JP3898731B2 - マスク基板情報生成方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る露光マスクの製造方法の流れを示すフローチャートである。
第1の実施形態では、図2(a)に示したマスク基板1の主面の第1の領域1についてのみ表面形状および平坦度を取得したが(ステップS1)、本実施形態では、第1の領域1とこの第1の領域1を囲む第2の領域2との二つの領域のそれぞれについて表面形状および平坦度を取得する。
しかしながら、現在のマスク製造技術では、マスク基板1の主面全体を平坦にすることは非常に困難であり、マスク基板1の主面の平坦度は端部で急激に悪化しているのが現状であり、そのため第1の領域1を広げてしまうと、マスク基板1の中心部の平坦度はいいのだが、マスク基板1の端部の平坦度が悪いために、マスク基板1の主面全体についての平坦度の測定結果が低下することになる。そこで、本実施形態では、上述の如く、マスク中心を含む第1の領域1と、それを囲む第2の領域2とのそれぞれについて平坦度および表面形状を取得する。
本実施形態では、真空チャックによるチャック後のマスク基板の主面の表面形状に相当するマスク基板の主面の表面形状を、シミュレーションにより取得する。
本実施形態では、真空チャックによるチャック後のマスク基板の主面の表面形状に相当するマスク基板の主面の表面形状を、シミュレーションにより取得する。
次に、本発明の第5の実施形態に係るマスク基板情報生成方法について説明する。
図6は、本発明の第6の実施形態に係るサーバー・システムを模式的に示す図である。第5の実施形態では、呈示の例示としてシールをあげたが、本実施形態ではサーバー(サーバー装置)上で呈示し、これによりこの実施形態のマスク基板情報生成方法をe−ビジネス(電子メールビジネス)に利用できるようになる。
Claims (6)
- 複数のマスク基板の各主面には主なパターンが形成される第1の領域と、露光装置のマスクステージにチャックされる第2の領域とがあり、これらマスク基板の主面の前記第1の領域の平坦度に関する第1の情報を取得する工程と、これらマスク基板の主面の前記第2の領域の表面形状に関する第2の情報とを取得する工程と、前記複数のマスク基板と前記第1の情報と第2の情報とを対応付けて記憶する工程と、を有することを特徴とするマスク基板情報生成方法。
- 前記第2の情報の中で、主面の表面形状が凸状に関する情報のマスク基板を選択する工程と、を有することを特徴とする請求項1記載のマスク基板情報生成方法。
- マスク基板の主面には主にパターンが形成される第1の領域と、露光装置のマスクステージにチャックされる第2の領域とがあり、このマスク基板の主面の前記第1の領域の表面形状に関する第1の情報を取得する工程と、前記マスク基板の主面の前記第2の領域の表面形状に関する第2の情報を取得する工程と、露光装置のマスクステージへのチャック時の前記第1の領域の平坦度に関する第3の情報とを取得する工程と、前記マスク基板と前記工程で取得された第3の情報とを対応付けて記憶する工程と、を有することを特徴とするマスク基板情報生成方法。
- 前記対応付けて記憶したマスク基板と第3の情報から得られる前記マスク基板の主面の平坦度に関する情報とを前記マスク基板が収容される容器に呈示することを特徴とする請求項3に記載のマスク基板情報生成方法。
- 複数のマスク基板の各主面には主なパターンが形成される第1の領域と、露光装置のマスクステージにチャックされる第2の領域とがあり、これらマスク基板の主面の前記第1の領域の平坦度に関する第1の情報を取得する工程と、これらマスク基板の主面の前記第2の領域の表面形状に関する第2の情報とを取得する工程と、前記工程で取得した第2の情報の中で、表面形状が凸状に関する情報とそれと対応したマスク基板とを対応付けて記憶する工程と、を有することを特徴とするマスク基板情報生成方法。
- さらに、前記マスク基板を露光装置のマスクステージにチャックした時の前記マスク基板の主面の平坦度に関する第3の情報を取得する工程と、前記工程により取得した第3の情報から得られる前記マスク基板の平坦度が仕様に合うか否かに関する情報を取得する工程と、を有することを特徴とする請求項5に記載のマスク基板情報生成方法。
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