JP5833831B2 - 厚さ測定装置、及び厚さ測定方法 - Google Patents
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Description
上記目的を達成するために、実施例の厚さ測定装置の厚さ測定方法は、被測定物をその搬送方向と直交する方向から挟むC形フレームの上下の互いに対向する腕部の上部に配置され、該被測定物の表面に対して垂直方向からレーザビームを照射して該被測定物との距離を求める第1の距離検出器と、前記被測定物を挟む前記C形フレームの上下の互いに対向する腕部の下部に配置され、該被測定物の裏面に対して垂直方向からレーザビームを照射して該被測定物との距離を求める第2の距離検出器と、を備える検出部と、前記第1の距離検出器の出力及び前記第2の距離検出器の出力から厚さを求める厚さ演算部と、を備える厚さ測定装置であって、前記検出部は、前記被測定物の搬送方向と直交する方向の一方の退避位置方向において、前記第1の距離検出器と前記第2の距離検出器の測定範囲内に固定設定される、予め設定された長さでの平均厚さが異なる基準厚さを有する第1の厚さ部と第2の厚さ部を備える校正板と、前記退避位置方向と、当該退避位置方向と反対の測定位置方向とに前記検出部を移動させる移動機構部と、前記移動機構部には前記校正板の前記第1の厚さ部と第2の厚さ部の「校正位置」及び「測定位置」を検出する位置検出センサとを備え、当該位置検出センサの信号から、前記移動機構部に対して、前記検出部を予め定める一定長さの「校正位置」、及び予め定められる「測定位置」に、移動を指令する位置設定部と、を備え、前記位置設定部は、「校正」指令を前記移動機構部に送り、前記移動機構部は、当該「校正」指令で前記検出部を予め設定される速度で前記「測定位置」から前記「校正位置」に移動させ、さらに、前記位置検出センサからの信号で、予め設定された前記第1の厚さ部と第2の厚さ部との校正位置信号を前記厚さ演算部に送り、前記厚さ演算部は、前記「測定位置」で厚さxを求め、前記「校正」指令で、前記検出部を退避位置方向に移動させて前記「校正位置」で求めた前記第1の厚さ部の厚さの平均値m1、前記第2の厚さ部の厚さの平均値m2を求め、
また、予め設定された前記第1の厚さ部の基準厚さg1、前記第2の厚さ部の基準厚さg2とすると、補正後の厚さyは、m2>x>m1として、
y=((g2−g1)/(m2−m1))・(x−m1)+g1
として求め、前記校正板を固定し、前記検出部を移動させて、予め設定された前記第1及び第2の距離検出器の設定位置の変位による測定誤差を補正するようにしたことを特徴とする。
y=(g2−g1)/(m2−m1)・(x−m1)+g1・・・・・(1)
但し、g2>x>g1とする。
1a 腕部の上部
1b 腕部の下部
11 第1の距離検出器
12 第2の距離検出器
2 移動機構部
21 レール
22 駆動部
23 車輪機構部
3 厚さ校正板
31 格納ケース
4 位置設定部
40 位置基準板
41 位置検出センサ
42 位置検出センサ
43 位置検出センサ
5 厚さ演算部
10 被測定物
100、200 厚さ測定装置
Claims (2)
- 被測定物をその搬送方向と直交する方向から挟むC形フレームの上下の互いに対向する腕部の上部に配置され、該被測定物の表面に対して垂直方向からレーザビームを照射して該被測定物との距離を求める第1の距離検出器と、前記被測定物を挟む前記C形フレームの上下の互いに対向する腕部の下部に配置され、該被測定物の裏面に対して垂直方向からレーザビームを照射して該被測定物との距離を求める第2の距離検出器と、を備える検出部と、
前記第1の距離検出器の出力及び前記第2の距離検出器の出力から厚さを求める厚さ演算部と、を備える厚さ測定装置であって、
前記検出部は、前記被測定物の搬送方向と直交する方向の一方の退避位置方向において、前記第1の距離検出器と前記第2の距離検出器の測定範囲内に固定設定される、予め設定された長さでの平均厚さが異なる基準厚さを有する第1の厚さ部と第2の厚さ部を備える校正板と、
前記退避位置方向と、当該退避位置方向と反対の測定位置方向とに前記検出部を移動させる移動機構部と、
前記移動機構部には前記校正板の前記第1の厚さ部と第2の厚さ部の「校正位置」及び「測定位置」を検出する位置検出センサとを備え、当該位置検出センサの信号から、前記移動機構部に対して、前記検出部を予め定める一定長さの「校正位置」、及び予め定められる「測定位置」に、移動を指令する位置設定部と、
を備え、
前記位置設定部は、「校正」指令を前記移動機構部に送り、前記移動機構部は、当該「校正」指令で前記検出部を予め設定される速度で前記「測定位置」から前記「校正位置」に移動させ、
さらに、前記位置検出センサからの信号で、予め設定された前記第1の厚さ部と第2の厚さ部との校正位置信号を前記厚さ演算部に送り、
前記厚さ演算部は、前記検出部を退避位置方向に移動させて前記校正板の前記第1の厚さ部及び前記第2の厚さ部の平均厚さを求め、
前記厚さ演算部は、前記「測定位置」で求めた厚さをxとし、前記「校正位置」で求めた前記第1の厚さ部の厚さの平均値、前記第2の厚さ部の厚さの平均値を、夫々、m1、m2(m2>m1)、また、予め設定された第1の厚さ部の基準厚さg1、第2の厚さ部の基準厚さg2とすると、
補正後の厚さyは、m2>x>m1として、
y=((g2−g1)/(m2−m1))×(x−m1)+g1
として求め、前記「測定位置」で求めた厚さxを補正し、
前記校正板を固定し、前記検出部を移動させて、予め設定された前記第1及び第2の距離検出器の設定位置の変位による測定誤差を補正するようにしたことを特徴とする厚さ測定装置。 - 被測定物をその搬送方向と直交する方向から挟むC形フレームの上下の互いに対向する腕部の上部に配置され、該被測定物の表面に対して垂直方向からレーザビームを照射して該被測定物との距離を求める第1の距離検出器と、前記被測定物を挟む前記C形フレームの上下の互いに対向する腕部の下部に配置され、該被測定物の裏面に対して垂直方向からレーザビームを照射して該被測定物との距離を求める第2の距離検出器と、を備える検出部と、
前記第1の距離検出器の出力及び前記第2の距離検出器の出力から厚さを求める厚さ演算部と、を備える厚さ測定装置であって、
前記検出部は、前記被測定物の搬送方向と直交する方向の一方の退避位置方向において、前記第1の距離検出器と前記第2の距離検出器の測定範囲内に固定設定される、予め設定された長さでの平均厚さが異なる基準厚さを有する第1の厚さ部と第2の厚さ部を備える校正板と、
前記退避位置方向と、当該退避位置方向と反対の測定位置方向とに前記検出部を移動させる移動機構部と、
前記移動機構部には前記校正板の前記第1の厚さ部と第2の厚さ部の「校正位置」及び「測定位置」を検出する位置検出センサとを備え、当該位置検出センサの信号から、前記移動機構部に対して、前記検出部を予め定める一定長さの「校正位置」、及び予め定められる「測定位置」に、移動を指令する位置設定部と、
を備え、
前記位置設定部は、「校正」指令を前記移動機構部に送り、前記移動機構部は、当該「校正」指令で前記検出部を予め設定される速度で前記「測定位置」から前記「校正位置」に移動させ、
さらに、前記位置検出センサからの信号で、予め設定された前記第1の厚さ部と第2の厚さ部との校正位置信号を前記厚さ演算部に送り、
前記厚さ演算部は、前記「測定位置」で厚さxを求め、
前記「校正」指令で、前記検出部を退避位置方向に移動させて前記「校正位置」で求めた前記第1の厚さ部の厚さの平均値m1、前記第2の厚さ部の厚さの平均値m2を求め、
また、予め設定された前記第1の厚さ部の基準厚さg1、前記第2の厚さ部の基準厚さg2とすると、補正後の厚さyは、m2>x>m1として、
y=((g2−g1)/(m2−m1))・(x−m1)+g1
として求め、
前記校正板を固定し、前記検出部を移動させて、予め設定された前記第1及び第2の距離検出器の設定位置の変位による測定誤差を補正するようにしたことを特徴とする厚さ測定装置の厚さ測定方法。
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JP2011097468A JP5833831B2 (ja) | 2011-04-25 | 2011-04-25 | 厚さ測定装置、及び厚さ測定方法 |
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