JP3927314B2 - シリコン種結晶およびシリコン単結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、チョクラルスキー法(Czochralski Method、CZ法)による種結晶を使用してネッキングを行って、或はネッキングを行うことなくシリコン単結晶棒を成長させるシリコン単結晶の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、CZ法によるシリコン単結晶の製造においては、単結晶シリコンを種結晶として用い、これをシリコン融液に接触させた後、回転させながらゆっくりと引上げることで単結晶棒を成長させている。この際、種結晶をシリコン融液に接触させた後に、熱衝撃により種結晶に高密度で発生するスリップ転位から伝播する転位を消滅させるために、直径を3mm程度に一旦細くし絞り部を形成するいわゆる種絞り(ネッキング)を行い、次いで、所望の口径になるまで結晶を太らせて、無転位のシリコン単結晶を引上げている。このような、種絞りはDashNecking法として広く知られており、CZ法でシリコン単結晶棒を引上げる場合の常識とされている。
【0003】
すなわち、従来用いられてきた種結晶の形状は、例えば直径あるいは一辺約8〜20mmの円柱状や角柱状の単結晶に種ホルダーにセットするための切り欠き部を設けたもので、最初にシリコン融液に接触する下方の先端形状は、平坦面となっている。そして、高重量の単結晶棒の重量に耐えて安全に引上げるためには、種結晶の太さは、素材の強度からして上記以下に細くすることは難しい。
【0004】
このような形状の種結晶では、融液と接触する先端の熱容量が大きいために、種結晶が融液に接触した瞬間に結晶内に急激な温度差を生じ、スリップ転位を高密度に発生させる。従って、この転位を消去して単結晶を育成するために前記ネッキングが必要になるのである。
【0005】
しかし、このような状態ではネッキング条件を種々に選択しても、無転位化するためには、最小直径を3〜5mmまでは絞り込む必要があり、近年のシリコン単結晶径の大口径化に伴い、高重量化した単結晶棒を支持するには強度が不充分であり、単結晶棒引上げ中に、この細い絞り部が破断して単結晶棒が落下する等の重大な事故を生じる恐れがあった。
【0006】
このような問題を解決するために、本出願人は先に特開平5−139880号、特願平8−87187号のような発明を提案した。これらの発明は、種結晶の先端部の形状を楔形あるいは中空部を有する形状とし、種結晶がシリコン融液に接触する時に入るスリップ転位をできるだけ低減することによって、絞り部の直径を比較的太くしても無転位化を可能とし、もって絞り部の強度を向上させるものである。
【0007】
この方法では、絞り部の太さを太くすることができるので、ある程度絞り部の強度の向上ができるけれども、ネッキングを行い、スリップ転位のある絞り部を形成することには変わりがなく、近年ますます大直径、長尺化し、例えば150Kg以上にもなる単結晶棒の引上げには、強度が不充分となる場合があり、根本的な解決にまで至っていない。
【0008】
そこで、本出願人は強度上一番問題となるネッキングによる絞り部を形成することなく、結晶を単結晶化させる方法を開発し先に提案した(特願平9−17687号)。この方法は、種結晶としてシリコン融液に接触させる先端部の形状が尖った形状、または尖った先端を切り取った形状とし、先ず、該種結晶の先端をシリコン融液に静かに接触させた後、種結晶を低速度で下降させることによって種結晶の先端部が所望の太さとなるまで溶融し、その後、種結晶をゆっくりと上昇させ、ネッキングを行うことなく、所望径のシリコン単結晶棒を育成させるというものである。
【0009】
この方法によれば、最初に種結晶の先端をシリコン融液に接触させた時、接触面積が小さく、先端部の熱容量が小さいため、種結晶に熱衝撃又は急激な温度勾配が生じないので、スリップ転位が導入されない。そして、その後、種結晶を低速度で下降させて種結晶の先端部が所望の太さとなるまで溶融すれば、急激な温度勾配を生じないので溶融時にもスリップ転位が種結晶内に導入されることはない。そして、最後に種結晶をゆっくりと引上げれば、種結晶は所望の太さで、無転位であるから、ネッキングを行う必要はなく、強度も十分あるので、そのまま所望の径まで太らせてシリコン単結晶棒を育成させることができる。
【0010】
以上述べたように、通常のネッキング種付け法においては、初期の転位密度を低減させる方法として、種結晶の融液上での保温や加温、種付け時の熱衝撃を低減させるような形状や、方法が開示されてきたが、ネックの太さに限界があり、大直径化、高重量化した単結晶棒には追随できなくなってきている上に、その無転位化成功率も必ずしも高くない。
そこで、上述した大直径化、高重量化にも耐えられる、ネッキングを行わない無転位種付け法が確立された。
【0011】
しかしながら、この無転位種付け法で問題となるのは、その無転位化成功率である。すなわち、この方法では、一度種結晶に転位が導入されると、種結晶を交換しなければ、やり直しができないので、成功率を向上させることが特に重要である。そしてこの場合、無転位で種付けしても、種結晶のテーパー付き先端部をある所定長さ溶融後にシリコン融点近傍で放置しておいたり、あるいは、結晶成長を開始するまでに要する時間によってはスリップ転位が発生し、この転位が増加して行く現象がある。このような現象が発生する原因を調査、究明した所、種結晶の形状、湯(融液)面上での保温時間、溶かし込む速度、単結晶成長速度等従来から制御対象とされてきた要因だけでは必ずしも十分ではなく、成功率が必ずしも高くなく、十分な再現性は得られていなかった。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもので、CZ法において、転位の入りにくい種結晶を提供し、これを用いることによってネッキングを行う種付け法またはネッキングを行わない無転位種付け法の場合に、無転位化成功率を低下させることなく、単結晶棒を成長させ、大直径、高重量の単結晶棒の生産性を向上させるシリコン単結晶の製造方法を提供することを主たる目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明に記載した発明は、チョクラルスキー法で使用するシリコン単結晶を用いたシリコン種結晶において、種結晶中の酸素濃度が15ppma(JEIDA)以下であることを特徴とするシリコン種結晶である。
【0014】
このように、シリコン種結晶中の酸素濃度を15ppma(JEIDA)以下にした種結晶を使用すると、例えば種結晶を融液に接触、溶かし込み中に、酸素が析出することがなく、析出した酸素が核となってスリップ転位が発生することは殆どない。従って、ネッキングをするか否かにかかわらず無転位化成功率が向上し、無転位シリコン単結晶の生産性、歩留りの向上を図ることができる。
【0015】
そしてこの場合、請求項2に記載したように、シリコン種結晶の形状が、先端部が尖った形状または尖った先端を切り取った形状であることが好ましい。
種結晶をこのような形状にすると、種結晶先端部の熱容量が極めて小さいため、種結晶を融液に接触させた際の熱衝撃が緩和され、スリップ転位の発生を低減することができ、酸素濃度が低く抑えられることとも相まって無転位化成功率を一層向上させることができる。
【0016】
本発明の請求項3に記載した発明は、請求項1または請求項2に記載したシリコン種結晶を用い、チョクラルスキー法により、前記種結晶の先端をシリコン融液に接触、融解させた後、ネッキングを行ってシリコン単結晶を成長させることを特徴とするシリコン単結晶の製造方法である。
【0017】
このように、ネッキングを行って単結晶成長を行うシリコン単結晶の製造方法において、例えば先端が尖った形状または尖った先端を切り取った形状をした種結晶の先端をシリコン融液に接触させ、種結晶を融液に溶かし込む操作を、所定の位置まで行い、次いで、ネッキングを行って転位を除去し、コーン部を形成した後、目標直径の単結晶を成長させれば、種結晶中の酸素濃度が15ppma以下と低いので、種結晶の溶かし込み中に酸素が析出することがなく、析出酸素が核となって転位を発生することも殆どなくなり、絞りの太さを比較的太くしても無転位化することが可能となるので無転位化成功率が向上し、無転位シリコン単結晶の生産性と歩留りが向上する。
この場合、種結晶の形状は必ずしも先端が尖ったものを用いなければならないわけではなく、通常の先端が平坦面の種結晶を用いる場合でも、本発明のように低酸素の種結晶であれば、無転位化成功率を向上させることができる。
【0018】
さらに、本発明の請求項4に記載した発明は、請求項1または請求項2に記載したシリコン種結晶を用い、チョクラルスキー法により、前記種結晶の先端をシリコン融液に接触、融解させた後、ネッキングを行うことなくシリコン単結晶を成長させることを特徴とするシリコン単結晶の製造方法である。
【0019】
このように、ネッキングを行わない無転位種付け法で単結晶成長を行うシリコン単結晶の製造方法において、先端が尖った形状または尖った先端を切り取った形状をした種結晶の先端をシリコン融液に接触させ、種結晶を融液に溶かし込む操作を、所定の位置まで行い、次いで、ネッキングを行わないで直ちにコーン部を形成した後、目標直径の単結晶を成長させれば、種結晶中の酸素濃度が15ppma以下と低いので、種結晶の溶かし込み中に酸素が析出することがなく、析出酸素が核となって転位を発生することも殆どない。従って、無転位化成功率が向上し、大直径化、高重量化したシリコン単結晶の成長が可能となる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明者らは、シリコン単結晶棒の成長に際し、太絞りに対応したネッキングを行う種付け法あるいはネッキングを行わない無転位種付け法において、その無転位化成功率が満足し得る水準に達しない場合があり、その原因を調査、究明した所、この転位の発生要因として、種結晶中の酸素濃度が深く関係していることを見出し、詳細に条件を詰めて本発明を完成させた。
【0021】
先ず、従来から行われてきたネッキングを行なわない無転位種付け法について、種結晶中の酸素濃度の影響を調査し、実験を繰り返して下記のような無転位化条件を確立した。
(テスト1)
先ず、種結晶中の酸素濃度の異なる6種類[酸素濃度:<1、5、10、15、20、25ppma(JEIDA)]のテストピースを準備した。酸素濃度が1ppma以下の種結晶は、FZ法で製造した低酸素濃度の単結晶棒から切り出したものである。5〜25ppmaのものは、CZ法で製造した単結晶棒から選択した。 各酸素濃度の異なる15mm角のシリコン単結晶棒の先端を頂角18度で円錐状にテーパ加工し、フッ酸と硝酸の混合液により表面を約400μmエッチングしたものを使用して、直径150mmの単結晶棒を成長させて無転位化の成功率を調査した。
【0022】
上記種結晶を使用して種付けし、ネッキングを行わない無転位種付け法で単結晶を成長させた。先ず、種結晶をシリコン融液の湯面上5mmの位置で30分間保温した後、先端から直径7mmの位置まで、溶かし込み速度を4mm/minとして溶かし込んだ後、ネッキングを行うことなく、直ちに単結晶成長速度を0.5mm/minとして単結晶を引上げた。
【0023】
このようにテスト1において作製された単結晶棒の成長における結晶の無転位化成功率を図2に示した。ここで、無転位化成功率(%)[DF化率ともいう]とは、試験引上げ本数に対する転位発生がなかった本数の割合を百分率で表した値である。本テストでの試験引上げ本数は20本である。
【0024】
図2から明らかなように、種結晶中の酸素濃度が15ppmaまでは無転位化成功率は95%と高かったが、20ppma以上では急激に低下した。結晶成長後の種結晶を調べてみると、20ppma以上の種結晶では、種結晶の内部に酸素の析出物が観察された。15ppma以下の種結晶中には酸素析出物は観察されなかった。この酸素析出の現象は、引上げ機炉内での、単結晶をホルダに取り付けてから湯面上での種結晶の保温、さらには溶かし込み中の熱環境下で、種結晶中の酸素が析出したものと考えられる。そして酸素が析出したことで、種結晶の溶かし込み時に、析出部分を核にして、スリップ転位が発生し易くなったものと考えられる。
【0025】
(テスト2)
テスト1と全く同様の6種類の種結晶を準備し、ネッキングを行う種付け法で単結晶を成長させた。
15mm角のシリコン単結晶棒の先端を頂角18度で円錐状にテーパ加工し、フッ酸と硝酸の混合液により表面を約400μmエッチングした種結晶を使用した。 先ず、シリコン融液の湯面上5mmの位置で30分間保温した後、先端から直径7mmの位置まで、溶かし込み速度を4mm/minとして溶かし込んだ後、ネッキングを行い単結晶成長速度を1.0mm/minとして、直径150mmの単結晶棒を成長させて無転位化の成功率を調査した。ネッキングの太さを直径4mm、直径6mmの2水準とした。このテストにおいて作製された単結晶棒の成長における単結晶の無転位化成功率を表1に示した。
【0026】
【表1】
【0027】
この表から種結晶中の酸素濃度および絞り部太さと絞り部の転位発生密度および無転位化成功率との間には次のような関係があることが明らかになった。
[1]種結晶中の酸素濃度が15ppmaまでは、酸素が融液接触時の熱衝撃によるスリップ転位の発生を防止する作用をするが、15ppmaを越えるようになると酸素が多くなり過ぎて析出し、この酸素析出物自体がスリップ転位の発生源になってしまう。
[2]種付け時のスリップ転位の発生が少なければ絞り部太さが直径6mmと太絞りであってもDF化率は比較的高く、大直径化、高重量化対策として実用性は充分にある。
【0028】
このように、種結晶中の酸素濃度が、無転位化成功率に深く関わっており、これを適切な範囲内に制御すれば、結晶に転位が発生することは殆どなくなり、高い無転位化成功率を再現性よく維持することができると共に、特に大口径単結晶の成長に寄与するので、生産性、歩留り、コストダウンおよび品質の向上を図ることができる。
【0029】
本発明のネッキングを行う種付け法あるいはネッキングを行わない無転位種付け法に使用される種結晶としては、従来から使用されてきた例えば、図1の(A)、(B)、(C)、(D)に示したような融液に接触させる先端部が、尖った形または尖った先端を切り取った形で、円錐または角錐形状であり、胴体が円柱または角柱形状のもの等が好ましい。但し、本発明でいう先端が尖った種結晶とは、これらに限定されるものではない。
【0030】
また、種結晶の直胴部の太さは、特に限定されるものではないが、丸棒の場合は直径を14mm以上とし、四角形の場合は14mm角以上、多角形等の角棒の場合は種結晶断面に内接する円の直径が14mm以上とすれば、ネッキングの直径を4mm以上と太くしても、種結晶と絞り部の間に十分なテーパ状の絞り込み部が形成されるので、スリップ転位が確実に除去されると共に、種結晶自体の強度も充分なので、大直径化、高重量化に十分対応することができる。
【0031】
このような種結晶において、先端部の頂角は28度以下が好ましく、これによって種付け時の熱応力が緩和され、スリップ転位の発生は非常に少なくあるいはなくなる。さらに溶かし込みの過程でも、緩やかな直径変化によってスリップ転位の増加は確実に抑制される。
【0032】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【0033】
例えば、本発明の実施形態では、直径150mm(6インチ)のシリコン単結晶棒を成長させているが、近年の200mm(8インチ)〜400mm(16インチ)あるいはそれ以上の大直径化にも十分対応することができる。
【0034】
また、本発明は、通常のチョクラルスキー法のみならず、シリコン単結晶の引上げ時に磁場を印加するMCZ法(Magnetic field applied Czochralski crystal growth method)にも同様に適用できることは言うまでもなく、本明細書中で使用したチョクラルスキー法という用語には、通常のチョクラルスキー法だけでなく、MCZ法も含まれる。
【0035】
また、本発明の種結晶の形状としては、先端が尖った形状のものを中心に説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。低酸素濃度とすれば、スリップ転位の発生が抑制されることに変わりがないので、従来の先端が平坦な種結晶にも当然に適用可能である。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、チョクラルスキー法によってシリコン単結晶棒を引上げる際に、ネッキングを行う、行わないに関わらず、無転位化成功率を向上させることができ、その再現性もよく、長期安定化させることができる。従って、今後の単結晶棒の大直径化、長尺化、高重量化にも十分適応させることが可能であり、生産性、歩留りならびに製造コストを著しく改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明で使用する種結晶の形状の例を示す斜視図である。
(A)円錐状種結晶、(B)角錐状種結晶、(C)尖った先端を水平に切り取った円錐状種結晶、(D)尖った先端を斜めに切り取った円錐状種結晶。
【図2】テスト1のネッキングを行わない単結晶成長における、種結晶中酸素濃度と無転位化成功率との関係を表したグラフである。
Claims (4)
- チョクラルスキー法で使用するシリコン単結晶を用いたシリコン種結晶において、種結晶中の酸素濃度が12ppma(JEIDA)以下であることを特徴とするシリコン種結晶。
- 前記シリコン種結晶の形状が、先端部が尖った形状または尖った先端を切り取った形状であることを特徴とする請求項1に記載したシリコン種結晶。
- 請求項1または請求項2に記載したシリコン種結晶を用い、チョクラルスキー法により、前記種結晶の先端をシリコン融液に接触、融解させた後、ネッキングを行ってシリコン単結晶を成長させることを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。
- 請求項1または請求項2に記載したシリコン種結晶を用い、チョクラルスキー法により、前記種結晶の先端をシリコン融液に接触、融解させた後、ネッキングを行うことなくシリコン単結晶を成長させることを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。
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