JP3955764B2 - 電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光変調器 - Google Patents
電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光変調器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3955764B2 JP3955764B2 JP2002033080A JP2002033080A JP3955764B2 JP 3955764 B2 JP3955764 B2 JP 3955764B2 JP 2002033080 A JP2002033080 A JP 2002033080A JP 2002033080 A JP2002033080 A JP 2002033080A JP 3955764 B2 JP3955764 B2 JP 3955764B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electro
- pad
- optic effect
- effect element
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000000694 effects Effects 0.000 title claims description 110
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 80
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 48
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 31
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/035—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure
- G02F1/0356—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure controlled by a high-frequency electromagnetic wave component in an electric waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
- G02F1/2255—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure controlled by a high-frequency electromagnetic component in an electric waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/12—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode
- G02F2201/127—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode travelling wave
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光変調器に関する。
【0002】
【従来の技術】
大容量で広帯域な通信システムとして、光通信システムが適用されている。かかる光通信システムにおいて、通信容量拡大の需要に伴い、ますますビットレートの高速化が求められている。
【0003】
一方、光通信システムには、強誘電体結晶等に電場を加えたときに屈折率の変化を生じる電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光変調器が用いられている。
【0004】
かかる光変調器に搭載される、電気光学効果により光位相を変化させる素子(以下単に電気光学効果素子という)は、LiNbO3やLiTaO2の電気光学結晶から切り出された基板にIC技術を用いて、Ti等の金属膜をパターニングにより形成後、熱拡散し、あるいは安息香酸中でプロトン交換する等して形成される光導波路を有する。さらに光導波路近傍に所要の電極が形成される。
【0005】
光変調器は、かかる電気光学効果素子の外部から光導波路に光信号を供給し、光導波路近傍に形成された電極にマイクロ波帯の高周波変調信号を供給する構成を有するものである。
【0006】
図1は、光変調器の一構成例を示すカバーを外した状態の上面図である。シールド筐体1内に電気光学効果素子2が収容されている。図2は、模式的に電気光学効果素子2の構成を示す図である。
【0007】
光変調器として機能するために、図2に模式的に示される電気光学効果素子2に形成された光導波路10は、一例として2つの平行な導波路に分岐され、マッハツェンダ導波路を構成している。図2において、図2Bは図2Aの平面図において、a線に沿う断面図であり、図2Cはb線に沿う断面図である。
【0008】
一例として、電気光学効果素子2の基板をLiNbO3結晶のZ軸方向に切り出したZカット基板を用い、電極をシングル電極、変調方式を強度変調とする場合、この分岐された2つの平行な導波路の一方の真上に信号電極20が、そして他方の真上に接地電極22が配置されている。なお、光導波路10の分岐された2つの平行導波路中を伝搬する光信号が信号電極20及び、接地電極22により吸収されるのを防ぐために、基板と信号電極20及び接地電極22との間に、SiO2等によるバッファ層が設けられる。
【0009】
図2において、光信号は導波路10の入射側(Opt In)に入力される。光変調器として機能させるために、この光信号の伝搬方向と同じ方向に変調信号として、信号源25から出力される矩形波のマイクロ波信号が信号電極20に供給される。したがって、分岐された平行光導波路の屈折率が、マイクロ波信号の極性に対応して、互いに反対方向に変化され、これにより平行光導波路の光位相差が変化し、図2において光導波路10の出射側(Opt Out)から強度変調された光信号が出力される。
【0010】
ここで、信号源25から供給される変調信号としてのマイクロ波である高周波信号は、図1に示す光変調器の構成において、中心導体30と外部導体31を有するRFコネクタ3を通して信号電極20と接地電極21,22間に供給される。
【0011】
RFコネクタ3の中心導体30は、スライディングコンタクト部材32に挿入され、電気光学効果素子2の信号電極20とスライディングコンタクト部材32とのボンディングにより接続される。さらに、RFコネクタ3の外部導体31は、電気光学効果素子2の接地電極21,22とワイヤボンディング23により接続される構成である。
【0012】
さらに、高周波信号の波長が電気光学効果素子2の電極の大きさに比べて大きい場合には、特性にそれほどの影響はなかったが、波長が小さくなると電気光学効果素子2の高周波特性に影響を及ぼし、高周波信号の放射および反射が生じ、電気光学効果素子2における広帯域な伝送特性を得ることができなくなる。また、スライディングコンタクト部材32とRFコネクタ3の中心導体30は数十μmと非常に微細なものである。このために組立時の作業性が非常に悪い。
【0013】
かかる問題に対する解決策として、本発明者等は、中継基板を介してのRFコネクタ3と電気光学効果素子2との接続する方法を検討してきた。この場合、RFコネクタ3、中継基板及び電気光学効果素子2のそれぞれの部位自身で特性インピーダンスを、例えば50Ωとなるように設計することが考えられる。
【0014】
特に、電気光学効果素子2と中継基板との接続を、図1におけるRFコネクタ3と電気光学効果素子2の接続と同様に、ワイヤボンディングで接続する場合に、マイクロ波の反射を防ぐために、特性インピーダンスを50Ωに保つことが必要であると考え、そのために信号電極20と接地電極21,22のワイヤボンディングされる領域(以下パッドという)間のギャップを広くすることが考えられる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の信号電極20のパッドと接地電極21,22のパッドとの間のギャップを広くすると、電界が広がって放射するマイクロ波成分が多くなり、透過特性が劣化するという問題がある。さらに、使用するマイクロ波の周波数が高くなると、より放射の割合は大きくなる。
【0016】
一方、信号電極20のパッドの幅Wを狭くすると、中継基板との間でボンディングによる接続が困難になるという問題が生じる。
【0017】
したがって、本発明の目的は、かかる使用するマイクロ波の周波数が高くなる場合にも放射の割合を大きくせず、且つ中継基板との間でボンディングによる接続が容易な電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光変調器を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】
上記の本発明の目的を達成する光変調器は、第1の態様として、それぞれパッドを備えた信号電極と接地電極が形成され、電気光学効果により光位相を変化させる電気光学効果素子と、誘電体基板に前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドに接続されたコプレーナ線路が形成された中継基板と、前記中継基板のコプレーナ線路に接続された中心導体と外部導体を備え、前記電気光学効果素子の信号電極にマイクロ波領域の変調信号を供給するコネクタとを有し、前記変調信号が30GHzの成分を含み、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドの間隔をS[μm],パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、-0.002H2+1.3H-160<S<0.0025H2-1.6H+550の関係を有することを特徴とする。
【0019】
上記の本発明の目的を達成する光変調器は、第2の態様として、それぞれパッドを備えた信号電極と接地電極が形成され、電気光学効果により光位相を変化させる電気光学効果素子と、誘電体基板に前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドに接続されたコプレーナ線路が形成された中継基板と、前記中継基板のコプレーナ線路に接続された中心導体と外部導体を備え、前記電気光学効果素子の信号電極にマイクロ波領域の変調信号を供給するコネクタとを有し、前記変調信号が40GHzの成分を含み、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドの間隔をS[μm],パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、-0.002H2+1.3H−160<S<0.001H2-0.8H+370 の関係を有することを特徴とする。
【0020】
上記の本発明の目的を達成する光変調器は、第3の態様として、それぞれパッドを備えた信号電極と接地電極が形成され、電気光学効果により光位相を変化させる電気光学効果素子と、誘電体基板に前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドに接続されたコプレーナ線路が形成された中継基板と、前記中継基板のコプレーナ線路に接続された中心導体と外部導体を備え、前記電気光学効果素子の信号電極にマイクロ波領域の変調信号を供給するコネクタとを有し、前記変調信号が30GHzの成分を含み、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドによる特性インピーダンスをZ0[Ω]とし、パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、
-0.0005H2+0.32H-19<Z0<0.00061H2-0.34H+98 の関係を有することを特徴とする。
【0021】
上記の本発明の目的を達成する光変調器は、第4の態様として、それぞれパッドを備えた信号電極と接地電極が形成され、電気光学効果により光位相を変化させる電気光学効果素子と、誘電体基板に前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドに接続されたコプレーナ線路が形成された中継基板と、前記中継基板のコプレーナ線路に接続された中心導体と外部導体を備え、前記電気光学効果素子の信号電極にマイクロ波領域の変調信号を供給するコネクタとを有し、前記変調信号が40GHzの成分を含み、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドによる特性インピーダンスをZ0[Ω]とし、パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、
-0.0005H2+0.32H-19<Z0<0.000093H2-0.061H+57 の関係を有することを特徴とする。
【0022】
上記の本発明の目的を達成する光変調器は、第5の態様として、第1又は、第2の態様において、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接続電極のパッドの間隔が130[μm]に設定されていることを特徴とする。
【0023】
上記の本発明の目的を達成する光変調器は、第6の態様として、第3又は、第4の態様において、 前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接続電極のパッドによる特性インピーダンスが、42[Ω]に設定されていることを特徴とする光変調器。
【0024】
上記の本発明の目的を達成する光変調器は、第7の態様として、第1〜第6の態様のいずれかにおいて、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドの幅が、30μm〜70μmであることを特徴とする。
【0025】
上記の本発明の目的を達成する光変調器は、第8の態様として、第1〜第6の態様のいずれかにおいて、前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドの幅が、50μmであることを特徴とする。
【0026】
上記の本発明の目的を達成する光変調器は、第9の態様として、第1〜第6の態様のいずれかにおいて、前記中継基板及び、RFコネクタのそれぞれが、特性インピーダンスが50Ωに設定されていることを特徴とする。
【0027】
本発明の特徴は、図面に従い以下に説明される発明の実施の形態例から更に明らかになる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下に図面に従い本発明の実施の形態例を説明するが、本発明の理解を容易とするべく、先に本発明者等により検討してきた中継基板を用いてRFコネクタ3と電気光学効果素子2とを接続する構成についてその詳細を説明する。
【0029】
図3は、本発明者等により検討してきた中継基板を用いてRFコネクタ3と電気光学効果素子2とを接続する構成例を示す図である。
【0030】
図3において、中継基板40は、Al2O3等の誘電体基板上に、電気光学効果素子2の信号電極20,接地電極21,22にそれぞれ接続される信号電極400とその両側に配置された接地電極401,402を有するコプレーナ線路を有している。
【0031】
電気光学効果素子2と中継基板40との接続は、ワイヤボンディング23により電気光学効果素子2のパッド200,210及び220と対応するコプレーナ線路の電極400,401及び402との接続により行われる。
【0032】
なお、図3では、中継基板40とRFコネクタ3との接続は、入力側のみを示しているが、出力側も同様に中継基板40を介して図示しないRFコネクタと接続されるものである。
【0033】
ここで、信号電極20のパッド200は、ワイヤボンディング23により中継基板40のコプレーナ線路の信号電極400と接続するために、電極パターンのみを表示する図4に示されるように、電極幅Wを有している。
【0034】
一方、信号源25とRFコネクタ3を繋ぐ図示しないRFケーブルは、一般に50Ωの特性インピーダンスを有している。これにより、RFコネクタ3及び、中継基板40についても、それぞれ自体で特性インピーダンスが50Ωとなる様に設計される。
【0035】
したがって、電気光学効果素子2のパッド200、210,220においてもマイクロ波の反射を防ぐために、特性インピーダンスを50Ωに保つことが必要であると考え、そのために図4に示されるように信号電極20と接地電極21,22のパッド200とパッド210,220との間のギャップSを広くすることが考えられる。
【0036】
しかしながら、上記したように信号電極のパッド200と接地電極21,22のパッド210,220との間のギャップSを広くすると、電界が広がって放射するマイクロ波成分が多くなり、透過特性が劣化するという問題がある。さらに、使用するマイクロ波の周波数が高くなると、より放射の割合は大きくなる。
【0037】
一方、信号電極20のパッド200の幅Wを狭くすると、中継基板40との間でボンディングによる接続が困難になるという問題が生じる。
【0038】
かかる点に鑑み、本発明者は種々検討し、前記の信号電極20のパッド200と接地電極21,22のパッド210,220との間のギャップSの大きさを広げることにより特性インピーダンスからずれる場合であっても、電気光学効果素子2の入出力部即ち、パッド200、210,220におけるマイクロ波の反射及び放射を少なくし、結果として透過特性に最適となる条件が存在することを見出した。
【0039】
したがって、本発明は、かかる新たに見出した透過特性に最適となる条件を備えた、電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光変調器を提供するものである。
【0040】
図5は、本発明の対象とする光変調器における電気光学効果により光位相を変化させる素子である電気光学効果素子2の実施の形態例である。
【0041】
幅2mm、高さ1mm、長さ50mmのLiNbO3基板40上に長さ25mmの相互電極作用長Lを有し、図4に示されたと同様の電極パターンを有する信号電極20,接地電極21,22がパターニングにより形成されている。
【0042】
ここで、高周波信号の信号源25の最終段にあるドライバ回路のパワーを大きくとれないために、高周波信号を低電圧化することが望ましい。しかし、高周波信号の損失が大きい場合は、高周波信号の低電圧化に制限を生じることになる。かかる点から高周波信号の損失を小さくすることは重要である。
【0043】
図3に示す構成における光変調器において生じる、変調信号としての高周波信号の損失について考察すると、入出力のRFコネクタ3及び中継基板40で生じる損失、電気光学効果素子2の入力部即ち、パッド200,210,220において生じる損失及び、電極20,21,22の相互作用長Lによる損失である。
【0044】
ここで、RFコネクタ及び中継基板40で生じる損失は、それぞれ特性インピーダンス50Ωに設定する場合、入力及び出力側において、それぞれ0.5dB程度の大きさである。また、電極の相互作用長Lによる損失の大きさは、電極20,21,22の長さによって固定的に決まる。
【0045】
一方、電気光学効果素子2の入力部即ち、パッド200,210,220において生じる損失は、反射及び放射に起因する損失であるが、これらはRFコネクタ3及び中継基板40の特性インピーダンスである50Ωに合わせることが必然であると考えて来た。
【0046】
しかし、本発明者は、種々検討の結果、パッド200,210,220において生じる損失に関して特性インピーダンスを50Ωに合わせる場合よりも最適な条件を有することを見出した。
【0047】
かかる条件について以下の実施例により考察する。
【0048】
第1の実施例:
図4に示す電極パターンにおいて、主電極20のパッド200の幅Wを50μmとする。変調信号の周波数を30GHzとする。
【0049】
パッド200の高さHを300,200,100μmと変え、パッド200と、パッド210,220の間隔Sを変えた時のS21を測定し、その結果を図8に示した。更に、間隔Sを変えた時の反射による損失及び、特性インピーダンスを変えた時の反射による損失をそれぞれ算出し、図6に示した。
【0050】
なお、損失S21は、入力信号レベルと出力信号レベルの比により求められる値である。
【0051】
図6Aはパッドの間隔Sを変えた時の反射による損失、図6Bは特性インピーダンスを変えた時の反射による損失を示すグラフである。
【0052】
図8に示したS21と図6に示した反射による損失から、放射による損失を求め図7に示した。図7Aは、パッドの間隔Sを変えた時の放射による損失であり、図7Bは、特性インピーダンスを変えた時の放射による損失を示すグラフである。
【0053】
すなわち、図6の反射による損失及び図7の放射による損失を加算すると、図8になる。図8Aは、パッドの間隔Sを変えた時の損失であり、図8Bは、特性インピーダンスを変えた時の損失を示すグラフである。
【0054】
図8Aからパッド200と210及び220の高さHを300,200,100とする場合のいずれにおいても、パッドの間隔Sを130μmとする時に反射及び放射に起因する損失が最小値となる。一方、図8Bから特性インピーダンスを40Ωとする場合に損失が最小となることが示される。
【0055】
先に述べたように、入力側及び出力側のRFコネクタ3と中継基板40による損失は、それぞれ略0.5dBの大きさである。
【0056】
したがって、電気光学効果素子2に対して入出力部で許容される損失も同等程度までと考えると、図8Aにおいて、損失S21が0.5dB以下となるパッドの間隔Sの許容範囲における上限値と下限値はパッドの高さHで変動する。
【0057】
図12は、図8のグラフから求められるパッドの高さHを変えた時のパッドの間隔Sの上限値Aと下限値Bのグラフである。
【0058】
したがって、変調信号が30GHzの成分を有する場合、パッドの間隔Sの許容範囲は、電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドの間隔をS[μm],パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、
-0.002H2+1.3H-160<S<0.0025H2-1.6H+550 の関係を有する。
【0059】
この関係から例えば、H=300の時、許容されるSの大きさは50〜280μmである。
【0060】
特性インピーダンスに関しては、図8Bから損失を最小とする値が41Ωである。上記の様に入力側及び出力側のRFコネクタ3と中継基板40による損失と同等の略0.5dB以下の大きさを許容する場合、特性インピーダンスをZ0[Ω]とすると、許容される特性インピーダンスZ0[Ω]の範囲は、図13に示すように、上限値A、下限値Bの範囲で
-0.0005H2+0.32H-19<Z0<0.00061H2-0.34H+98 の関係を有するものとなる。
【0061】
第2の実施例:
第1の実施例と同様に、主電極20のパッド200の幅Wを50μmとする。但し、変調波の周波数は、40GHzとする。
【0062】
パッド200の高さHを300,200,100μmと変え、パッド200と、パッド210,220の間隔Sを変えた時の損失S21を測定し、その結果を図11に示した。更に、間隔Sを変えた時の反射による損失及び、特性インピーダンスを変えた時の反射による損失をそれぞれ算出し、図9に示した。
【0063】
図9Aは間隔Sを変えた時の反射による損失、図9Bは特性インピーダンスを変えた時の反射による損失を示すグラフである。
【0064】
図11に示したS21と図9に示した反射による損失から、放射による損失を求め図10に示した図10Aは、パッドの間隔Sを変えた時の放射による損失であり、図10Bは、特性インピーダンスを変えた時の放射による損失を示すグラフである。
【0065】
すなわち、図9の反射による損失及び図10の放射による損失を加算すると、図11になる。図11Aは、パッドの間隔Sを変えた時の損失であり、図11Bは、特性インピーダンスを変えた時の損失を示すグラフである。
【0066】
図11Aからパッド200と210及び220の間隔Sを120μmとする時に反射及び放射に起因する損失が最小値となる。一方、図11Bから特性インピーダンスを40Ωとする場合に損失が最小となることが示される。
【0067】
先に述べたように、入力側及び出力側のRFコネクタ3と中継基板40による損失は、それぞれ略0.5dBの大きさである。
【0068】
したがって、電気光学効果素子2に対して入出力部で許容される損失も同等程度までと考えると、図11Aにおいて、0.5dB以下となるパッドの間隔Sの範囲はパッドの高さHで変動する。
【0069】
図14は、図11のグラフから求められるパッドの高さHを変えた時のパッドの間隔Sの上限値Aと下限値Bのグラフである。
【0070】
したがって、変調信号が40GHzの成分を有する場合、パッドの間隔Sの許容範囲は、電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドの間隔をS[μm],パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、
-0.002H2+1.3H-160<S<0.001H2-0.8H+370 の関係を有する。
【0071】
この関係から例えば、H=300の時、許容されるSの大きさは50〜220μmである。
【0072】
特性インピーダンスに関しては、図11Bから損失を最小とする値が42Ωであるが、上記の様に入力側及び出力側のRFコネクタ3と中継基板40による損失と同等の略0.5dB以下の大きさを許容する場合、特性インピーダンスをZ0[Ω]とすると、許容される特性インピーダンスZ0[Ω]の範囲は、図15に示すように、上限値A、下限値Bの範囲で
-0.0005H2+0.32H-19<Z0<0.000093H2-0.061H+57 の関係を有するものとなる。
【0073】
上記実施例の測定結果から、電気光効果素子2に入力部における放射及び反射による損失は、変調周波数の大きさ及びパッドの高さHによらず、パッドの間隔Sを130μmとする時、若しくは特性インピーダンスを42Ωとする時に最小値となる。
【0074】
なお、上記実施例において、信号電極20のパッド200の幅を50μmとしているが、特性インピーダンスへの影響が小さく許容できるのは、30μm〜70μmの範囲である。
【0075】
上記の実施の形態例の説明において、光変調器内の電気光学効果素子2について誘電体基板をZカット、電極をシングル電極とし、変調方式を強度変調として例示して説明したが、本発明の適用は、これに限定されるものではない。
【0076】
すなわち、変調器として、他に誘電体基板がZカットで、強度変調方式とする場合、電極をデュアル電極とすることも可能である。変調方式を位相変調方式、偏波変調方式とすることも可能である。さらに、誘電体基板をXカットとする場合も、電極構成及び変調方式に関し、同様の組合せとすることが可能である。
【0077】
(付記1)
それぞれパッドを備えた信号電極と接地電極が形成され、電気光学効果により光位相を変化させる電気光学効果素子と、
誘電体基板に前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドに接続されたコプレーナ線路が形成された中継基板と、
前記中継基板のコプレーナ線路に接続された中心導体と外部導体を備え、前記電気光学効果素子の信号電極にマイクロ波領域の変調信号を供給するコネクタとを有し、
前記変調信号が30GHzの成分を含み、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドの間隔をS[μm],パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、
-0.002H2+1.3H-160<S<0.0025H2-1.6H+550 の関係を有する
ことを特徴とする光変調器。
【0078】
(付記2)
それぞれパッドを備えた信号電極と接地電極が形成され、電気光学効果により光位相を変化させる電気光学効果素子と、
誘電体基板に前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドに接続されたコプレーナ線路が形成された中継基板と、
前記中継基板のコプレーナ線路に接続された中心導体と外部導体を備え、前記電気光学効果素子の信号電極にマイクロ波領域の変調信号を供給するコネクタとを有し、
前記変調信号が40GHzの成分を含み、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドの間隔をS[μm],パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、
-0.002H2+1.3H−160<S<0.001H2-0.8H+370 の関係を有する
ことを特徴とする光変調器。
【0079】
(付記3)
それぞれパッドを備えた信号電極と接地電極が形成され、電気光学効果により光位相を変化させる電気光学効果素子と、
誘電体基板に前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドに接続されたコプレーナ線路が形成された中継基板と、
前記中継基板のコプレーナ線路に接続された中心導体と外部導体を備え、前記電気光学効果素子の信号電極にマイクロ波領域の変調信号を供給するコネクタとを有し、
前記変調信号が30GHzの成分を含み、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドによる特性インピーダンスをZ0[Ω]とし、パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、
-0.0005H2+0.32H-19<Z0<0.00061H2-0.34H+98 の関係を有する
ことを特徴とする光変調器。
【0080】
(付記4)
それぞれパッドを備えた信号電極と接地電極が形成され、電気光学効果により光位相を変化させる電気光学効果素子と、
誘電体基板に前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドに接続されたコプレーナ線路が形成された中継基板と、
前記中継基板のコプレーナ線路に接続された中心導体と外部導体を備え、前記電気光学効果素子の信号電極にマイクロ波領域の変調信号を供給するコネクタとを有し、
前記変調信号が40GHzの成分を含み、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドによる特性インピーダンスをZ0[Ω]とし、パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、
-0.0005H2+0.32H-19<Z0<0.000093H2-0.061H+57 の関係を有する
ことを特徴とする光変調器。
【0081】
(付記5)付記1又は2において、
前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接続電極のパッドの間隔が130[μm]に設定されていることを特徴とする光変調器。
【0082】
(付記6)付記3又は4において、
前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接続電極のパッドによる特性インピーダンスが、42[Ω]に設定されていることを特徴とする光変調器。
【0083】
(付記7)付記1〜6のいずれかにおいて、
前記電気光学効果素子の信号電極のパッドの幅が、30μm〜70μmであることを特徴とする光変調器。
【0084】
(付記8)付記1〜6のいずれかにおいて、
前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドの幅が、50μmであることを特徴とする光変調器。
【0085】
(付記9)付記1〜6のいずれかにおいて、
前記中継基板及び、RFコネクタのそれぞれが、特性インピーダンスが50Ωに設定されていることを特徴とする光変調器。
【0086】
【発明の効果】
以上図面に従い、実施の形態例を説明したように、本発明により電気光学効果素子2の入力部のパッド200,210,220の寸法を最適化した条件を適用することにより、高周波変調信号の反射及び損失を低減し、変調信号の低電圧化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】光変調器の一構成例を示すカバーを外した状態の上面図である。
【図2】模式的に電気光学効果素子2の構成を示す図である。
【図3】本発明者等による構想により検討した光変調器の構成例である。
【図4】電気光学効果素子に形成される電極パターンを示す図である。
【図5】本発明の対象とする光変調器における電気光学効果により光位相を変化させる素子である電気光学効果素子2の実施の形態例である。
【図6】変調周波数30GHzにおける反射による変調信号の損失を示すグラフである。
【図7】変調周波数30GHzにおける放射による変調信号の損失を示すグラフである。
【図8】変調周波数30GHzにおける反射及び放射による変調信号の損失を示すグラフである。
【図9】変調周波数40GHzにおける反射による変調信号の損失を示すグラフである。
【図10】変調周波数40GHzにおける放射による変調信号の損失を示すグラフである。
【図11】変調周波数40GHzにおける反射及び放射による変調信号の損失を示すグラフである。
【図12】変調周波数30GHzにおいてパッドの高さHを変えた時のパッドの間隔Sの許容できる上限値と下限値を示すグラフである。
【図13】変調周波数30GHzにおいてパッドの高さHを変えた時の特性インピーダンスZ0の許容できる上限値と下限値を示すグラフである。
【図14】変調周波数40GHzにおいてパッドの高さHを変えた時のパッドの間隔Sの許容できる上限値と下限値を示すグラフである。
【図15】変調周波数40GHzにおいてパッドの高さHを変えた時の特性インピーダンスZ0の許容できる上限値と下限値を示すグラフである。
【符号の説明】
1 シールド筐体
2 電気光学効果素子
20 電気光学効果素子の信号電極
21、22 電気光学効果素子の接地電極
200 電気光学効果素子の信号電極のパッド
210,220 電気光学効果素子の接地電極のパッド
3 RFコネクタ
30 中心導体
31 外部導体
40 コプレーナ中継基板
400 コプレーナ中継基板の信号電極
401、402 コプレーナ中継基板の接地電極
23 ボンディングワイヤ
25 変調信号源
Claims (5)
- それぞれパッドを備えた信号電極と接地電極が形成され、電気光学効果により光位相を変化させる電気光学効果素子と、
誘電体基板に前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドに接続されたコプレーナ線路が形成された中継基板と、
前記中継基板のコプレーナ線路に接続された中心導体と外部導体を備え、前記電気光学効果素子の信号電極にマイクロ波領域の変調信号を供給するコネクタとを有し、
前記変調信号が30GHzの成分を含み、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドの間隔をS[μm],パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、
-0.002H2+1.3H-160<S<0.0025H2-1.6H+550 の関係を有する
ことを特徴とする光変調器。 - それぞれパッドを備えた信号電極と接地電極が形成され、電気光学効果により光位相を変化させる電気光学効果素子と、
誘電体基板に前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドに接続されたコプレーナ線路が形成された中継基板と、
前記中継基板のコプレーナ線路に接続された中心導体と外部導体を備え、前記電気光学効果素子の信号電極にマイクロ波領域の変調信号を供給するコネクタとを有し、
前記変調信号が40GHzの成分を含み、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドの間隔をS[μm],パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、
-0.002H2+1.3H−160<S<0.001H2-0.8H+370 の関係を有する
ことを特徴とする光変調器。 - それぞれパッドを備えた信号電極と接地電極が形成され、電気光学効果により光位相を変化させる電気光学効果素子と、
誘電体基板に前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドに接続されたコプレーナ線路が形成された中継基板と、
前記中継基板のコプレーナ線路に接続された中心導体と外部導体を備え、前記電気光学効果素子の信号電極にマイクロ波領域の変調信号を供給するコネクタとを有し、
前記変調信号が30GHzの成分を含み、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドによる特性インピーダンスをZ0[Ω]とし、パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、
-0.0005H2+0.32H-19<Z0<0.00061H2-0.34H+98 の関係を有する
ことを特徴とする光変調器。 - それぞれパッドを備えた信号電極と接地電極が形成され、電気光学効果により光位相を変化させる電気光学効果素子と、
誘電体基板に前記電気光学効果素子の信号電極及び接地電極のパッドに接続されたコプレーナ線路が形成された中継基板と、
前記中継基板のコプレーナ線路に接続された中心導体と外部導体を備え、前記電気光学効果素子の信号電極にマイクロ波領域の変調信号を供給するコネクタとを有し、
前記変調信号が40GHzの成分を含み、前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接地電極のパッドによる特性インピーダンスをZ0[Ω]とし、パッドの高さをH[μm]とした時、高さHが300以下であって、
-0.0005H2+0.32H-19<Z0<0.000093H2-0.061H+57 の関係を有する
ことを特徴とする光変調器。 - 請求項1又は2において、
前記電気光学効果素子の信号電極のパッドと接続電極のパッドの間隔が130[μm]に設定されていることを特徴とする光変調器。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002033080A JP3955764B2 (ja) | 2002-02-08 | 2002-02-08 | 電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光変調器 |
US10/285,419 US6741378B2 (en) | 2002-02-08 | 2002-11-01 | Optical modulator having element for varying optical phase by electrooptic effect |
DE60204652T DE60204652T2 (de) | 2002-02-08 | 2002-12-02 | Optischer Phasenmodulator mit Elektrodenanordnung mit breitbandiger Übertragungscharakteristik |
EP02026872A EP1335238B1 (en) | 2002-02-08 | 2002-12-02 | Optical phase modulator with electrode arrangement having a wideband transmission response |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002033080A JP3955764B2 (ja) | 2002-02-08 | 2002-02-08 | 電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光変調器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003233044A JP2003233044A (ja) | 2003-08-22 |
JP3955764B2 true JP3955764B2 (ja) | 2007-08-08 |
Family
ID=27606553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002033080A Expired - Lifetime JP3955764B2 (ja) | 2002-02-08 | 2002-02-08 | 電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光変調器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6741378B2 (ja) |
EP (1) | EP1335238B1 (ja) |
JP (1) | JP3955764B2 (ja) |
DE (1) | DE60204652T2 (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6885780B2 (en) * | 2002-12-17 | 2005-04-26 | Jdsu Uniphase Corporation | Suppression of high frequency resonance in an electro-optical modulator |
US7672558B2 (en) * | 2004-01-12 | 2010-03-02 | Honeywell International, Inc. | Silicon optical device |
US7217584B2 (en) * | 2004-03-18 | 2007-05-15 | Honeywell International Inc. | Bonded thin-film structures for optical modulators and methods of manufacture |
US7177489B2 (en) * | 2004-03-18 | 2007-02-13 | Honeywell International, Inc. | Silicon-insulator-silicon thin-film structures for optical modulators and methods of manufacture |
US7149388B2 (en) * | 2004-03-18 | 2006-12-12 | Honeywell International, Inc. | Low loss contact structures for silicon based optical modulators and methods of manufacture |
US20050214989A1 (en) * | 2004-03-29 | 2005-09-29 | Honeywell International Inc. | Silicon optoelectronic device |
JP4089711B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2008-05-28 | コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 | 画像読み取り装置とそれを有する画像形成装置 |
US20070101927A1 (en) * | 2005-11-10 | 2007-05-10 | Honeywell International Inc. | Silicon based optical waveguide structures and methods of manufacture |
US7362443B2 (en) | 2005-11-17 | 2008-04-22 | Honeywell International Inc. | Optical gyro with free space resonator and method for sensing inertial rotation rate |
US7454102B2 (en) * | 2006-04-26 | 2008-11-18 | Honeywell International Inc. | Optical coupling structure |
US20070274655A1 (en) * | 2006-04-26 | 2007-11-29 | Honeywell International Inc. | Low-loss optical device structure |
JP5056040B2 (ja) | 2007-02-08 | 2012-10-24 | 富士通株式会社 | 光変調器 |
JP5076726B2 (ja) | 2007-08-13 | 2012-11-21 | 富士通株式会社 | 光変調器および光送信器 |
JP4599434B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2010-12-15 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JPWO2010021193A1 (ja) | 2008-08-22 | 2012-01-26 | 日本碍子株式会社 | 光変調器 |
JP4732539B2 (ja) * | 2009-09-25 | 2011-07-27 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP5263210B2 (ja) * | 2010-03-29 | 2013-08-14 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
US9335570B2 (en) | 2011-12-28 | 2016-05-10 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical-waveguide-element module |
JP5494704B2 (ja) * | 2012-03-16 | 2014-05-21 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP6217243B2 (ja) * | 2013-08-29 | 2017-10-25 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光モジュールおよび光送信機 |
JP6217268B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2017-10-25 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光モジュールおよび光送信機 |
JP5835392B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2015-12-24 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP6459245B2 (ja) * | 2014-06-30 | 2019-01-30 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
GB2554847A (en) * | 2016-06-06 | 2018-04-18 | Oclaro Tech Ltd | Optimised RF Input section |
JP7037116B2 (ja) * | 2018-03-30 | 2022-03-16 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
US10845670B2 (en) * | 2018-08-17 | 2020-11-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Folded waveguide phase shifters |
JP7151593B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2022-10-12 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子、及び光導波路デバイス |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5991491A (en) | 1996-11-08 | 1999-11-23 | Nec Corporation | Optical waveguide type device for reducing microwave attenuation |
US6192167B1 (en) | 1998-07-24 | 2001-02-20 | Uniphase Telecommunications Products | Differential drive optical modulator |
AU2167501A (en) * | 1999-12-24 | 2001-07-09 | Corning O.T.I. S.P.A. | Active device assembly |
US6760493B2 (en) * | 2001-06-28 | 2004-07-06 | Avanex Corporation | Coplanar integrated optical waveguide electro-optical modulator |
-
2002
- 2002-02-08 JP JP2002033080A patent/JP3955764B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-01 US US10/285,419 patent/US6741378B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-12-02 EP EP02026872A patent/EP1335238B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-12-02 DE DE60204652T patent/DE60204652T2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60204652T2 (de) | 2006-05-11 |
EP1335238A1 (en) | 2003-08-13 |
DE60204652D1 (de) | 2005-07-21 |
EP1335238B1 (en) | 2005-06-15 |
JP2003233044A (ja) | 2003-08-22 |
US6741378B2 (en) | 2004-05-25 |
US20030151793A1 (en) | 2003-08-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3955764B2 (ja) | 電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光変調器 | |
US7394950B2 (en) | Optical modulator | |
JP2003262841A (ja) | 光変調装置及び設計方法 | |
JP2008191614A (ja) | 光変調器 | |
JP4027109B2 (ja) | 電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光モジュール | |
JP2007017683A (ja) | 光変調器 | |
US6909817B2 (en) | Electro-optic modulators with internal impedance matching | |
US20100158428A1 (en) | Optical modulator | |
JP4771451B2 (ja) | 進行波型光変調器 | |
US6768570B2 (en) | Optical modulator | |
JP2007079249A (ja) | 光変調器 | |
JP2000267056A (ja) | 導波路型光デバイス | |
JP4587762B2 (ja) | 光変調素子モジュール | |
JPH09304746A (ja) | 導波路型光デバイス | |
US6885780B2 (en) | Suppression of high frequency resonance in an electro-optical modulator | |
JP5074431B2 (ja) | 光変調器 | |
JP4926423B2 (ja) | 光変調器 | |
US6980706B2 (en) | Waveguide optical modulator | |
US6950218B2 (en) | Optical modulator | |
JP3067760B1 (ja) | 導波路型光デバイス | |
JP5075055B2 (ja) | 光変調器 | |
JP2007093742A (ja) | 光変調器 | |
US20230194904A1 (en) | Optical modulator and optical transmitter | |
JP4907378B2 (ja) | 光変調装置 | |
JP3019278B2 (ja) | 導波路型光デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040903 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060516 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060713 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070424 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3955764 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100511 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100511 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100511 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110511 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130511 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140511 Year of fee payment: 7 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |