JP3975029B2 - 動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 - Google Patents
動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3975029B2 JP3975029B2 JP19164099A JP19164099A JP3975029B2 JP 3975029 B2 JP3975029 B2 JP 3975029B2 JP 19164099 A JP19164099 A JP 19164099A JP 19164099 A JP19164099 A JP 19164099A JP 3975029 B2 JP3975029 B2 JP 3975029B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- vibration absorber
- sample
- dynamic vibration
- dynamic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばフレームやカバー等の振動発生部から生じる機械振動を低減することによって、低ノイズの測定データを得ることが可能な動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、走査型プローブ顕微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope )の一例として、ビニッヒ(Binnig)やローラー(Rohrer)等によって、走査型トンネル顕微鏡(STM:Scanning Tunneling Microscope )が発明されている。しかし、STMでは、観察できる試料が導電性の試料に限られている。そこで、サーボ技術を始めとするSTMの要素技術を利用し、絶縁性の試料を原子オーダーの分解能で観察できる装置として原子間力顕微鏡(AFM:Atomic Force Microscope )が提案されている。
【0003】
AFM構造は、SPMの一つとして位置付けられており、例えば図3(a)に示すように、試料2をセット可能なステージ4と、試料2の表面情報を測定することが可能なセンサヘッド6とを備えている。ステージ4は、ベース8上に支持されており、センサヘッド6は、フレーム10を介してベース8上に支持されている。そして、このようなAFM構造(ステージ4、センサヘッド6、フレーム10)は、その全体がカバー12によって覆われており、外界からの影響を受けないようになっている。
【0004】
センサヘッド6には、先端が尖鋭化したカンチレバー14と、このカンチレバー14をステージ4上の試料2に対して相対的に駆動させる駆動機構(例えば、チューブ型ピエゾスキャナ、チューブ型圧電体スキャナ等;図示しない)と、カンチレバー14の先端の変位を検出可能な変位センサ(図示しない)とが設けられており、駆動機構及びセンサヘッドは、夫々、制御部16によって駆動制御されている。
【0005】
このような構成において、ステージ4上にセットされた試料2に対してカンチレバー14先端を近接させると、カンチレバー14先端と試料2表面との間に働く相互作用(例えば、原子間力、接触力、粘性、摩擦力、磁気力等)によってカンチレバー14先端が変位する。そして、このようなカンチレバー14先端の変位を検出しながら、カンチレバー14先端を試料2表面に沿って相対的に走査することによって、制御部16は、センサヘッド6からの出力信号(具体的には、変位センサから出力された変位センサ信号)に基づいて、試料2の測定データ(例えば、表面凹凸情報)をモニタ18上に三次元的に画像表示させる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、走査型プローブ顕微鏡は、原子オーダーの分解能で試料2の表面情報を測定することができる装置であるため、例えば、騒音、空調装置の送風、床振動、走査型プローブ顕微鏡内部の駆動機構からの振動等のノイズの影響を受け易くなっている。そこで、従来では、精密除振台20上に走査型プローブ顕微鏡の構成を配置することによって、床振動の影響を低減すると共に、カバー12を設けることによって、騒音や空調装置の送風の影響を低減している。
【0007】
しかしながら、カバー12自体が振動したり、走査型プローブ顕微鏡内部の駆動機構からの振動によってフレーム10が振動した場合、センサヘッド6には、フレーム10の振動が直接作用すると共に、カバー12の振動が間接的に作用する。そして、このような各種の振動がセンサヘッド6に作用すると、カンチレバー14先端と試料2表面との間の相対変位を変化させることになり、その結果、各種の振動がセンサヘッド6からの出力信号に振動ノイズとなって混入し、その振動ノイズの影響によって、試料2の測定データを正確に得ることができなってしまう。
【0008】
そこで、上述したような振動ノイズの影響を低減させる方法として、例えば特開平7−140153号公報には、フレームやカバー等の振動発生部の固有振動周波数を予め計測しておいて、測定時に、その固有振動周波数をセンサヘッドの出力信号から除去することによって、振動ノイズを低減させる方法が提案されている。
【0009】
しかしながら、このような方法において、測定範囲を越えるような振動が振動発生部から生じた場合には、高分解能の測定データを得られなくなってしまうといった問題がある。例えば測定範囲が6μmの走査型プローブ顕微鏡において、3μmの振動が発生した場合、この3μmの振動は、振動ノイズとしてセンサヘッドの出力信号から除去される。このため、実際の測定範囲は3μmとなり、測定範囲が制限されてしまうため、高分解能の測定データを得られなくなってしまう。
【0010】
また、上述したような振動ノイズの影響を低減させる他の方法として、フレームやカバー等の振動発生部に能動型動吸振器をセットして、振動発生部からの振動を能動型動吸振器によって相殺する方法が提案されている。
【0011】
図3(b)には、振動発生部Q1と能動型動吸振器Q2の物理モデルが直交座標XYZのZ軸方向に沿って組み合わされた構成が示されている。
【0012】
振動発生部Q1は、基台22上に構成されており、等価質量Mと、等価剛性Kと、等価減衰Cとによって表されている。また、能動型動吸振器Q2は、振動発生部Q1上に組み合わされており、錘mと、等価剛性K′と、アクチュエータ24と、振動センサ26と、アクチュエータ24及び振動センサ26を制御する制御部28とによって表されている。
【0013】
この場合、振動発生部Q1が振動すると、その振動は、振動センサ26によって検出され、このとき、制御部28は、振動センサ26から出力された振動信号に基づいてアクチュエータ24を制御して、反力が振動発生部Q1の振動を相殺するように能動型動吸振器Q2の錘mを駆動させる。例えば振動発生部Q1が+Z軸方向に振動した場合、能動型動吸振器Q2の錘mを−Z軸方向に駆動させることによって、振動発生部Q1からの振動を能動型動吸振器Q2によって相殺することができる。
【0014】
しかしながら、このような構成では、アクチュエータ24に加えて、振動センサ26や制御部28が別途必要となるため、部品点数が増加して製造コストが上昇してしまうといった問題がある。
【0015】
本発明は、上述した課題を解決するために成されており、その目的は、ノイズを低減した測定データを正確に且つ高分解能に得ることが可能な低コストな動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明の動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡は、試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドと、振動発生部に設けられ、且つ、振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることが可能な動吸振器と、センサヘッドの出力信号に基づいて、動吸振器を制御する動吸振器制御部とを備えている。
【0017】
また、本発明の測定方法において、試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、試料の測定データを得る間に、動吸振器制御部は、センサヘッドの出力信号に基づいて、振動発生部に設けられた動吸振器を制御して、振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1の実施の形態に係る動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法について、図1を参照して説明する。
【0019】
なお、本実施の形態の説明に際し、図3(a)で説明した構成と同一の構成には、同一符号を付して、その説明を省略する。
【0020】
図1(a),(b)に示すように、走査型プローブ顕微鏡には、その振動発生部に、夫々、動吸振器制御部30によって制御可能な動吸振器32が設けられている。
【0021】
本実施の形態において、振動発生部は、その一例として、フレーム10及びカバー12を想定しており、これらフレーム10及びカバー12に動吸振器32が夫々配置されている。なお、これ以外に振動発生部が存在する場合には、それに合わせて動吸振器32を配置させることは言うまでも無い。
【0022】
動吸振器32は、この動吸振器32を振動発生部に取り付けるための取付台34と、錘36と、取付台34上に設けられ且つ錘36を駆動させるためのアクチュエータ38と、このアクチュエータ38の周囲に配置され且つ動吸振器32の動作を安定化させるための粘弾性部材40とを備えている。
【0023】
アクチュエータ38としては、例えば、圧電体、磁歪材、ボイスコイル等を利用することが可能であり、また、粘弾性部材40としては、例えばゴム等を利用することが可能である。
【0024】
このような動吸振器32によれば、動吸振器制御部30によって動吸振器32(具体的には、アクチュエータ38)を制御すると、そのアクチュエータ38によって錘36を所定方向に所定量だけ駆動させることができる。
【0025】
また、走査型プローブ顕微鏡には、予め計測した振動発生部(フレーム10、カバー12)の固有振動周波数の近傍成分を、センサヘッド6の出力信号(具体的には、変位センサから出力された変位センサ信号)から抽出して、動吸振器制御部30に出力することが可能なフィルタ(例えば、ノッチフィルタ、ハイパスフィルタ等)が設けられている。
【0026】
フィルタには、フレーム10の固有振動周波数の近傍成分を抽出するフレーム用フィルタ42と、カバー12の固有振動周波数の近傍成分を抽出するカバー用フィルタ44とが含まれる。
【0027】
本実施の形態では、振動発生部(フレーム10、カバー12)が1つの固有振動周波数で振動する場合を想定しており、その振動は、振動発生部の振動ノイズを反映したものとなる。
【0028】
上述したような構成において、動吸振器制御部30は、フィルタ(フレーム用フィルタ42、カバー用フィルタ44)によって抽出された振動発生部(フレーム10、カバー12)の固有振動周波数(即ち、振動ノイズ)の近傍成分に基づいて、動吸振器32(具体的には、アクチュエータ38)を制御して、反力が振動発生部の振動を相殺するように錘36を駆動させる。
【0029】
以下、本実施の形態の動作について、具体的に説明する。
【0030】
カンチレバー14先端を試料2表面に沿って相対的に走査しながら試料2を測定している状態において、振動発生部(フレーム10、カバー12)が、その固有振動周波数で振動すると、その振動によってカンチレバー14先端と試料2表面との間の相対的な変位が変化して、その結果、振動発生部からの振動が、センサヘッド6の出力信号(変位センサから出力された変位センサ信号)に振動ノイズとなって混入する。
【0031】
振動ノイズが混入したセンサヘッド6の出力信号(変位センサの変位センサ信号)は、続いて、フレーム用フィルタ42及びカバー用フィルタ44に入力される。このとき、フレーム用フィルタ42では、フレーム10の固有振動周波数の近傍成分が抽出され、一方、カバー用フィルタ44では、カバー12の固有振動周波数の近傍成分が抽出される。この場合、フレーム用フィルタ42で抽出されたフレーム10の固有振動周波数の近傍成分は、フレーム10の振動に起因した振動ノイズを反映したノイズ成分(以下、フレームノイズ成分と言う)であり、一方、カバー用フィルタ44で抽出されたカバー12の固有振動周波数の近傍成分は、カバー12の振動に起因した振動ノイズを反映したノイズ成分(以下、カバーノイズ成分と言う)である。
【0032】
動吸振器制御部30は、フレームノイズ成分に基づいて、フレーム10に配置された動吸振器32(アクチュエータ38)を制御して、反力がフレーム10の振動を相殺するように錘36を駆動させると共に、また、カバーノイズ成分に基づいて、カバー12に配置された動吸振器32(アクチュエータ38)を制御して、反力がカバー12の振動を相殺するように錘36を駆動させる。
【0033】
具体的には、動吸振器制御部30は、固有振動周波数で振動している振動発生部(フレーム10、カバー12)の位相とは逆位相となるように、動吸振器32のアクチュエータ38を制御して錘36を駆動させる。この結果、振動発生部(フレーム10、カバー12)からの振動ノイズを低減した試料2の測定データを得ることができる。
【0034】
なお、このような制御に際して、アクチュエータ38を制御するための制御信号(逆位相、ゲイン)は、シミュレーションによって予め設定しておくことも可能であるが、実験的に設定することも可能である。
【0035】
このように本実施の形態によれば、試料2の測定時に、センサヘッド6の出力信号(変位センサの変位センサ信号)から振動ノイズ(フレームノイズ成分、カバーノイズ成分)を抽出し、その振動ノイズに基づいて動吸振器32を制御するだけで、振動ノイズを低減した測定データを正確に得ることができる。従って、従来技術のように振動センサや制御部を別途必要とすることが無いため、部品点数が減少して製造コストを軽減させることができる。更に、従来技術のようにセンサヘッド6の出力信号から振動ノイズを除去するといった信号処理を行う必要が無いため、測定データの信頼性を向上させることが可能となり、その結果、測定範囲を越えるような振動が振動発生部から生じた場合であっても、常に、高分解能な測定データを得ることができる。
【0036】
次に、本発明の第2の実施の形態に係る動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法について、図2を参照して説明する。
【0037】
なお、本実施の形態の説明に際し、上述した第1の実施の形態と同一の構成には、同一符号を付して、その説明を省略する。
【0038】
図2に示すように、走査型プローブ顕微鏡には、センサヘッド6の出力信号(変位センサから出力された変位センサ信号)に基づいて、動吸振器32{具体的には、アクチュエータ38(図1(b)参照)}を制御するための制御信号を動吸振器制御部30に出力することが可能なフィルタ(例えば、ノッチフィルタ、ハイパスフィルタ等)が設けられている。
【0039】
フィルタは、振動発生部(フレーム10、カバー12)の振動特性(例えば、1又はそれ以上の固有振動周波数等)に応じて、動吸振器32(アクチュエータ38)を制御する制御信号を出力するための伝達関数を適宜設定することができるように構成されている。
【0040】
伝達関数を設定する方法は、実際に試料2を測定する前に、カンチレバー14先端を試料2表面に近接させた状態で、或いは、カンチレバー14先端を試料2表面に沿ってプレスキャンしながら、動吸振器制御部30によって各動吸振器32(アクチュエータ38)を適当な振動信号で制御して、錘36(図1(b)参照)を駆動させ、振動発生部(フレーム10、カバー12)を振動させる。そして、振動発生部を振動させた状態において、振動発生部の振動信号と、センサヘッド6の出力信号(変位センサから出力された変位センサ信号)との関係(変位センサ信号/振動信号)を求めた後、この関係の逆関数(振動信号/変位センサ信号)を伝達関数として設定する。
【0041】
また、フィルタには、フレーム10に配置された動吸振器(アクチュエータ38)を制御するための制御信号を出力するフレーム用フィルタ46と、カバー12に配置された動吸振器(アクチュエータ38)を制御するための制御信号を出力するカバー用フィルタ48とが含まれる。
【0042】
なお、その他の構成は、上述した第1の実施の形態と同一であるため、その説明は省略する。
【0043】
以下、本実施の形態の動作について、具体的に説明する。
【0044】
カンチレバー14先端を試料2表面に沿って相対的に走査しながら試料2を測定している状態において、振動発生部(フレーム10、カバー12)が振動すると、その振動によってカンチレバー14先端と試料2表面との間の相対的な変位が変化して、その結果、振動発生部からの振動が、センサヘッド6の出力信号(変位センサの変位センサ信号)に振動ノイズとなって混入する。
【0045】
振動ノイズが混入したセンサヘッド6の出力信号(変位センサの変位センサ信号)は、続いて、フレーム用フィルタ46及びカバー用フィルタ48に入力される。このとき、フレーム用フィルタ46からは、上述した伝達関数(振動信号/変位センサ信号)に基づいて、フレーム10に配置された動吸振器32(アクチュエータ38)を制御するための制御信号が出力され、一方、カバー用フィルタ48からは、上述した伝達関数(振動信号/変位センサ信号)に基づいて、カバー12に配置された動吸振器32(アクチュエータ38)を制御するための制御信号が出力される。
【0046】
動吸振器制御部30は、各々の制御信号に基づいて、フレーム10に配置された動吸振器32(アクチュエータ38)を制御して、反力がフレーム10の振動を相殺するように錘36を駆動させると共に、カバー12に配置された動吸振器32(アクチュエータ38)を制御して、反力がカバー12の振動を相殺するように錘36を駆動させる。この結果、振動発生部(フレーム10、カバー12)からの振動ノイズを低減した試料2の測定データを得ることができる。
【0047】
このように本実施の形態によれば、振動発生部(フレーム10、カバー12)の振動特性に応じて、動吸振器32(アクチュエータ38)を制御する制御信号を出力するための伝達関数を適宜設定することが可能なフィルタ(フレーム用フィルタ46及びカバー用フィルタ48)を用いたことによって、振動発生部が1又はそれ以上の固有振動周波数を有する場合であっても、また、振動発生部の固有振動周波数が未知数であっても、振動発生部からの振動ノイズを低減した試料2の測定データを得ることができる。
【0048】
なお、その他の効果は、上述した第1の実施の形態と同一であるため、その説明は省略する。
【0049】
また、本発明は、上述した第1及び第2の実施の形態の構成に限定されることは無く、以下のように種々変更することが可能である。
【0050】
上述した第1及び第2の実施の形態では、カンチレバー走査型のプローブ顕微鏡を想定して説明したが、これとは逆に、試料2をカンチレバー14に対して移動させる試料走査型のプローブ顕微鏡にも、本発明の技術を適用することができる。また、上述した第1及び第2の実施の形態では、特に説明しなかったが、カンチレバー14を所定の共振周波数で励振させながら測定するダイナミックモード測定や、カンチレバー14を励振させること無く測定するスタティックモード測定にも、本発明の技術を適用することができる。
【0051】
【発明の効果】
本発明によれば、ノイズを低減した測定データを正確に且つ高分解能に得ることが可能な低コストな動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、本発明の第1の実施の形態に係る動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡の構成を示す図、(b)は、動吸振器の構成を示す図。
【図2】本発明の第2の実施の形態に係る動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡の構成を示す図。
【図3】(a)は、従来の走査型プローブ顕微鏡の構成を示す図、(b)は、振動発生部からの振動を能動型動吸振器によって相殺する方法を説明するための物理モデル。
【符号の説明】
2 試料
6 センサヘッド
10 フレーム
12 カバー
14 カンチレバー
30 動吸振器制御部
32 動吸振器
Claims (7)
- 試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドと、
振動発生部に設けられ、且つ、振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることが可能な動吸振器と、
センサヘッドの出力信号に基づいて、動吸振器を制御する動吸振器制御部とを備えていることを特徴とする動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。 - 試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドと、
振動発生部に設けられ、且つ、振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることが可能な動吸振器と、
振動発生部とセンサヘッド間の伝達関数に基づいて、動吸振器を制御する動吸振器制御部とを備えていることを特徴とする動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。 - 動吸振器は、錘と、錘を駆動させるためのアクチュエータとを備えていることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
- 動吸振器制御部は、固有振動周波数で振動している振動発生部の振動位相とは逆位相となるように、動吸振器のアクチュエータを制御して錘を駆動させることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
- アクチュエータは、少なくとも圧電体、磁歪材、ボイスコイルのいずれか一つを有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
- 走査型プローブ顕微鏡の測定方法であって、
試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、
試料の測定データを得る間に、動吸振器制御部は、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドの出力信号に基づいて、振動発生部に設けられた動吸振器を制御して、
振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることを特徴とする測定方法。 - 走査型プローブ顕微鏡の測定方法であって、
試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、
試料の測定データを得る間に、動吸振器制御部は、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドと振動発生部と間の伝達関数基づいて、振動発生部に設けられた動吸振器を制御して、
振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることを特徴とする測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19164099A JP3975029B2 (ja) | 1999-07-06 | 1999-07-06 | 動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19164099A JP3975029B2 (ja) | 1999-07-06 | 1999-07-06 | 動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001021477A JP2001021477A (ja) | 2001-01-26 |
JP2001021477A5 JP2001021477A5 (ja) | 2005-10-27 |
JP3975029B2 true JP3975029B2 (ja) | 2007-09-12 |
Family
ID=16278029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19164099A Expired - Fee Related JP3975029B2 (ja) | 1999-07-06 | 1999-07-06 | 動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3975029B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4688643B2 (ja) * | 2005-11-10 | 2011-05-25 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 加振型カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 |
JP6955137B2 (ja) * | 2016-11-14 | 2021-10-27 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 圧電式アクチュエータ及び圧電式バルブ |
CN108015627B (zh) * | 2017-12-25 | 2023-11-10 | 东莞捷荣技术股份有限公司 | 一种用于cnc机台探头的检测控制装置及其控制方法 |
-
1999
- 1999-07-06 JP JP19164099A patent/JP3975029B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001021477A (ja) | 2001-01-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Fleming et al. | Bridging the gap between conventional and video-speed scanning probe microscopes | |
Schitter et al. | Design and modeling of a high-speed AFM-scanner | |
JP5164147B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡およびカンチレバー駆動装置 | |
JP5202337B2 (ja) | 検知システムの使用方法および補償システム | |
US7979916B2 (en) | Preamplifying cantilever and applications thereof | |
EP2428804B1 (en) | A method for driving a scanning probe microscope at elevated scan frequencies | |
US7631547B2 (en) | Scanning probe apparatus and drive stage therefor | |
JP3975029B2 (ja) | 動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 | |
US5681987A (en) | Resonance contact scanning force microscope | |
JP2004163390A (ja) | 非接触式表面測定装置及びその測定方法 | |
JP2000346784A (ja) | 粘弾性分布測定方法 | |
JP4391925B2 (ja) | 原子間力顕微鏡 | |
JP2002082036A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用スキャナー | |
JP3179380B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP4378385B2 (ja) | 走査型プローブ装置における駆動ステージ、走査型プローブ装置 | |
JP3738593B2 (ja) | 振動発生体の励振力測定方法 | |
JP3497913B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法 | |
Mahmood et al. | Spiral scanning: An alternative to conventional raster scanning in high-speed scanning probe microscopes | |
WO2021044934A1 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡及び走査型プローブ顕微鏡の駆動制御装置 | |
JPH08248040A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法 | |
JP2001021477A5 (ja) | ||
JPH1038900A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡の探針・試料接近機構 | |
JP3809893B2 (ja) | 走査プローブ顕微鏡 | |
JPH11271343A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP5077938B2 (ja) | 原子間力顕微鏡装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050826 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050826 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070604 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070612 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070618 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100622 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |