JP3980210B2 - ウェハ乾燥装置およびウェハ乾燥方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハの乾燥方法及び乾燥装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウェハの乾燥装置として特開平10−223601に示されているようなバッチ式の回転乾燥装置が知られている。
この方式の回転乾燥装置を用いれば、湿式洗浄されたウェハをホルダーにセットし,そのホルダーを高速で回転し,回転による遠心力でウェハ表面の水滴を除去し、ウェハ表面の乾燥状態を達成することが出来る。
【0003】
この装置を用いた場合、乾燥後のウェハ表面にウォーターマーク(別名:水ガラス)と呼ばれるシミが形成されることがある。このシミは、ウェハの構成元素であるシリコンが水滴中に溶出して乾燥後に残ることによって形成されるものである。
【0004】
たとえば、半導体ウェハ(シリコンウェハ)を希弗酸で処理を行った後に純水洗浄処理を行い、純水洗浄処理後にウェハ表面に残った水滴を乾燥させると、ウェハ表面にウォーターマークが形成される。特に、ウェハ表面に素子や回路パターンによる段差が形成されている場合、段差周辺の水滴を完全に除去することは困難であり、多数の水滴の残留により多数のウォーターマークが形成されることがある。このウォータマークの形成メカニズムについて次に説明する。
【0005】
ウォータ−マークの形成にはウェハ上の残留水,残留水中の溶存酸素無いし雰囲気中からの溶解酸素、および、ウェハから残留水中に溶解したシリコンの3つの要素が必要である。これらがウェハ上の残留水滴中で
Si+H2O+O2→H2SiO3
のように反応してシリコン酸化物の1種が形成される。このシリコン酸化物は残留水滴中に溶存しているが,水滴が徐々に乾燥するとこのシリコン酸化物のみがウェハ上に残り、ウォーターマークとなってウェハ上に現れる。
【0006】
ウォーターマークが形成されると絶縁膜として作用し、その場所にトランジスタ,抵抗,キャパシタ,等のデバイスを形成した際にコンタクト不良の原因となり、歩留まりの低下を引き起こす。
【0007】
また、回転乾燥では下記に述べるようにミストが発生する。
即ち、高速回転乾燥中に、上記のように回転による遠心力によってウェハ表面の水滴が吹き飛ばされるが、吹き飛ばされた水滴が乾燥機内壁に衝突し、その際にミスト状になって雰囲気中に拡散する。
【0008】
このミストが雰囲気中を浮遊しミスト同士や雰囲気中の浮遊物を凝集して大きくなり、この凝集物がウェハ上に付着することがある。これがパーティクルとして後の工程でパターン欠陥の原因となりうる。ウェハ上に形成される素子や回路パターンが微細になるに伴い、ダストやパーティクルは0.1ミクロン程度の微粒子でも欠陥発生の原因となる。また、ウェハ上に形成される素子や回路パターンが微細になるに伴い、ウェハ表面の平面寸法に対する相対的な段差は増大してきている。それに伴ってウォーターマークの形成を防ぐには回転を更に高速化して水滴の残留を防ぐことが必要となる。更に回転の高速化に伴い、ダストの発生は増加し、今後大きな問題となると予想される。
【0009】
回転乾燥に代わるウェハ乾燥方法として減圧乾燥法が知られている。減圧乾燥法とは、チャンバ内に純水洗浄したウェハをセットした後、チャンバ内を減圧してウェハ上の水分を気化させて乾燥を行う方法である。
【0010】
しかしながら、チャンバー内を減圧した時にチャンバー内の温度が残留水分の飽和蒸気圧まで下がると、残留水分が急激に沸騰する。このとき、水滴の内部からも同時に沸騰(蒸発)が起こるので、沸騰の際に水滴の一部がミストとして巻き上げられる。このミストが不雰囲気を浮遊し、ミスト同士や雰囲気中の浮遊物を凝集することがあり,この凝集物がウェハに付着するとパーティクルとして、後の工程でパターン欠陥の原因となりうる。また、水分が気化する際に気化熱によってウェハ表面の温度が低下し水の凝固点(0℃)近くになると、水の沸騰と当時に水の凝固も起こり、凝固した水が遊離して更にパーティクルやダストの発生が促進されることになる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来の乾燥方法では、乾燥後にウェハ表面にウォーターマークが発生したり、ダストやパーティクルが付着したりする問題があった。これらは、半導体素子の製造工程上大きな問題となっていた。
【0012】
本発明の目的はウェハ乾燥後のウォーターマークの発生やダストやパーティクルの付着を抑制することが出来るウェハ乾燥方法及びウェハ乾燥装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るウェハの乾燥装置では上記の問題を解決するため、半導体ウェハを収納可能な乾燥容器と、前記乾燥容器内に載置されたウェハホルダーと、前記乾燥容器内で前記ウェハホルダーの周辺を覆うように前記乾燥容器と離間して形成された複数の空孔部を有する内壁と、前記内壁の内側に密着して設けられた吸収部材と、前記乾燥容器壁面と前記内壁の間の空間を減圧する排気手段と、前記ウェハホルダーを回転する回転手段と、前記乾燥容器の下部に設けられた排水手段とを具備することを特徴とする。
【0015】
更に、前記のウェハの乾燥装置では、前記乾燥容器内にパージガスを供給するパージガス供給口を具備することを特徴とする。
【0020】
また、前記のウェハの乾燥装置では、前記排気手段が主として前記乾燥容器と前記内壁間の領域を減圧することにより、内壁と乾燥容器壁面間の空間を減圧してその部分での水分の滞留をなくすことができる。
【0022】
また、前記吸収部材は、合成繊維ワイパーであることを特徴とする。
【0023】
本発明に係るウェハ乾燥方法では、半導体ウェハを乾燥容器内に設けられた複数の空孔部を有する内壁の内部に設置する工程と、前記ウェハを回転させる工程と、前記乾燥容器内を減圧する工程とを具備し、前記乾燥容器内を減圧する工程は、前記乾燥容器壁面と前記内壁の間の空間を減圧することにより、前記ウェハを回転させる工程により前記ウェハ表面から飛散した水滴が前記内壁の内側に密着して設けられた吸収部材に吸収され、前記複数の空孔部を通過して前記乾燥容器壁面と前記内壁の間の空間に至る工程を含むことを特徴とする。
【0025】
更に、前記乾燥容器内にパージガスを導入する工程を具備することを特徴とする。また、前記ウェハを回転させる工程と、前記乾燥容器内を減圧する工程と、前記乾燥容器内にパージガスを導入する工程とがほぼ同時に開始されることを特徴とする。
【0026】
更に、前記ウェハを乾燥容器内で純水にディップする工程と、前記純水を乾燥容器から排出する工程とを、前記ウェハを回転させる工程及び前記乾燥容器内を減圧する工程の前に具備することを特徴とする。
【0027】
更に、前記ウェハを回転させる工程と、前記乾燥容器を減圧する工程の開始後に、前記乾燥容器内に、水に溶解可能であって水に溶解したときに前記ウェハに対する水の接触角を低下させる物質を添加することを特徴とする。
【0028】
また、前記物質はイソプロピルアルコールであることを特徴とする。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下,図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
(第一実施形態)
本発明の第一の実施の形態(以下、第一実施形態と略す)について説明する。
【0030】
図1は本発明の第一実施形態の乾燥装置にシリコンウェハ1を載置したときの装置要部の概略断面図である。この装置はシリコンウェハ1をチャンバー(乾燥容器)2内に収納した後、回転手段(回転サーボモーター3、及び回転軸4)によってウェハ1を保持したホルダ5を回転させながら減圧下でウェハの乾燥を行うものである。図1は乾燥装置のウェハホルダー5上に互いにほぼ等間隔に回転軸4に沿ってウェハ1が回転可能に収納された状態を示している。ウェハ1の載置に際しては、例えば回転軸4と平行にウェハ1の周囲を支えるように楔型の切り込みの入った石英棒2本(図示せず)をホルダ5の外周部に形成し、その切り込みの位置にウェハ1を載置した後、3本目の同様の石英棒(図示せず)をウェハ上部に載置してウェハホルダ5に固定すればよい。これにより、ウェハ1は回転軸4の周囲で回転可能な状態でホルダ5に対して固定することができる。
【0031】
チャンバ2には排気用のダクト6が連結されており、ダクト6に連結された減圧用のポンプ7によってチャンバ2内の排気が行われる。
チャンバ2にはチャンバ内にパージガスを充填させるためのパージガス用のダクト8が連結されており、これにより乾燥窒素等のパージガスがチャンバ内に導入できるようになっている。
【0032】
チャンバ2の内壁はウェハ回転時にウェハ表面から飛散した水滴が効果的に排出できるように化学処理やフッ素樹脂コーティングのような表面加工が施されている。
【0033】
チャンバ2には圧力モニター用の圧力センサー(図示せず)が取り付けられており、その信号をチャンバ2外部に設置された圧力コントローラを含む制御系に接続することで、パージガスの供給、排気ポンプの排気量を制御してチャンバ内を所定の圧力に制御することが出来る。これにより、チャンバ内にパージガスを連続的に導入しつつ、所定の圧力に制御することが可能となる。
【0034】
サーボモーター3による回転は回転軸4を介して回転軸4と直結したウェハホルダ5に伝わり、ホルダ5が高速で回転できるようになっている。ホルダ5はウェハ重心をホルダの回転中心(回転軸4の延長線)にほぼ一致させるなどして高速回転下でウェハが安定して回転できるように構成されている。また、複数のウェハを回転中心に一致させて、複数枚のウェハを同時に回転させることが可能である。
【0035】
回転軸部分が収納された軸系統部分にはチャンバ2とは別の独立した排気がなされており、回転による軸系統部分からのダストの発生が抑制されている。
次に、図1の装置を用いてシリコンウェハを乾燥させる第1の実施例について説明する。
【0036】
所定のウェット洗浄処理、及びその後の純水洗浄処理を終了したシリコンウェハ1を図示しない導入口よりチャンバー2内部に搬入する。ウェハは通常複数枚が同一のカセットに収納された状態でチャンバ2内に搬入され,ホルダー5にセットされる。
【0037】
複数のウェハ1をホルダー5にセットした後、導入口を閉じ、真空ポンプ7によってチャンバ2内を排気して減圧にする。排気開始とほぼ同時にウェハ1の回転を開始することにより、ウェハ1の減圧回転乾燥がなされる。
【0038】
チャンバ2内の排気はチャンバ2内の圧力が100Torr(13.3kPa)に到達するまで行われ,その圧力に到達した後は到達圧力を保持する。
ホルダ5にセットされたウェハ1の回転数は外部のコントローラによって、設定,制御することができ、通常、2000rpmないし3000rpm程度の高速に設定される。ここで、回転数の増加は1500rpm/sec程度まで可能にされており、回転数の急激な立ち上がりが可能となっている。
【0039】
上記のような減圧と回転を行った後、所定のタイミングで図示しないパージガス導入ポートからパージガスを導入する。パージガスとしては乾燥窒素が望ましいが、クリーンルームエア等を用いてもよく、チャンバー5内部の温度で不活性なガスで、ダストの無いものであれば、使用可能である。
【0040】
望ましい形態の一例としては、チャンバ2内部圧力100Torr、回転数2400rpmの条件下で、60リットル/分程度の乾燥窒素を減圧開始直後から導入する。この状態で三分間の乾燥処理を続ける。この処理の終了後、パージガスの流量を増加させるか、パージガスと同質のリークガスを図示しないリークバルブから導入することにより、チャンバ2内を大気圧まで戻す。その後導入口を開いてホルダ5を取り出し,ウェハ1を搬出する。
【0041】
上記のような減圧回転乾燥を用いてウェハを乾燥させた場合には、ウェハ表面に付着した水滴は外周方向に完全に飛散し、ウォーターマークは形成されず、清浄な表面が得られる場合が多い。
【0042】
しかしながら半導体ウェハ表面に回路パターン等が形成され、表面の段差が大きい場合には、減圧回転乾燥を用いても、段差部分に水滴が残留する場合がある。これは,特に回転軸であるウェハ中心付近に顕著である。本発明者らは、ウェハの回転数、チャンバ2内圧力、パージガスの導入タイミングを適切に設定することによって、更に効果的にウォーターマークの無い半導体ウェハ表面を得ることが出来ることを確認した。
【0043】
図2は、ウェハの回転数、及びパージする乾燥窒素の流量を変化させた時の、ウォーターマークが形成されない条件(ウォータ−マークフリー条件)を斜線で示した図である。
ここで、チャンバー内圧力は100torrとし、パージガスは、減圧開始と同時に導入した。尚,チャンバー5容量は20リットルであり、チャンバー内には、純水洗浄を終了した8インチの半導体ウェハを25枚収納した。
【0044】
この図から、パージガス流量が多いほど、ウェハの回転数が大きいほど、ウォーターマークの形成が抑制されることがわかる。また、この図には示されていないが,1torr(0.13kPa)から、300torr(39kPa)の範囲ではチャンバー内圧力が低いほどウォーターマークが少ないことが確認されている。
【0045】
図3にチャンバー内圧力(最低圧力)に対する、乾燥後のウォーターマーク数及びパーティクル増加数を示した。
尚,ここで、ウェハの回転数は3000rpmに固定し、パージする乾燥窒素の流量は60リットル/minに固定した。パージガスは、減圧開始と同時に導入した。チャンバー5容量は25リットルであり、チャンバー内には、純水洗浄を終了した8インチの半導体ウェハを25枚収納した。
【0046】
図3からわかるように、ウォーターマーク数は300torr付近を境界にして、それ以上では急激に増加している。また、パーティクル数は、20torr付近を境界にしてそれ以下では急激に増加している。パーティクル数が増加するのは既に述べた理由による。すなわち、20torr以下程度の減圧下では水滴の突沸現象によってミストが発生し、それがウェハ表面に付着するためである。このようなパーティクル数の急激な増加を抑制するには、チャンバー内圧力の下限は、図10に示した水の蒸気圧曲線から示される0℃における水の飽和蒸気圧(7torr程度)とすべきである。また、チャンバー内の圧力のばらつき等を考慮して、より好ましくは20torr程度とすべきである。チャンバー内圧力の下限を維持することで、パーティクル数の急激な増加を抑制することが出来る。
【0047】
以上の図2,図3に示した結果から、チャンバー内圧力(最低圧力)を7torrないし300torrの範囲に設定することにより、減圧回転乾燥後の、半導体ウェハ表面のウォーターマーク数,パーティクル数をいずれも低減することが出来る。
【0048】
図4には減圧開始タイミングに対して回転開始タイミングを変化させた時に、乾燥終了後のウェハ表面パーティクル数が変化する様子を示した。
尚,ここで、ウェハの回転数は3000rpmに固定し、パージする乾燥窒素の流量は60リットル/minに固定し、到達最低圧力は100torrとした。また、パージガスは、減圧開始と同時に導入した。チャンバー5容量は20リットルであり、チャンバー内には、純水洗浄を終了した8インチの半導体ウェハを25 枚収納した。
【0049】
図4では減圧開始タイミングに対して回転開始タイミングを1秒刻みで、8条件変化させ、パーティクル数を棒グラフで示した。また、回転開始時のチャンバー内圧力を折れ線で示した。
【0050】
この結果から、減圧開始前から回転を開始していた場合は相対的にパーティクル数が多く、減圧開始と同時,あるいは減圧開始後に回転を開始した場合にはパーティクル数が相対的に少なくなっていることがわかる。また、回転開始タイミングを減圧開始時から遅らせるに従ってパーティクル数がわずかに増加する傾向にあることもわかる。
【0051】
従って,減圧開始と同時あるいは減圧開始以後に回転を開始すること、より好ましくは減圧開始とほぼ同時に回転を開始することがパーティクル数低減には好ましい。
【0052】
次に第一実施形態の装置を用いてウェハを乾燥させる方法の第二実施例について以下に説明する。ここで用いる乾燥装置は図1に示した装置と同様である。
本実施例のうち上記の第一実施例と同様の部分は説明を省略する。本実施例では、チャンバー内にパージガスを導入しない点が第一実施例と異なる。
【0053】
上記の第一実施例と同様に、減圧開始とほぼ同時にウェハの回転を開始し、ウェハの減圧回転乾燥を行う。チャンバー内は例えば30torrあるいはそれ以下まで減圧し、所望の圧力に到達した後にその圧力を保持する。ウェハは、2000ないし3000rpmで高速回転する。この状態で約3分間の処理を行い,その後チャンバー内をリークして大気圧の戻してからウェハをチャンバーから取り出す。
【0054】
この方法により,ウォーターマークの形成は抑制され、乾燥後にウォーターマークの無いウェハ表面を得ることができる。
次に第一実施形態の装置を用いた乾燥方法の第三実施例について以下に説明する。ここで用いる乾燥装置は図1に示した装置と同様である。
【0055】
本実施例も第一実施例と同様にウェハをチャンバー内にセットした後に減圧及び回転乾燥を開始し、さらにパージガスを導入して乾燥を行う。本実施例では,チャンバー内に微量のイソプロピルアルコール(IPA)等の有機溶剤を添加する。すなわち,チャンバー内をある程度減圧状態にした後,チャンバー内にIPAを1cc程度の微量導入する。チャンバー内の減圧雰囲気にIPAが導入されるため、IPAの気化が促進され、気化したIPAはチャンバー内に拡散し、一部がウェハ表面に到達する。このウェハに到達したIPAがウェハ表面で飛散できずに残った水滴中に溶解し,水滴の表面張力を低下させる。これにより、除去が困難であった水滴の回転遠心力による飛散が促進させる。結果として、ウェハの乾燥効率が上がり,ウォーターマークの抑制につながる。
【0056】
本実施例は,通常のIPA蒸気乾燥とはまったく異なるものであり、極微量のIPAを持ちいることでウォーターマークの発生を抑制出来、効率よくウェハの乾燥を行うことができる。
【0057】
(第二実施形態)
次に本発明の第二実施形態について説明する。
本発明の第二実施形態にかかる乾燥装置の第1の実施例を図5に示した概略図を用いて説明する。
チャンバー2、回転サーボモーター3、回転軸4、ホルダ5、排気用ダクト6,排気用ポンプ7、パージガス供給ダクト8等の基本構成は図1に示した第一実施形態の装置と同様であるので説明を省略する。
【0058】
本実施例では,超純水導入口11をチャンバー2の上部に設け、チャンバー2内に設けた複数の超純水供給口12からウェハ1に超純水を供給し,排水口(drain)13から排水するように構成されている。
【0059】
ウェハ表面にウォーターマークが形成されるか否かは、最終リンス工程から乾燥工程に至るまでの経過時間と密接に関係することが本発明者によって確認された。最終リンス工程を行うリンス槽から乾燥工程を行う乾燥機にウェハを搬送する間に,ウェハ及びウェハ上の水滴はクリーンルーム内の大気に晒される。このため、たとえリンス工程で溶存酸素量の少ない超純水を用いてリンスを行っていても、搬送中に大気中の酸素がウェハ表面に付着した水滴に溶け込み、残留水滴中の溶存酸素濃度が高くなる。したがって、ウォーターマーク発生の可能性が高くなる。
【0060】
次に上記本発明の第二実施形態の装置を用いた乾燥方法の第一実施例について説明する。
超純水を用いてリンス工程を行ったウェハ1を図5に示したチャンバー2内にセットする。その後、ウェハ1上に残留している水分、すなわち溶存酸素濃度の高い水分を洗い落とすために、超純水供給口12からウェハ1に溶存酸素量の少ない超純水シャワーをかける。
尚,図5では供給される溶存酸素の少ない超純水を白丸で、酸素溶存量の多い純水を黒丸で模式的に示した。
【0061】
また、ウェハ上にチャンバー内で供給される超純水に酸素が溶解することを防ぐために、チャンバ2内にパージガス供給用ダクト8から乾燥窒素が供給されている。
【0062】
上記したように残留酸素の少ない超純水で溶存酸素濃度の高い水分を洗浄除去した後、減圧回転乾燥等の回転乾燥によりウェハ表面の水分を除去する。
本実施例ではウェハ上の水分は乾燥直前には溶存酸素量の少ない超純水に置き換わっている事から、乾燥工程中にこの残留水分によるウォーターマークの形成を抑制する事が出来る。
【0063】
次に、本発明の第二実施形態にかかる乾燥装置の第二の実施例について、図6を参照して説明する。
尚,本例においても図5に示した装置と同様に、チャンバ−,回転機構、排気部,パージガス供給部等を備えており、図5と同様に作用する。本実施例の装置では,チャンバ内は純水が充填可能に形成されている。
【0064】
この装置を使った乾燥方法の第一実施例を説明する。
本実施例ではあらかじめ乾燥容器内に超純水をため、更に超純水をあふれさせながら、その中にウェハ全体を浸漬させる。
【0065】
この超純水を排水することにより溶存酸素量の多いウェハ表面の残留水分を洗い落とし,その後ウェハを乾燥する。あるいはウェハを乾燥容器内に搬送し、その後乾燥容器内に超純水を導入し、ウェハ全体を浸漬させる。
【0066】
この後、この超純水を排水して溶存酸素量の多いウェハ表面の残留水分を洗い落とし、その後ウェハを乾燥させる。
次に,この装置を用いた乾燥方法の第二の実施例について図6を用いて説明する。
【0067】
リンス工程を終了したウェハをチャンバ2内にセットした後、乾燥窒素によりチャンバー2内をパージする(図6(a))。この時には黒丸で模式的に示した溶存酸素量の多い純水がウェハ表面に残留している。その後,チャンバー2内に超純水導入口14から白丸で模式的に示した超純水を導入してウェハ全体を浸漬させた後(図6(b))、排水口15から排水することにより、ウェハ1上に残留している水分,すなわち溶存酸素濃度が高い水分(黒丸)を洗い流す(図6(c))。このようにして溶存酸素濃度が高い水分を洗い流した後,回転乾燥(減圧回転乾燥)によりウェハ表面の水分を除去する(図6(d))。
【0068】
本実施例においてもウェハ上の残留水中の溶存酸素濃度を乾燥直前には低く押さえられるので、ウォーターマークの形成を抑制する事が可能である。
(第三実施形態)
次に本発明の第三の実施形態について説明する。
【0069】
図7は本発明の第三の実施形態にかかる乾燥装置の第一実施例であり、乾燥装置にウェハを設置したときの概略図である。
この乾燥装置のチャンバー2は、シリコンウェハを保持するホルダ5を収納する主チャンバー部2aと、その下部に設けられたボトムチャンバー2bとからなっている。ボトムチャンバー2bには排気用ダクト6が連結されており、その排気用ダクト6に連結された排気ポンプ7によって強制排気が可能となっている。また,ボトムチャンバー部2bには排水口(drain)21を介して排気ポンプ22が接続され、チャンバー内の水分を強制排出できるようになっている。
【0070】
次に,この装置を用いてウェハ乾燥を行う方法を図7を参照して説明する。
純水等による所定の洗浄を終了したウェハ1は主チャンバー2a内にセットされる。ウェハ1に付着した水滴は下部チャンバー2bに落ちる。
【0071】
ウェハ1のセット後に排気ポンプ7によってチャンバ内部を排気し,同時に排気ポンプ22によって水滴を強制排出する。これらの排気ポンプ7、排気ポンプ22は排水口21を介して単一の排気ポンプを接続して,排気,排水を共に行っても良い。
【0072】
チャンバー2内は排気によって減圧となり,ウェハ1は減圧乾燥される。この際,他の実施形態と同様にチャンバー内にパージ用の乾燥窒素を導入しても良い。
【0073】
また、必要に応じて、IPAを微量添加しても良い。
本実施例にかかる乾燥方法では減圧乾燥中、常時強制排水を行う。このため、主チャンバー2a、及び下部チャンバー2bには最低限の水分しか残らない。このため,チャンバー内残留成分に起因するパーティクルや、ウォーターマークの発生を抑制する事が出来る。
【0074】
本発明の第三実施形態にかかる乾燥装置の第二実施例について、図8をを用いて説明する。図8は第二実施例の乾燥装置にウェハを設置したときの概略構成図である。図8で、図7と同一の部分には同一の符号を付し、説明を省略する。
【0075】
本実施例では,ウェハ1を載置したホルダ5は回転軸4を介して回転サーボモーター3に接続され、ウェハ1は回転可能とされている。
次に,この装置を用いてウェハ乾燥を行う方法を図8を参照して説明する。
【0076】
尚,上記の第一実施例と同様の部分については説明を省略する。
第一実施例では,ウェハは減圧によって乾燥されていたが、本実施例では,チャンバー内の排気開始と同時に回転サーボモータを回転させることにより、減圧回転乾燥によって乾燥させている。これにより、第一実施例よりも迅速に乾燥を行うことが出来る。
【0077】
本実施例でも減圧回転乾燥中、常時強制排水を行う。このため、主チャンバー2a、及び下部チャンバー2bには最低限の水分しか残らない。このため,チャンバー内残留成分に起因するパーティクルや、ウォーターマークの発生を抑制する事が出来る。
(第四実施形態)
次に本発明の第四の実施形態について説明する。
【0078】
図9(a)、図9(b)は本発明の第四の実施形態にかかる乾燥装置の第一実施例であり、乾燥装置にウェハを設置したときの概略図である。図9(a)は回転軸に平行な方向の横断面図であり、図9(b)は回転軸に垂直な方向の縦断面図である。
【0079】
本実施例の構成は図8に示した上記の第三実施形態に類似しており、同一部分には同一の符号を付して説明を省略する。
本実施例では主チャンバー2a内側のウェハ1周囲部分には、ウェハ1を内包するように円筒状に内壁24が形成されている。その内壁24には全面に多数の微空孔24Aが形成されている。また、内壁24の内側には内壁24に密着して吸水性シート26が設けられている。内壁24の外面と主チャンバ2aとの間には空間が形成されている。
【0080】
ここで、吸水性シート26には、多孔質性の素材を用いた布状のもので、発塵の少ないものが望ましい。具体的には,クリーンルーム内で用いる吸水力に優れたワイパーで良く,
真空状態でも極めて発塵の少ないコットンワイパー(cotton wiper),アンチコン(ANTICONTM)等の合成繊維ワイパーを用いることが出来る。
【0081】
次にこの装置を用いてウェハを乾燥する方法について、図9(a)、図9(b)を用いて説明する。
純水等により所定の洗浄処理を行ったウェハ1は主チャンバー2a内の内壁24の内側のホルダー5にセットされる。ホルダー5にセットされたウェハ1は回転乾燥されるが、ウェハ1から飛散した水滴は吸水性シート26に吸水され、更にポンプ7,ポンプ22による排気によって微空孔24Aを通して内壁24の外面と主チャンバー2aとの間の空間に至り、チャンバー下部2bを経由してポンプ22から外部に排出される。また、水蒸気状となったものは、ポンプ7からも排出される。尚,ウェハをチャンバー2a内にセットした後、上記の各実施形態と同様にチャンバー内に乾燥窒素を導入しても良い。
【0082】
本実施例によれば、ウェハから飛散した水滴を吸水シートで吸収するとともに微空孔を通して飛散した水滴を外部に排出する。このため、水滴がチャンバー内壁に衝突してミスト状となって飛散することを防止できる。また、そのミストに起因してウェハ表面にパーティクルが付着することを抑制できる。また、乾燥中はチャンバー内は減圧になっているため、吸水性シートに吸収された水分は微空孔を介してすばやく放出され、、吸水性シートは常に吸水可能にたもたれる。また、たとえ吸水性シートから発塵しても、ダストは微空孔を介して直ちに排出されるので,ウェハにダストが付着することは無い。更に,上記のようにミストが発生しにくい構成となっているためにウェハとチャンバー内壁との距離を大きくとる必要が無く、装置の小型化が可能である。
【0083】
以上,本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施が可能である。
【0084】
【発明の効果】
本発明によれば、ウェハ乾燥後におけるウォーターマークの発生やパーティクルの付着を大幅に低減することが出来、半導体装置の製造プロセス等に使用することにより、素子の信頼性や歩留まり等を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態に係る乾燥装置の一例をしめした図である。
【図2】本発明の第一実施形態に係る乾燥方法で、回転数,乾燥窒素流量を変化させた時のウォーターマークフリーとなる条件の範囲を示した図である。
【図3】到達減圧度に対するウォーターマーク数、及びパーティクル増加数について示した図である。
【図4】減圧開始タイミングと回転開始タイミングの時間差に対するパーティクル数の変化を示した図である。
【図5】本発明の第二実施形態に係る乾燥装置の第一実施例を示した図である。
【図6】本発明の第二実施形態に係る乾燥装置の第二実施例でウェハを乾燥するステップを示した図である。
【図7】本発明の第三実施形態に係る乾燥装置の第一実施例を示した図である。
【図8】本発明の第三実施形態に係る乾燥装置の第二実施例を示した図である。
【図9】本発明の第四実施形態に係る乾燥装置の実施例をしめした図である。
【図10】水の飽和蒸気圧曲線を示した図である。
【符号の説明】
1…ウェハ
2…チャンバー
2a…主チャンバー部
2b…下部チャンバー部
3…回転サーボモーター
4…回転軸
5…ウェハホルダー
6…排気用ダクト
7、22…ポンプ
8…パージガス用ダクト
11,14…超純水導入口
12…超純水供給口
13,15,21…排水口
24…チャンバ内壁
24A…微空孔
25…中空ダクト
26…吸水性シート
Claims (9)
- 半導体ウェハを収納可能な乾燥容器と、
前記乾燥容器内に載置されたウェハホルダーと、
前記乾燥容器内で前記ウェハホルダーの周辺を覆うように前記乾燥容器と離間して形成された複数の空孔部を有する内壁と、
前記内壁の内側に密着して設けられた吸収部材と、
前記乾燥容器壁面と前記内壁の間の空間を減圧する排気手段と、
前記ウェハホルダーを回転する回転手段と、
前記乾燥容器の下部に設けられた排水手段とを具備することを特徴とするウェハの乾燥装置。 - 前記乾燥容器内にパージガスを供給するパージガス供給口を更に具備することを特徴とする請求項1に記載のウェハの乾燥装置。
- 前記吸収部材は合成繊維ワイパーであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のウェハの乾燥装置。
- 半導体ウェハを乾燥容器内に設けられた複数の空孔部を有する内壁の内部に設置する工程と、
前記ウェハを回転させる工程と、
前記乾燥容器内を減圧する工程とを具備し、
前記乾燥容器内を減圧する工程は、前記乾燥容器壁面と前記内壁の間の空間を減圧することにより、前記ウェハを回転させる工程により前記ウェハ表面から飛散した水滴が前記内壁の内側に密着して設けられた吸収部材に吸収され、前記複数の空孔部を通過して前記乾燥容器壁面と前記内壁の間の空間に至る工程を含むことを特徴とするウェハ乾燥方法。 - 前記乾燥容器内にパージガスを導入する工程を更に具備することを特徴とする請求項4に記載のウェハ乾燥方法。
- 前記ウェハを回転させる工程と、前記乾燥容器内を減圧する工程と、前記乾燥容器内にパージガスを導入する工程とがほぼ同時に開始されることを特徴とする請求項5に記載のウェハ乾燥方法。
- 前記ウェハを回転させる工程及び前記乾燥容器内を減圧する工程の前に、前記ウェハを前記乾燥容器内で純水にディップする工程と、前記純水を前記乾燥容器から排出する工程とを更に具備することを特徴とする請求項4乃至請求項6のいずれか1項に記載のウェハ乾燥方法。
- 前記ウェハを回転させる工程及び前記乾燥容器内を減圧する工程の開始後に、前記乾燥容器内に、水に溶解可能であって水に溶解したときに前記ウェハに対する水の接触角を低下させる物質を微量に添加する工程を更に具備することを特徴とする請求項4乃至請求項7のいずれか1項に記載のウェハ乾燥方法。
- 前記水の接触角を低下させる物質は、イソプロピルアルコールであることを特徴とする請求項8に記載のウェハ乾燥方法。
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