JP3943556B2

JP3943556B2 - 低水分空気供給装置

Info

Publication number: JP3943556B2
Application number: JP2004112928A
Authority: JP
Inventors: 幹雄高橋; 祥明樋口; 俊民呂; 武石黒; 茂寿林
Original assignee: Takenaka Corp; Toyobo Engineering Co Ltd
Current assignee: Takenaka Corp; Toyobo Engineering Co Ltd
Priority date: 2004-04-07
Filing date: 2004-04-07
Publication date: 2007-07-11
Anticipated expiration: 2024-04-07
Also published as: JP2005296724A

Description

本発明は、ロータ形状を為す複数の水分除去ろ材を用いた低水分空気供給装置に関する。

従来、半導体製造工程や精密電子部品製造工程などにおいては、空気中の水分、有機物、無機物などの不純物ガス状物質の製品への汚染を防止し、製造の歩留まり向上を図るために、液体窒素から窒素の純ガスを生成し、半導体製造装置などへ供給している。
しかしながら、純ガス製造コストが高価（数十円／ｍ³）であり、室内へ漏洩した際の作業者への悪影響（窒息）が懸念され、空気を浄化する方法との併用が試みられている。

空気を浄化する従来技術としては、回転可能なロータ式の形状を為すゼオライトを用いた水分除去ろ材を多段配置し、露点温度を下げるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
その一例を図２により説明する。
図２に示す除湿装置は、被処理空気（外気）が通る除湿用通気路１と、温風が通る再生用通気路２と、ゼオライトを回転可能なロータ形状に形成した水分除去ろ材３，４と、上流側の水分除去ろ材３の処理部を通過した処理空気の一部を上流側の水分除去ろ材３のパージ部に通して再生用通気路２に導入する第１パージ用通気路５と、下流側の水分除去ろ材４の処理部を通過した処理空気の一部を下流側の水分除去ろ材４のパージ部に通して再生用通気路２に導入する第２パージ用通気路６と、上流側の水分除去ろ材３の処理部を通過した処理空気の一部を上流側の水分除去ろ材３の処理部よりも上流側の除湿用通気路１に還気する還気用通気路７と、上流側の水分除去ろ材３の外気導入通気路と換気用通気路７との合流点よりも上流側の除湿用通気路１に配置されたクーラ８と、換気用通気路７に配置されたクーラ９と、上流側の水分除去ろ材３の再生部を通過する前の再生用通気路２中の空気を加熱するヒータ１０と、下流側の水分除去ろ材４の再生部を通過する前の再生用通気路２中の空気を加熱するヒータ１１と、換気用通気路７と外気導入通気路の合流部と上流側の水分除去ろ材３との間の除湿用通気路１に配置されたファン１２と、上流側の水分除去ろ材３の再生部よりも下流側の再生用通気路２に配置されたファン１３とを有する。

この除湿装置では、上流側の水分除去ろ材３を通過した空気の一部を上流側の水分除去ろ材３よりも上流側の除湿用通気路１に換気用通気路７を介して還気することにより、上流側の水分除去ろ材３を通過した空気を、露点温度が−７０℃まで除湿し、そして、下流側の水分除去ろ材４の処理部を通過してさらに除湿し、露点温度が−１００℃まで除湿することができる。下流側の水分除去ろ材４の処理部を通過した空気のうち、再生用通気路２に導かれた空気は、ヒータ１１に導かれ、ヒータ１１によって下流側の水分除去ろ材４の再生温度（例えば、１２０℃）に加熱される。また、ヒータ１０に導かれた空気は、ヒータ１０によって上流側の水分除去ろ材３の再生温度（例えば、１２０℃）に加熱される。
特開２００２−３２０８１７号公報

しかし、図２に示す従来技術では、下記の問題点が挙げられる。
１）上流側の水分除去ろ材３および下流側の水分除去ろ材４への負荷を軽減するため、外気をクーラ８で５℃まで冷やし前除湿を行っている。そのため、給気中水分の３１．６％を凝縮冷却する必要があり、クーラ８の冷却源の消費が多大となる。また、凝縮冷却により、雑菌の発生繁殖のおそれがある。

２）必要風量１００に対して、低水分空気は４８％しか供給できず、残りは水分除去ろ材３，４の再生に用いられるため無駄である。
３）水分除去ろ材３，４の水分吸着性能が低いため、上流側水分除去ろ材３の下流空気の乾燥空気の再利用のためのクーラ９と前処理のクーラ８が必要となる。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、水分除去ろ材を多段にする場合の省エネルギー化を可能とした低水分空気供給装置を提供することにある。

請求項１に係る発明は、外気が通る除湿用通気路と、温風が通る再生用通気路と、細孔径が７Å以上、比表面積が５００ｇ/ｍ²以上のＸ型ゼオライトもしくはＹ型ゼオライト６０〜８５ｗｔ％、バインダー５〜１０ｗｔ％、骨格繊維残ｗｔ％、接着剤１〜１５ｗｔ％量によって構成されるとともに回転可能なロータ形状を為し、前記除湿用通気路の外気取入口側に配置される上流側水分除去ろ材および前記上流側水分除去ろ材より下流側の前記除湿用通気路に配置される下流側水分除去ろ材と、前記上流側水分除去ろ材の処理部を通過する前の前記除湿用通気路を通る外気の一部を前記上流側水分除去ろ材のパージ部を経由して前記再生用通気路に導入する第１パージ用通気路と、前記上流側水分除去ろ材の処理部を通過する前記除湿用通気路中の外気の一部を前記下流側水分除去ろ材のパージ部を経由して前記再生用通気路に導入する第２パージ用通気路と、前記上流側水分除去ろ材と前記下流側水分除去ろ材との間の前記除湿用通気路に配置されたクーラと、前記第１パージ用通気路と前記再生用通気路との接続部と前記上流側水分除去ろ材との間の前記再生用通気路に配置され、前記上流側水分除去ろ材の再生部を通過する前の前記再生用通気路中の空気を加熱する下流側ヒータと、前記第２パージ用通気路と前記再生用通気路との接続部と前記下流側水分除去ろ材との間の前記再生用通気路に配置され、前記下流側水分除去ろ材の再生部を通過する前の前記再生用通気路中の空気を加熱する上流側ヒータと、前記上流側水分除去ろ材の処理部よりも前記除湿用通気路の外気取入口側に配置された上流側ファンと、前記上流側水分除去ろ材の再生部よりも前記再生用通気路の排気側に配置された下流側ファンと、前記下流側水分除去ろ材の再生部を通過した前記再生用通気路中の空気を、前記下流側水分除去ろ材の再生部の空気導入側で前記第２パージ用通気路と前記再生用通気路との接続部よりも前記再生部の反対側に位置する前記再生用通気路に還気する還気用通気路とを備えたことを特徴とする。

本発明によれば、従来の低水分空気供給装置に比し、ヒータ発熱量を低減でき、回収率が１７％増加し、クーラ削減によるランニングコスト、エネルギーの大幅な削減が可能となる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る低水分空気供給装置２０を示す。
本実施形態に係る低水分空気供給装置２０は、被処理空気（外気）が通る除湿用通気路２１と、温風が通る再生用通気路２２と、細孔径が７Å以上、比表面積５００ｇ/ｍ ² 以上のＸ型ゼオライトもしくはＹ型ゼオライト６０〜８５ｗｔ％、バインダー５〜１０ｗｔ％、骨格繊維残ｗｔ％、接着剤１〜１５ｗｔ％量によって構成されている回転可能なロータ形状に形成した通気性と吸湿性とを有する上流側水分除去ろ材２３および下流側水分除去ろ材２４とを備えている。

上流側水分除去ろ材２３および下流側水分除去ろ材２４は、除湿用通気路２１と再生用通気路２２とにそれぞれロータ端面が横切るように配置されている。また、上流側水分除去ろ材２３および下流側水分除去ろ材２４は、従来の装置と同様に、被処理空気から水分を吸着する処理部２３ａ，２４ａと、除湿用通気路２１と再生用通気路２２とを結ぶパージ部２３ｂ，２４ｂと、処理部２３ａ，２４ａにおいて吸着した水分を放出する再生部２３ｃ，２４ｃとを備えている。さらに、上流側水分除去ろ材２３および下流側水分除去ろ材２４は、モータなどの回転駆動手段および回転駆動を伝達するベルトなどの伝達手段によって所定の速度で回転し、処理部２３ａ，２４ａで水分を吸着し、再生部２３ｃ，２４ｃで吸着した水分を放出する作用を連続的に行うことができるように構成されている。

上流側水分除去ろ材２３のパージ部２３ｂには、上流側水分除去ろ材２３の処理部２３ａを通過する前の除湿用通気路２１を通る被処理空気の一部を再生用通気路２２に導入する第１パージ用通気路２５が配置されている。
下流側水分除去ろ材２４のパージ部２４ｂには、上流側水分除去ろ材２３の処理部２３ａを通過した処理空気の一部を再生用通気路２２に導入する第２パージ用通気路２６が配置されている。

上流側水分除去ろ材２３と下流側水分除去ろ材２４との間の除湿用通気路２１には、被処理空気の温度を調整するクーラ２７が配置されている。
上流側水分除去ろ材２３の再生部２３ｃの上流側の再生用通気路２２には、再生部２３ｃを通過する前の再生用通気路２２中の空気を加熱する下流側ヒータ２８が配置されている。

下流側水分除去ろ材２４の再生部２４ｃの上流側の再生用通気路２２には、再生部２４ｃを通過する前の再生用通気路２２中の空気を加熱する上流側ヒータ２９が配置されている。
上流側水分除去ろ材２３の処理部２３ａよりも上流側の除湿用通気路２１には、上流側ファン３０が配置されている。

上流側水分除去ろ材２３の再生部２３ｃよりも下流側の再生用通気路２２には、下流側ファン３１が配置されている。
下流側水分除去ろ材２４の再生部２４ｃを通過した再生用通気路中２２の空気を、下流側水分除去ろ材２４の再生部２４ｃの空気導入側で第２パージ用通気路２６と再生用通気路２２との接続部よりも下流側水分除去ろ材２４の再生部２４ｃの反対側に位置する再生用通気路２２に還気する還気用通気路３２が配置されている。

本実施形態において、再生用通気路２２は、第２パージ用通気路２６と接続し、上流側水分除去ろ材２３の処理部２３ａを通過した処理空気の一部を下流側水分除去ろ材２４のパージ部２４ｂを経由して導入する通気路である。第１パージ用通路２５は、上流側水分除去ろ材２３の処理部２３ａを通過する前の除湿用通気路２１を通る被処理空気の一部を上流側水分除去ろ材２３のパージ部２３ｂを経由して下流側ヒータ２８に導入するように、下流側ヒータ２８より上流側の再生用通気路２２に接続する通気路である。第２パージ用通路２６は、上流側水分除去ろ材２３の処理部２３ａを通過した被処理空気の一部を下流側水分除去ろ材２４のパージ部２４ｂを経由して上流側ヒータ２９に導入するように、上流側ヒータ２９より上流側の再生用通気路２２に接続する通気路である。

また、上流側水分除去ろ材２３および下流側水分除去ろ材２４を構成するローターは、細孔径が７Å以上のゼオライト６０〜８５ｗｔ％、バインダー５〜１０ｗｔ％、骨格繊維残ｗｔ％、接着剤１〜１５ｗｔ％量によって形成されている。
ここで、細孔径が７Å以上のゼオライトの種類は、Ｘ型ゼオライトもしくはＹ型ゼオライトが好ましい。より好ましくは細孔径が７Å以上、比表面積が５００ｇ／ｍ²以上のＸ型ゼオライトもしくはＹ型ゼオライトが好ましい。細孔径が７Åより小さく、比表面積が５００ｇ／ｍ²より小さいと、ＰＶＡ系ポリマーにより、ゼオライトの細孔が被覆されて、ゼオライトの吸着性能が低下する。細孔径の上限は、処理する排ガスの種類によるが、有機溶剤の場合で３０Å以下、水分の場合で２５Å以下であることが望ましい。また、ゼオライト吸着材の量は、６０〜８５ｗｔ％の範囲が好ましく、吸着性能および吸着材の脱落などを考慮すると、７０〜８２ｗｔ％がより好ましい。その理由は６０ｗｔ％未満では十分な吸着性能を得ることができず、また担持比率が低いＰＶＡ系ポリマーのゼオライト細孔径の被覆により吸着性能の低下が発現するためであり、８５ｗｔ％を超えると吸着材の脱落が多くなり、またペーパーの強度が著しく低下するためである。

また、バインダーに相当するポリマーは、ＰＶＡ系ポリマー、ポリアクリロニトリル系ポリマー、ポリエチレン系ポリマー、ポリエステル系ポリマーが好ましいが、ゼオライト吸着材と骨格繊維をバインダー効果により接合できるものであれば特に限定されるものではない。このバインダーに相当するポリマーの量は、５〜１０ｗｔ％の範囲が好ましい。吸着性能、吸着材の脱落およびペーパー強度などを考慮すると、６〜８ｗｔ％がより好ましい。その理由は５ｗｔ％未満では、吸着材の脱落が多くなり、またペーパーの強度が著しく低下するためであり、１０ｗｔ％を超えるとＰＶＡ系ポリマーのゼオライト細孔径の被覆により極端に吸着性能が低下するためである。

また、骨格繊維は、嵩密度の低い叩解度の高いフィブル化された難燃性耐熱性の合成パルプで構成されている。合成パルプは、ゼオライト吸着材を担持する担体として作用するものであり、嵩密度の低い叩解度の高いフィブリル化された難燃性かつ耐熱性を有する合成パルプの使用がゼオライトを高い担時比率で含有するためには好ましい。具体的にはアラミド系ポリマー、ベンズイミダゾール系ポリマー、ベンゾオキサゾール系ポリマー、ポリイミド系ポリマーから少なくとも１種を用いることが望ましい。

また、成形時に使用する接着剤は、酢酸ビニル接着剤、シリカゾル系接着剤、酢酸ビニル接着剤・ユリア樹脂の混合液など多数存在するが、より望ましくは変性酢酸ビニルが望ましい。その理由は、耐熱性、初期接着力に優れており、さらに安全に使用することができるためである。しかし、特にこれに限ることはない。ハニカムに対する接着剤の含有比率が１〜１５ｗｔ％であることが好ましい。より好ましくは、接着剤のハニカムに対する含有比率は２〜９ｗｔ％であることが好ましい。接着剤の含有比率が１ｗｔ％より小さいと、ハニカム状構造の平面シートと波形シートが容易に剥離を起こしてしまい、接着剤の含有比率が１５ｗｔ％より大きいと、吸着エレメントの性能低下が起こるためである。

ここで、ゼオライトの細孔径、比表面積と、ゼオライトペーパーの抄紙用バインダーとして用いられるＰＶＡ系ポリマーなどの有機系バインダー、ゼオライト吸着エレメントに含まれる平面シートと波形シートを接着およびハニカムを積層する時に用いる接着剤の使用量によるゼオライトの吸着性能の関係について検討した結果を説明する。（１）有機バインダーがゼオライトの吸着性能を低下させる、（２）接着剤として従来用いられていたユリア樹脂は、酢酸ビニルと比較してシートに対する浸透性が高く、特に吸水度の高いシートの場合にシート内部まで浸透しゼオライトを被覆してしまうため吸着性能が低下する、つまり、バインダーと相互作用がある、（３）上記（１），（２）の両方の現象においてゼオライトの細孔径がその吸着性能低下の程度と関係があることを確認した。そこで、細孔径の異なるゼオライト，シート作成時のバインダー素材，ハニカム形成時の接着剤の多数ある組み合わせの中から、本発明に最適な作成方法を見い出した。

その結果、ＰＶＡ系ポリマーなどの有機バインダーによるゼオライト吸着材の吸着性能低下は、特に細孔径が小さく、さらに比表面積の小さいゼオライトに発生し、あるサイズの細孔径、比表面積のゼオライトを使用してゼオライト含有量とＰＶＡ量を調整すると、ゼオライトの吸着性能低下は抑制できることを見い出した。
例えば、細孔径が５．５Å、比表面積が３５０ｇ／ｍ²のＺＳＭ−５型ゼオライトを８０ｗｔ％含有し、ＰＶＡ系ポリマーを５ｗｔ％含有したシートは、ゼオライトの吸着性能が約３０％低下することを確認した。

しかし、細孔径が７．４Å、比表面積が７００ｇ／ｍ²のＹ型ゼオライトを８０ｗｔ％含有し、ＰＶＡ系ポリマーを５ｗｔ％含有したシートは、ゼオライトの吸着性能は低下しないことを発見した。また、ＰＶＡ系ポリマーの含有量が１０ｗｔ％まではゼオライトの吸着性能に大幅な低下が見られないことが解った。
さらに、細孔径が１０Å、比表面積が８５０ｇ／ｍ²のＸ型ゼオライトを８０ｗｔ％含有し、ＰＶＡ系ポリマーを１０ｗｔ％含有したシートは、ゼオライトの吸着性能の低下が見られないことが解った。

上記のようにある種の細孔径、比表面積を有するゼオライト吸着材を選定し、ＰＶＡ系ポリマーなどの有機バインダーの含有量を調整することでゼオライト吸着材を使用してもＰＶＡ系ポリマーなどの有機バインダーが使用できることを見い出した。
さらに、上記の手法により得られたゼオライトシートを用いて、平面シートと波形シートを接着およびハニカムを積層する時に用いる接着剤について鋭意検討を行なった。

その結果、平面状シートと波形シートを接着する接着剤およびハニカムを積層する接着剤量をハニカムに対する含有比率が１〜１５ｗｔ％になるようにハニカムの接着部分が剥離しない程度に調整することで、ハニカムの吸着性能低下を抑制できることを見い出した。
次に、ローターの製法について説明する。

吸着材として細孔径７Å以上のＹ型ゼオライトまたはＸ型ゼオライトを８０ｗｔ％と、抄紙用バインダーとしてＰＶＡ系バインダー（ポリアクリロニトリル系ポリマー、ポリエチレン系ポリマー、ポリエステル系ポリマー）５ｗｔ％と、骨格繊維（アラミド系ポリマー、ベンズイミダゾール系ポリマー、ベンゾオキサゾール系ポリマー、ポリイミド系ポリマー）６．８ｗｔ％とを用いて、湿式抄紙法によりシートを得る。この吸着シートから成る平面シートと波形シートを耐熱性、初期接着力に優れている変性酢酸ビニル接着剤を用いてハニカムの接着部分が剥離しない程度に接着し、ハニカム状にして、さらに同変性酢酸ビニル接着剤を用いて接着部分が剥雌しない程度にハニカムを芯材に巻き付げてローター状にした円柱状のろ材に加工した。このローター状にした円柱状のろ材に対する接着剤含有比率は８．２ｗｔ％になった。

次に、斯くして構成された本実施形態に係る低水分空気供給装置２０の作用を説明する。
先ず、上流側ファン３０により被処理空気としての取入外気ＯＡを、除湿用通気路２１に導入する。
次に、給気の風量を１００とすると、給気の風量１００の内、２０％が上流側ファン３０より上流において第１パージ用通気路２５に吸引され、８０％が上流側ファン３０により吸引される。

従って、第１パージ用通気路２５に導入された２０％の被処理空気（例えば、乾球温度２３℃、露点温度１０．５℃、絶対湿度７８９０ｍｇ／ｋｇ’）は、上流側水分除去ろ材２３のパージ部２３ｂを通過し、乾球温度８５℃まで加温され、再生用通気路２２へ導かれる。
一方、上流側ファン３０により導入された８０％の被処理空気（例えば、乾球温度２３℃、露点温度１０．５℃、絶対湿度７８９０ｍｇ／ｋｇ’）は、所定の速度で回転する上流側水分除去ろ材２３の処理部２３ａを通過し、例えば、５２℃まで加温されるとともに、露点温度−３０℃まで除湿されて除湿用通気路２１に導かれる。

次に、除湿用通気路２１に導入した８０％の被処理空気を、クーラ２７によって例えば１２℃程度に冷却する（例えば、露点温度−３０℃、絶対湿度３１４ｍｇ／ｋｇ’）。
次に、冷却された８０％の被処理空気の内、６０％の被処理空気（例えば、乾球温度１２℃、露点温度−３０℃、絶対湿度３１４ｍｇ／ｋｇ’）を、所定の速度で回転する下流側水分除去ろ材２４の処理部２４ａを通過させ、例えば、露点温度−９０℃まで除湿して除湿用通気路２１に導き、低水分空気の給気ＳＡ（例えば、乾球温度１７℃、露点温度−９０℃、絶対湿度３１３．９４ｍｇ／ｋｇ’）とし供給する。冷却された８０％の被処理空気の残の２０％を、下流側水分除去ろ材２４のパージ部２４ｂを通過させ、第２パージ用通気路２６を介して再生用通気路２２へ導く。ここで、７０℃まで加温される。

次に、第２パージ用通気路２６を介して再生用通気路２２に導入された２０％の被処理空気を、上流側ヒータ２９により下流側水分除去ろ材２４の再生温度（例えば、１２０℃）に加熱する。ここでは、還気用通気路３２から５％の被処理空気（乾球温度７６℃）が戻されるため、２５％の被処理空気（乾球温度は７１．５℃、）となる。
次に、上流側ヒータ２９により下流側水分除去ろ材２４の再生温度（例えば、１２０℃）に加熱された２５％の被処理空気を、下流側水分除去ろ材２４の再生部２４ｃに導入し、下流側水分除去ろ材２４に吸着された湿分を離脱し再生する。再生部２４ｃから出る空気は７４℃に冷却される。

次に、下流側水分除去ろ材２４の再生部２４ｃから再生用通気路２２へ導出する２０％の被処理空気を、第１パージ用通気路２５と合流した後、下流側ヒータ２８により上流側水分除去ろ材２３の再生温度（例えば、１２０℃）に加熱する。ここでは、第１パージ用通気路２５からの２０％の被処理空気（乾球温度８５℃）により、乾球温度が８０．２℃に上昇する。

次に、下流側ヒータ２８により上流側水分除去ろ材２３の再生温度（例えば、１２０℃）に加熱された４０％の被処理空気を、上流側水分除去ろ材２３の再生部２３ｃに導入し、上流側水分除去ろ材２３に吸着された湿分を離脱し再生する。
次に、上流側水分除去ろ材２３の再生部２３ｃから再生用通気路２２へ導出する４０％の空気（乾球温度２９℃）を、下流側ファン３１により排気ＥＡとして排出する。

以上により、必要風量１００に対し６０％を低水分空気とすることが可能なロータシステムを得ることができる。
従って、本実施形態に係る低水分空気供給装置２０によれば、図２に示す従来の低水分空気供給装置に比し送風量が１．２５倍（６０／４８）となる。
また、本実施形態に係る低水分空気供給装置２０によれば、上流側水分除去ろ材２３および下流側水分除去ろ材２４の通過風量合計は、表１に示すように、図２に示す従来の低水分空気供給装置における上流側水分除去ろ材３および下流側水分除去ろ材４の通過風量合計に比し、０．７２５倍（２４５／３３８）となった。これは、上流側水分除去ろ材２３および下流側水分除去ろ材２４を構成する除湿材が従来より少なくなるとともに、ファンの動力の省エネルギーが図られていることを意味する。

本発明の一実施形態に係る低水分空気供給装置を示す説明図である。従来の低水分空気供給装置を示す説明図である。

符号の説明

２０低水分空気供給装置
２１除湿用通気路
２２再生用通気路
２３上流側水分除去ろ材
２３ａ処理部
２３ｂパージ部
２３ｃ再生部
２４下流側水分除去ろ材
２４ａ処理部
２４ｂパージ部
２４ｃ再生部
２５第１パージ用通気路
２６第２パージ用通気路
２７クーラ
２８下流側ヒータ
２９上流側ヒータ
３０上流側ファン
３１下流側ファン
３２還気用通気路

Claims

外気が通る除湿用通気路と、
温風が通る再生用通気路と、
細孔径が７Å以上、比表面積が５００ｇ/ｍ²以上のＸ型ゼオライトもしくはＹ型ゼオライト６０〜８５ｗｔ％、バインダー５〜１０ｗｔ％、骨格繊維残ｗｔ％、接着剤１〜１５ｗｔ％量によって構成されるとともに回転可能なロータ形状を為し、前記除湿用通気路の外気取入口側に配置される上流側水分除去ろ材および前記上流側水分除去ろ材より下流側の前記除湿用通気路に配置される下流側水分除去ろ材と、
前記上流側水分除去ろ材の処理部を通過する前の前記除湿用通気路を通る外気の一部を前記上流側水分除去ろ材のパージ部を経由して前記再生用通気路に導入する第１パージ用通気路と、
前記上流側水分除去ろ材の処理部を通過する前記除湿用通気路中の外気の一部を前記下流側水分除去ろ材のパージ部を経由して前記再生用通気路に導入する第２パージ用通気路と、
前記上流側水分除去ろ材と前記下流側水分除去ろ材との間の前記除湿用通気路に配置されたクーラと、
前記第１パージ用通気路と前記再生用通気路との接続部と前記上流側水分除去ろ材との間の前記再生用通気路に配置され、前記上流側水分除去ろ材の再生部を通過する前の前記再生用通気路中の空気を加熱する下流側ヒータと、
前記第２パージ用通気路と前記再生用通気路との接続部と前記下流側水分除去ろ材との間の前記再生用通気路に配置され、前記下流側水分除去ろ材の再生部を通過する前の前記再生用通気路中の空気を加熱する上流側ヒータと、
前記上流側水分除去ろ材の処理部よりも前記除湿用通気路の外気取入口側に配置された上流側ファンと、
前記上流側水分除去ろ材の再生部よりも前記再生用通気路の排気側に配置された下流側ファンと、
前記下流側水分除去ろ材の再生部を通過した前記再生用通気路中の空気を、前記下流側水分除去ろ材の再生部の空気導入側で前記第２パージ用通気路と前記再生用通気路との接続部よりも前記再生部の反対側に位置する前記再生用通気路に還気する還気用通気路と
を備えたことを特徴とする低水分空気供給装置。