JP3970142B2 - 炭化けい素のオーミック電極構造および半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、炭化けい素(以下「SiC」と称する)における接触抵抗の小さいオーミック電極構造並びに該電極を用いた半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
SiCは広いバンドギャップ、高い最大電界強度を持つため、シリコン半導体に対してシリーズ抵抗分を下げられる特色を持つ。このため、大電力、高耐圧の電力用デバイスへの応用が展開されている。特に、ショットキーダイオード(SBD)、縦型MOSFE素子が期待されている。
【0003】
しかしながら、適切なオーミック電極構造がなく、オーミック電極による電圧降下が大きため、SiCの電力用素子はまだ実用に至っていない。
【0004】
図3は従来のSiC半導体におけるオーミック電極構造を説明する図であり、従来のオーミック電極構造をダイオード素子に適用したものである。
【0005】
N+型SiC半導体基板1の表面にエピタキシアルN型SiC半導体層2を形成し、N型SiC半導体層2の表面にP型不純物であるアルミニウム(Al)またはボロン(B)のイオン注入によりP型SiC拡散層3を形成してある。
【0006】
N+型SiC半導体基板1のN型SiC半導体層2と反対側の表面にカソード電極5が形成されオーミック電極構造をとっている。カソード電極はニッケル(Ni)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、チタン(Ti)等をN+型SiC半導体基板1表面に蒸着し、800℃から1200℃の高温で熱処理することにより形成する。中でもNiを用いたオーミック電極は10−5Ω・cm2台の実用的な接触抵抗値を示し、有望なオーミック電極である。しかしまだまだ改善の余地はある。
【0007】
このようにSiC半導体基板表面に直接金属膜を形成し、その後熱処理を行う方法では、金属とSiC中のSiとが反応し、金属シリサイド層が形成される。この金属シリサイド層はSiC基板中に金属原子が侵入して形成されるが、この金属原子の侵入は、SiC結晶の表面状態の影響を受け、均一にならない。具体的には表面が炭素で覆われている部分では、金属シリサイドが形成されない。
【0008】
そのためSiC基板に金属が接触する部分と金属シリサイドが接触する部分とが混在する構造になり、障壁高さがばらつくという不確定要素を含んでしまう。このため、金属層の下または上にSi層を堆積し、両者の間でシリサイドを作るオーミック電極の作成方法も提案されている。
【0009】
また、金属シリサイド層には、不純物が添加されていないため、SiC中に添加されている不純物を金属シリサイドが吸収し、SiC基板と金属シリサイド層との界面近傍の不純物濃度が下がり、高抵抗層が形成されてしまったり、障壁の高さが変化してしまうという問題があった。
【0010】
この問題を解決するための方法が特許公開公報2001−185507号に公開されている。SiC半導体基板表面にSiCに添加されている不純物と同一導電型の10×18atom/cm3の燐あるいは砒素の不純物を添加したSi膜を形成し、このSi膜表面に金属膜を形成し、800℃以上の加熱処理を行い、前記不純物が添加された金属シリサイド層を形成することによりオーミック電極を形成する方法である。
【0011】
金属はNiが望ましく、ニッケルシリサイド(Ni2Si)を形成するためにシリコン(Si)とNiの厚さの比率(Si:Ni)を1:2とするのが望ましい。一般に、N型SiC基板に対するオーミック電極はP型SiC拡散層に対するオーミック電極より接触抵抗は少ない。
【0014】
前述の特許公開公報2001−185507号に公開されているSiC半導体と金属の間にSiCに含まれている不純物と同一の不純物を含むSi層を設ける方式はもちろんP型SiC拡散層3の場合にも適用できる。
【0015】
前述した方法で製造したオーミック電極は、P型SiC拡散層における接触抵抗が低減しないことが問題となっている。
P型SiC拡散層3における接触抵抗が低減しない大きな理由の一つにAl等とP型SiC拡散層3との間にシリコン酸化膜が存在することがあげられる。
【0016】
この酸化膜を除去するためにTiを用いる方式が公開特許公報平1−268121号に開示されている。TiとAlまたはAl−Si合金の二層をP型SiC拡散層3に堆積し、900℃から1000℃で5分間熱処理をするものである。TiはP型SiC拡散層3の上のシリコン酸化膜を還元する役目がある。
【0017】
Tiの膜厚はこの熱処理中にAlがP型SiC拡散層3の表面まで拡散し、P型SiC拡散層3の表面濃度が下がらないように必要最小限の厚さとする。AlのかわりにAl−Siの合金を用いることもできる。
【0018】
Alの融点は660℃であり、AlとSiの共晶温度は577℃であり、またAlとTi(実際にはTiAl3)の合金は665℃の固相点があるため、900℃から1000℃の熱処理中にAl等の部分が溶融し、Alが蒸発もしくは凝集してオーミック電極表面を荒らしてしまい、半導体素子の工程に悪い影響を与え、また接触抵抗も十分に低減できない点は、上記のAl、Al−Si合金を用いる場合と変わらない。
【0023】
しかしながら、P型SiC半導体に対するオーミック電極の形成は、P型SiC半導体上の電極がP型シリコン半導体との共晶温度以上の高温で熱処理(焼鈍)されるため、電極が蒸発もしくは凝集してオーミック電極表面の平坦性を損ない、接触抵抗が高くなってしまう問題があった。
【0024】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、オーミック電極の高温焼鈍をなくし、オーミック電極層の蒸発もしくは凝集による電極表面の平坦性に対する弊害を除き、低接触抵抗を示すオーミック電極を形成することを課題とする。
【0025】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の炭化けい素のオーミック電極構造は、P型の炭化けい素上にP型のシリコン半導体を設け、これらとオーミック接触を得るための金属を用いた電極を設けてなるP型の炭化けい素のオーミック電極構造において、
前記シリコン半導体と前記金属との共晶温度以下で形成してなる前記電極を、前記シリコン半導体上に備えたことを特徴とする。
【0026】
【発明の実施の形態】
第1の実施例について説明する。
図1は本発明の第1の実施例にかかるSiC半導体におけるオーミック電極構造を説明する図である。本発明のオーミック電極構造をダイオード素子に適用したものである。
【0027】
N+型SiC半導体基板1の上にエピタキシアル法によりN型SiC半導体層2を形成し、N型SiC半導体層2表面にP型SiC拡散層3を形成してある。
【0028】
N+型SiC半導体基板1のN型SiC半導体層2と反対側の表面にカソード電極5が形成されている。
N+型SiC半導体基板1のカソード電極側5の表面はよりよいオーミック特性を得るため、N型不純物が拡散され、N++型SiC拡散層6となっており、N++型SiC拡散層6とカソード電極5の間にはN+型Si半導体7が設けられている。
【0029】
P型SiC半導体層3の上にはP型の高濃度の不純物を含むP+型Si半導体層8が設けられ、この上にはこのSiとオーミック接合を形成する金属などのアノード電極4が設けられている。
【0030】
本発明の第1の実施例にかかるSiC半導体におけるオーミック電極構造をを用いたダイオードの製造工程に沿ってさらに詳細に説明する。
まず、高不純物濃度である比抵抗0.01Ω−cmで300μm厚さのN+型SiC半導体基板1の表面に濃度1×1016atom/cm3で厚さ10μmの低不純物濃度のN型SiC半導体層2をエピタキシアル法によって成長させる。
【0031】
しかる後、N型SiC半導体層2表面よりP型不純物となるB(またはAl)を加速電圧30〜150KeVで、1014atom/cm2のイオンを注入する。
N+型のSiC半導体基板1の裏面にオーミック接触を得るためにN型不純物となるP(燐)を加速電圧30〜150KeVで、1014atom/cm2のドーズ量で、イオン注入し、N++型SiC層8を形成する。
【0032】
注入されたP型不純物により、表面濃度が1018atom/cm3以上、接合深さ0.5μmとなるP型SiC拡散層3が形成され、、またN+型SiC半導体基板1の裏面のオーミック用N++型SiC拡散層6は表面濃度1020atom/cm3、拡散深さ0.5μmとなるようにN型不純物のイオン注入によって形成される。P型SiC拡散層3はエピタキシャル法によって堆積してもよい。
この後、不純物を活性化するためにアルゴン雰囲気中で1700℃以上の温度で10分間の熱処理を行う。
【0033】
この後、1000℃から1200℃2時間、SiC半導体基板表面を酸化すると二酸化けい素の層ができる。この表面をHF系の溶液で処理すると、SiC表面の汚れ、二酸化けい素膜がとれ、オーミック性の再現性がよくなる。
【0034】
この後、SiC半導体基板を950℃に加熱処理し、モノシランの熱分解によりSiC半導体基板の表面にSi半導体層であるN+型Si半導体層7とP+型Si半導体層8を堆積する。
【0035】
N++型SiC拡散層6上に堆積するN+型Si半導体層7にはホスフィンを利用して、N型不純物である燐を高濃度に添加する。このN型不純物濃度は1018atom/cm3以上で望ましくは1019atom/cm3から1020atom/cm3とする。
【0036】
P型SiC拡散層3の上に堆積するP+型Si半導体層8にはジボランを利用して、P型不純物であるボロンを高濃度に添加する。このP型濃度は1018atom/cm3以上で望ましくは1019atom/cm3から1020atom/cm3とする。
【0037】
一度の工程でN+型Si半導体層7とP+型Si半導体層8を堆積できない場合は、N++型Si拡散層6の表面に、CVD法により1μmの二酸化けい素膜を堆積した後、P型SiC拡散層3の上にP+型Si半導体層8を堆積し、その後、この面にまた二酸化けい素の保護膜を形成し、反対面上に堆積されたP+型Si半導体層をHFと硝酸の混合液で取り去り、その上側に堆積してあった二酸化けい素膜をHF系エッチング液で取り去る。
【0038】
この後、N+型Si半導体層7を堆積し、更に、HF系エチング液でよけいな二酸化けい素膜を取り去ればよい。そしてP+型Si半導体層8を堆積した二酸化けい素の保護膜をHF系エッチング液で取り去る。
【0039】
P+型Si半導体層8の表面にアノード電極4を形成し、N+型Si半導体層7の表面にカソード電極5を形成する。アノード電極4とカソード電極5として、Ti−Ni−Ag(銀)の電極システムを用いる。作製には電子ビーム蒸着法を用いる。TiはSi半導体層とのオーミック性をとるために用いられ、Niは半田耐蝕性のために、また銀はNiの酸化防止用に用いられる。アノード電極層表面はNiの上にAlを蒸着してあってもよい。すなわち、Ti−Ni−Alからなる電極を形成してもよい。パッケージにおいてAl線のボンディングを用いる時にはこの方が都合がよい。
【0041】
アノード電極、カソード電極とも、高濃度Si半導体にオーミック接触をとるものであり、Siパワー半導体でよく用いられている方法である。このため、プロセス技術が確立されており、再現性がよい。
【0042】
電極の熱処理はAlとSiが単体でも、合金でも溶解しないように最高で577℃以下である。望ましくは蒸着時の200℃から250℃である。従って本発明ではAl金属を用いたシステムでも、金属が溶解、あるいは凝集して、電極表面が平坦でなくなってしまうことはない。TiをCr、Moで置き換えてもよい。
【0043】
Siの表面濃度が高くできるのでN型やP型Siとのショットキー障壁高さを考慮する必要はなく、Si表面の二酸化けい素膜を還元しやすい金属が選ばれる。
【0044】
この後、SiC半導体基板を、電流容量に応じた大きさの面積に切断し切断面をSiCのエッチング液にてエッチングし、メサ構造のダイオードとして完成させる。
【0045】
次に第2の実施例につてのべる。
図2は本発明の第2の実施例にかかるSiC半導体におけるオーミック電極構造を説明する図である。本発明のオーミック電極構造をダイオード素子に適用したものである。
【0046】
第1の実施例はメサ型ダイオードの例を示したが本実施例はプレーナ型のダイオードである。基本的構成は第1の実施例とほとんど同じである。異なる点だけ説明する。
【0047】
酸化膜9はモノシランと酸素のガスを用いてCVD法にて堆積され、写真工程と、HF系エッチング液により酸化膜をエッチングし窓明けする。この窓明けされた酸化膜9の窓よりAlまたはBをイオン注入しP型SiC拡散層3をつくる。
【0048】
次に、P+型Si半導体層8をP型SiC拡散層3の窓明け部、酸化膜9の上にも堆積し、P型SiC拡散層3とN型SiC半導体層2によるPN接合をまたいだオーバレイ状に配置する。
【0049】
ダイオードの動作について説明する。アノード電極4に正電圧を印加し、カソード電極5に負電圧を印加するとSiC半導体基板1中のPN接合が順バイアスされ、順電流が流れオン状態になる。
【0050】
P+型Si半導体層8とP型SiC拡散層3は同じSi系の高濃度P型半導体層のため、接触抵抗が低い。N+型Si半導体層7とN++型SiC拡散層6は同じSi系の高濃度のN型半導体層のため、接触抵抗が低い。このため、順方向に大電流が流れても、従来のように大きな接触抵抗のために、大きなシリーズ抵抗分が現れることはない。
【0051】
アノード電極4に負電圧を印加し、カソード電極5に正電圧を印加するとSiC半導体基板中のPN接合が逆バイアスされ、オフ状態になる。PN接合には電流が流れないか流れても僅かである。
【0052】
P+型Si半導体層8とN+型Si半導体層7については単結晶であっても、多結晶であっても同じ効果が得られる。
P+型Si半導体層8とN+型Si半導体層7についてはモノシランの熱分解により作製した例を示したが、SiをCVD法若しくは蒸着法を用いて100から150nmの厚さ、アモルファス状に堆積し、更に、Alや燐等をイオン注入して約800℃にて活性化兼結晶化をさせてもよい。また不純物をドープしたSiをターゲットとしてスパッタ法を用い、P+型Si半導体層8とN+型Si半導体層7を作ってもよい。
【0053】
ダイオードの構造について応用例を説明したが、P型炭化けい素のSBD、IGBT、MOSFETあるいはMOS型サイリスタなどの半導体素子に本発明のオーミック電極を適用してもよい。
【0054】
アノード、カソード電極で、Ti−Ni−Agのシステムと、Alボンデング用にAlを利用した電極システムについて述べたが、Si電力用デバイスで用いられている他のCr、Ti、V(バナジウム)等の金属あるいはシリサイド、またPt(白金)、Au(金)を用いたシステムであってもよい。
【0055】
【発明の効果】
本発明によれば、オーミック電極の平坦性を損なうことなく接触抵抗を低くしたオーミック電極構造並びにこれを利用した半導体装置を提供できる。大電力用MOSFETやSBDに適用することにより、オン抵抗や高速性の特性を改善できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例にかかるSiC半導体におけるオーミック電極構造を説明する図である。
【図2】 本発明の第2の実施例にかかるSiC半導体におけるオーミック電極構造を説明する図である。
【図3】 図3は従来のSiC半導体におけるオーミック電極構造を説明する図である。
【符号の説明】
1 N+型SiC半導体基板
2 N型SiC半導体層
3 P型SiC拡散層
4 アノード電極
5 カソード電極
6 N++型SiC拡散層
7 N+型Si半導体層
8 P+型Si半導体層
9 酸化膜
Claims (2)
- P型の炭化けい素上にP型のシリコン半導体を設け、これらとオーミック接触を得るための金属を用いた電極を設けてなるP型の炭化けい素のオーミック電極構造において、
前記シリコン半導体と前記金属との共晶温度以下で形成してなる前記電極を、前記シリコン半導体上に備えたことを特徴とする炭化けい素のオーミック電極構造。 - 請求項1記載のオーミック電極構造を用いたことを特徴とする半導体装置。
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