JP2001021477A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2001021477A5 JP2001021477A5 JP1999191640A JP19164099A JP2001021477A5 JP 2001021477 A5 JP2001021477 A5 JP 2001021477A5 JP 1999191640 A JP1999191640 A JP 1999191640A JP 19164099 A JP19164099 A JP 19164099A JP 2001021477 A5 JP2001021477 A5 JP 2001021477A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- sample
- measurement data
- probe microscope
- scanning probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 18
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】 試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドと、
振動発生部に設けられ、且つ、振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることが可能な動吸振器と、
センサヘッドの出力信号に基づいて、動吸振器を制御する動吸振器制御部とを備えていることを特徴とする動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドと、
振動発生部に設けられ、且つ、振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることが可能な動吸振器と、
振動発生部とセンサヘッド間の伝達関数に基づいて、動吸振器を制御する動吸振器制御部とを備えていることを特徴とする動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】動吸振器は、錘と、錘を駆動させるためのアクチュエータとを備えていることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】動吸振器制御部は、固有振動周波数で振動している振動発生部の振動位相とは逆位相となるように、動吸振器のアクチュエータを制御して錘を駆動させることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
【請求項５】アクチュエータは、少なくとも圧電体、磁歪材、ボイスコイルのいずれか一つを有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
【請求項６】走査型プローブ顕微鏡の測定方法であって、
試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、
試料の測定データを得る間に、動吸振器制御部は、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドの出力信号に基づいて、振動発生部に設けられた動吸振器を制御して、
振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることを特徴とする測定方法。
【請求項７】走査型プローブ顕微鏡の測定方法であって、
試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、
試料の測定データを得る間に、動吸振器制御部は、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドと振動発生部と間の伝達関数基づいて、振動発生部に設けられた動吸振器を制御して、
振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることを特徴とする測定方法。
【請求項１】 試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドと、
振動発生部に設けられ、且つ、振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることが可能な動吸振器と、
センサヘッドの出力信号に基づいて、動吸振器を制御する動吸振器制御部とを備えていることを特徴とする動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドと、
振動発生部に設けられ、且つ、振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることが可能な動吸振器と、
振動発生部とセンサヘッド間の伝達関数に基づいて、動吸振器を制御する動吸振器制御部とを備えていることを特徴とする動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】動吸振器は、錘と、錘を駆動させるためのアクチュエータとを備えていることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】動吸振器制御部は、固有振動周波数で振動している振動発生部の振動位相とは逆位相となるように、動吸振器のアクチュエータを制御して錘を駆動させることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
【請求項５】アクチュエータは、少なくとも圧電体、磁歪材、ボイスコイルのいずれか一つを有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。
【請求項６】走査型プローブ顕微鏡の測定方法であって、
試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、
試料の測定データを得る間に、動吸振器制御部は、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドの出力信号に基づいて、振動発生部に設けられた動吸振器を制御して、
振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることを特徴とする測定方法。
【請求項７】走査型プローブ顕微鏡の測定方法であって、
試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、
試料の測定データを得る間に、動吸振器制御部は、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドと振動発生部と間の伝達関数基づいて、振動発生部に設けられた動吸振器を制御して、
振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることを特徴とする測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19164099A JP3975029B2 (ja) | 1999-07-06 | 1999-07-06 | 動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19164099A JP3975029B2 (ja) | 1999-07-06 | 1999-07-06 | 動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001021477A JP2001021477A (ja) | 2001-01-26 |
| JP2001021477A5 true JP2001021477A5 (ja) | 2005-10-27 |
| JP3975029B2 JP3975029B2 (ja) | 2007-09-12 |
Family
ID=16278029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19164099A Expired - Fee Related JP3975029B2 (ja) | 1999-07-06 | 1999-07-06 | 動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3975029B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4688643B2 (ja) * | 2005-11-10 | 2011-05-25 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 加振型カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 |
| JP6955137B2 (ja) * | 2016-11-14 | 2021-10-27 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 圧電式アクチュエータ及び圧電式バルブ |
| CN108015627B (zh) * | 2017-12-25 | 2023-11-10 | 东莞捷荣技术股份有限公司 | 一种用于cnc机台探头的检测控制装置及其控制方法 |
-
1999
- 1999-07-06 JP JP19164099A patent/JP3975029B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3912543B2 (ja) | 軸受装置の剛性評価装置及び方法、製造装置及び製造方法、並びに軸受装置 | |
| ATE463776T1 (de) | Schubmessystem | |
| Toda et al. | Contact-type vibration sensors using curved clamped PVDF film | |
| KR900702502A (ko) | 악기의 음 지속 및 변환기 | |
| NZ333450A (en) | Method and arrangement for nondestructive classification by measuring acoustic resonance frequencies of object | |
| US6684681B1 (en) | Mechanical ultrasonic and high frequency sonic device | |
| US5154403A (en) | Power plant suspension device | |
| WO2005031186A3 (en) | Active vibration absorber and method | |
| US5612495A (en) | Non-destructive examination device | |
| JP2001021477A5 (ja) | ||
| JP2003156096A (ja) | 振動制御装置 | |
| EP0811782A3 (en) | Vibration damper | |
| JP3975029B2 (ja) | 動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 | |
| Okada et al. | New airborne ultrasonic transducer with high output sound pressure level | |
| JP2800516B2 (ja) | エンジン振動低減装置 | |
| EP0999379A3 (en) | Active vibration control | |
| KR100501387B1 (ko) | 가속페달의 진동감쇄장치 | |
| JPH0411542A (ja) | 車室内騒音低減装置 | |
| JPH0531543Y2 (ja) | ||
| Flatau et al. | Magnetostrictive vibration control systems | |
| JPH0732994Y2 (ja) | 振動体制振装置 | |
| JP3976871B2 (ja) | 超音波美容装置 | |
| JP4623611B2 (ja) | モノパルス状変位発生方法及び装置 | |
| SU1446648A1 (ru) | Стенд дл исследовани смычковых музыкальных инструментов | |
| JPH0277637A (ja) | 粘弾性測定装置 |