JP3918418B2 - 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性ボールを吸着して所定位置に搭載する導電性ボールの搭載装置および搭載方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
基板や電子部品の電極に金属バンプを形成する方法として、半田ボールなどの導電性ボール(以下、単に「ボール」と略記。)を電極上に搭載して半田接合する方法が知られている。ボールの搭載には、搭載ヘッドによりボールを真空吸着する方法が広く用いられている。この方法は、搭載ヘッドの吸着ヘッドの下面に設けられた多数の吸着孔にボールを吸着させてこの吸着ヘッドを移動させ、真空吸着を解除することによりボールを所定位置に搭載するものである。
【0003】
吸着ヘッドの下面にボールを吸着させる方法として、多数のボールを貯溜したボール槽に対して吸着ヘッドを下降させて吸着ヘッドの下面にボールを直接吸着保持させる方法に替えて、予め吸着ヘッドの吸着孔配列に対応した位置に凹部が形成された整列部材に導電性ボールを配列しておく方法が採用されるようになっている。この方法によれば、ボールピックアップ時に吸着ヘッドの各吸着孔に速やかに正しくボールを保持させることができるという長所を有している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この整列部材に予めボールを整列させる方法には、ボール吸着動作において以下のような問題点があった。この方法において整列状態のボールを正しく速やかに吸着ヘッドに吸着させるためには、整列部材と吸着ヘッドの位置合わせ、すなわちボールを収容した整列部材の凹部と吸着ヘッドの吸着孔との位置合わせを精度よく行う必要がある。ところがこの位置合わせ時には吸着ヘッドの下面と整列部材の上面とを近接位置で対向させることから、この状態では位置合わせの正否を視認することができず、正確な位置合わせが困難であった。
【0005】
そこで本発明は、吸着ヘッドと整列部材との位置合わせを適切に行い、ボール吸着動作における不具合を防止できる導電性ボールの搭載装置および搭載方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の導電性ボールの搭載装置は、導電性ボールを保持して所定位置へ搭載する導電性ボールの搭載装置であって、上面に1個の導電性ボールを収容可能な凹部を所定の配列で複数備えた整列部材と、導電性ボールを真空吸着により保持する吸着孔が前記配列に応じて形成された吸着ヘッドと、この吸着ヘッドによって前記整列部材の各凹部に収容された導電性ボールを吸着するボール吸着動作における吸着ヘッド内の圧力を経時的に計測する圧力計測手段と、前記ボール吸着動作時における吸着ヘッドの整列部材に対する相対位置を変化させて得られた複数の圧力計測結果に基づいて最適の前記相対位置を求めることにより、吸着ヘッドの整列部材に対する位置合わせを自動的に行う吸着位置調整手段とを備えた。
【0010】
請求項2記載の導電性ボールの搭載方法は、導電性ボールを保持して所定位置へ搭載する導電性ボールの搭載方法であって、上面に1個の導電性ボールを収容可能な凹部を所定の配列で複数備えた整列部材の各凹部に収容された導電性ボールを前記配列に応じて吸着孔が形成された吸着ヘッドによって真空吸着するボール吸着動作において、吸着ヘッドの整列部材に対する相対位置を変化させながら吸着ヘッド内の圧力を経時的に計測して得られた複数の圧力計測値の経時変化に基づいて最適の前記相対位置の最適位置を求めることにより、吸着ヘッドの整列部材に対する位置合わせを自動的に行うようにした。
【0011】
本発明によれば、凹部内に収容された整列状態の導電性ボールを吸着ヘッドによって真空吸着するボール吸着動作において、吸着ヘッドの整列部材に対する相対位置を変化させながら吸着ヘッド内の圧力を経時的に計測して得られた複数の圧力計測値の経時変化に基づいて最適の相対位置を求めることにより、吸着ヘッドの整列部材に対する位置合わせを簡便にかつ精度よく行うことができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の斜視図、図2は本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の吸着ヘッドの吸着孔および整列部材の凹部の説明図、図3は本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の制御系の構成を示すブロック図、図4は本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置のボール吸着動作の説明図、図5は本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の表示画面を示す図、図6は本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の吸着位置判定処理における圧力変化計測プログラムのフロー図、図7は本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の吸着位置調整プログラムのフロー図である。
【0013】
まず、図1を参照して導電性ボールの搭載装置の全体構造を説明する。図1において、基台1上には位置決めテーブル2が設けられており、位置決めテーブル2上には基板3が保持されている。位置決めテーブル2を駆動することにより基板3は所定位置に位置決めされる。位置決めテーブル2の側方には、導電性ボール6(以下、単に「ボール6」と略記。)を整列状態で供給するボール供給部4が配設されている。ボール供給部4にはボール6の整列治具5が配設されており、整列治具5はボール6を1個だけ収容する凹部7(図2も参照)が所定配列で設けられた整列部材5aを備えている。整列部材5aの周囲は、ボール6を貯溜する貯溜部5bとなっている。
【0014】
整列治具5は傾斜機構8によって回転軸8aの廻りに所定角度だけ回動可能となっており、この回動により整列治具5は水平位置から傾斜する。そしてこの傾斜により貯溜部5b内のボール6を整列部材5a上に移動させ、整列部材5aの凹部7内に収容することができるようになっている。
【0015】
次にボール6を搭載する搭載機構10について説明する。基台1の上方には、位置決めテーブル2及びボール供給部4を移動範囲として含む移動テーブル11が配設されている。移動テーブル11には移動プレート11aが水平移動可能に装着されている。移動プレート11aには4軸移動機構12が結合されている。4軸移動機構12には吸着ヘッド13が装着されており、吸着ヘッド13は4軸移動機構12によって、X,Y,Z方向への移動及びθ方向への回転移動が可能となっている。
【0016】
図2(a)に示すように吸着ヘッド13の下面には、ボール6を真空吸着して保持する多数の吸着孔13aが設けられている。前述の整列部材5aの凹部7の配列は、この吸着ヘッド13の吸着孔13aの配列に応じたものとなっており、吸着ヘッド13を整列部材5aに対して位置合わせして吸着ヘッド13の下面を整列部材5aの上面に所定隙間で位置させることにより、格子状に配列された多数の吸着孔13aはそれぞれが凹部7と対向する。そしてこの状態で吸着ヘッド13の内部を真空吸引することにより、整列部材5aの凹部7内に収容された状態のボール6を吸着孔13aに真空吸着して保持することができる。そしてボール6を保持した吸着ヘッド13を基板3を保持した位置決めテーブル2上に移動させ、ここで吸着ヘッド13を基板3に対して上下動させることにより、吸着ヘッド13に保持されたボール6は基板3に搭載される。
【0017】
このボール吸着動作において、迅速にもれなく各吸着孔13aにボール6を吸着するためには、吸着孔13aと凹部7との位置合わせを正確に行う必要がある。すなわち、吸着孔13aや凹部7の製作誤差による位置のばらつきや、吸着ヘッド13と整列治具5aとの位置合わせ誤差のため、位置合わせ状態においては図2(b)に示すように吸着孔13aと凹部7とは位置が完全に一致せず、水平方向にずれた状態となる。
【0018】
次に図3を参照して、ボールの搭載装置の制御系の構成について説明する。入出力部20はインターフェースであり、入出力部20には以下に説明する各部が接続されており、入出力部20を介して各部間で信号の授受が行われる。吸着ヘッド13は制御バルブ22を介して真空吸引源に接続されており、制御バルブ22を制御することにより、吸着ヘッド13による吸着動作を制御することができる。
【0019】
圧力計23は吸着ヘッド13内の圧力を検出する。吸着ヘッド13によるボール吸着動作において、圧力計23によって所定インターバルで吸着ヘッド13内の圧力(真空度)を計測することにより、吸着ヘッド13内の圧力を経時的に計測することができる。圧力計23は、吸着ヘッド13内の圧力を経時的に計測する圧力計測手段となっている。
【0020】
処理部26は演算処理手段であり、以下に説明する処理プログラム及びデータに基づいて各種処理を行う。第1の記憶部27はプログラム記憶部であり、以下の各種プログラムを記憶する。圧力変化計測プログラム27aは、吸着ヘッド13内部の圧力変化、すなわち真空吸引時の真空度の経時変化を計測するプログラムである。
【0021】
吸着位置判定プログラム27bは、吸着ヘッド13によって整列部材5aからボール6を吸着する吸着動作時における吸着ヘッド13の吸着位置、すなわち整列部材5aに対する相対位置の良否を判定する処理を行うプログラムである。また、吸着位置調整プログラム27cは、最適な吸着位置、すなわち最も効率よく迅速に吸着動作を行うことができる吸着位置を自動的に求め、この最適吸着位置に吸着ヘッド13を位置決めする処理を行うプログラムである。通常運転プログラム27dは、ボールの搭載処理に必要な他の通常動作を行うプログラムである。
【0022】
ここで図4を参照して上記吸着位置について説明する。図4(a)は、ボール吸着時に整列治具5の整列部材5a上に吸着ヘッド13を下降させた状態を平面的に示すものである。この位置合わせは、吸着ヘッド13の位置を代表的に示すために定義される中心点13a(吸着ヘッド13の下面の重心点で定義される。)を特定座標点(X0,Y0,Z0)に、また吸着ヘッド13の方向を示す方向線Lを特定角度θ0に合わせることによって行われる。
【0023】
この位置合わせによって、整列部材5aに設けられた多数の凹部と吸着ヘッド13の下面の多数の吸着孔13bとが、平均的に大きな偏りを生じることなく対向した状態になるような特定座標点および特定角度を求めることにより、最適な吸着位置が設定される。後述するように本実施の形態では、最適な吸着位置を求めるに際し、図4(b)に示すように格子状に定ピッチで定められた候補点P(i)について実際にボール吸着動作を行い、最も迅速に吸着が行えた吸着位置を最適吸着位置として選定するようにしている。
【0024】
第2の記憶部28はデータ記憶部であり、吸着位置判定しきい値28aや、吸着位置設定値28bなどのデータを記憶する。吸着位置判定しきい値28aは、吸着ヘッド13内部の圧力の経時変化に基づいて、当該吸着位置が予め設定された圧力の変化条件に合致しているか否かを判定するためのしきい値であり、後述するように圧力計測結果を示すグラフ上での領域を示すデータの形式で設定される。吸着位置設定値28bは、吸着位置調整処理によって求められた吸着位置、すなわち前述の吸着ヘッド13の中心点13bの特定座標点(X0,Y0,Z0)及び方向線Lの特定角度θ0の4つの座標値である。
【0025】
この吸着位置設定値28bにしたがって、4軸移動機構12によって吸着ヘッド13を駆動することにより、吸着ヘッド13を整列部材5aに対して吸着動作を行う上での最適位置に位置合わせすることができる。表示部24はモニタであり、圧力計23による圧力計測結果を表示するとともに、吸着位置判定処理や吸着位置調整処理などの実行時の案内・入力画面を表示する。表示部24は、圧力計測値の経時変化を表示する表示手段となっている。入力部25はマウスやキーボードなどの入力手段であり、各種処理時の操作入力やデータ入力を行う。
【0026】
次に図5を参照して、吸着位置設定処理時に表示部24のモニタ上に表示される画面について説明する。図5において、画面30の上部には吸着実行31、自動設定32、更新33、終了34の各操作選択ボタンが設定されている。また画面30の下部には、吸着位置表示欄38が設けられている。吸着位置表示欄38には、吸着ヘッド13の位置を示す座標値(X,Y,Z,θ)が表示される。ここでは、その時点での吸着ヘッド13の実際の位置を示す現在値38aと、吸着位置として設定されている位置を示す設定値38bの2通りの値が表示される。
【0027】
吸着実行ボタン31を操作することにより、吸着ヘッド13によるボール吸着動作が実行される。自動設定ボタン32を操作すると、後述する吸着位置調整プログラムが実行され、吸着位置の自動設定が開始される。更新ボタン33を操作することにより、吸着位置表示欄38の現在値38aが設定値38bとして置き換えられる。終了ボタン34を操作することにより、画面表示を終了する。
【0028】
操作盤35には、吸着ヘッド13の位置を手動操作によって移動させるインチング操作ボタンが設定されている。X移動ボタン35a,35b、Y移動ボタン35c,35d、Z移動ボタン35e,35f、及びθ移動ボタン35g,35hをそれぞれ操作することにより、当該軸方向、当該回転方向へのインチング動作が行われる。この操作盤35は、手動によって吸着位置の微調整を行う場合などに使用される。
【0029】
また画面30には、判定結果を示すグラフ36が表示される。このグラフ36上では、時間を横軸に吸着ヘッド13内の圧力を縦軸下向きにした座標上に、圧力計測結果の時間変化を示す曲線が表示される。そしてグラフ36には吸着位置が良好であることを示すOK判定ゾーンAが表示される。この判定は、所定時間内に所定の圧力レベルまで到達したか否かによって行われるものであり、OK判定ゾーンAを圧力変化の計測結果を示す曲線が横切れば、当該計測結果における圧力の到達度が良好であり、すなわち吸着位置が良好であると判定される。
【0030】
そして判定結果は、グラフ36内の判定結果表示枠37内にOK,NGの区別によって表示される。したがって、処理部26は吸着位置判定プログラム27bを実行することにより、ボール吸着動作における吸着ヘッド13の整列部材5aに対する相対位置の適否を判定する位置合わせ判定手段となっている。
【0031】
図5に示す例では、3回の計測結果に該当する3つの曲線C1,C2,C3が表示されている。このうち、曲線C1,C2は緩やかな曲率を示して圧力変化が遅く、吸着ヘッド13によるボール吸着動作において完全にボール6が吸着されて圧力(真空度)が所定レベルまで到達するのに時間を要していることを示している。したがってこれらの曲線C1,C2によって示される吸着位置は、NGであると判定される。これに対し、曲線C3は短時間のうちに圧力が大きく変化し、曲線C3はOK判定ゾーンAを横切る形で描かれている。すなわち、短時間で完全吸着を示す圧力(真空度)レベルに到達しており、この場合にはOK判定がなされる。
【0032】
前述の手動操作時には、まず吸着実行ボタン31を操作し、吸着ヘッド13によってボール6の吸着動作を行わせる。このとき自動的に圧力計測が行われ、計測結果がグラフ36に表示されるとともに判定結果が表示される。この結果を確認がOKならば、更新ボタン33を操作する。判定結果がNGであれば操作盤35によって吸着位置を微調整した上で吸着実行ボタン31を選択し、再度圧力変化計測プログラムによる判定を行わせる。そしてOKを確認した上で同様に更新ボタン33を操作する。これにより、吸着位置が更新される。その後、終了ボタン34を選択することにより手動設定処理が終了する。
【0033】
次に、吸着位置の設定のために行われる圧力変化計測プログラムについて図6のフロー図に沿って説明する。図6において、まず制御バルブ22が開にされる(ST1)。次いで、圧力計21によって吸着ヘッド13内の圧力を計測し(ST2)、すなわちサンプリング周期毎に圧力計の指示値を読み取って記憶させ、この計測結果を画面に表示させる(ST3)。そして、吸着位置OK判定ゾーンA(図5参照)内にデータがあるか否か、すなわち圧力変化を示す曲線が当該ゾーンを横切っているか否かを判断する(ST4)。ここで、NOであればその旨NG判定結果を表示し(ST6)、YESであれば該ゾーンへの到達時間を記憶させる(ST5)。そしてOKの判定結果を表示して(ST6)、圧力変化計測プログラムを終了する。
【0034】
次に、吸着位置調整プログラムについて図7を参照して説明する。この吸着位置調整は、吸着位置を移動させながら圧力変化計測を反復し、最も良好な結果が得られた吸着位置を最適吸着位置として自動的に設定するものである。ここでは、図4(b)に示すように、格子状に定ピッチで設定された吸着位置の各候補点P(i)について、吸着ヘッド13の中心点13bを候補点に合わせると共に、方向線Lを微小角度θだけ回転させながらボールの吸着実行、圧力計測を反復することが行われる。
【0035】
図7において、吸着ヘッド13を設定値で示される位置へ移動する(ST11)。すなわち、その時点で吸着位置として設定されている吸着位置(図5の吸着位置表示欄38参照)に吸着ヘッド13の位置を合わせる。次いで、前述のフロー図に従い、圧力変化計測プログラムが実行される(ST12)。これにより、当該吸着位置における圧力計測結果が表示されると共に、吸着位置OK判定ゾーンAへの到達時間が記憶される。
【0036】
この後、吸着状態にあるボールを離脱させるリセット動作が行われ(ST13),この後吸着ヘッド13をθ方向へ微小回転させる(ST14)。そして、再び圧力変化計測プログラムが実行され(ST15)、リセット動作が行われる(ST16)。この後θ方向の計測が完了したか否かが判断され(ST17)、NOであれば(ST14)以降のステップが繰り返し行われる。
【0037】
そしてθ方向完了を確認したならば、全候補点P(i)についての計測処理が完了したか否かを判断し(ST18)、NOであれば、吸着ヘッド13を次の候補点に移動させて(ST19)、(ST12)以降の各ステップを反復する。(ST18)にて全候補点についての計測終了が確認されたならば、吸着位置OK判定ゾーンAへの到達時間が最も短かった吸着位置を示す現在値を設定値とする(ST20)。そしてこの設定値に基づいて通常運転プログラム27dを実行することにより、吸着ヘッド13は整列部材5aに対して位置合わせされる。したがって処理部26は、吸着位置判定プログラム27bを実行することにより、吸着ヘッド13の整列部材5aに対する位置合わせを自動的に行う吸着位置調整手段となっている。
【0038】
このように、本実施の形態に示す吸着位置の設定は、吸着ヘッドの整列部材に対する位置合わせにおいて、実際の吸着動作時における吸着ヘッド13内の圧力(真空度)が所定レベルまで到達するのに要する時間を計測し、この計測結果を位置合わせ良否の代用指標として用いるものである。このような方法を採用することにより、目視によって確認することが困難な吸着ヘッドの位置合わせを、精度よくしかも作業者の手間を煩わせることなく自動的に行うことができる。
【0039】
【発明の効果】
本発明によれば、凹部内に収容された整列状態の導電性ボールを吸着ヘッドによって真空吸着するボール吸着動作において、吸着ヘッドの整列部材に対する相対位置を変化させながら吸着ヘッド内の圧力を経時的に計測して得られた複数の圧力計測値の経時変化に基づいて最適の相対位置を求めるようにしたので、吸着ヘッドの整列部材に対する位置合わせを簡便にかつ精度よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の斜視図
【図2】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の吸着ヘッドの吸着孔および整列部材の凹部の説明図
【図3】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の制御系の構成を示すブロック図
【図4】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置のボール吸着動作の説明図
【図5】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の表示画面を示す図
【図6】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の吸着位置判定処理における圧力変化計測プログラムのフロー図
【図7】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の吸着位置調整プログラムのフロー図
【符号の説明】
3 基板
5a 整列部材
6 ボール
7 凹部
13 吸着ヘッド
13a 吸着孔
23 圧力計
24 表示部
27a 圧力変化計測プログラム
27b 吸着位置判定プログラム
27c 吸着位置調整プログラム
Claims (2)
- 導電性ボールを保持して所定位置へ搭載する導電性ボールの搭載装置であって、上面に1個の導電性ボールを収容可能な凹部を所定の配列で複数備えた整列部材と、導電性ボールを真空吸着により保持する吸着孔が前記配列に応じて形成された吸着ヘッドと、この吸着ヘッドによって前記整列部材の各凹部に収容された導電性ボールを吸着するボール吸着動作における吸着ヘッド内の圧力を経時的に計測する圧力計測手段と、前記ボール吸着動作時における吸着ヘッドの整列部材に対する相対位置を変化させて得られた複数の圧力計測結果に基づいて最適の前記相対位置を求めることにより、吸着ヘッドの整列部材に対する位置合わせを自動的に行う吸着位置調整手段とを備えたことを特徴とする導電性ボールの搭載装置。
- 導電性ボールを保持して所定位置へ搭載する導電性ボールの搭載方法であって、上面に1個の導電性ボールを収容可能な凹部を所定の配列で複数備えた整列部材の各凹部に収容された導電性ボールを前記配列に応じて吸着孔が形成された吸着ヘッドによって真空吸着するボール吸着動作において、吸着ヘッドの整列部材に対する相対位置を変化させながら吸着ヘッド内の圧力を経時的に計測して得られた複数の圧力計測値の経時変化に基づいて最適の前記相対位置の最適位置を求めることにより、吸着ヘッドの整列部材に対する位置合わせを自動的に行うことを特徴とする導電性ボールの搭載方法。
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