JP3413851B2 - 光走査画像情報検出装置 - Google Patents
光走査画像情報検出装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被写体を光ビームで走
査し、この被写体からの反射光を受光することにより、
被写体画像を検出する装置、すなわち光走査画像情報検
出装置に関するものである。 【0002】 【従来の技術】本発明が対象とする被写体画像とは、単
に濃淡に関する情報のみではなく、光を照射することに
より得られるすべての情報のことである。例えば、被写
体による吸収・散乱特性から得られる物理・化学情報、
被写体の距離・速度情報、三次元構造の測定・認識など
がある。 【0003】従来、このような二次元走査に使用される
主走査方向のスキャナとしては、ポリゴンミラー、ピラ
ミダルミラー、ガルバノミラー、ホログラムなどが知ら
れている。そうして、近距離領域で90°以上の広画角
な測定範囲に存在する被写体画像からの微弱な散乱光を
検出する場合、広画角な走査と広い開口とを必要とし、
ポリゴンミラー、ピラミダルミラーが適しており、コン
パクトな点では、ピラミダルミラーが優れている。 【0004】図10は、ピラミダルミラーの機能の説明
図である。図10で1は光源、2は光ビーム、3はピラ
ミダルミラー、4はピラミダルミラーの回転軸、5はピ
ラミダルミラーの反射面、6はピラミダルミラー3を回
転したときの、光ビーム2の反射面5への入射点の軌
跡、7は反射光ビームである。 【0005】光源1を発した光ビーム2は、ピラミダル
ミラー3の回転軸4と並行に進み、ピラミダルミラー3
の反射面5に入射する。ピラミダルミラー3を回転軸4
の回りに回転すると、反射面5における光ビーム2の入
射点の軌跡6が、図示のように円すい曲線の一部を描く
ことが知られている。したがって、一般に反射光ビーム
7は、直線的走査とはならずに曲線状の走査を行うこと
になる。 【0006】 【発明が解決しようとする課題】上述したように、二次
元走査に使用される主走査方向のスキャナとして最適な
ピラミダルミラーには、反射光ビームが曲線状の走査を
行うという欠点がある。したがって、図示されていない
副走査用ミラーとの組み合わせによる二次元走査から、
被写体に関する二次元の画像情報を得る際に、画像の歪
みを生じるという問題がある。 【0007】本発明は、上述の事情に鑑みてなされたも
のであり、その目的はピラミダルミラーを使用する光走
査画像情報検出装置において、走査光ビームの強度減少
がなく効率的なエネルギー利用を可能とし、広画角、コ
ンパクトで画像歪みのない二次元画像情報を得ることで
ある。 【0008】 【課題を解決するための手段】本発明の光走査画像情報
検出装置は、被写体を光ビームで両端のある有限の区間
走査し、この被写体からの反射光を受光することにより
上記被写体画像を検出する光走査画像情報検出装置にお
いて、複数の反射面を斜面にもち、対称軸を回転軸とし
て回転するピラミダルミラーと、上記ピラミダルミラー
の回転と同期して同軸に回転しながら、複数の光ビーム
の各々を上記ピラミダルミラーの各反射面に向けて対応
させて照射することにより、上記反射面上の固定された
位置で上記光ビームを反射させて走査光にする光学部材
と、上記走査によって上記複数の走査光の各々が次々と
照射される上記被写体からの反射光を、上記ピラミダル
ミラーを介して受光する受光素子と、を有することを特
徴としている。 【0009】 【作用】図1は、本発明の光走査画像情報検出装置の作
用・原理の説明図である。図1で符号1〜符号7は図1
0と同じであるが、ピラミダルミラー3は、頂点を切除
し形成した頂点切除部を有する。9はピラミダルミラー
3の頂点切除部に支持板12を介して固着あるいは固定
しており、光源1を発した光ビーム2を光走査のために
反射させる反射面5に導くプリズムなどの光学部材であ
る。10,11はプリズム9における対向する反射面で
ある。なお、後述するように、頂点切除部の存在は、必
須要件ではない。 【0010】光源1を発した光ビーム2は、ピラミダル
ミラー3の回転軸4に沿って進み、プリズム9に入射す
る。そうして、プリズム9の反射面10,反射面11で
反射してから、プリズム9の外に出て、ピラミダルミラ
ー3の斜面にある反射面5で反射する。プリズム9は、
ピラミダルミラー3に固着しているので、ピラミダルミ
ラー3の反射面5における光ビームの反射位置Pは、ピ
ラミダルミラー3の回転に関係なく、常に同じ場所にあ
り、反射光ビーム7は、ピラミダルミラー3の回転とと
もに、直線的走査を行うことになる。したがって、図示
されていない副走査用ミラーとの組み合わせによる二次
元走査により、画像の歪みのない二次元画像情報を得る
ことができる。 【0011】 【実施例】図2〜図5は、本発明光走査画像情報検出装
置の第1実施例についての説明図である。図2は側面
図、図3は平面図、図4及び図5は、装置の一部である
プリズムに関する側面図である。図2,図3において、
20,30は光結合素子としての結合プリズム、40は
光分離素子としての分離プリズム、50は頂点を切除し
形成した頂点切除部51を有するピラミダルミラー、5
2はピラミダルミラー50の回転軸54が同心的に洞貫
している空洞、53は軸受、60はミラー、70,71
はレンズ、72,73は受光素子である。光結合素子と
しての結合プリズム20,30及び光分離素子としての
分離プリズム40は、以下に詳述するように光路変更光
学部材である。すなわち、これらのプリズムは、光源よ
り発せられた光ビームを、光走査のために反射させる反
射面に導く光学部材である。 【0012】結合プリズム20の詳細は、図4で示して
ある。図4において、21,22はそれぞれ光ビーム
で、図示してない二つのレーザー半導体素子LD1,L
D2から放出され、偏光方向が互いに90°異なってい
る。すなわち、光ビーム21はp偏光、光ビーム22は
s偏光である。23は平行プリズム、24は三角プリズ
ム、25は四分の一波長板、26は偏光膜、23′は平
行プリズム23の反射面、80は結合プリズム20から
の射出光ビームである。 【0013】レーザー半導体素子LD1からの光ビーム
21は、平行プリズム23に入射して反射面23′で反
射し、偏光膜26,三角プリズム24を透過してから、
四分の一波長板25において円偏光に変換し、射出光ビ
ーム80となる。同様に、レーザー半導体素子LD2か
らの光ビーム22は、三角プリズム24に入射して偏光
膜26で反射する。続いて、四分の一波長板25におい
て円偏光に変換し、射出光ビーム80となる。 【0014】上述した結合プリズム20と同様な機能
を、図2で示す結合プリズム30が有する。すなわち、
図示してない二つのレーザー半導体素子LD3,LD4
から放出され、偏光方向が互いに90°異なる二つの光
ビームが、結合プリズム30により、射出光ビーム8
0′に結合する。 【0015】分離プリズム40の詳細は、図5(a),
(b)で示してある。図5(b)は図5(a)の側面図
である。図5(a),(b)において、41は四分の一
波長板、42,44は平行プリズム、43,45は三角
プリズム、46は四分の一波長板、47は偏光膜、48
も同じ偏光膜であるが、偏光膜47に対して90°回転
した位置にある。 【0016】分離プリズム40に上方から入射した円偏
光の光ビーム80は、四分の一波長板41により、p偏
光及びs偏光に変換される。p偏光は偏光膜47を透過
して、90°回転した偏光膜48,反射面44′で反射
し、図5(b)で示す光ビーム82となる。s偏光は偏
光膜47,反射面42′で反射して光ビーム83にな
る。 【0017】また、分離プリズム40に下から入射した
円偏光の光ビーム80′は、四分の一波長板46によ
り、p偏光及びs偏光に変換される。p偏光は偏光膜4
8,反射面45′で反射して光ビーム85になる。s偏
光は偏光膜48を透過して、90°回転した偏光膜4
7,反射面43′で反射し、図5(a)で示す光ビーム
84となる。以上述べたことから、分離プリズム40の
上下から入射する円偏光の光ビーム80,80′が、結
局、4本の光ビーム82,83,84及び85になるこ
とが分かる。 【0018】図2,図3において、分離プリズム40は
ピラミダルミラー50の頂点切除部51に固着又は固定
してある。ピラミダルミラー50には、回転軸54が同
心的に洞貫している空洞52が設けてあって、光ビーム
80,80′の通路になっている。そうして、ピラミダ
ルミラー50下部には、回転軸54をささえる軸受53
が固着又は固定してあり、ともに図示してない支持機構
及び駆動機構によって、ピラミダルミラー50は、回転
軸54に対して回転可能な構造になっている。 【0019】図5(a),図5(b)及び図2が示すよ
うに、光ビーム83,84は、ピラミダルミラー50の
反射面50′で反射して、紙面に平行な方向の水平な光
ビームとなる。同様に光ビーム82,85も、ピラミダ
ルミラー50の反射面50′で反射して、紙面に垂直な
方向の水平な光ビームとなる。結局、分離プリズム40
から下方に射出した4本の光ビーム82,83,84及
び85は、4本の水平な光ビームになる。 【0020】図示してない駆動機構によるピラミダルミ
ラー50の回転とともに、これらの水平な光ビームは、
水平方向の主走査を行う。また、図示してない駆動機構
により、ミラー60は回転軸61の回りに矢印62で示
す往復回転運動を行い、ミラー60で反射した光ビーム
86は、主走査に垂直な副走査方向の走査をする。実際
には、光ビーム86は水平方向に主走査を行うが、図2
では図を簡単にするために、ミラー60を90°回転し
て図示してある。 【0021】以上の説明から明らかなように、四つのレ
ーザー半導体素子LD1,LD2,LD3及びLD4か
らの4本の光ビームは、それぞれ4本の水平な光ビーム
に対応する。この4本の水平な光ビームに対して、それ
ぞれ図6に示す正弦波パルス又は図示してない矩形波パ
ルスによる時系列的振幅変調がなされる。この場合、そ
れぞれピラミダルミラー50による主走査に対応する1
/4回転の時間間隔のみ、変調がかけられる。また、図
示してない被写体からの散乱光のうち、二次元走査する
光ビーム86にほぼ平行な信号成分は、ミラー60,ピ
ラミダルミラー50の反射面50′,レンズ70,71
を経て、それぞれレンズ70,71の軸上に配置した受
光素子72,73により検出される(図3参照)。 【0022】第1実施例は、四つの反射面を持つピラミ
ダルミラー50,結合プリズム20,30,分離プリズ
ム40,ミラー60などから構成された検出装置に四つ
の半導体レーザー光源を用いている。そうして得られた
水平な光ビームを、図6に示したように時系列的に変調
することにより、高速でしかも強い走査光ビームによる
エネルギー利用効率の高い二次元走査を可能とした場合
を示したが、半導体レーザー光源の台数、あるいはピラ
ミダルミラーの反射面の面数が少ない場合にも、容易に
変更が可能である。 【0023】例えば、ピラミダルミラーの反射面の面数
が二つの場合は、図7に示したように、分離プリズムを
一部変更すればよい。図7において、91は四分の一波
長板、96,97は平行プリズム、92,95は三角プ
リズム、94は二分の一波長板、93,98は偏光膜で
ある。そうして、一部変更した分離プリズム90に上方
から入射した円偏光光ビーム80は、四分の一波長板9
1により、p偏光及びs偏光に変換される。p偏光は偏
光膜93を透過して三角プリズム92を経て、二分の一
波長板94によりs偏光に変換され、偏光膜98,平行
プリズム96の反射面96′で反射し、光ビーム84に
なる。四分の一波長板91により変換されたs偏光は偏
光膜93、反射面97′で反射して光ビーム83にな
る。 【0024】上述したピラミダルミラーの反射面の面数
が二つの場合には、空洞52,結合プリズム20,30
の一方(例えば結合プリズム30)は不要となる。ま
た、レンズ70,71の代わりに、図8(a),(b)
に示す1個のレンズ101,1個の受光素子102,あ
るいはこれと等価なフレネルレンズ103,受光素子1
02を用いることができる。この場合には、受光素子1
02は回転軸54上に一つ設ければよく、二つのレンズ
70,71を並べる構成よりも、信号光量の損失が少な
いという利点がある。また、偏光膜による偏光の分離
を、方解石を用いた偏光ビームスプリッターによる偏光
の分離に代えることができる。 【0025】図9(a),(b)及び(c)は、光走査
画像情報検出装置の参考例における光分離素子の説明図
である。図9(a)は光分離素子109の構成と光路を
示し、図9(b)は図9(a)の側面図である。図9
(a)において、110,116は四分の一波長板、1
11,113は平行プリズム、112は偏光膜、114
は三角プリズム、115は偏光プリズム、80,80’
は回転軸120に沿って入射する光ビーム、82,84
は水平な光ビームである。また、図9(b)の117は
偏光膜、83,85は水平な光ビーム、図9(c)の1
18は偏光膜である。 【0026】光分離素子109に上方から入射した円偏
光の光ビーム80は、四分の一波長板110によりp偏
光及びs偏光に変換される。p偏光は偏光膜112,三
角プリズム114を透過し、偏光プリズム115の偏光
膜117で反射して水平な光ビーム83となる。また、
s偏光は偏光膜112,平行プリズム111の反射面1
11′及び反射面111″で反射して水平な光ビーム8
2となる。光分離素子109に下方から入射した円偏光
の光ビーム80′は、四分の一波長板116によりp偏
光及びs偏光に変換される。p偏光は偏光プリズム11
5の偏光膜117で反射して水平な光ビーム85とな
る。また、s偏光は偏光プリズム115を透過し、偏光
膜112,平行プリズム113の反射面113′及び反
射面113″で反射して水平な光ビーム84となる。 【0027】結局、光分離素子109は、回転中心軸1
20に沿って上下から入射する光ビーム80,80′
を、4本の水平な光ビーム82,83,84及び85に
変換するものである。そうして、回転中心軸120の回
りに光分離素子109を回転することで、相互に直交す
る4本の水平な光ビームにより、図示してない被写体の
走査が可能であることが分かる。上述の場合、被写体か
らの散乱光は、光分離素子とは別に設置した図示してな
い光検出系、例えば第1実施例で述べたピラミダルミラ
ーを用いた光検出系により検出される。 【0028】図9(c)は、光ビーム80,80’を2
本の水平な光ビーム82,84に変換するもので、その
作用は図9(a),(b)の説明から了解できる。本参
考例の特徴は、光分離素子単独で走査が可能な場合を示
し、必ずしも光分離素子とピラミダルミラーを一体的に
結合する必要のないことを明らかにしたことにある。 【0029】上述した第1実施例、及び参考例では、い
ずれも、光源としてレーザー光源を用い、光源から放出
される光ビームは偏光方向が互いに90°異なるレーザ
ー光であり、偏光方向による光の分離をしている。しか
し、本発明の光走査画像情報検出装置で用いる光源、光
ビームは、これに限られるものではない。例えば、光源
から発した光ビームを、ハーフミラーによって分離して
用いても、差し支えない。 【0030】上述した第1実施例では、ピラミダルミラ
ーの頂点を切除してある。これは、光源からの光ビーム
を反射面に導く光学部材を固定しやすくするためで、望
ましい構成である。しかし、本発明の光走査画像情報検
出装置では、ピラミダルミラーの回転に対し、ピラミダ
ルミラーに入射する光ビームが、同期して回転可能に設
けられておればよく、ピラミダルミラーの頂点を切除す
ことは、必須要件ではない。また、光学部材とピラミダ
ルミラーを固定することは、最も簡単に上記同期を実現
する好ましい機構である。しかし、光学部材とピラミダ
ルミラーを分離し、それぞれ別の駆動手段を有する機構
であっても、回転周期が同期していれば、問題はない。 【0031】 【発明の効果】以上説明したように本発明の光走査画像
情報検出装置は、走査光ビームの強度減少がなく効率的
なエネルギー利用と、広画角、コンパクトで画像歪みの
ない二次元走査を可能にする。
査し、この被写体からの反射光を受光することにより、
被写体画像を検出する装置、すなわち光走査画像情報検
出装置に関するものである。 【0002】 【従来の技術】本発明が対象とする被写体画像とは、単
に濃淡に関する情報のみではなく、光を照射することに
より得られるすべての情報のことである。例えば、被写
体による吸収・散乱特性から得られる物理・化学情報、
被写体の距離・速度情報、三次元構造の測定・認識など
がある。 【0003】従来、このような二次元走査に使用される
主走査方向のスキャナとしては、ポリゴンミラー、ピラ
ミダルミラー、ガルバノミラー、ホログラムなどが知ら
れている。そうして、近距離領域で90°以上の広画角
な測定範囲に存在する被写体画像からの微弱な散乱光を
検出する場合、広画角な走査と広い開口とを必要とし、
ポリゴンミラー、ピラミダルミラーが適しており、コン
パクトな点では、ピラミダルミラーが優れている。 【0004】図10は、ピラミダルミラーの機能の説明
図である。図10で1は光源、2は光ビーム、3はピラ
ミダルミラー、4はピラミダルミラーの回転軸、5はピ
ラミダルミラーの反射面、6はピラミダルミラー3を回
転したときの、光ビーム2の反射面5への入射点の軌
跡、7は反射光ビームである。 【0005】光源1を発した光ビーム2は、ピラミダル
ミラー3の回転軸4と並行に進み、ピラミダルミラー3
の反射面5に入射する。ピラミダルミラー3を回転軸4
の回りに回転すると、反射面5における光ビーム2の入
射点の軌跡6が、図示のように円すい曲線の一部を描く
ことが知られている。したがって、一般に反射光ビーム
7は、直線的走査とはならずに曲線状の走査を行うこと
になる。 【0006】 【発明が解決しようとする課題】上述したように、二次
元走査に使用される主走査方向のスキャナとして最適な
ピラミダルミラーには、反射光ビームが曲線状の走査を
行うという欠点がある。したがって、図示されていない
副走査用ミラーとの組み合わせによる二次元走査から、
被写体に関する二次元の画像情報を得る際に、画像の歪
みを生じるという問題がある。 【0007】本発明は、上述の事情に鑑みてなされたも
のであり、その目的はピラミダルミラーを使用する光走
査画像情報検出装置において、走査光ビームの強度減少
がなく効率的なエネルギー利用を可能とし、広画角、コ
ンパクトで画像歪みのない二次元画像情報を得ることで
ある。 【0008】 【課題を解決するための手段】本発明の光走査画像情報
検出装置は、被写体を光ビームで両端のある有限の区間
走査し、この被写体からの反射光を受光することにより
上記被写体画像を検出する光走査画像情報検出装置にお
いて、複数の反射面を斜面にもち、対称軸を回転軸とし
て回転するピラミダルミラーと、上記ピラミダルミラー
の回転と同期して同軸に回転しながら、複数の光ビーム
の各々を上記ピラミダルミラーの各反射面に向けて対応
させて照射することにより、上記反射面上の固定された
位置で上記光ビームを反射させて走査光にする光学部材
と、上記走査によって上記複数の走査光の各々が次々と
照射される上記被写体からの反射光を、上記ピラミダル
ミラーを介して受光する受光素子と、を有することを特
徴としている。 【0009】 【作用】図1は、本発明の光走査画像情報検出装置の作
用・原理の説明図である。図1で符号1〜符号7は図1
0と同じであるが、ピラミダルミラー3は、頂点を切除
し形成した頂点切除部を有する。9はピラミダルミラー
3の頂点切除部に支持板12を介して固着あるいは固定
しており、光源1を発した光ビーム2を光走査のために
反射させる反射面5に導くプリズムなどの光学部材であ
る。10,11はプリズム9における対向する反射面で
ある。なお、後述するように、頂点切除部の存在は、必
須要件ではない。 【0010】光源1を発した光ビーム2は、ピラミダル
ミラー3の回転軸4に沿って進み、プリズム9に入射す
る。そうして、プリズム9の反射面10,反射面11で
反射してから、プリズム9の外に出て、ピラミダルミラ
ー3の斜面にある反射面5で反射する。プリズム9は、
ピラミダルミラー3に固着しているので、ピラミダルミ
ラー3の反射面5における光ビームの反射位置Pは、ピ
ラミダルミラー3の回転に関係なく、常に同じ場所にあ
り、反射光ビーム7は、ピラミダルミラー3の回転とと
もに、直線的走査を行うことになる。したがって、図示
されていない副走査用ミラーとの組み合わせによる二次
元走査により、画像の歪みのない二次元画像情報を得る
ことができる。 【0011】 【実施例】図2〜図5は、本発明光走査画像情報検出装
置の第1実施例についての説明図である。図2は側面
図、図3は平面図、図4及び図5は、装置の一部である
プリズムに関する側面図である。図2,図3において、
20,30は光結合素子としての結合プリズム、40は
光分離素子としての分離プリズム、50は頂点を切除し
形成した頂点切除部51を有するピラミダルミラー、5
2はピラミダルミラー50の回転軸54が同心的に洞貫
している空洞、53は軸受、60はミラー、70,71
はレンズ、72,73は受光素子である。光結合素子と
しての結合プリズム20,30及び光分離素子としての
分離プリズム40は、以下に詳述するように光路変更光
学部材である。すなわち、これらのプリズムは、光源よ
り発せられた光ビームを、光走査のために反射させる反
射面に導く光学部材である。 【0012】結合プリズム20の詳細は、図4で示して
ある。図4において、21,22はそれぞれ光ビーム
で、図示してない二つのレーザー半導体素子LD1,L
D2から放出され、偏光方向が互いに90°異なってい
る。すなわち、光ビーム21はp偏光、光ビーム22は
s偏光である。23は平行プリズム、24は三角プリズ
ム、25は四分の一波長板、26は偏光膜、23′は平
行プリズム23の反射面、80は結合プリズム20から
の射出光ビームである。 【0013】レーザー半導体素子LD1からの光ビーム
21は、平行プリズム23に入射して反射面23′で反
射し、偏光膜26,三角プリズム24を透過してから、
四分の一波長板25において円偏光に変換し、射出光ビ
ーム80となる。同様に、レーザー半導体素子LD2か
らの光ビーム22は、三角プリズム24に入射して偏光
膜26で反射する。続いて、四分の一波長板25におい
て円偏光に変換し、射出光ビーム80となる。 【0014】上述した結合プリズム20と同様な機能
を、図2で示す結合プリズム30が有する。すなわち、
図示してない二つのレーザー半導体素子LD3,LD4
から放出され、偏光方向が互いに90°異なる二つの光
ビームが、結合プリズム30により、射出光ビーム8
0′に結合する。 【0015】分離プリズム40の詳細は、図5(a),
(b)で示してある。図5(b)は図5(a)の側面図
である。図5(a),(b)において、41は四分の一
波長板、42,44は平行プリズム、43,45は三角
プリズム、46は四分の一波長板、47は偏光膜、48
も同じ偏光膜であるが、偏光膜47に対して90°回転
した位置にある。 【0016】分離プリズム40に上方から入射した円偏
光の光ビーム80は、四分の一波長板41により、p偏
光及びs偏光に変換される。p偏光は偏光膜47を透過
して、90°回転した偏光膜48,反射面44′で反射
し、図5(b)で示す光ビーム82となる。s偏光は偏
光膜47,反射面42′で反射して光ビーム83にな
る。 【0017】また、分離プリズム40に下から入射した
円偏光の光ビーム80′は、四分の一波長板46によ
り、p偏光及びs偏光に変換される。p偏光は偏光膜4
8,反射面45′で反射して光ビーム85になる。s偏
光は偏光膜48を透過して、90°回転した偏光膜4
7,反射面43′で反射し、図5(a)で示す光ビーム
84となる。以上述べたことから、分離プリズム40の
上下から入射する円偏光の光ビーム80,80′が、結
局、4本の光ビーム82,83,84及び85になるこ
とが分かる。 【0018】図2,図3において、分離プリズム40は
ピラミダルミラー50の頂点切除部51に固着又は固定
してある。ピラミダルミラー50には、回転軸54が同
心的に洞貫している空洞52が設けてあって、光ビーム
80,80′の通路になっている。そうして、ピラミダ
ルミラー50下部には、回転軸54をささえる軸受53
が固着又は固定してあり、ともに図示してない支持機構
及び駆動機構によって、ピラミダルミラー50は、回転
軸54に対して回転可能な構造になっている。 【0019】図5(a),図5(b)及び図2が示すよ
うに、光ビーム83,84は、ピラミダルミラー50の
反射面50′で反射して、紙面に平行な方向の水平な光
ビームとなる。同様に光ビーム82,85も、ピラミダ
ルミラー50の反射面50′で反射して、紙面に垂直な
方向の水平な光ビームとなる。結局、分離プリズム40
から下方に射出した4本の光ビーム82,83,84及
び85は、4本の水平な光ビームになる。 【0020】図示してない駆動機構によるピラミダルミ
ラー50の回転とともに、これらの水平な光ビームは、
水平方向の主走査を行う。また、図示してない駆動機構
により、ミラー60は回転軸61の回りに矢印62で示
す往復回転運動を行い、ミラー60で反射した光ビーム
86は、主走査に垂直な副走査方向の走査をする。実際
には、光ビーム86は水平方向に主走査を行うが、図2
では図を簡単にするために、ミラー60を90°回転し
て図示してある。 【0021】以上の説明から明らかなように、四つのレ
ーザー半導体素子LD1,LD2,LD3及びLD4か
らの4本の光ビームは、それぞれ4本の水平な光ビーム
に対応する。この4本の水平な光ビームに対して、それ
ぞれ図6に示す正弦波パルス又は図示してない矩形波パ
ルスによる時系列的振幅変調がなされる。この場合、そ
れぞれピラミダルミラー50による主走査に対応する1
/4回転の時間間隔のみ、変調がかけられる。また、図
示してない被写体からの散乱光のうち、二次元走査する
光ビーム86にほぼ平行な信号成分は、ミラー60,ピ
ラミダルミラー50の反射面50′,レンズ70,71
を経て、それぞれレンズ70,71の軸上に配置した受
光素子72,73により検出される(図3参照)。 【0022】第1実施例は、四つの反射面を持つピラミ
ダルミラー50,結合プリズム20,30,分離プリズ
ム40,ミラー60などから構成された検出装置に四つ
の半導体レーザー光源を用いている。そうして得られた
水平な光ビームを、図6に示したように時系列的に変調
することにより、高速でしかも強い走査光ビームによる
エネルギー利用効率の高い二次元走査を可能とした場合
を示したが、半導体レーザー光源の台数、あるいはピラ
ミダルミラーの反射面の面数が少ない場合にも、容易に
変更が可能である。 【0023】例えば、ピラミダルミラーの反射面の面数
が二つの場合は、図7に示したように、分離プリズムを
一部変更すればよい。図7において、91は四分の一波
長板、96,97は平行プリズム、92,95は三角プ
リズム、94は二分の一波長板、93,98は偏光膜で
ある。そうして、一部変更した分離プリズム90に上方
から入射した円偏光光ビーム80は、四分の一波長板9
1により、p偏光及びs偏光に変換される。p偏光は偏
光膜93を透過して三角プリズム92を経て、二分の一
波長板94によりs偏光に変換され、偏光膜98,平行
プリズム96の反射面96′で反射し、光ビーム84に
なる。四分の一波長板91により変換されたs偏光は偏
光膜93、反射面97′で反射して光ビーム83にな
る。 【0024】上述したピラミダルミラーの反射面の面数
が二つの場合には、空洞52,結合プリズム20,30
の一方(例えば結合プリズム30)は不要となる。ま
た、レンズ70,71の代わりに、図8(a),(b)
に示す1個のレンズ101,1個の受光素子102,あ
るいはこれと等価なフレネルレンズ103,受光素子1
02を用いることができる。この場合には、受光素子1
02は回転軸54上に一つ設ければよく、二つのレンズ
70,71を並べる構成よりも、信号光量の損失が少な
いという利点がある。また、偏光膜による偏光の分離
を、方解石を用いた偏光ビームスプリッターによる偏光
の分離に代えることができる。 【0025】図9(a),(b)及び(c)は、光走査
画像情報検出装置の参考例における光分離素子の説明図
である。図9(a)は光分離素子109の構成と光路を
示し、図9(b)は図9(a)の側面図である。図9
(a)において、110,116は四分の一波長板、1
11,113は平行プリズム、112は偏光膜、114
は三角プリズム、115は偏光プリズム、80,80’
は回転軸120に沿って入射する光ビーム、82,84
は水平な光ビームである。また、図9(b)の117は
偏光膜、83,85は水平な光ビーム、図9(c)の1
18は偏光膜である。 【0026】光分離素子109に上方から入射した円偏
光の光ビーム80は、四分の一波長板110によりp偏
光及びs偏光に変換される。p偏光は偏光膜112,三
角プリズム114を透過し、偏光プリズム115の偏光
膜117で反射して水平な光ビーム83となる。また、
s偏光は偏光膜112,平行プリズム111の反射面1
11′及び反射面111″で反射して水平な光ビーム8
2となる。光分離素子109に下方から入射した円偏光
の光ビーム80′は、四分の一波長板116によりp偏
光及びs偏光に変換される。p偏光は偏光プリズム11
5の偏光膜117で反射して水平な光ビーム85とな
る。また、s偏光は偏光プリズム115を透過し、偏光
膜112,平行プリズム113の反射面113′及び反
射面113″で反射して水平な光ビーム84となる。 【0027】結局、光分離素子109は、回転中心軸1
20に沿って上下から入射する光ビーム80,80′
を、4本の水平な光ビーム82,83,84及び85に
変換するものである。そうして、回転中心軸120の回
りに光分離素子109を回転することで、相互に直交す
る4本の水平な光ビームにより、図示してない被写体の
走査が可能であることが分かる。上述の場合、被写体か
らの散乱光は、光分離素子とは別に設置した図示してな
い光検出系、例えば第1実施例で述べたピラミダルミラ
ーを用いた光検出系により検出される。 【0028】図9(c)は、光ビーム80,80’を2
本の水平な光ビーム82,84に変換するもので、その
作用は図9(a),(b)の説明から了解できる。本参
考例の特徴は、光分離素子単独で走査が可能な場合を示
し、必ずしも光分離素子とピラミダルミラーを一体的に
結合する必要のないことを明らかにしたことにある。 【0029】上述した第1実施例、及び参考例では、い
ずれも、光源としてレーザー光源を用い、光源から放出
される光ビームは偏光方向が互いに90°異なるレーザ
ー光であり、偏光方向による光の分離をしている。しか
し、本発明の光走査画像情報検出装置で用いる光源、光
ビームは、これに限られるものではない。例えば、光源
から発した光ビームを、ハーフミラーによって分離して
用いても、差し支えない。 【0030】上述した第1実施例では、ピラミダルミラ
ーの頂点を切除してある。これは、光源からの光ビーム
を反射面に導く光学部材を固定しやすくするためで、望
ましい構成である。しかし、本発明の光走査画像情報検
出装置では、ピラミダルミラーの回転に対し、ピラミダ
ルミラーに入射する光ビームが、同期して回転可能に設
けられておればよく、ピラミダルミラーの頂点を切除す
ことは、必須要件ではない。また、光学部材とピラミダ
ルミラーを固定することは、最も簡単に上記同期を実現
する好ましい機構である。しかし、光学部材とピラミダ
ルミラーを分離し、それぞれ別の駆動手段を有する機構
であっても、回転周期が同期していれば、問題はない。 【0031】 【発明の効果】以上説明したように本発明の光走査画像
情報検出装置は、走査光ビームの強度減少がなく効率的
なエネルギー利用と、広画角、コンパクトで画像歪みの
ない二次元走査を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光走査画像情報検出装置の作用・原理
を説明する側面図である。 【図2】本発明の光走査画像情報検出装置における第1
実施例の側面図である。 【図3】本発明の光走査画像情報検出装置における第1
実施例の平面図である。 【図4】第1実施例の光路変更光学部材である結合プリ
ズムの機能説明図である。 【図5】第1実施例の光路変更光学部材である分離プリ
ズムの機能説明図である。 【図6】第1実施例における水平な光ビームのパルスに
よる変調の説明図である。 【図7】第1実施例の光学部材で一部変更した分離プリ
ズムの機能説明図である。 【図8】第1実施例の構成部品であるレンズと受光素子
の配置の説明図である。 【図9】光走査画像情報検出装置における参考例の光分
離素子の機能説明図である。 【図10】ピラミダルミラーの機能の説明図である。 【符号の説明】 1 光源 2 光ビーム 3 ピラミダルミラー 4 回転軸 5 ピラミダルミラーの斜面の反射面 9 光路変更光学部材としてのプリズム
を説明する側面図である。 【図2】本発明の光走査画像情報検出装置における第1
実施例の側面図である。 【図3】本発明の光走査画像情報検出装置における第1
実施例の平面図である。 【図4】第1実施例の光路変更光学部材である結合プリ
ズムの機能説明図である。 【図5】第1実施例の光路変更光学部材である分離プリ
ズムの機能説明図である。 【図6】第1実施例における水平な光ビームのパルスに
よる変調の説明図である。 【図7】第1実施例の光学部材で一部変更した分離プリ
ズムの機能説明図である。 【図8】第1実施例の構成部品であるレンズと受光素子
の配置の説明図である。 【図9】光走査画像情報検出装置における参考例の光分
離素子の機能説明図である。 【図10】ピラミダルミラーの機能の説明図である。 【符号の説明】 1 光源 2 光ビーム 3 ピラミダルミラー 4 回転軸 5 ピラミダルミラーの斜面の反射面 9 光路変更光学部材としてのプリズム
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フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭57−204509(JP,A)
特開 昭55−113018(JP,A)
特開 昭51−98042(JP,A)
特開 昭54−158944(JP,A)
特開 平1−320856(JP,A)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 被写体を光ビームで両端のある有限の区
間走査し、この被写体からの反射光を受光することによ
り上記被写体画像を検出する光走査画像情報検出装置に
おいて、複数の反射面を斜面にもち、対称軸を回転軸として回転
するピラミダルミラーと、 上記ピラミダルミラーの回転と同期して同軸に回転しな
がら、複数の光ビームの各々を上記ピラミダルミラーの
各反射面に向けて対応させて照射することにより、上記
反射面上の固定された位置で上記光ビームを反射させて
走査光にする光学部材と、 上記走査によって上記複数の走査光の各々が次々と照射
される上記被写体からの反射光を、上記ピラミダルミラ
ーを介して受光する受光素子 と、を有することを特徴と
する光走査画像情報検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17997392A JP3413851B2 (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 光走査画像情報検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17997392A JP3413851B2 (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 光走査画像情報検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0627401A JPH0627401A (ja) | 1994-02-04 |
JP3413851B2 true JP3413851B2 (ja) | 2003-06-09 |
Family
ID=16075222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17997392A Expired - Fee Related JP3413851B2 (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 光走査画像情報検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3413851B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000040421A (en) * | 1998-12-18 | 2000-07-05 | Inst Of Ind Science Pohang | System for measuring camber of slab using pyramid image |
AT510175B1 (de) * | 2010-09-28 | 2012-02-15 | Riegl Laser Measurement Sys | Strahlablenkeinrichtung und laserscanner hiefür |
JP6938895B2 (ja) | 2016-04-28 | 2021-09-22 | 日本電産株式会社 | 回転駆動装置 |
CN115500582B (zh) * | 2022-08-17 | 2024-03-22 | 上海科技大学 | 足部三维轮廓采集系统 |
-
1992
- 1992-07-07 JP JP17997392A patent/JP3413851B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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JPH0627401A (ja) | 1994-02-04 |
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