JP3922937B2

JP3922937B2 - 厚み計測方法及び装置

Info

Publication number: JP3922937B2
Application number: JP2002057252A
Authority: JP
Inventors: 幸治占部
Original assignee: Yokohama Rubber Co Ltd
Current assignee: Yokohama Rubber Co Ltd
Priority date: 2002-03-04
Filing date: 2002-03-04
Publication date: 2007-05-30
Anticipated expiration: 2022-03-04
Also published as: JP2003254722A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、厚み計測方法及び装置に関し、更に詳しくは、高精度でシート状部材の厚みを計測できるようにした厚み計測方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、ゴムシートの厚みを計測する方法として、従来、非接触式のエアセンサを用いた技術が提案されている。この方法は、基準ロールに沿って流れるゴムシートの厚さをエアセンサにより検出する一方、基準ロールの偏芯を渦電流センサで検出し、その偏芯量に応じてエアセンサで検出されたゴムシートの厚さを補正することにより、厚み計測を行うようにしている。
【０００３】
しかしながら、このようなエアセンサを用いた方法では、ゴムシートが加硫品の場合、基準ロールに完全に沿わないため、搬送中のゴムシートと基準ロールとの間に隙間が生じ、その隙間が計測誤差になって計測精度の低下を招くという問題があった。
【０００４】
また、エアセンサは、ゴムシート表面からの反射エアを検出して厚みを計測するため、その反射エア圧を所定圧以上確保する必要上、エアセンサのノズルを搬送されるゴムシートの近傍に配置する必要がある。その結果、ゴムシートに突起物が存在するとそれに追従できず、接触してノズルが外れ、計測が中断されるという問題があった。
【０００５】
他方、搬送されるゴムシートの厚みをレーザ変位センサにより計測するようにした技術が提案されている。ゴムシートの上下に離間して配置した両レーザ変位センサによりゴムシートの厚みを計測するため、上述した隙間による計測誤差の問題や、更には突起物に起因する問題も解決している。
【０００６】
しかしながら、レーザ変位センサは、周囲の温度変化による影響を受け易いため、その温度変化に起因する計測誤差が発生する。また、両レーザ変位センサをゴムシートを横断する方向に延設した対向するフレームに沿って同期移動させる際に、フレームの撓みや両レーザ変位センサの同期ずれなどによっても計測誤差が発生するため、高い精度、例えば誤差が±２０μｍの精度を要求されるような計測には使用できないという問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、レーザ変位センサを用いた厚み計測方法及び装置において、高い精度でシート状部材の厚み計測が可能な厚み計測方法及び装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の厚み計測方法は、搬送される未加硫ゴムまたは加硫ゴムからなるシート状部材の厚さを該シート状部材を横断する方向に延設した対向するフレームに取り付けた一組のレーザ変位センサを該フレームに沿って同期移動させながら計測する厚み計測方法において、前記一組のレーザ変位センサにより検出された値に、前記一組のレーザ変位センサの直線スパン補正、前記一組のレーザ変位センサの温度ドリフト補正、前記フレームの撓み補正、及び前記一組のレーザ変位センサが同期移動する際に生じる同期ずれ補正を加えて、前記シート状部材の厚さを算出するようにし、前記温度ドリフト補正は、前記一組のレーザ変位センサ間の所定の定位置に設置された厚さの異なる階段状の基準プレートを、該一組のレーザ変位センサを移動させることにより定ピッチ送りして計測し、検出された検出値をコンピュータに取り込み、該検出値が前記コンピュータ内に予め設定されたドリフト適正値とずれている場合には前記検出値を該ドリフト適正値となるように補正した温度ドリフト補正式を使用し、該温度ドリフト補正式の設定は、前記一組の変位センサでシート部材を幅方向に１往復して厚みを計測する都度行ない、前記直線スパン補正、前記撓み補正および前記同期ずれ補正のそれぞれに用いる補正式の設定は、シート部材を厚み測定装置から外した状態で行ない、かつ該撓み補正に用いる撓み補正式の設定に続けて該同期ずれ補正に用いる同期ずれ補正式の設定を行なうことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の厚み計測装置は、搬送される未加硫ゴムまたは加硫ゴムからなるシート状部材の厚さを該シート状部材を横断する方向に延設した対向するフレームに取り付けた一組のレーザ変位センサを該フレームに沿って同期移動させながら計測する厚み計測装置において、前記一組のレーザ変位センサをコンピュータに接続し、該コンピュータを、前記一組のレーザ変位センサにより検出された値に、前記一組のレーザ変位センサの直線スパン補正、前記一組のレーザ変位センサの温度ドリフト補正、前記フレームの撓み補正、及び前記一組のレーザ変位センサが同期移動する際に生じる同期ずれ補正を加えて、前記シート状部材の厚さを算出するように構成し、前記温度ドリフト補正は、前記一組のレーザ変位センサ間の所定の定位置に設置された厚さの異なる階段状の基準プレートを、該一組のレーザ変位センサを移動させることにより定ピッチ送りして計測し、検出された検出値をコンピュータに取り込み、該検出値が前記コンピュータ内に予め設定されたドリフト適正値とずれている場合には前記検出値を該ドリフト適正値となるように補正した温度ドリフト補正式を使用し、該温度ドリフト補正式の設定を、前記一組の変位センサでシート部材を幅方向に１往復して厚みを計測する都度行ない、前記直線スパン補正、前記撓み補正および前記同期ずれ補正のそれぞれに用いる補正式の設定を、シート部材を厚み測定装置から外した状態で行ない、かつ該撓み補正に用いる撓み補正式の設定に続けて該同期ずれ補正に用いる同期ずれ補正式の設定を行なう構成にしたことを特徴とする。
【００１０】
このようにレーザ変位センサの直線スパン補正と温度ドリフト補正、及びフレームの撓み補正とレーザ変位センサ移動時の同期ずれ補正を加えて、レーザ変位センサにより検出された値を補正するので、従来問題となった周囲の温度変化やフレームの撓み、同期ずれに起因して発生する計測誤差を効果的に改善することが可能になる。その結果、高い精度でシート状部材の厚み計測を行うことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の構成について添付の図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１２】
図１は、本発明の厚み計測装置の一例を示し、１，２は搬送されるシート状部材Ｓ（図２参照）の厚みを計測するための一組のレーザ変位センサ、３はレーザ変位センサ１，２で検出した値を入力するコンピュータユニットである。
【００１３】
レーザ変位センサ１，２は、搬送されるシート状部材Ｓに照射したレーザ光の反射をＣＣＤ（電荷結合素子）で受光し、それを電圧信号に変換して出力するようになっており、図２に示すように、ガイドローラー４Ａ，４Ｂを介して水平に搬送されるシート状部材Ｓの上下に対向して配設されている。
【００１４】
シート状部材Ｓの幅方向に沿って延在する上下のフレーム５Ａ，５Ｂが対向して設置され、そのフレーム５Ａ，５Ｂに上下のレーザ変位センサ１，２がそれぞれ取り付けられている。レーザ変位センサ１，２は、サーボモータ６の駆動により、フレーム５Ａ，５Ｂに沿って同期して往復移動可能にしてある。
【００１５】
コンピュータユニット３は、レーザ変位センサ１，２で検出した値を補正して厚みを算出するコンピュータ（パネルコンピュータ）７と、このコンピュータ７にそれぞれ接続された、Ａ／Ｄコンバータ８、Ｄ／Ａコンバータ９、カウンターポート１０、パラレルＩ／Ｏポート１１、シリアルＩ／Ｏポート１２、ＦＤＤユニット１３、パラレルインターフェース１４とを備えている。
【００１６】
レーザ変位センサ１，２がアンプユニット１５を介してＡ／Ｄコンバータ８に接続され、レーザ変位センサ１，２で検出された値がこのＡ／Ｄコンバータ８を介してコンピュータ７に入力されるようになっている。
【００１７】
Ｄ／Ａコンバータ９とサーボモータ６がモータコントローラ１６を介して接続されている。フレーム５Ａ，５Ｂにそれぞれ取り付けられたエンコーダ１７Ａ，１７Ｂとカウンターポート１０が接続され、エンコーダ１７Ａ，１７Ｂからのパルス信号によりフレーム５Ａ，５Ｂに沿って移動するレーザ変位センサ１，２の位置を検出できるようにしている。
【００１８】
パラレルＩ／Ｏポート１１に厚み計測装置を操作する操作スイッチ類１８が、シリアルＩ／Ｏポート１２に測定対象物のデータを読み取るバーコード１９が、ＦＤＤユニット１３に計測された厚みをフレキシブルディスクに保存するためのフレキシブルディスクドライブ２０が、そしてパラレルインターフェース１４に計測された厚みを印字としてアウトプットするためのプリンター２１が接続されている。
【００１９】
コンピュータ７は、レーザ変位センサ１，２により検出された値に、レーザ変位センサ１，２の直線スパン補正、レーザ変位センサ１，２の温度ドリフト補正、フレーム５Ａ，５Ｂの撓み補正、及びレーザ変位センサ１，２移動時の同期ずれ補正を加えて、シート状部材Ｓの厚さを算出する構成になっている。
【００２０】
直線スパン補正は、周囲の温度変化の影響で、レーザ変位センサ１，２からシート状部材Ｓまでの直線距離（スパン）が変わった際に生じる誤差を補正するものである。この直線スパン補正の設定は、シート状部材Ｓを厚み計測装置から外した状態で、コンピュータ７を直線スパン補正設定モードにして行われる。図４（ａ）に示すように、マイクロメータ３０に取り付けた補正プレート３１が用いられ、この補正プレート３１は厚さが一定（例えば１mm）でレーザ変位センサ１，２間に水平（レーザ光が直交）にセットされる。
【００２１】
マイクロメータ３０を回転させ、補正プレート３１をレーザ変位センサ１，２間の中央から上下所定の範囲（例えば、上下それぞれ１５mmの範囲）で、一方のレーザ変位センサ１側から他方のレーザ変位センサ２側に所定の距離（例えば１mm）毎移動させ、その時レーザ変位センサ１，２により検出された検出値をコンピュータ７に取り込む。
【００２２】
図４（ｂ）のグラフ図に、コンピュータ７に入力された検出値の一例（上下１５mmの範囲の場合）を点線で示す。横軸は補正プレート３１の移動方向距離Ｌ１、縦軸はレーザ変位センサ１，２からの電圧信号の電圧差Ｖ１である。移動方向距離Ｌ１における０は、レーザ変位センサ１，２間の中央位置を示し、＋は中央位置より上側、−は中央位置より下側である。実線は周囲の温度変化の影響がない場合の理想値（スパン適正値）を示し、このデータは予めコンピュータ７に入力されている。
【００２３】
コンピュータ７内で検出値と予め設定されたスパン適正値とが比較され、図４（ｂ）に示すようにずれている場合には、検出値をスパン適正値となるように補正するスパン補正式を求め、不図示のメモリに保存する。以後の計測では、ここで得られたスパン補正式が更新するまでシート状部材Ｓの厚みを算出する時に用いられる。この直線スパン補正は、次に述べるレーザ変位センサ１，２の温度ドリフトの影響よりも誤差への影響が小さいため、年に１回程度行うのがよい。
【００２４】
温度ドリフト補正は、周囲の温度変化の影響により、レーザ変位センサ１，２自体の温度が変化し、それにより検出した値に生じる誤差を補正するものである。この温度ドリフト補正の設定は、コンピュータ７を温度ドリフト補正設定モード（この装置では、後述する理由でシート状部材の厚み計測モード時に温度ドリフト補正設定モードもオンするようになっている）にして行われ、その際に図５（ａ）に示すように、厚さの異なる階段状の基準プレート４０が使用される。
【００２５】
図示する基準プレート４０は、階段状に変化する厚さが６段階に変化し、例えば、図の左から右に１mm、５mm、１０mm、１５mm、２０mm、２５mmの６段階とすることができる。基準プレート４０は温度変化の影響を受け難い（膨張収縮し難い）ステンレス材から構成され、図１に示すように、フレーム５Ａ，５Ｂ間の一方の端部中央に設置され、レーザ変位センサ１，２間の中央に位置するようにしている。
【００２６】
レーザ変位センサ１，２を移動させて基準プレート４０の厚さを定ピッチ送りして計測し、検出された検出値をコンピュータ７に取り込む。図５（ｂ）のグラフ図に、コンピュータ７に入力された検出値の一例を点線で示す。横軸は図示する基準プレート４０の左端からのレーザ変位センサ１，２の移動方向距離Ｌ２、縦軸はレーザ変位センサ１，２からの電圧信号の電圧差Ｖ２である。実線は周囲の温度変化の影響がない場合の理想値（ドリフト適正値）を示し、このデータは予めコンピュータ７に入力されている。
【００２７】
コンピュータ７内で検出値と予め設定されたドリフト適正値とが比較され、図５（ｂ）に示すようにずれている場合には、検出値をドリフト適正値となるように補正する温度ドリフト補正式を求め、保存する。以後の計測では、ここで得られた温度ドリフト補正式が用いられる。この温度ドリフト補正は、計測誤差で最も大きな部分を占めるため、レーザ変位センサ１，２でシート状部材Ｓを幅方向に１往復して厚みを計測する都度行い、常に最新の温度ドリフト補正式に更新し、それを使用して厚みを計測するのが好ましい。
【００２８】
撓み補正は、レーザ変位センサ１，２を支持するフレーム５Ａ，５Ｂが撓み、その影響で生じる誤差を補正するものである。この撓み補正の設定は、シート状部材Ｓを厚み計測装置から外した状態でコンピュータ７を撓み補正設定モードにして行う。図６（ａ）に示すように、撓み補正プレート５１を有する撓み補正治具５０が使用され、下側のレーザ変位センサ２に取り付けられる。
【００２９】
撓み補正プレート５１は、厚さが一定でレーザ変位センサ１，２間の中央位置に水平（レーザ光が直交）となるように配置される。なお、撓み補正治具５０は、下側のレーザ変位センサ２に代えて、上側のレーザ変位センサ１に取り付けることも可能であり、いずれか一方のレーザ変位センサに取り付ければよい。
【００３０】
レーザ変位センサ１，２をフレーム５Ａ，５Ｂに沿って有効幅（シート状部材Ｓが搬送される部分）だけ同期移動させた時にレーザ変位センサ１，２によりそれぞれ検出された検出値をコンピュータ７に取り込む。
【００３１】
図６（ｂ）のグラフ図に、コンピュータ７に入力された検出値の一例を点線で示す。横軸はフレーム５Ａ，５Ｂの長手方向距離Ｌ３、縦軸はレーザ変位センサ１，２からの電圧信号の電圧差Ｖ３である。長手方向距離Ｌ３における０は、フレーム５Ａ，５Ｂの有効幅の中央位置を示す。撓みが存在すると、レーザ変位センサ１から撓み補正プレート５１まの距離が変化し、それにより電圧差が変化する。実線は撓みがない場合の理想値（撓み適正値）を示し、このデータは予めコンピュータ７に入力されている。
【００３２】
コンピュータ７内で検出値と予め設定された撓み適正値とが比較され、図６（ｂ）に示すようにずれている（撓みが存在する）場合には、検出値を撓み適正値となるように補正する撓み補正式を求め、保存する。以後の計測では、ここで得られた撓み補正式が更新されるまで用いられる。この撓み補正は、周辺の雰囲気温度が安定した状態で、３〜５回程度行うのがよい。
【００３３】
同期ずれ補正は、同期移動するレーザ変位センサ１，２に同期ずれが発生し、その影響で生じる誤差を補正するものである。この同期ずれ補正の設定は、シート状部材Ｓを厚み計測装置から外した状態でコンピュータ７を同期ずれ補正設定モードにして行われる。図７（ａ）に示すように、ずれ補正プレート６１を有する同期ずれ補正治具６０が使用され、下側のレーザ変位センサ２に取り付けられる。
【００３４】
ずれ補正プレート６１は、非取付側のレーザ変位センサ１のレーザ光が当たる面６１ａが水平方向に対して傾いた傾斜面に形成され、レーザ変位センサ１，２間に配置される。なお、この同期ずれ補正治具６０も、上記撓み補正治具５０と同様に、下側のレーザ変位センサ２に代えて、上側のレーザ変位センサ１に取り付けてもよく、いずれか一方のレーザ変位センサに取り付けることができる。
【００３５】
レーザ変位センサ１，２をフレーム５Ａ，５Ｂに沿って有効幅（シート状部材Ｓが搬送される部分）だけ同期移動させた時にレーザ変位センサ１，２によりそれぞれ検出された検出値をコンピュータ７に取り込む。
【００３６】
図７（ｂ）のグラフ図に、コンピュータ７に入力された検出値の一例を点線で示す。横軸及び縦軸は上記撓み補正の場合と同様である。同期ずれが発生していると、レーザ変位センサ１のレーザ光がずれ補正プレート６１の傾斜した面６１ａに当たる位置がずれ、それにより電圧差が変化する。実線は同期ずれがない場合の理想値（同期ずれ適正値）を示し、このデータは予めコンピュータ７に入力されている。
【００３７】
コンピュータ７内で検出値と予め設定された同期ずれ適正値とが比較され、図７（ｂ）に示すようにずれている（同期ずれが存在する）場合には、検出値を同期ずれ適正値となるように補正する同期ずれ補正式を求め、保存する。以後の計測では、ここで得られた同期ずれ補正式が用いられる。この同期ずれ補正の設定は、上述した撓み補正の設定に続けて行うのがよい。
【００３８】
上述した装置によれば、図２，３に示すように、レーザ変位センサ１，２がレーザ光をシート状部材Ｓの表裏両面に照射しながら、フレーム５Ａ，５Ｂに沿って往復移動する一方、反射したレーザ光を検出してその値を電圧信号に変換してコンピュータ７に入力し、そこでシート状部材Ｓの厚みを算出する。その際に算出されるシート状部材Ｓの厚みは、レーザ変位センサ１，２の直線スパン補正と温度ドリフト補正、及びフレーム５Ａ，５Ｂの撓み補正と、レーザ変位センサ１，２移動時の同期ずれ補正が加えられて補正される。従って、得られるシート状部材Ｓの厚みの値は、周囲の温度変化や、フレームの撓み、同期ずれの影響による計測誤差の発生が抑制され、極めて精度の高いものとなる。
【００３９】
本発明において、計測精度を一層高めるため、図５（ａ）に示すように、基準プレート４０に温度センサ４５を設置するのが好ましい。その場合、この温度センサ４５はアンプユニット等を介してコンピュータ７に接続され、コンピュータ７は温度センサ４５からの信号に基づいて基準プレート４０の熱膨張による影響を温度ドリフト補正式から排除するようにプログラムする。即ち、基準プレート４０の温度に応じた熱膨張係数を加味した温度ドリフト補正式を得られるようにするのである。これにより、基準プレート４０に起因する誤差の発生を防ぎ、計測精度を更に向上することができる。
【００４０】
また、この厚み計測装置で得られたシート状部材Ｓの厚み情報を、シート状部材Ｓの製造工程にフィードバックし、シート状部材Ｓの厚み出しをするロール間の隙間を調整するのに用いると、より精度の高いシート状部材Ｓを製造するのに大きく寄与する。
【００４１】
本発明は、搬送しながら厚みを計測するようにしたシート状部材であれば、いずれのシート状部材にも好適に用いることができるが、特に未加硫あるいは加硫後のゴムシートの厚みを計測するのに好ましく使用することができる。
【００４２】
【発明の効果】
上述したように本発明は、レーザ変位センサの直線スパン補正と温度ドリフト補正、更にフレームの撓み補正とレーザ変位センサ移動時の同期ずれ補正をレーザ変位センサにより検出された値に加えて、シート状部材の厚さを算出するようにしたので、レーザ変位センサを用いた厚み計測方法及び装置において、シート状部材の厚みを高い精度で計測することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の厚み計測装置の一例を示す説明図である。
【図２】レーザ変位センサ間で搬送されるシート状部材の搬送状態を示す説明図である。
【図３】レーザ変位センサの往復移動によりスキャンされるシート状部材の説明図である。
【図４】（ａ）は直線スパン補正設定の説明図、（ｂ）は直線スパン補正設定工程で得られたデータの一例をスパン適正値と共に示すグラフ図である。
【図５】（ａ）は温度ドリフト補正設定の説明図、（ｂ）は温度ドリフト補正設定工程で得られたデータの一例をドリフト適正値と共に示すグラフ図である。
【図６】（ａ）は撓み補正設定の説明図、（ｂ）は撓み補正設定工程で得られたデータの一例を撓み適正値と共に示すグラフ図である。
【図７】（ａ）は同期ずれ補正設定の説明図、（ｂ）は同期ずれ補正設定工程で得られたデータの一例を同期ずれ適正値と共に示すグラフ図である。
【符号の説明】
１，２レーザ変位センサ３コンピュータユニット
５Ａ，５Ｂフレーム７コンピュータ
３１補正プレート４０基準プレート
４５温度センサ５０撓み補正治具
５１撓み補正プレート６０同期ずれ補正治具
６１ずれ補正プレート６１ａ面
Ｓシート状部材

Claims

搬送される未加硫ゴムまたは加硫ゴムからなるシート状部材の厚さを該シート状部材を横断する方向に延設した対向するフレームに取り付けた一組のレーザ変位センサを該フレームに沿って同期移動させながら計測する厚み計測方法において、前記一組のレーザ変位センサにより検出された値に、前記一組のレーザ変位センサの直線スパン補正、前記一組のレーザ変位センサの温度ドリフト補正、前記フレームの撓み補正、及び前記一組のレーザ変位センサが同期移動する際に生じる同期ずれ補正を加えて、前記シート状部材の厚さを算出するようにし、前記温度ドリフト補正は、前記一組のレーザ変位センサ間の所定の定位置に設置された厚さの異なる階段状の基準プレートを、該一組のレーザ変位センサを移動させることにより定ピッチ送りして計測し、検出された検出値をコンピュータに取り込み、該検出値が前記コンピュータ内に予め設定されたドリフト適正値とずれている場合には前記検出値を該ドリフト適正値となるように補正した温度ドリフト補正式を使用し、該温度ドリフト補正式の設定は、前記一組の変位センサでシート部材を幅方向に１往復して厚みを計測する都度行ない、前記直線スパン補正、前記撓み補正および前記同期ずれ補正のそれぞれに用いる補正式の設定は、シート部材を厚み測定装置から外した状態で行ない、かつ該撓み補正に用いる撓み補正式の設定に続けて該同期ずれ補正に用いる同期ずれ補正式の設定を行なう厚み計測方法。
前記直線スパン補正は、前記一組のレーザ変位センサ間に厚さが一定の補正プレートをセットし、該補正プレートを一方のレーザ変位センサ側から他方のレーザ変位センサ側に所定の距離毎移動させた時に前記一組のレーザ変位センサによりそれぞれ検出された検出値をコンピュータに取り込み、該検出値が前記コンピュータ内に予め設定されたスパン適正値とずれている場合には前記検出値を該スパン適正値となるように補正したスパン補正式を使用する請求項１に記載の厚み計測方法。
前記撓み補正は、前記一組のレーザ変位センサ間に配置される撓み補正プレートを有する撓み補正治具を、いずれか一方のレーザ変位センサに取り付け、前記一組のレーザ変位センサを前記フレームに沿って移動させた時に検出された検出値をコンピュータに取り込み、該検出値が前記コンピュータ内に予め設定された撓み適正値とずれている場合には前記検出値を該撓み適正値となるように補正した撓み補正式を使用する請求項１または２に記載の厚み計測方法。
前記同期ずれ補正は、前記一組のレーザ変位センサ間に配置されるずれ補正プレートを有する同期ずれ補正治具を、いずれか一方のレーザ変位センサに取り付け、前記補正プレートを他方のレーザ変位センサのレーザ光が当たる面を傾斜面にし、前記一組のレーザ変位センサを前記フレームに沿って移動させた時に検出された検出値をコンピュータに取り込み、該検出値が前記コンピュータ内に予め設定された同期ずれ適正値とずれている場合には前記検出値を該同期ずれ適正値となるように補正した同期ずれ補正式を使用する請求項１，２または３に記載の厚み計測方法。
搬送される未加硫ゴムまたは加硫ゴムからなるシート状部材の厚さを該シート状部材を横断する方向に延設した対向するフレームに取り付けた一組のレーザ変位センサを該フレームに沿って同期移動させながら計測する厚み計測装置において、前記一組のレーザ変位センサをコンピュータに接続し、該コンピュータを、前記一組のレーザ変位センサにより検出された値に、前記一組のレーザ変位センサの直線スパン補正、前記一組のレーザ変位センサの温度ドリフト補正、前記フレームの撓み補正、及び前記一組のレーザ変位センサが同期移動する際に生じる同期ずれ補正を加えて、前記シート状部材の厚さを算出するように構成し、前記温度ドリフト補正は、前記一組のレーザ変位センサ間の所定の定位置に設置された厚さの異なる階段状の基準プレートを、該一組のレーザ変位センサを移動させることにより定ピッチ送りして計測し、検出された検出値をコンピュータに取り込み、該検出値が前記コンピュータ内に予め設定されたドリフト適正値とずれている場合には前記検出値を該ドリフト適正値となるように補正した温度ドリフト補正式を使用し、該温度ドリフト補正式の設定を、前記一組の変位センサでシート部材を幅方向に１往復して厚みを計測する都度行ない、前記直線スパン補正、前記撓み補正および前記同期ずれ補正のそれぞれに用いる補正式の設定を、シート部材を厚み測定装置から外した状態で行ない、かつ該撓み補正に用いる撓み補正式の設定に続けて該同期ずれ補正に用いる同期ずれ補正式の設定を行なう構成にした厚み計測装置。
前記直線スパン補正は、前記一組のレーザ変位センサ間に厚さが一定の補正プレートをセットし、該補正プレートを一方のレーザ変位センサ側から他方のレーザ変位センサ側に所定の距離毎移動させた時に前記一組のレーザ変位センサによりそれぞれ検出された検出値をコンピュータに取り込み、該検出値が前記コンピュータ内に予め設定されたスパン適正値とずれている場合には前記検出値を該スパン適正値となるように補正したスパン補正式を使用する請求項５に記載の厚み計測装置。
前記撓み補正は、前記一組のレーザ変位センサ間に配置される撓み補正プレートを有する撓み補正治具を、いずれか一方のレーザ変位センサに取り付け、前記一組のレーザ変位センサを前記フレームに沿って移動させた時に検出された検出値をコンピュータに取り込み、該検出値が前記コンピュータ内に予め設定された撓み適正値とずれている場合には前記検出値を該撓み適正値となるように補正した撓み補正式を使用する請求項５または６に記載の厚み計測装置。
前記同期ずれ補正は、前記一組のレーザ変位センサ間に配置されるずれ補正プレートを有する同期ずれ補正治具を、いずれか一方のレーザ変位センサに取り付け、前記補正プレートを他方のレーザ変位センサのレーザ光が当たる面を傾斜面にし、前記一組のレーザ変位センサを前記フレームに沿って移動させた時に検出された検出値をコンピュータに取り込み、該検出値が前記コンピュータ内に予め設定された同期ずれ適正値とずれている場合には前記検出値を該同期ずれ適正値となるように補正した同期ずれ補正式を使用する請求項５，６または７に記載の厚み計測装置。
前記基準プレートに温度センサを設置し、前記コンピュータを該温度センサからの信号に基づいて前記基準プレートの熱膨張による影響を前記温度ドリフト補正式から排除する構成にした請求項５，６，７または８に記載の厚み計測装置。