JP3932315B2 - 歪センサ素子及び多結晶性ダイヤモンド歪ゲージの形成方法 - Google Patents
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膜表面から膜厚方向にボロン濃度又はドーピング深さを制御することにより、平均結晶粒径の半分以下の表面深さにボロンドープ・ダイヤモンド層を部分形成してなることを特徴とするものである。
マイクロ力学量が印加される構造部材の基板に堆積した絶縁物上に、ダイヤモンド気相合成法により成膜され、膜表面から膜厚方向にボロン濃度又はドーピング深さを制御することにより、ボロンドープ・ダイヤモンド層を部分形成して、膜表面近傍にボロンドーピングを局限するようにしたダイヤモンド歪ゲージの形成方法であって、
熱フィラメントCVD装置内又はマイクロ波プラズマCVD装置内で原料ガスを導入して前記絶縁物上にアンドープ・ダイヤモンド層を一次形成し、所定時間経過後ボロン含有ガスを追加導入してボロンドープ・ダイヤモンド層を二次形成し、かつ、その層厚を平均結晶粒径の半分以下に制御することを特徴とするものである。
2 電極
3 基板ホルダー
4 基板
5 交流電源
6 真空チャンバー
7 ガス導入口A
8 ガス導入口B
10 アンドープ・ダイヤモンド層
20 ボロンドープ・ダイヤモンド層
30 絶縁物
40 構造部材(基板及び電極を含む)
X ダイヤモンド歪ゲージ
Y 歪センサ素子
Z 熱フィラメントCVD装置
Claims (1)
- マイクロ力学量が印加される構造部材と、該構造部材の所定位置(基板)に配置され、印加されたマイクロ力学量の作用を受ける多結晶性ダイヤモンド半導体薄膜を用いたピエゾ抵抗体(ダイヤモンド歪ゲージに同じ。)とを少なくとも備え、ピエゾ抵抗効果を利用して前記マイクロ力学量を検知する歪センサ素子において、
前記構造部材の基板に堆積した絶縁物上に、ダイヤモンド気相合成法により成膜され、膜表面から膜厚方向にボロン濃度又はドーピング深さを制御することにより、結晶成長粒内にボロンドープ・ダイヤモンド層を部分形成したダイヤモンド歪ゲージを有する歪センサ素子であって、
前記ダイヤモンド歪ゲージが、熱フィラメントCVD装置内又はマイクロ波プラズマCVD装置内で原料ガスを導入して前記絶縁物上にアンドープ・ダイヤモンド層を一次形成した後、ボロン含有ガスを追加導入してボロンドープ・ダイヤモンド層を二次形成し、かつ、平均結晶粒径の半分以下の表面深さに層厚を制御してなるものであり、膜表面近傍にボロンドーピングを局限したことを特徴とする歪センサ素子。
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