JP3943077B2 - 光学的測定システムの光学部品位置合わせ - Google Patents
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Description
前記機械の前記二つの相対移動可能な部分に取り付け可能な二つのハウジングを具え、
該ハウジングのそれぞれには係合装置の相補的部分が設けられ、前記係合装置はその二つの部分が互いに係合したときに前記ハウジングを互いに位置合わせするものであり、
少なくとも一方のハウジングは、前記光学的測定システムが所望の方向に整列するよう、その機械の部分に対して回動可能である、
光学的測定システムを提供する。
前記二つのハウジングの前記係合装置の前記相補的部分を互いに係合させるステップ、
第1の前記ハウジングを前記機械の第1部分に回転可能に取り付けるステップ、
前記第1のハウジングが前記機械の第1部分に取り付けられたときの前記第1のハウジングの回転中心の位置を決定するステップ、
前記第1のハウジングの前記回転中心から距離をもって前記機械の第2部分を位置づけることで、前記二つのハウジングが接続されたときに第2の前記ハウジングを前記機械の第2部分に取り付けできるようにするステップ、および
前記第2のハウジングを前記機械の第2部分に取り付けるステップ
を、任意の順序で具える方法を提供する。
Claims (17)
- 二つの相対移動可能な部分を有する機械のための光学的測定システムであって、
前記機械の前記二つの相対移動可能な部分に取り付け可能な二つのハウジングを具え、
該ハウジングのそれぞれには係合装置の相補的部分が設けられ、前記係合装置はその二つの部分が互いに係合したときに前記ハウジングを互いに位置合わせするものであり、
少なくとも一方のハウジングは、前記光学的測定システムが所望の方向に整列するよう、その機械の部分に対して回動可能である、
光学的測定システム。 - 前記係合装置は、前記二つのハウジングを引張ることでそれらを分離させることが可能である請求項1に係る光学的測定システム。
- 前記少なくとも一方のハウジングは、その対応する機械の部分に対して3次元に回動可能である請求項1または請求項2に係る光学的測定システム。
- 前記少なくとも一方のハウジングは、その対応する機械の部分に対して2次元に回動可能である請求項1または請求項2に係る光学的測定システム。
- 双方のハウジングがそれぞれ対応する機械の部分に対して回動可能である請求項1ないし請求項4のいずれかに係る光学的測定システム。
- 前記少なくとも一方のハウジングと、それに対応する機械の部分との間に取り付け手段が設けられ、該取り付け手段は、前記ハウジングおよび前記機械の部分の一方には少なくとも一部に球状の面を具え、前記ハウジングおよび前記機械の部分の他方には対応する合わせ面を具えている請求項1ないし請求項5のいずれかに係る光学的測定システム。
- 前記取り付け手段は、前記ハウジングの各々には少なくとも一部に球状の面を具え、機械の部分の双方には対応する合わせ面を具えている請求項6に係る光学的測定システム。
- 前記取り付け手段は、一方のハウジングには少なくとも一部に球状の面を具えるとともに前記対応する機械の部分には対応する合わせ面を有し、他方の機械の部分には少なくとも一部に球状の面を具えるとともに前記対応する他方のハウジングには対応する合わせ面を有している請求項6に係る光学的測定システム。
- 光学的測定システムが軸を有し、該軸に沿って前記係合装置にコンプライアンス性がある請求項1ないし請求項8のいずれかに係る光学的測定システム。
- 前記係合装置は一方のハウジングに1以上の突出エレメントを具えるとともに、他方のハウジングには対応する1以上の合わせ形状を具え、前記1以上の突出エレメントが前記1以上の合わせ形状に挿入可能である請求項9に係る光学的測定システム。
- 前記1以上の突出エレメントおよび1以上の開口の少なくとも一つにテーパ面が設けられている請求項10に係る光学的測定システム。
- 前記係合装置の前記相補的部分は摺動接触を行う請求項9に係る光学的測定システム。
- 各々のハウジングが前記光学的測定システムの光学部品を収納し、前記係合装置の二つの部分が互いに係合したときに前記二つのハウジング内の前記光学部品が相互に正しく位置合わせされるよう、前記光学部品がそれぞれの前記ハウジング内でプリセットされている請求項1ないし請求項12のいずれかに係る光学的測定システム。
- 少なくとも一つのハウジングに釣合い手段が設けられている請求項1ないし請求項13のいずれかに係る光学的測定システム。
- 二つの相対移動可能な部分を有する機械上の所望の方向に光学的測定システムの光学部品を位置合わせするための方法であって、前記システムは前記光学的測定システムの光学部品を収納する二つのハウジングを具え、ハウジングのそれぞれには係合装置の相補的部分が設けられ、前記係合装置は、前記相補的部分が互いに係合したときに前記ハウジングを相互に整列させるよう構成されており、
前記二つのハウジングの前記係合装置の前記相補的部分を互いに係合させるステップ、
第1の前記ハウジングを前記機械の第1部分に回転可能に取り付けるステップ、
前記第1のハウジングが前記機械の第1部分に取り付けられたときの前記第1のハウジングの回転中心の位置を決定するステップ、
前記第1のハウジングの前記回転中心から距離をもって前記機械の第2部分を位置づけることで、前記二つのハウジングが接続されたときに第2の前記ハウジングを前記機械の第2部分に取り付けできるようにするステップ、および
前記第2のハウジングを前記機械の第2部分に取り付けるステップ
を、任意の順序で具える方法。 - 前記第1のハウジングは、少なくとも一部に球状の面または、少なくとも一部の球面に嵌る合わせ面の少なくとも一方を有して前記機械の第1部分に回動でき、前記第1のハウジングが前記機械の第1部分に取り付けられたときの前記第1のハウジングの回転中心の位置を決定するステップが、
前記機械の第2部分において、前記第1のハウジングの前記少なくとも一部の球面または前記合わせ面に対応した、合わせ面および少なくとも一部の球面の一方を取り付けるステップと、
前記機械の第2部分に取り付けられた前記合わせ面または少なくとも一部の球面を移動させて、前記第1のハウジングの前記少なくとも一部の球面または前記合わせ面に接触させるステップと、
前記機械の第2部分の位置を決定するステップ
を具える請求項15に係る光学的測定システムの光学部品の位置合わせ方法。 - 前記光学的測定システムが第2の所望方向に位置合わせされるとともに、
前記二つのハウジングを係合させるステップと、
前記第2の機械部分を移動させることで、前記第1のハウジングが前記第2の所望方向に整列するまで、前記第1のハウジングの前記回転中心の回りに前記光学的測定システムを回転させるステップと、
を具える請求項15に係る光学的測定システムの光学部品の位置合わせ方法。
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