JP3944272B2 - 像回転装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学像を光軸に垂直な面内で任意の角度回転させる像回転装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
周知のように、共焦点走査型光学顕微鏡は、点光源による点状照明が走査される試料からの透過光または反射光をピンホール上に集光させ、このピンホールを透過される光の強度を光検出器で検出することで、試料表面の情報測定を行うようにしたものである。
【0003】
ところで、このような共焦点走査型光学顕微鏡では、試料を固定した状態で、試料の任意の方向に点状照明の走査方向を合わせることを可能にするため、光学像を光軸に垂直な面内で任意の角度回転させるための像回転プリズムを有する像回転装置を組み合わせて使用することがある。
【0004】
図4(a)乃至(c)は、このような像回転装置に用いられる像回転プリズムの形状の異なる例を示すもので、これらは入射光線1をプリズム4の光軸3より入射すると、プリズム4内で奇数回数反射されて光軸3に戻され、出射光線2として出力されるようになり、この時の光学像は、上下が反転し、左右はそのままとなる。そして、この状態から、プリズム4を光軸3を中心にθ回転させると、出射光線2は、光軸3を中心に2θ回転するようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような像回転装置によると、プリズム4を光軸3を中心に回転させた場合、プリズム4の回転にともない、プリズム4に入射する入射光線1の偏光特性も、プリズム4に対して回転する。また、図4(b)および(c)に示す像回転プリズムのように、プリズム4内部に全反射面が含まれるものでは、これら全反射面では、p成分とs成分とで位相差が生じ、さらに、プリズム4が回転すると、全反射面に入射する偏光のp成分とs成分の振幅の比率が変化するため、プリズム4の回転とともに、出射光線2の偏光特性も変化することになる。
【0006】
このことは、特に、特に、光源に直線偏光のレーザを使用し、偏光ビームスプリッタとλ/4板を組み合わせることで、入射光と試料での反射を分離して、試料での反射光を効率よく検出器に導入するようにした反射型の走査型光学顕微鏡については、直線偏光を使用することからプリズム4の回転により、プリズム4の出射光線2の偏光特性が変化すると、偏光ビームスプリッタで反射される光量が変化することとなり、観察画像の明るさが大きく変動してしまうという問題があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、出射光線の偏光特性の変化をなくすことができる像回転装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、像観察光学系内に回転可能に配置され、全反射面を含み光学像を光軸と垂直な面内で回転させる像回転光学手段と、前記像回転光学手段の入射側に配置され、円偏光の入射光を直線偏光に変換し、前記像回転光学手段の回転にかかわらず前記直線偏光の偏光成分の位相差が、前記全反射面で変化しないように、前記直線偏光の偏光方向が前記像回転光学手段の全反射面のp方向と一致するように調整されたλ/4板からなる第1の偏光特性変換手段と、前記像回転光学手段の出射側に配置され、前記像回転光学手段の回転にかかわらず前記像回転光学手段から出射される前記直線偏光を円偏光に変換するように前記像回転光学手段との向きが調整されたλ/4板からなる第2の偏光特性変換手段と、を有し、前記第1および第2の偏光特性変換手段は、前記像回転光学手段と同方向に同じ量だけ回転可能であることを特徴としている。
【0009】
請求項2記載の発明は、請求項1記載において、前記像回転光学手段を保持する像回転光学保持部材を有し、第1および第2の偏光特性変換手段は、前記像回転光学保持部材に設けられ、前記像回転光学手段と一体に回転可能であることを特徴としている。
【0010】
この結果、本発明によれば、像回転光学手段の回転にかかわらず、像回転光学手段から出射される光の偏光特性が変化しないようにできるので、像回転光学手段以降の光学系に入射する光の偏光特性を一定に保つことができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の像回転装置を適用した反射型の走査型光学顕微鏡の概略構成を示している。
【0012】
図において、11はレーザ光源で、このレーザ光源11は、直線偏光のレーザビームを出射するようにしている。このレーザ光源11から出射するレーザビームは、偏光ビームスプリッタ12に与えられる。この場合、レーザ光源11の直線偏光のレーザビームは、偏光ビームスプリッタ12を透過するように偏光方向が調整されている。
【0013】
偏光ビームスプリッタ12を透過したレーザビームは、ガルバノメータ13に送られる。このガルバノメータ13は、後述の対物レンズ17と共役な位置に設けられており、レーザビームを偏向して水平方向(X走査)および垂直方向(Y走査)に走査するようにしている。この場合、図面では、ガルバノメータ13は、1組しか記載していないが、実際は、レーザビームを水平方向に走査する水平走査用ガルバノメータとレーザビームを垂直方向に走査する垂直走査用ガルバノメータとを近接して配置するようになっている。
【0014】
ガルバノメータ13で2次元走査されたレーザビームは、瞳投影レンズ14を通って第1のλ/4板15に入射される。この場合、第1のλ/4板15は、偏光ビームスプリッタ12を透過された直線偏光が円偏光になるように光学軸が調整されている。そして、この第1のλ/4板15で、円偏光に調整されたレーザビームは、像回転機構16に入射される。
【0015】
この像回転機構16は、同一光軸上に第2のλ/4板161、像回転プリズム162、第3のλ/4板163を配置している。第2のλ/4板161では、第1のλ/4板15で調整された円偏光を再度直線偏光に変換するように光学軸が調整される。この場合、第2のλ/4板161から出射する直線偏光の偏光方向が、像回転プリズム162の全反射面のp方向に一致するように、第2のλ/4板161の光学軸と像回転プリズム162の向きが調整されている。これにより、像回転プリズム162では、第2のλ/4板161よりp方向成分のみの直線偏光が入射することで、全反射面で生じる偏光のp成分とs成分の位相差によらず、p方向成分のみの直線偏光が出射するようにしている。さらに、第3のλ/4板163は、像回転プリズム162から出射した直線偏光を、再度円偏光に変換するように光学軸が調整されている。
【0016】
また、これら第2のλ/4板161、像回転プリズム162、第3のλ/4板163は、プリズム保持部材164に一体に設けている。このプリズム保持部材164は、ギヤ165、166を介してプリズム回転モータ167に接続しており、このプリズム回転モータ167により、プリズム保持部材164を回転させることにより、第2のλ/4板161、像回転プリズム162、第3のλ/4板163を光軸中心に一体に回転できるようにしている。
【0017】
このような像回転機構16の第3のλ/4板163から出射した円偏光は、対物レンズ17に入射され、試料18面に集光される。そして、試料18面での反射光は、対物レンズ17を通して像回転機構16の第3のλ/4板163に入射される。
【0018】
この場合、像回転機構16では、試料18からの反射光が、照明用の入射光と逆回りの円偏光になるので、第3のλ/4板163より入射時と偏光方向が90°回転した直線偏光、すなわち、像回転プリズム162に対しs方向の直線偏光に変換され、像回転プリズム162に入射される。すると、この像回転プリズム162では、s方向の直線偏光の入射により、照明光の場合と同様に、像回転プリズム162の全反射面で生じる偏光のp成分とs成分の位相差によらず、s方向成分のみの直線偏光が出射され、さらに、像回転プリズム162から出射した直線偏光は、第2のλ/4板161により照明用とは逆回りの円偏光となり、さらに第1のλ/4板15により入射時とは偏光方向が90°回転した直線偏光が偏光ビームスプリッタ12に入射されるようになっている。
【0019】
偏光ビームスプリッタ12では、この時の戻り光が、入射時とは偏光方向が90°回転した直線偏光よりなっているので、ここでは反射され、集光レンズ19を通してピンホール20上に集光され、これが光検出器21で検出されて、共焦点像として得られるようになる。
【0020】
次に、このように構成した第1の実施の形態の動作を説明する。
いま、レーザ光源11より直線偏光のレーザビームが出射されると、偏光ビームスプリッタ12を透過され、ガルバノメータ13で、水平および垂直方向に2次元走査されて、瞳投影レンズ14を通って第1のλ/4板15に入射される。すると、図2(a)に示すように、第1のλ/4板15により、直線偏光22が図示実線の円偏光23に変換され、この円偏光23に調整されたレーザビームは、像回転機構16に入射される。
【0021】
像回転機構16では、第1のλ/4板15からの円偏光23が、第2のλ/4板161により直線偏光24に変換され、像回転プリズム162に入射される。像回転プリズム162では、p方向成分のみの直線偏光24の入射により、全反射面で生じる偏光のp成分とs成分の位相差によらず、p方向成分のみの直線偏光25のみが出射され、さらに、第3のλ/4板163により、直線偏光25は、再度、図示実線の円偏光26に変換される。
【0022】
そして、この円偏光26は、対物レンズ17を通して試料18面に集光され、この試料18面での反射光は、対物レンズ17を通して、再び像回転機構16の第3のλ/4板163に入射される。
【0023】
この場合、図2(a)に示すように、試料18からの反射光は、照明用の入射光と逆回りの図示破線の円偏光27になるので、この円偏光27が、第3のλ/4板163により直線偏光28に変換され、像回転プリズム162に入射される。像回転プリズム162では、今度は、s方向成分のみの直線偏光28の入射により、全反射面で生じる偏光のp成分とs成分の位相差によらず、s方向成分のみの直線偏光29のみが出射され、第2のλ/4板161により、直線偏光29は、図示破線の円偏光30に変換され、さらに第1のλ/4板15により入射時とは偏光方向が90°回転した直線偏光31が出射され、瞳投影レンズ14を通して、偏光ビームスプリッタ12に入射され、ここで反射されて集光レンズ19を通してピンホール20上に集光され、光検出器21より共焦点像が生成されるようになる。
【0024】
次に、試料18を固定した状態で、試料18の任意の方向に点状照明の走査方向を合わせるような場合、プリズム回転モータ167を駆動して、プリズム保持部材164を所定角度だけ回転させる。
【0025】
この場合、像回転プリズム162だけを角度θ回転させたとすると、プリズム内部に含まれる全反射面に対して直線偏光25がθ回転した状態で入射し、偏光のp成分とs成分の振幅の比率が変化するため、出射光の偏光特性も変化しようとする。
【0026】
ところが、本実施の形態では、図2(b)に示すように、像回転プリズム162のθ回転と同時に、固定された第1のλ/4板15に対して第2のλ/4板161、像回転プリズム162、第3のλ/4板163がθ回転されるので、第2のλ/4板161でθ回転した直線偏光24は、常に像回転プリズム162の全反射のp方向に一致する。このことから、像回転プリズム162に対する入射光の偏光特性は、像回転プリズム162の回転量にかかわらず、p方向成分のみとなる。また、像回転プリズム162から出射する直線偏光25も、像回転プリズム162の回転と同じくθ回転するが、第3のλ/4板163も同時にθ回転しているので、第3のλ/4板163で円偏光26に変換されるため、像回転プリズム162の回転によらず、常に円偏光26となる。これにより、像回転機構16より出射される光の偏光特性は、楕円偏光のように光軸に対して回転することがなくなり、常に一定の偏光特性の光が出射されるようになる。
【0027】
従って、このようにすれば、像回転機構16として像回転プリズム162に入射側に第2のλ/4板161を、出射側に第3のλ/4板163をそれぞれ配置し、これらをプリズム保持部材164に一体に設けて、光軸中心に一体に回転できるようにしたので、像回転機構16がθ回転すると、入射光の偏光特性は、像回転機構16に対して−θ回転することになるが、固定される第1のλ/4板15と像回転プリズム162と同方向にθ回転される第2のλ/4板161の関係により、像回転プリズム162に対して入射光の偏光特性が常に同じになるような偏光特性の光を入射するようにできる。つまり、第1のλ/4板15からは、円偏光23が入射されるが、この円偏光23は、光軸中心に回転しても偏光特性は変わらないので、第2のλ/4板161に対して常に同一の偏光特性の光を入射できる。また、像回転機構16がθ回転した場合、出射光の偏光特性は、像回転機構16以降の光学系に対してθ回転することになるが、像回転プリズム162と同方向にθ回転される第3のλ/4板163により、像回転機構16以降の光学系に対しても出射光の偏光特性が常に同じになるような偏光特性の光を出射するようにできる。つまり、第3のλ/4板163からは、円偏光26が出射されるが、この円偏光26は、光軸中心に回転しても偏光特性は変わらないので、像回転機構16以降の光学系に対して常に同一の偏光特性の光を入射できる。
【0028】
これにより、像回転機構16から出射される光の偏光特性は、像回転機構16の回転によらず、常に同一の偏光特性の光が出射されるようになるので、回転像回転機構16以降の光学系に入射する光の偏光特性を一定のまま保つことができる。
【0029】
また、このようにした像回転機構16を反射型の走査型光学顕微鏡に採用すれば、像回転機構16の回転による偏光特性の変化がないので、像回転を行っても明るさに変動を生じることがなくなり、常に安定した観察画像を得ることができる。
【0030】
また、第2のλ/4板161、第3のλ/4板163は、像回転プリズム162と同方向に同量回転すればよく、これらをプリズム保持部材164に一体に設ける構成にできるので、構成的にも簡単なものにできる。
【0031】
なお、上述では、プリズム回転モータ167の動力をプリズム保持部材164に伝達する手段としてギヤ165、166を使用したが、例えばタイミングベルトのような伝達手段を使用することもできる。また、プリズム回転モータ167を使用せずに、手動によりプリズム保持部材164を回転させるようにしてもよい。さらに、ガルバノメータ13により光を偏向するのでなく、対物レンズ17および試料18を機械的に操作するレーザ走査型顕微鏡にも適用することができる。
(第2の実施の形態)
第1の実施の形態では、像回転機構16は、像回転プリズム162と同一光軸上で、入射側に第2のλ/4板161を配置し、出射側に第3のλ/4板163を配置する構成としたが、この第2の実施の形態では、これら第2および第3のλ/4板161、163に代ってλ/2板を用いている。
【0032】
図3は、第2実施の形態の概略構成を示すもので、図1と同一部分には、同符号を付している。
この場合、像回転機構41は、像回転プリズム43と同一光軸上で、入射側に第1のλ/2板42を配置し、出射側に第2のλ/2板44を配置している。そして、第1のλ/2板42は、ギヤ451、452を介して、像回転プリズム43は、ギヤ461、462を介して、第2のλ/2板44は、ギヤ471、472を介してプリズム回転モータ48に接続しており、このプリズム回転モータ48の回転により、各別に第1のλ/2板42、像回転プリズム43および第2のλ/2板44を光軸中心に回転できるようにしている。
【0033】
この場合、ギヤ451、452とギヤ471、472のギヤ比は、像回転プリズム43がθ回転したときに、第1のλ/2板42、第2のλ/2板44は、それぞれθ/2、−θ/2回転するように構成している。
【0034】
この場合も、第1の実施の形態で述べたと同様に、試料18を固定した状態で、試料18の任意の方向に点状照明の走査方向を合わせるため、プリズム回転モータ167を駆動しギヤ461、462を介して像回転プリズム43をθ回転させると、ギヤ451、452を介して第1のλ/2板42は、θ/2回転され、ギヤ471、472を介して第2のλ/2板44は、−θ/2回転される。
【0035】
すると、第1のλ/2板42から出射する光は、光軸に対してθ回転されるが、この時、像回転プリズム43はθ回転されているので、この像回転プリズム43に対する入射光の偏光特性は、像回転プリズム43の回転量によらず、常に一定となる。また、第2のλ/2板44から出射する光は、光軸に対して−θ回転されるが、この時、像回転プリズム43はθ回転されているので、像回転機構41から出射される光の偏光特性は、光軸に対して回転することなくなり、以降の光学系に対して、常に一定に保たれることになる。
【0036】
従って、このようにすれば、像回転プリズム43と同方向に1/2の量だけ回転される第1のλ/2板42により、像回転機構41に対して入射光の偏光特性が常に同じになるような偏光特性交換部が構成され、また、像回転プリズム43と逆方向に1/2の量だけ回転される第2のλ/2板44により、像回転機構41以降の光学系に対し出射光の偏光特性が常に同じになるような偏光特性交換部が構成されることで、像回転機構41から出射される光の偏光特性は、光軸に対して回転することがなくなり、常に一定の偏光特性の光が出射され、像回転プリズム43の回転による出射光の偏光特性の変化をなくすことができる。
【0037】
また、像回転機構41に入射される光線の偏光特性を像回転機構41に対して常に同じになるする偏光特性交換部は、λ/2板42のみであり、また、像回転機構41から出射される光線の偏光特性を像回転機構41以降の光学系に対しても同一にする偏光特性交換部もλ/2板44のみであるので、構成を簡単にでき、これにより波面の乱れや光量のロスといった不具合を最小限に止めることもできる。
【0038】
なお、上述した第1の実施の形態では、3枚のλ/4板を組み合わせたもの、第2の実施の形態では、2枚のλ/2板を組み合わせたものについて述べたが、λ/4板とλ/2板を組み合わせたものを適用することもできる。この場合、λ/4板については、像回転プリズムと同方向に同量だけ回転するようにし、λ/2板については、像回転プリズムの入射側では、像回転プリズムと同方向に1/2の量だけ回転するようにし、像回転プリズムの出射側では、像回転プリズムと逆方向に1/2の量だけ回転するようにすればよい。
【0039】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、像回転光学手段の回転にかかわらず、像回転光学手段から出射される光の偏光特性が変化しないので、像回転光学手段以降の光学系に入射する光の偏光特性を一定に保つことができる。
【0040】
これにより、このような装置を反射型の走査型光学顕微鏡に採用すれば、像回転光学手段の回転による偏光特性の変化がないことから、像回転を行っても明るさに変動を生じることがなく、安定した観察画像を得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態の概略構成を示す図。
【図2】 第1の実施の形態を説明するための図。
【図3】 本発明の第2の実施の形態の概略構成を示す図。
【図4】 従来の像回転装置に用いられる像回転プリズムを示すの図。
【符号の説明】
11…レーザ光源、
12…偏光ビームスプリッタ、
13…ガルバノメータ、
14…瞳投影レンズ、
15…第1のλ/4板、
16…像回転機構、
161…第2のλ/4板、
162…像回転プリズム、
163…第3のλ/4板、
164…プリズム保持部材、
165、166…ギヤ、
167…プリズム回転モータ、
17…対物レンズ、
18…試料、
19…集光レンズ、
20…ピンホール、
21…光検出器、
41…像回転機構、
42…第1のλ/4板、
43…像回転プリズム、
44…第2のλ/4板、
451、452、461、462、471、472…ギヤ。
Claims (2)
- 像観察光学系内に回転可能に配置され、全反射面を含み光学像を光軸と垂直な面内で回転させる像回転光学手段と、
前記像回転光学手段の入射側に配置され、円偏光の入射光を直線偏光に変換し、前記像回転光学手段の回転にかかわらず前記直線偏光の偏光成分の位相差が、前記全反射面で変化しないように、前記直線偏光の偏光方向が前記像回転光学手段の全反射面のp方向と一致するように調整されたλ/4板からなる第1の偏光特性変換手段と、
前記像回転光学手段の出射側に配置され、前記像回転光学手段の回転にかかわらず前記像回転光学手段から出射される前記直線偏光を円偏光に変換するように前記像回転光学手段との向きが調整されたλ/4板からなる第2の偏光特性変換手段と、を有し、
前記第1および第2の偏光特性変換手段は、前記像回転光学手段と同方向に同じ量だけ回転可能であることを特徴とする像回転装置。 - 前記像回転光学手段を保持する像回転光学保持部材を有し、第1および第2の偏光特性変換手段は、前記像回転光学保持部材に設けられ、前記像回転光学手段と一体に回転可能であることを特徴とする請求項1記載の像回転装置。
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