JP2004534246A - 光学的測定システムの光学部品位置合わせ - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
本発明は、光学的測定システムの部品を、測定動作でそれらを使用する準備のために位置合わせ(aligning)する方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
公知の形態の光学的測定システムは2以上のハウジングからなり、その少なくとも一つは機械のベッドに固定され、他方は機械のスピンドルないし可動アームによって搬送される。一方のハウジングは1以上の光源および検出器を収容し、以下ではこれを「光源ハウジング」として参照する。他方のハウジングは反射器を収容し、以下ではこれを「反射器ハウジング」として参照する。光源ハウジングは通常、機械のベッド上の固定位置に取り付けられ、反射器ハウジングは機械のベッドに対して可動の機械の一部、例えば機械のスピンドルなどに取り付けられている。
【0003】
【特許文献1】
国際公開02/04890号公報
【特許文献2】
欧州特許0508686号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
光学部品の位置合わせはしばしば時間のかかるプロセスであって、発せられるビームまたは光束(beam or beams)が機械のX、YおよびZ軸の1以上の軸に沿うよう、またはこれと平行となるように、まず光源ハウジングの位置合わせが行なわれる。そして、反射光が検出器上に戻るように、ビームまたは光束に対して反射器の位置合わせを行なわなければならない。用いられている検出器の種類によっては、角度で数秒以内の正確な位置合わせが行なわれなければならないものとなり得る。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明は、二つの相対移動可能な部分を有する機械のための光学的測定システムであって、
前記機械の前記二つの相対移動可能な部分に取り付け可能な二つのハウジングを具え、
該ハウジングのそれぞれには係合装置の相補的部分が設けられ、前記係合装置はその二つの部分が互いに係合したときに前記ハウジングを互いに位置合わせするものであり、
少なくとも一方のハウジングは、前記光学的測定システムが所望の方向に整列するよう、その機械の部分に対して回動可能である、
光学的測定システムを提供する。
【0006】
従って、二つのハウジング間の光路(optical path)はこれに対応して所望の方向に揃うものとなる。
【0007】
好ましくは、取り付け手段は、ハウジングおよび機械部品の一方に少なくとも一部が球状の面を、またハウジングおよび機械部品の他方にそれに対応する合わせ面を具える。特に、取り付け手段は、ハウジングのそれぞれに少なくとも一部が球状の面を、またハウジング双方の機械部品にはそれに対応する合わせ面を具えていてもよい。取り付け手段は、一方のハウジングに少なくとも一部が球状の面を、また対応する機械部品には対応する合わせ面を具えるとともに、他方のハウジングには合わせ面を、また対応する機械部品には少なくとも一部が球状の面を具えていてもよい。
【0008】
好ましくは、ハウジング間に設けられる係合装置は、光学的測定システムの軸に沿ってコンプライアンス性を有する(compliant)ものである。係合装置は、一方のハウジングには突出する1以上の要素を、また他方のハウジングにはそれに対応する1以上の形状(features)を具えることができ、突出する1以上の要素はそれに対応する1以上の形状に挿入可能である。
【0009】
好ましくは、各ハウジングは光学的測定システムの光学部品を収容する。前記光学部品は各ハウジング内でプリセットされて、係合装置の二つの部分が互いに係合したときに二つのハウジング内の光学部品が互いに正確に位置合わせされるようになっている。
【0010】
本発明の第2の形態は、二つの相対移動可能な部分を有する機械上の所望の方向に光学的測定システムの光学部品を位置合わせするための方法であって、前記システムは前記光学的測定システムの光学部品を収納する二つのハウジングを具え、ハウジングのそれぞれには係合装置の相補的部分が設けられ、前記係合装置は、前記相補的部分が互いに係合したときに前記ハウジングを相互に整列させるよう構成されており、
前記二つのハウジングの前記係合装置の前記相補的部分を互いに係合させるステップ、
第1の前記ハウジングを前記機械の第1部分に回転可能に取り付けるステップ、
前記第1のハウジングが前記機械の第1部分に取り付けられたときの前記第1のハウジングの回転中心の位置を決定するステップ、
前記第1のハウジングの前記回転中心から距離をもって前記機械の第2部分を位置づけることで、前記二つのハウジングが接続されたときに第2の前記ハウジングを前記機械の第2部分に取り付けできるようにするステップ、および
前記第2のハウジングを前記機械の第2部分に取り付けるステップ
を、任意の順序で具える方法を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【0011】
添付の図面を参照し、本発明の実施形態を例として説明する。
【0012】
図面を参照するに、図1は特許文献1に開示されたような、機械に取り付けるための光学的測定システムの従来例を示している。
【0013】
光学測定システムは基板10、光源ハウジング20および反射器ハウジング22を含み、それらのすべては機械の1以上の軸に正確に整列されていなければならない。基板10はねじ12,14によって機械のベッドに接続されている。
【0014】
光源ハウジング20はオートコリメータを収容でき、オートコリメータは、光源24と、ビームスプリッタ26と、ハウジングから平行光ビームを出すコリメータレンズ28と、反射器ハウジング22内の反射器32からビームスプリッタ26を介して戻される光ビームを受容する検出器30との光学的な配列(optical sequence)によって形成される。
【0015】
またハウジング20は、120度離して三角形状に配列された3つの球状シートエレメント16の形態の動的(kinematic)シートを含んでいる。シートエレメント16は基板10上の3つのV形溝(不図示)と協働し、ハウジングを基板上に反復位置決めするための一般的な動的シートを形成する。
【0016】
さらにハウジング20は、その正面(すなわち、ビームの方向に直交する面)に動的シート18を有し、反射器ハウジングが着座(seat)できるようになっている。光源24および反射器32は製造段階を通じて整列しており、反射器ハウジング22が光源ハウジング20の正面上の動的シート内に位置決めされたときに、光ビームおよび反射器32が正確に整列するようになっている。
【0017】
光源ハウジング20が機械の軸に正しく整列し、光ビームが例えばX軸に沿う向きとなると、反射器ハウジング22が光源ハウジング20の正面上の動的シート18に着座可能となり、光源24からの光ビームに対して自動的に調整されるようになることが理解できよう。二つのハウジング20,22が動的シート18に互いに付勢されるようにするために磁石33が用いられる。
【0018】
機械のスピンドル34および反射器ハウジング22間の、両者が相互接続される際の位置の不整合を解決するために、調節可能なコネクタを用いることによって、反射器ハウジング22が限られた量のコンプライアンス性を備える。調節可能なコネクタを用いることによって、反射器ハウジング22が機械のスピンドル34に接続できるようになる。調節可能なコネクタは、機械のスピンドル34上のソケット38に着座するボール36を有する。ボール36は保持装置40に支持され、さらにこれが反射器ハウジング22に対し適宜の手段によって接続される。
【0019】
図2は本発明の一実施形態を示し、ここでは二つのハウジングがボール・バーの2部分を成している。第1部分はハウジング42を具え、これは光源と線形測定干渉計(linear measurement interferometer)44の干渉計の光学系(interferometer optics)とを収容している。光ファイバ供給システム57Aを用いて遠隔の光源から光学系に光が伝えられるようにしてもよい。光ファイバ、または配線57Bは、光学系から遠隔の検出器に光を伝える、またはハウジング42内の検出器から外部のコントローラに信号を供給することができる。他の構成例では、光源はハウジング42内部に半導体レーザを具えることができ、検出器からの信号は例えば無線リンクまたは光学リンクなどの無線通信システムによって外部のコントローラに伝達されるものであってもよい。この構成には、ハウジング42が配線または光ファイバから解放されるという利点がある。ハウジング42はその一端においてボール46に接続することができる。第2部分はハウジング48を具え、これは干渉計の逆反射体50を収容するとともに、その一端においてボール52に接続されている。あるいは、ハウジング48は干渉計のための検出器を収納するものでもよい。
【0020】
ボール・バーの2部分は動的ジョイント53において互いに接続される。動的ジョイント53はボール・バーの各部分上のシートエレメントによって形成され、磁石55によって係合方向に付勢される。ハウジング42内の光源および干渉計の光学系44とハウジング48内の逆反射体50とは、ボール・バーの2部分が互いに接続されたときに正しく整列し、かつ二つのハウジング42,48間を進行する光ビーム45の向きがボール・バーの長手軸に一致して整列するよう、配置される。二つのハウジング42,48間を進行する光ビーム45はある方向、例えば機械の軸に整列させるのが望ましい。
【0021】
ハウジング42,48間を進行する光ビーム45が共に直角(square)になり、第2ハウジング48内の光学素子に集中するようにするためには、ボール・バーの二つの部分が位置合わせされることが好ましいが、これら光学素子上で光ビームが直角に曲がることがただ重要である。
【0022】
正しい直角度(squareness)を得るために二つのハウジング42,48を整列させることがより簡単であり、これは例えば、二つのハウジングの表面を機械加工し、それらが係合したときに接触して、それら表面の当接によりハウジングの整列が生じるようにすることによって容易に実現できる。そしてハウジングは、真空その他の適宜の手段によって互いに保持される。
【0023】
測定を行なうのに望まれる方向、例えば機械の軸X、YまたはZに沿ってボール・バーおよび光ビーム45を整列させる目的で、図3に示されるように、機械のテーブル56上にはカップ54が配置されている。カップ54は、磁気的な手段または他の固定手段によって機械のテーブル56上に保持することができる。カップ54に3つのパッド(不図示)を設け、ボール・バーのボールがカップ内に位置づけられたときに動的に(kinematically)着座することで、その精密な位置決めが行なわれるようにしてもよい。
【0024】
図3に示すように、ボール・バーの二つの部分が互いに結合し、ボール・バーの第1部分のボール46がカップ54内に着座する。図4に示すように、第2のカップ58が機械のスピンドル60に取り付けられている。好ましくは、カップ58もまた3つのパッドを含んでおり、それらの上にボール・バーのボールが動的に着座可能である。カップ58がボール46と接触すると、その位置は機械のスケールの読みから決定することができる。今、この位置を原点(0,0,0)とする。ボール46の位置を他の手段、例えばプローブを用いて決定することも可能である。
【0025】
カップ58をボール46から離脱させるべく機械のスピンドル60が移動し、そして原点から距離L(Lはボール・バーのボール中心間の距離)だけ離隔した新たな位置に移動する。例えば、図5に示すように、スピンドル60はカップ58をその初期位置からX軸に沿って距離Lだけ離れた新たな位置に移動させることができる。そこでボール・バーは、その第2部分のボール52がカップ58内に着座するまで、ボール46の回りに回動する。今、ボール52の位置は(L,0,0)である。
【0026】
スピンドル60がカップ58を正しい位置に移動させるようにするためには、ボール46および52の寸法が等しいことが好ましい。しかしボール46および52の各々の寸法(またはそれらの差異)が知られていれば、機械は寸法の差を補正することができる。
【0027】
ボール・バーは、従ってまた光ビーム45も、X軸に沿って整列する。加えて、干渉計の光学系および逆反射体も互いに位置合わせされる。そこで、図6に示すように、スピンドル60はX軸に沿ってカップ58を駆動し、ボール・バーの二つの部分の二つのハウジング42,48間の接続を断つことができるようになる。そこでスピンドル60は、ボール52およびハウジング48を具えるボール・バーの部分をX軸に沿って移動させ、測定値を得ることができるようになる。
【0028】
すなわち本発明は、ボール・バーおよび光ビーム45を機械のどの方向にも整列させることができるようにするという利点を有している。一旦方向が定まれば、スピンドルは同方向への移動を継続可能であり、所望の光学的測定値を得ることができるようになる。
【0029】
スピンドル60に対しては、コンプライアンス性をもたせてカップ58を取り付けることができる。これには、精密に位置を補正してカップ58をボール46に対し位置付けるようスピンドル60が移動しない場合でも、カップ58の位置をスピンドルに関して調節することができるという利点がある。図16はスピンドル60に取り付けられたカップ58を示している。カップ58はステム80を介してボール82に取り付けられている。スピンドル60には円筒状のボア84が設けられ、そこにボール82を挿入可能である。ボールの位置、従ってまたカップ58は、円筒状ボア84内で調節可能である。カップ58が所望の位置にあるときに、クランプ(不図示)が円筒状ボア84の周囲を緊締することで、カップの位置が維持されるようにする。
【0030】
動的ジョイント53が外れた場合のボール・バーのたるみ(sagging)を防ぐために、カップにボールを保持するのに用いる磁石を十分に強力なものとして、ハウジングの位置を保持できるようにする。電磁石によって磁力を強化してもよい。加えて、ボール・バーの重量が釣合うようにしてもよい。図14および図15はボール・バー上に用いる釣合い重りを示している。図14は、ハウジング48およびボール52を具えたボールバーの部分の側面図であり、機械のスピンドル60のカップ58に取り付けられている。釣合い重り78がハウジング48の反対側でボール52に取り付けられている。図15は、一端にカップ72を含むハウジング142を具えたボール・バーの部分の平面図であり、マウント(不図示)のボール76に取り付けられている。この場合、釣合い重り78はアーム80を介してハウジング142に取り付けられ、ハウジング142がボール76に取り付けられたときに、釣合い重り78がハウジング142に対してボール76の反対側にあるようになっている。ハウジング長を短くすれば、たるみを生じさせる力は小さくなる。
【0031】
あるいは、カップ54,58とボール46,52との間で適切な設定がなされたときに、ボールの位置を保持するべく緊締されるカップの調節機構が設けられていてもよい。かかる調節機構の例は特許文献1に記載されている。
【0032】
ボール・バーの重量を減らすために、光源をリモート光源とし、光ファイバケーブルを介してボール・バーに接続するようにしてもよい。
【0033】
ボール・バーを一旦第1軸に沿って整列させれば、図7〜図9に示すように、続いて第2軸に沿って整列させることは非常に簡単である。図7においては、二つの部分が接続されたボール・バーが示され、ボール・バーはX軸に沿って整列している。ボール46の中心は既知であり、ボール・バーの原点(0,0,0)である。ボール52の中心もまた既知であり、ボール46の中心からX軸に沿ってLの距離、すなわち(L,0,0)にある。スピンドルはボール46の中心の周りの半径Lの弧において移動可能であり、どの方向にもボール・バーを位置づけることができる。例えば、図8に示すように、スピンドル60がボール・バーをZ軸に整列するまで半径Lの弧について90度分回動させると、ボール52の中心は(0,0,L)に位置づけられる。ボール・バーがZ軸に整列すれば、スピンドル60がボール・バーの二つの部分を引張って図9に示すように分離することで、この軸に沿った測定を実行することが可能となる。
【0034】
図12は本発明の第2の実施形態を示し、ここではボール・バーの一方の部分が一端にカップ72をもつハウジング142を具えるとともに、ボール・バーの他方の部分が一端にボールをもつハウジング148を具えている。この例では、ボール・バーの第1部分はボール76を有するマウント74によって支持されており、このボール76がカップ72に嵌合する。ボール76は、磁石またはその他の適宜の手段によってカップ72に保持される。カップ158は機械のスピンドル160に取り付けられ、スピンドル160はカップ158をボール76上に位置づけてボールの位置を決定するべく操作される。そしてスピンドル160は、カップ58をこの位置から距離Lだけ離れた所望の整列方向に移動させる。ここで、Lはマウント74のボール76の中心とボール・バーのボール152の中心との間の距離である。そしてボール・バーは、前述したようにこの方向に整列する。
【0035】
ボールはハウジングの部分的な球面を具えることができ、カップは適合する合わせ面を具えることができる。ボールおよびカップを他の好適な回動手段、例えばジンバルまたは自在継手に置換することもできる。この回動手段は3次元の回転を許容することが好ましいが、2次元平面(例えばXY平面)内の回動でも十分であり得る。
【0036】
図10および図11を参照し、ボール・バーの2部分間の他の接続部をより詳細に説明する。図10において、一方のハウジング42にはシステムの光軸Aに整列したピン62が設けられている。図10に示すように2本のピン62が設けられていてもよいし、あるいは例えば、中心軸の回りに120゜の間隔をおいた3本のピンが設けられていてもよい。ハウジング48にはピン62に対応した穴64が設けられている。従って、ピン62を穴64に挿入することで、ボール・バーの二つの部分を互いに結合することができる。かかる構成によって、ピンが穴に対して摺動進退するときにボール・バーの長手軸に沿ったコンプライアンスが許容されるとともに、ボール・バーの長手軸に垂直な方向にボール・バーの二つの部分を正確に整列させておくことができるようになる。この種の接続により長手軸に垂直な方向で正確な整列を行なわせることで、干渉計の光学系および逆反射体が長手軸に沿って整列したままとなる状態を確保できる。しかし、二つの部分のこの長手軸に沿った相対する移動が干渉計の光学系および逆反射体の整列に影響することはない。この方向の移動は望ましいものである。スピンドル60およびカップ58が初期位置から正確に距離Lだけ移動せず、いくらかのコンプライアンスが要求される場合に、幾分かの調節を可能とするからである。
【0037】
図11はボール・バーの2部分間の動的ジョイントの他の例を示す。この実施形態では、一方のハウジング42上の突起66が、他方のハウジング48上の対応形状の開口68に挿入される。突起66および開口68にテーパ面67,69を設けることができ、これにより開口68内に突起66を位置づけることが容易となる。ハウジング52,58内の光学系の配置が影響を受けないのであれば、ボール・バーの一方の部分が他方に対して回動できるよう、突起66および開口68の形状を定めることができる。あるいは、二つの部分が互いに回動できないようにする形状(feature)が突起66および開口68に備えられていてもよい。
【0038】
接続がボール・バーの長手軸に平行なコンプライアンスを許容しなければならず、かつこのコンプライアンスが二つのハウジング内の光学系の直角度(squareness)に悪影響を及ぼさないという規準を満たすのであれば、ボール・バーの二つの部分にはいかなるジョイント結合が用いられてもよい。例えば、図2を参照して説明したような動的シートを接続部が具え、可撓性部材(flexure)またはばねなどのコンプライアント材料に動的シートのエレメントが取り付けられたものとすることができる。
【0039】
ボール・バーの2部分間のジョイントによって、ボール・バーの長手軸に沿うさらなるコンプライアンスが許容されるようにしてもよい。かかるジョイントには例えばスリーブ軸受などの軸受を具えることができる。図13には、2部分間を結合するスリーブ軸受70をもつそのようなボール・バーが示されている。この装置は光学ボール・バーとして用いることができ、ここではカップ(不図示)に取り付けられたボール46の回りの半径Rの円について、スピンドル(不図示)がボール52を駆動するようになっている。工作機械や座標測定機などの座標位置決め機械をキャリブレートするためにボール・バーを使用することは、特許文献2により詳しく開示されている。機械のエラーがあるとスピンドルの経路が真円(true circle)から外れ、従ってボール52が円の周りに駆動されるときに二つのボールの中心間距離が変動する。ボール・バーの2部分間のジョイントによって、二つのボール46,52の中心間距離の変動が許容され、ボール・バー内の光学系はこの距離変動を測定するのに用いられる。この情報は公知の方法で機械のエラーをキャリブレートするのに用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【0040】
【図1】従来の光学的測定システムの部品の概略正面図である。
【図2】ボール・バー光学的測定システムの説明図である。
【図3】ボール・バー光学的測定システムを機械の軸に対して位置合わせするステップの説明図である。
【図4】ボール・バー光学的測定システムを機械の軸に対して位置合わせするステップの説明図である。
【図5】ボール・バー光学的測定システムを機械の軸に対して位置合わせするステップの説明図である。
【図6】ボール・バー光学的測定システムを機械の軸に対して位置合わせするステップの説明図である。
【図7】ボール・バー光学的測定システムを機械の第2軸に対して位置合わせするステップの説明図である。
【図8】ボール・バー光学的測定システムを機械の第2軸に対して位置合わせするステップの説明図である。
【図9】ボール・バー光学的測定システムを機械の第2軸に対して位置合わせするステップの説明図である。
【図10】ボール・バー光学的測定システムにおける2部分間の接続の第1実施形態を示す説明図である。
【図11】ボール・バー光学的測定システムにおける2部分間の接続の第2実施形態を示す説明図である。
【図12】ボール・バー光学的測定システムの第2実施形態を示す説明図である。
【図13】光学ボール・バーの平面図である。
【図14】光学ボール・バー上の釣合手段の第1実施形態の側面図である。
【図15】光学ボール・バー上の釣合手段の第1実施形態の平面図である。
【図16】機械のスピンドルと取り付けカップとの間のコンプライアンス性のある接続の説明図である。
Claims (17)
- 二つの相対移動可能な部分を有する機械のための光学的測定システムであって、
前記機械の前記二つの相対移動可能な部分に取り付け可能な二つのハウジングを具え、
該ハウジングのそれぞれには係合装置の相補的部分が設けられ、前記係合装置はその二つの部分が互いに係合したときに前記ハウジングを互いに位置合わせするものであり、
少なくとも一方のハウジングは、前記光学的測定システムが所望の方向に整列するよう、その機械の部分に対して回動可能である、
光学的測定システム。 - 前記係合装置は、前記二つのハウジングを引張ることでそれらを分離させることが可能である請求項1に係る光学的測定システム。
- 前記少なくとも一方のハウジングは、その対応する機械の部分に対して3次元に回動可能である請求項1または請求項2に係る光学的測定システム。
- 前記少なくとも一方のハウジングは、その対応する機械の部分に対して2次元に回動可能である請求項1または請求項2に係る光学的測定システム。
- 双方のハウジングがそれぞれ対応する機械の部分に対して回動可能である請求項1ないし請求項4のいずれかに係る光学的測定システム。
- 前記少なくとも一方のハウジングと、それに対応する機械の部分との間に取り付け手段が設けられ、該取り付け手段は、前記ハウジングおよび前記機械の部分の一方には少なくとも一部に球状の面を具え、前記ハウジングおよび前記機械の部分の他方には対応する合わせ面を具えている請求項1ないし請求項5のいずれかに係る光学的測定システム。
- 前記取り付け手段は、前記ハウジングの各々には少なくとも一部に球状の面を具え、機械の部分の双方には対応する合わせ面を具えている請求項6に係る光学的測定システム。
- 前記取り付け手段は、一方のハウジングには少なくとも一部に球状の面を具えるとともに前記対応する機械の部分には対応する合わせ面を有し、他方の機械の部分には少なくとも一部に球状の面を具えるとともに前記対応する他方のハウジングには対応する合わせ面を有している請求項6に係る光学的測定システム。
- 光学的測定システムが軸を有し、該軸に沿って前記係合装置にコンプライアンス性がある請求項1ないし請求項8のいずれかに係る光学的測定システム。
- 前記係合装置は一方のハウジングに1以上の突出エレメントを具えるとともに、他方のハウジングには対応する1以上の合わせ形状を具え、前記1以上の突出エレメントが前記1以上の合わせ形状に挿入可能である請求項9に係る光学的測定システム。
- 前記1以上の突出エレメントおよび1以上の開口の少なくとも一つにテーパ面が設けられている請求項10に係る光学的測定システム。
- 前記係合装置の前記相補的部分は摺動接触を行う請求項9に係る光学的測定システム。
- 各々のハウジングが前記光学的測定システムの光学部品を収納し、前記係合装置の二つの部分が互いに係合したときに前記二つのハウジング内の前記光学部品が相互に正しく位置合わせされるよう、前記光学部品がそれぞれの前記ハウジング内でプリセットされている請求項1ないし請求項12のいずれかに係る光学的測定システム。
- 少なくとも一つのハウジングに釣合い手段が設けられている請求項1ないし請求項13のいずれかに係る光学的測定システム。
- 二つの相対移動可能な部分を有する機械上の所望の方向に光学的測定システムの光学部品を位置合わせするための方法であって、前記システムは前記光学的測定システムの光学部品を収納する二つのハウジングを具え、ハウジングのそれぞれには係合装置の相補的部分が設けられ、前記係合装置は、前記相補的部分が互いに係合したときに前記ハウジングを相互に整列させるよう構成されており、
前記二つのハウジングの前記係合装置の前記相補的部分を互いに係合させるステップ、
第1の前記ハウジングを前記機械の第1部分に回転可能に取り付けるステップ、
前記第1のハウジングが前記機械の第1部分に取り付けられたときの前記第1のハウジングの回転中心の位置を決定するステップ、
前記第1のハウジングの前記回転中心から距離をもって前記機械の第2部分を位置づけることで、前記二つのハウジングが接続されたときに第2の前記ハウジングを前記機械の第2部分に取り付けできるようにするステップ、および
前記第2のハウジングを前記機械の第2部分に取り付けるステップ
を、任意の順序で具える方法。 - 前記第1のハウジングは、少なくとも一部に球状の面または、少なくとも一部の球面に嵌る合わせ面の少なくとも一方を有して前記機械の第1部分に回動でき、前記第1のハウジングが前記機械の第1部分に取り付けられたときの前記第1のハウジングの回転中心の位置を決定するステップが、
前記機械の第2部分において、前記第1のハウジングの前記少なくとも一部の球面または前記合わせ面に対応した、合わせ面および少なくとも一部の球面の一方を取り付けるステップと、
前記機械の第2部分に取り付けられた前記合わせ面または少なくとも一部の球面を移動させて、前記第1のハウジングの前記少なくとも一部の球面または前記合わせ面に接触させるステップと、
前記機械の第2部分の位置を決定するステップ
を具える請求項15に係る光学的測定システムの光学部品の位置合わせ方法。 - 前記光学的測定システムが第2の所望方向に位置合わせされるとともに、
前記二つのハウジングを係合させるステップと、
前記第2の機械部分を移動させることで、前記第1のハウジングが前記第2の所望方向に整列するまで、前記第1のハウジングの前記回転中心の回りに前記光学的測定システムを回転させるステップと、
を具える請求項15に係る光学的測定システムの光学部品の位置合わせ方法。
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