JP3947177B2 - マスク基板の平坦度シミュレーションシステム - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る露光マスクの製造方法の流れを示すフローチャートである。
第1の実施形態では、図2(a)に示したマスク基板1の主面の第1の領域1についてのみ表面形状および平坦度を取得したが(ステップS1)、本実施形態では、第1の領域1とこの第1の領域1を囲む第2の領域2との二つの領域のそれぞれについて表面形状および平坦度を取得する。
しかしながら、現在のマスク製造技術では、マスク基板1の主面全体を平坦にすることは非常に困難であり、マスク基板1の主面の平坦度は端部で急激に悪化しているのが現状であり、そのため第1の領域1を広げてしまうと、マスク基板1の中心部の平坦度はいいのだが、マスク基板1の端部の平坦度が悪いために、マスク基板1の主面全体についての平坦度の測定結果が低下することになる そこで、本実施形態では、上述の如く、マスク中心を含む第1の領域1と、それを囲む第2の領域2とのそれぞれについて平坦度および表面形状を取得する。
本実施形態では、真空チャックによるチャック後のマスク基板の主面の表面形状に相当するマスク基板の主面の表面形状を、シミュレーションにより取得する。
本実施形態では、真空チャックによるチャック後のマスク基板の主面の表面形状に相当するマスク基板の主面の表面形状を、シミュレーションにより取得する。
次に、本発明の第5の実施形態に係るマスク基板情報生成方法について説明する。
図6は、本発明の第6の実施形態に係るサーバー・システムを模式的に示す図である。第5の実施形態では、呈示の例示としてシールをあげたが、本実施形態ではサーバー(サーバー装置)上で呈示し、これによりこの実施形態のマスク基板情報生成方法をe−ビジネス(電子メールビジネス)に利用できるようになる。
Claims (5)
- 測定装置によりマスクパターン形成前のマスク基板の主面の平坦度に関する第1の情報を取得する手段と、前記第1の情報と露光装置のマスクチャック構造に関する情報とから前記マスク基板を前記露光装置にセットした時のシミュレーションによる前記主面の平坦度に関する第2の情報を生成する手段とを備えたことを特徴とするマスク基板の平坦度シミュレーションシステム。
- 前記マスク基板には、位置合わせ用マークが予め形成されていることを特徴とする請求項1記載のマスク基板の平坦度シミュレーションシステム。
- 前記シミュレーションによる第2の情報の生成は、有限要素法を用いたことを特徴とする請求項1記載のマスク基板の平坦度シミュレーションシステム。
- 露光装置のマスクステージにチャックする前に取得した前記マスク基板主面の平坦度に関する情報と、前記シミュレーションにより取得した平坦度に関する情報との対応関係を作成する手段を備えたことを特徴とする請求項1又は3に記載のマスク基板の平坦度シミュレーションシステム。
- シミュレーションによって生成された前記マスク基板の平坦度が仕様に合うか否かを判断する手段を備えたことを特徴とする請求項1又は3に記載のマスク基板の平坦度シミュレーションシステム。
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