に、高温の水素により界面に残留している酸化物が還元されたり、Gaの表面マイグレーションが起きて原子の再配列が起きるなどして、接着界面が形成されているものと考えられる。
【0044】
次に、この接着された両ウェハを、活性層を厚さ方向の中央として全体の厚さが100μmになるように研磨、もしくはエッチングを行った後、両面に電極を形成する。
【0045】
電極が形成されたウェハを所定の共振器長に劈開分割し、劈開面に所定の反射率を有する絶縁膜を形成した後、所定のサイズにチップ分割する。
【0046】
上記工程によって作製されたチップをレーザステムにボンディングし、チップ上面にAu線をボンディングする。
【0047】
このチップは、発光領域より上側の層厚が約50μm、発光領域より下側の層厚が50μmとなる。よって、トラッキングサーボ用の1次回折光がディスクから反射して戻ってきた戻り光が、チップ出射端面に当たることなく外れた位置となり、反射によるノイズ光が発生しないため、トラッキングエラーは回避される。
【0048】
熱処理によって接着された2枚のウェハは、研磨やウェハの劈開分割等の作業に支障はなく、ウェハ処理工程に十分耐え得る接着強度のあることが確認された。また、電気特性においても、従来方法のキャップ層を成長させた素子と比べても、何ら差のないことが確認された。
【0049】
尚、上記の実施形態では、GaAsを材料とした半導体レーザ素子について説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、例えば、InPを材料として用いても良い。
【0050】
また、熱処理により両ウェハを接着する条件も、上記の条件に限られるものではなく、水素雰囲気で、活性層近傍の成長温度以下、2時間以内とすれば良く、熱処理時の加重も200g/cm2程度とすれば良いことが確認された。
【0051】
【発明の効果】
上記本発明の半導体レーザ素子によれば、レーザウェハのキャップ層上に単結晶からなる第2のウェハを熱処理により接着するので、成長による不純物拡散に起因する特性悪化をなくすことができ、良好な素子特性及び高信頼性を達成できる。また、チップ分割して作製されたレーザチップの厚さのほぼ中央に活性層を配置するので、戻り光がレーザチップ端面に当たらないようになり、反射によるノイズ光が発生しないので、ディスクからの戻り光によるトラッキングエラーを回避することができる。しかも、この半導体レーザ素子の製造方法は、レーザウェハのキャップ層上に単結晶からなる第2のウェハを熱処理により接着する方法をとるので、成長時間が不要となり、生産性も向上できる。
【0052】
また、特に、上記レーザウェハの厚さに相当するレーザチップの厚さ及び上記第2のウェハの厚さに相当するレーザチップの厚さを上記の条件式(1)を満たす構成とする場合には、戻り光がレーザチップ端面に確実に当たらないようになり、反射によるノイズ光が発生しないので、戻り光によるトラッキングエラーをより一層確実に回避することが可能となる。
【0053】
また、特に、レーザウェハのキャップ層上に単結晶からなる第2のウェハを劈開方向を合わせた状態で接触させ熱処理により接着する方法をとる場合には、成長時間が不要となり、加えて成長による不純物拡散に起因する特性悪化もなくすことができる。このため、特性の良好な半導体レーザ素子を高い信頼性と高い生産性をもって製造することが可能となる。
【0054】
また、特に、レーザウェハを位置決めする凹部を上面に形成した保持部材を用いる場合には、この凹部にレーザウェハの成長表面と前記第2のウェハの鏡面とを劈開方向を合わせ接触させた状態で位置決めして載置でき、さらに所定の加重を加えた状態で熱処理するので、位置ずれもなく接着を一層確実なものとすることができる。
【0055】
また、特に、接着工程の前に、レーザウェハの成長表面と単結晶からなる第2のウェハの鏡面とを硫酸系のエッチング液で前処理する場合には、ウェハ表面にOH基が吸着され、ウェハを接触させた時にそれらが水素結合を起こし密着するため、両ウェハの熱処理による接着をより一層確実なものとすることができる。
【0056】
加えて、レーザウェハに接着される第2のウェハについては、表面の平坦性やキャリア濃度を重視することが必要ではあるが、転位密度10000cm-2程度のものでも特性や信頼性に悪影響がなかったことから、低価格のGaAsウェハを使用することが可能となる。従って、従来のようにレーザの特性を悪化させたり、大幅なコストアップをすることなく、良好な素子特性と高信頼性を持った低価格のレーザチップを作製することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体レーザ素子の断面構造を示す図である。
【図2】本発明の半導体レーザ素子の作製プロセスを示す図である。
【図3】本発明の半導体レーザ素子の熱処理方法を示す図である。
【図4】従来の半導体レーザ素子における戻り光の影響を示す図である。
【図5】従来の半導体レーザ素子における戻り光によるトラッキングエラーを回避する第1の回避方法を示す図である。
【図6】従来の半導体レーザ素子における戻り光によるトラッキングエラーを回避する第2の回避方法を示す図である。
【図7】半導体レーザ素子における戻り光によるトラッキングエラーを回避する第3の回避方法を示す図である。
【符号の説明】
11 N−GaAs基板
12 N−GaAsバッファ層
13 N−Al0.5Ga0.5Asクラッド層
14 Al0.14Ga0.86As活性層
15 P−Al0.5Ga0.5Asクラッド層
16 N−GaAs電流狭窄層
17 P−Al0.5Ga0.5Asクラッド層
18 P−GaAsキャップ層
19 P−GaAs層(第2のウェハ)
21 フォトレジスト
22 チャネル溝
23、24 電極
31 カーボン製等の重し
32 P−GaAsウェハ
33 レーザウェハ
34 保持部材(カーボン製のボート)
35 石英チューブ
41 レーザチップ
42 ステム
43 光ディスク
44 対物レンズ
45 ハーフミラー
46 回折格子
47 レーザチップ出射端面
48 発光領域
49 ディスクから反射して戻ってきた1次回折光
Claims (2)
- 基板上に、第1導電型クラッド層と、第2導電型クラッド層と、該第1導電型クラッド層と該第2導電型クラッド層との間に形成された活性層とが設けられるとともに表面にキャップ層が形成されたレーザウェハの該キャップ層上に単結晶からなる第2のウェハを熱処理により接着し、その後、相互に接着された前記レーザウェハおよび前記第2のウェハが研磨またはエッチングされた状態で、劈開分割により個々のレーザチップに分割することにより、該活性層が該レーザチップの厚さの中央部に位置するとともに、前記活性層よりも上側の厚さをLp、前記活性層よりも下側の厚さをLnとした場合に、下記(1)式の条件を満たす半導体レーザ素子を製造する方法であって、
70μm≦Lp+Ln≦120μm、10μm≦Lp≦60μm、10μm≦Ln≦60μm・・・・(1)
MOCVD法を用いて前記基板上に前記第1導電型クラッド層と前記活性層と前記第2導電型クラッド層と前記キャップ層とが成長された前記レーザウェハの成長表面と前記第2のウェハの鏡面とを硫酸系のエッチング液で前処理する工程と、
その後に、前記レーザウェハの成長表面と前記第2のウェハの鏡面とを劈開方向を合わせた状態で接触させ、水素雰囲気中で熱処理することにより接着する接着工程とを包含する半導体レーザ素子の製造方法。 - 前記接着工程が、前記レーザウェハを位置決めする凹部を上面に形成した保持部材の該凹部に、該レーザウェハの成長表面と前記第2のウェハの鏡面とを劈開方向を合わせて接触させた状態で位置決めして載置し、所定の加重を加えた状態で水素雰囲気中で熱処理することにより行われる請求項1記載の半導体レーザ素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29464797A JP3985978B2 (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | 半導体レーザ素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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---|---|
JPH11135873A JPH11135873A (ja) | 1999-05-21 |
JP3985978B2 true JP3985978B2 (ja) | 2007-10-03 |
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Family Applications (1)
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Publication number | Publication date |
---|---|
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050126 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20050228 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20060317 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070706 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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