JP3959565B2 - 電磁パイロット式3位置切換弁 - Google Patents

電磁パイロット式3位置切換弁 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電磁操作式のパイロット弁によってスプールを3つの位置に切り換える電磁パイロット式3位置切換弁に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の3位置切換弁は一般に、スプールを復帰ばねで中立位置に保持するスプリングセンタ形として構成されている。即ち、図4に概略的に示すように、スプール1の両端の駆動室2a,2b内にそれぞれ復帰ばね3a,3bが縮設され、スプール1が非駆動状態にあるときこれらの復帰ばね3a,3bによって該スプール1が中立位置に保持され、パイロット弁4で2つの駆動室2a,2bにパイロット流体が交互に給排されると、該スプール1が排気側の駆動室内にある復帰ばねを圧縮しながら図の左右方向に切り換えられようになっている。
【0003】
このように従来の3位置切換弁は、スプールを両側の復帰ばねで中立位置に保持させる構成であるため、該スプールの切換時には必ず一方の復帰ばねが圧縮されてその力が反力として作用することになる。このため、圧縮された復帰ばねの反力に打ち勝ってスプールを確実に切り換えるには、それだけ高圧のパイロット流体を供給しなければならず、スプールの最小作動圧力が高くなって流体の使用圧力範囲が狭くなるという欠点があった。しかも、復帰ばねの反力はスプールの切換動作に伴う圧縮量の増大と共に増大するため、該スプールの切換動作は不安定になり易い。
【0004】
付勢力の小さい復帰ばねを使用すればそれだけ低圧のパイロット流体を使用することはできるが、復帰ばねの付勢力が小さいと、スプールが作動流体やパイロット流体による影響を受け易いため、該スプールの中立位置への復帰動作や中立位置の保持状態が不安定になる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、電磁パイロット式の3位置切換弁において、使用圧力範囲内の圧力流体が供給されている時は、スプールをパイロット流体圧による作用力で中立位置に保持させることにより、該スプールを復帰ばねの反力による影響を受けることなく切り換えることができるようにすることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の3位置切換弁は、スプールが収容された弁孔の両端にそれぞれ、スプールの端面が受圧面として臨むように形成されてパイロット流体の給排によりスプールを駆動するための駆動室と、各駆動室の外側に隔壁を介して形成されて該駆動室より小径で常時パイロット流体が導入されるピストン室とを隣接して設け、該ピストン室内に収容されたピストンと上記スプールとの間に、そのピストン室側の端部に上記隔壁に当接するフランジ部を形成した連係部材を移動自在に、且つ上記隔壁を貫通してピストン室と駆動室とに両端が突出するように介在させると共に、該連係部材とピストンとの間に付勢力の小さい復帰ばねを介在させたものである。この復帰ばねの付勢力は、パイロット流体圧による上記ピストンの駆動力と同等か、又はそれ以下に設定されている。そして、上記連係部材がピストン又は復帰ばねの付勢力に押されてフランジ部が隔壁に当接した位置で、上記スプールが中立位置を保持するように構成されている。
【0007】
上記構成を有する本発明の3位置切換弁において、該切換弁に圧力流体が供給されているときは、ピストン室に常時導入されるパイロット流体の作用力によりピストンが連係部材側に押され、付勢力の小さい復帰ばねを圧縮して該連係部材に当接し、該連係部材を介してスプールを両側から押圧するため、該スプールは中立位置に保持される。このとき復帰ばねは完全に圧縮されていて、スプールを中立位置へ保持させる動作には関与しないから、スプールはパイロット流体の作用力のみによって中立位置に保持されることになる。
【0008】
パイロット弁により一方の駆動室にパイロット流体を供給すると、該駆動室がピストン室より大径で、該駆動室側においてスプールに作用するパイロット流体による作用力が反対側のピストンによる作用力より大きいため、該スプールは、連係部材を介して上記ピストンを後退させながら一方向に移動し、流路を切り換える。このとき、スプールで後退させられる上記ピストンと連係部材とは互いに当接したままで、それらの間に介在する復帰ばねの付勢力がスプールに対して反力として作用することはない。
【0009】
上記駆動室のパイロット流体を排出すると、後退していた上記ピストンの作用力によってスプールは中立位置に復帰する。
【0010】
上記切換弁に圧力流体が供給されていないか又は供給されていても使用圧力より低いときは、上記各ピストンが復帰ばねの付勢力により連係部材から離れてピストン室の他端まで後退し、スプールは復帰ばねの付勢力で中立位置に保持される。
【0011】
本発明の具体的な実施態様においては、上記各ピストン室が、該駆動室の外側にクッション性のある隔壁を介して形成されている。
【0012】
本発明において好ましくは、上記ピストンの摺動を安定させるためのガイド手段として、該ピストンと連係部材とに相互に嵌合し合うガイド軸とガイド孔とを設けることである。
【0013】
本発明の切換弁には、その弁ボディにパイロット流体を外部から導入するための外部パイロットポートを設け、パイロット流路切換手段によってこの外部パイロットポート又は供給ポートを、上記駆動室及びピストン室に選択的に接続できるように構成することもできる。
【0014】
この場合に上記パイロット流路切換手段を、弁ボディ上の取付面に向きを変更可能なるように取り付けられた切換プレートと、上記取付面上に並んで開口する3つの流路と、上記切換プレートに形成されて該切換プレートの向きの変更により中央の1つの流路を両側の2つの流路の一方に接続させる窪みとで構成し、上記3つの流路のうち中央の流路を上記駆動室及びピストン室に通じるパイロット供給流路とし、その両側の流路を、供給ポートに通じる内部パイロット流路と外部パイロットポートに通じる外部パイロット流路とする。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係る電磁パイロット式3位置切換弁の一実施例を5ポート弁として示すもので、この切換弁は、圧縮空気等の作動流体を切り換えるための主弁部1と、該主弁部1を操作するためのパイロット弁部2とを含んでいる。
【0016】
上記主弁部1は、矩形断面を有する弁ボディ4を有している。この弁ボディ4の下面には、作動流体が流れる1つの供給ポートPと、その両側に開口する2つの出力ポートA,Bと、さらにその両側に開口する2つの排出ポートEA,EBとが設けられている。また該弁ボディ4の内部には、上記各ポートが連通する弁孔5が形成され、この弁孔5内に、上記各ポート間の流路を切り換えるスプール6が摺動自在に収容されている。
【0017】
上記弁孔5の軸方向の両端には、弁ボディ4の端部に取り付けられたサブブロック8a,8bとの間に、スプール6の端面が受圧面として臨むように第1及び第2の駆動室10a,10bが形成されると共に、各サブブロック8a,8bの内部に、クッション性のある隔壁11a,11bを介して上記各駆動室10a,10bと隣接する第1及び第2のピストン室12a,12bが形成され、これらのピストン室12a,12b内に、第1及び第2のピストン13a,13bがそれぞれ摺動自在に収容されている。
上記駆動室10a,10bの直径D1 はピストン室12a,12bの直径D2 より大きく、また、2つの駆動室10a,10b同士及びピストン室12a,12b同士は、それぞれ互いに同径である。しかし、駆動室10a,10b同士及びピストン室12a,12b同士は必ずしも同径にする必要はない。
【0018】
上記各ピストン13a,13bとスプール6との間には、該ピストン13a,13bと協同してスプール6を中立位置に保持する円柱状の連係部材14a,14bが、隔壁11a,11bを貫通して移動自在なるように配設されている。この連係部材14a,14bは、ピストン室12a,12b内に突出する側の端部にフランジ部15が形成されていて、このフランジ部15が隔壁11a,11bに当接する位置までピストン13a,13bに押されてスプール6側へ移動できるようになっており、この位置で駆動室10a,10b内に突出する先端がスプール6に当接して、該スプール6を中立位置に保持するものである。
【0019】
上記ピストン13a,13bと連係部材14a,14bとの間には、付勢力の小さい復帰ばね18が縮設されている。この復帰ばね18の付勢力は、パイロット流体圧が使用圧力範囲内にある場合にこのパイロット流体圧により生ずるピストン13a,13bの作用力と同等か又はそれ以下に設定されている。従って、ピストン13a,13bにパイロット流体圧が作用しているときは、図1に示すように、上記復帰ばね18は完全に圧縮されてピストン13a,13bが連係部材14a,14bに当接し、該連係部材14a,14bを隔壁11a,11bに押し付けた状態にある。
【0020】
一方、切換弁の不使用時等において上記ピストン13a,13bにパイロット流体が作用していないか、又は作用していてもその圧力が使用圧力以下であるときは、図3に示すように、上記復帰ばね18の付勢力により該ピストン13a,13bが連係部材14a,14bから離れてピストン室12a,12b内を反対端まで後退し、該復帰ばね18の付勢力によりスプール6が中立位置に保持される。
【0021】
上記各ピストン13a,13bと連係部材14a,14bには、該ピストン13a,13bの移動を安定させるため、図3から分かるように、該ピストン13a,13bに形成されたガイド軸20と、連係部材14a,14bに形成されて上記ガイド軸20が摺動自在に嵌合するガイド孔21とからなるガイド手段が構成されている。
【0022】
上記2つの駆動室10a,10bには、パイロット弁部2に設けられた2つの電磁パイロット弁23a,23bによって個別にパイロット流体が給排されるようになっており、一方、2つのピストン室12a,12bには、それぞれパイロット流体が常時導入されるようになっている。これらに関する具体的な構成は次の通りである。
【0023】
即ち、上記弁ボディ4には、パイロット流路切換手段25で供給ポートPと外部パイロットポートXとに選択的に接続可能なパイロット供給流路26が形成されて0て、このパイロット供給流路26に第1ピストン室12aが、サブブロック8aに設けられた通孔27と、パイロットブロック9に設けられた通孔28、サブブロック8aに設けられた手動操作機構29a及び通孔30を通じて常時連通すると共に、第2ピストン室12bが、サブブロック8bに設けられた通孔32と、該サブブロック8bとエンドカバー33との間の流路34と、サブブロック8bに設けられた通孔35とを通じて常時連通している。
【0024】
一方、2つの駆動室10a,10bのうち第1駆動室10aは、サブブロック8aに形成された通孔37により上記手動操作機構29a及びパイロット弁23aを介して上記パイロット供給流路26に連通し、第2駆動室10bは、弁ボディ4に形成された図示しない通孔により、上記手動操作機構29aに並設されている別の手動操作機構29bと、上記パイロット弁23aに並設されている別のパイロット弁23bとを介して上記パイロット供給流路26に連通している。そして、各駆動室10a,10bと対応するパイロット弁23a,23bをオン・オフ操作するか又は手動操作機構29a,29bを押圧操作することにより、これらの駆動室10a,10bにパイロット流体が供給又は排出されるようになっている。
【0025】
上記2つのパイロット弁23a,23bと各駆動室10a,10bとの間には増幅弁24a,24bを介在させて、小容量のパイロット弁で大流量のパイロット流体を駆動室に供給できるようにするのが望ましいが、これらのパイロット弁と増幅弁の構成については本発明の要旨と直接関係がないため、その詳細な説明は省略する。
また、上記手動操作機構29a,29bは、それらを手動操作することによってパイロット供給流路26と各駆動室10a,10bとを、各パイロット弁23a,23bを経由することなく直接連通させるものであるが、このような手動操作機構29a,29bは既に公知であると共に、その構成自体は本発明の要旨とは直接関係がないため、それについての説明も省略する。
【0026】
上記パイロット流路切換手段は、切換弁を内部パイロット式と外部パイロット式とに変更するためのもので、弁ボディ4に形成された取付面4aに向きを変更可能なるように取り付けられた切換プレート40を含んでいる。この切換プレート40の内面には、流路を構成する窪み41が一側に偏寄した状態に形成されており、これに対して上記取付面4aには、その中央に上記パイロット供給流路26が開口すると共に、該パイロット供給流路26の両側に、供給ポートPに通じる内部パイロット流路42と、外部パイロットポートXに通じる外部パイロット流路43とが開口している。
【0027】
そして、上記切換プレート40を図1に示す向きに取り付けた場合には、窪み41によりパイロット供給流路26が内部パイロット流路42に連通するため、切換弁は内部パイロット式となって、供給ポートPから作動流体の一部がパイロット流体として分流される。また、上記切換プレート40の向きを左右反転させた場合には、窪み41によりパイロット供給流路26が外部パイロット流路43に連通するため、該切換弁は外部パイロット式となり、外部パイロットポートXから作動流体とは別の専用のパイロット流体が供給される。
【0028】
上記構成を有する3位置切換弁において、該切換弁に作動流体が供給されていないか又は供給されていてもその圧力が使用圧力以下と低いときは、図3に示すように、各ピストン13a,13bが復帰ばね18の付勢力により連係部材14a,14bから離れてピストン室12a,12bの他端まで後退し、スプール6は復帰ばね18の付勢力で中立位置に保持されている。
【0029】
上記切換弁に使用圧力範囲内の圧力を有する作動流体が供給されると、2つのピストン室12a,12bにパイロット流体が常時導入されるため、図1に示すように、このパイロット流体によりピストン13a,13bが連係部材14a,14b側に押し動かされ、付勢力の小さい復帰ばね18を圧縮して該連係部材14a,14bをフランジ部15が隔壁11a,11bに当接する位置まで移動させ、これらの連係部材14a,14bを介してスプール6を中立位置に保持させる。このとき、上記復帰ばね18は完全に圧縮されているため、その付勢力がスプール6の中立位置への保持に関与することはない。従って、復帰ばね18を有していながらパイロット流体の圧力のみによってスプール6を中立位置に保持させることができる。
【0030】
パイロット弁23aがオンすることにより第1駆動室10aにパイロット流体が供給されると、該第1駆動室10aがピストン室より大径であるため、該第1駆動室10aにおいてスプール6に作用するパイロット流体による作用力は、該スプール6の反対側に作用する第2ピストン13bの作用力より大きくなる。このため該スプール6は、図2に示すように、連係部材14bを介して上記第2ピストン13bを後退させながら右動し、第2ピストン室12b側の隔壁11bに当接する第1位置に切り換わる。このとき、上記第2ピストン13bと連係部材14bとは互いに当接したままであるため、それらの間に介在する復帰ばね18の付勢力が反力として作用することがない。また、第1ピストン13aは、隔壁11aに係止した連係部材14aに当接して該連係部材14aと共にその位置に停止している。
【0031】
上記パイロット弁23aをオフにして第1駆動室10aのパイロット流体を排出すると、上記スプール6は、第2ピストン13bにより連係部材14bを介して左方に駆動され、中立位置に復帰する。
【0032】
他方のパイロット弁23bを操作して第2駆動室10bにパイロット流体を供給及び排出すると、上記スプール6は、中立位置と、第1ピストン室12a側の隔壁11bに当接する第2切換位置との間で切り換わる。
【0033】
【発明の効果】
上記構成を有する本発明の3位置切換弁は、それに使用圧力範囲内の圧力流体が供給されているときはスプールがパイロット流体の作用力によって中立位置に保持されるようにしたので、該スプールを復帰ばねの反力による影響を受けることなく、流体圧の作用力のみによって切り換えることができ、これにより、該スプールの切換動作を安定させることができるだけでなく、最小作動圧力を低くすることが可能となって流体の使用圧力範囲を拡大することができる。しかも、パイロット流体による大きな作用力によってスプールを中立位置へ確実且つ安定的に保持させることもできる。
また、上記切換弁に圧力流体が供給されていないか又は供給されていてもその圧力が使用圧力以下と低いときは、復帰ばねの力でスプールを中立位置に保持させることができるため、圧力の有無や高低等に拘らずスプールを確実に中立位置に保持させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る3位置切換弁の一実施例を示す要部断面図である。
【図2】図1の3位置切換弁の異なる動作位置を示す断面図である。
【図3】図1の3位置切換弁の更に異なる動作位置を示す断面図である。
【図4】従来の3位置切換弁を概略的に示す断面図である。
【符号の説明】
P 供給ポート A,B 出力ポート
EA,EB 排出ポート 4 弁ボディ
4a 取付面 5 弁孔
6 スプール 10a,10b 駆動室
11a,11b 隔壁 12a,12b ピストン室
13a,13b ピストン 14a,14b 連係部材
15 フランジ部 18 復帰ばね
20 ガイド軸 21 ガイド孔
23a,23b パイロット弁 25 パイロット流路切換手段
26 パイロット供給流路 41 窪み
42 内部パイロット流路 43 外部パイロット流路

Claims (7)

  1. 作動流体が流れる複数のポート;
    上記各ポートが連通する弁孔;
    上記弁孔内に摺動自在に収容された流路切換用のスプール;
    上記弁孔の両端にスプールの端面が受圧面として臨むように形成されて、該スプールを駆動するためのパイロット流体が給排される2つの駆動室;
    上記各駆動室の外側に隔壁を介して形成されてパイロット流体供給用の流路に常時接続された、上記駆動室より小径の2つのピストン室;
    上記各ピストン室内に摺動自在に収容されてパイロット流体によりスプール側に向けて付勢される2つのピストン;
    上記各ピストンとスプールとの間に移動自在に且つ上記隔壁を貫通してピストン室と駆動室とに両端が突出するように介設され、そのピストン室側の端部に上記隔壁に当接するフランジ部を形成した連係部材
    上記ピストンと連係部材との間に介装された、付勢力が上記ピストンの作用力と同等かそれ以下である復帰ばね;
    上記2つの駆動室にそれぞれパイロット流体を給排するための2つの電磁パイロット弁;
    を有し、
    上記連係部材がピストン又は復帰ばねの付勢力に押されてフランジ部が隔壁に当接した位置で、上記スプールが中立位置を保持するように構成されている、
    ことを特徴とする電磁パイロット式3位置切換弁。
  2. 請求項1に記載の3位置切換弁において、上記2つの駆動室及び2つのピストン室がそれぞれ互いに同径であることを特徴とするもの。
  3. 請求項1又は2に記載の3位置切換弁において、該切換弁が、1つの供給ポートと2つの出力ポート及び2つの排出ポートを有する5ポート弁であることを特徴とするもの。
  4. 請求項1乃至3の何れかに記載の3位置切換弁において、上記各ピストン室が、駆動室の外側にクッション性のある隔壁を介して形成されていることを特徴とするもの。
  5. 請求項4に記載の3位置切換弁において、上記ピストンと連係部材とに、該ピストンの摺動を安定させるためのガイド手段として、摺動自在に嵌合し合うガイド軸とガイド孔とが設けられていることを特徴とするもの。
  6. 請求項1ないし5の何れかに記載の3位置切換弁において、該切換弁の弁ボディが、専用のパイロット流体を外部から導入するための外部パイロットポートを有すると共に、上記各駆動室及びピストン室をこの外部パイロットポート又は供給ポートに選択的に接続可能なパイロット流路切換手段を有することを特徴とするもの。
  7. 請求項6に記載の3位置切換弁において、上記パイロット流路切換手段が、弁ボディ上の取付面に向きを変更可能なるように取り付けられた切換プレートと、上記取付面上に並んで開口する3つの流路と、上記切換プレートに形成されて該切換プレートの向きの変更により中央の1つの流路を両側の2つの流路の一方に選択的に接続可能な窪みとを含み、上記中央の流路が、上記駆動室及びピストン室に通じるパイロット供給流路であり、その両側の流路が、供給ポートに通じる内部パイロット流路と外部パイロットポートに通じる外部パイロット流路とであることを特徴とするもの。
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TW087219191U TW369100U (en) 1997-12-16 1998-11-19 Solenoid-controlled pilot-operated three-position switching valve
EP98310181A EP0926354B1 (en) 1997-12-16 1998-12-11 Solenoid-controlled pilot-operated three-position switching valve
DE69808032T DE69808032T2 (de) 1997-12-16 1998-12-11 Magnetvorgesteuertes Umschaltventil mit drei Schaltstellungen
KR1019980055230A KR100286705B1 (ko) 1997-12-16 1998-12-16 전자파일럿식 3위치 전환밸브
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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2785338B1 (fr) * 1998-10-28 2001-08-10 Aro Verin a dispositif elastique de rappel d'un ensemble de piston de travail en position neutre
DE10014435B4 (de) * 2000-03-16 2004-04-15 Bosch Rexroth Teknik Ab Mehrwegeventil
DE10108536A1 (de) * 2001-02-22 2002-04-04 Rexroth Mecman Stockholm Ab Pneumatikventil mit Mitteln zur elektrischen Erfassung der Endposition eines innenliegenden Schaltelements
US8245729B2 (en) * 2006-10-23 2012-08-21 Norgren, Inc. Exhaust venting for a fluid control device
US7644646B1 (en) 2007-06-13 2010-01-12 Sauer-Danfoss, Inc. Three position servo system to control the displacement of a hydraulic motor
US7730826B2 (en) * 2007-07-31 2010-06-08 Sauer-Danfoss Inc. Swashplate type axial piston device having apparatus for providing three operating displacements
DE102010015341B4 (de) * 2010-04-17 2016-06-16 Festo Ag & Co. Kg Mehrwegeventil
CN102536937A (zh) * 2010-12-13 2012-07-04 杨洁 一种高精度和高稳定性的先导控制多路阀的控制系统
JP5505843B2 (ja) 2011-04-07 2014-05-28 Smc株式会社 パイロット式3位置切換弁
CN102829013A (zh) * 2012-09-20 2012-12-19 宁波市镇海华力液压机电有限公司 电磁换向阀
CN103644158B (zh) * 2013-12-26 2015-12-02 太重集团榆次液压工业有限公司 电磁先导滑阀式液压换向阀
EP3158240B1 (en) 2014-06-20 2023-01-25 Asco, L.P. Zoned manifold assembly for solenoid valve control system
JP6286307B2 (ja) * 2014-07-24 2018-02-28 Kyb株式会社 方向制御弁
US20170306990A1 (en) * 2014-10-03 2017-10-26 Nexmatix Llc Energy saving directional-control valves for providing input-output compatibility with standard non-energy saving directional-control valves
KR101842527B1 (ko) * 2015-01-30 2018-03-27 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 진공 처리 장치
DE102015003062B4 (de) * 2015-03-10 2019-12-12 Festo Ag & Co. Kg Mehrwegeventil
JP6902991B2 (ja) 2017-12-19 2021-07-14 株式会社日立ハイテク プラズマ処理装置
CN113767453B (zh) 2020-04-03 2023-12-12 株式会社日立高新技术 等离子处理装置以及等离子处理方法
CN111550575B (zh) * 2020-05-14 2021-09-28 威仕喜(浙江)流体技术有限公司 一种双先导式滑阀
CN111442116A (zh) * 2020-05-14 2020-07-24 威仕喜(浙江)流体技术有限公司 一种先导阀结构的活塞

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3267965A (en) * 1963-03-28 1966-08-23 Airmatic Valve Inc Pilot operated spool valve
DE1266082B (de) * 1964-01-03 1968-04-11 Zinser Textilmaschinen Gmbh Selbsttaetige Drosseleinrichtung
FR1588144A (ja) * 1968-10-31 1970-04-03
GB1466059A (en) * 1974-04-08 1977-03-02 Pressure Dynamics Ltd Valves and hydraulic circuits
US4067357A (en) * 1974-06-14 1978-01-10 Herion-Werke Kg Pilot-operated directional control valve
US4267862A (en) * 1979-02-21 1981-05-19 Mac Valves, Inc. Directional control valve with flow path through valve spool
FR2453306B1 (fr) * 1979-04-06 1986-03-14 Dba Dispositif d'actionnement hydraulique a cinq positions
DE3216809A1 (de) * 1982-05-05 1983-11-10 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Wegeventil, das fuer unterschiedliche betriebsarten vorgesehen ist
GB2124737A (en) * 1982-07-26 1984-02-22 Automatic Switch Co Spool valve
JPS59190586A (ja) * 1983-04-08 1984-10-29 Toyooki Kogyo Co Ltd パイロツト操作切換弁

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