JP3914129B2 - 半硬化の平板樹脂の成形装置及びその成形方法 - Google Patents

半硬化の平板樹脂の成形装置及びその成形方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、樹脂成形金型内へ投入された樹脂を圧縮成形することによって、電子部品、特に半導体のように高い精度が要求される部材の封止を行う半硬化の平板樹脂を成形する装置及びその成形方法に関し、特に、平板成形品を傷つけることなく、金型から容易に取り出すことのできる半硬化の平板樹脂の成形装置及びその成形方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、金属製のプレートモールド型を用いて熱硬化性の樹脂を加熱・押圧し、半硬化の平板成形品を成形する、半硬化の平板樹脂の成形装置が広く知られている。かかる成形装置においては、加熱・圧縮した樹脂を冷却した後、半硬化させた平板樹脂(平板成形品)をロボットアーム等によって金型から取り出すのが一般的である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の半硬化の平板樹脂の成形装置においては、金型から平板成形品を取り出す際に、該平板成形品が金型壁面に付着し、破損しやすいといった問題があった。
【0004】
また、かかる問題を解決する一手段として、フィルムを平板樹脂と金型との間に介在し、平板成形品と金型の剥離を容易にする事も考えられるが、平板樹脂を成形する度にフィルムの交換が必要で、コスト高になる上に、装置の機構が複雑になってしまうという問題がある。
【0005】
更に、樹脂として粉粒状の樹脂を用いた場合には、加熱成形前後で密度が大きく変化し、金型に樹脂を投入した時点では、嵩が多く、加圧中に金型よりはみ出す事があり、成形効率が悪くなるといった問題もあった。
【0006】
本発明は、このような問題を解消するためになされたものであって、装置の単純化及び低コスト化を実現しながら、同時に、平板成形品を傷つけることなく、金型から容易に取り出すことのできる半硬化の平板樹脂の成形装置及びその成形方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、熱硬化性の樹脂を加熱・押圧し、半硬化の平板成形品を成形する半硬化の平板樹脂の成形装置において、上型と下型とを有する金型からなり、該上型と下型との間に形成されたキャビティ内に投入した前記樹脂を圧縮可能な圧縮機構を備えると共に、前記上型又は下型の少なくとも一方の少なくとも一部と前記キャビティとの間に弾性体を介在させ、前記弾性体に前記キャビティの壁面の少なくとも一部を構成させると共に、前記弾性体が介在された側の金型が、この弾性体の反キャビティ側に当接・離反可能な突起部を有する底部と、該突起部の外周に嵌合すると共に同様に該弾性体の反キャビティ側に当接・離反可能な枠部と、を有し、前記枠部を前記弾性体に当接させた状態で前記底部の突起部を前記弾性体から離反させることによって形成される空間を、密閉空間としたことにより、上記課題を解決したものである。
【0008】
本発明によれば、金型の上型又は下型の少なくとも一方の少なくとも一部を、弾性体によって形成しているため、金型と平板成形品との間には弾性体が介在することなり、平板成形品の取り出しの際に該平板成形品を傷つけることなく、金型から容易に取り出すことができる。しかも、弾性回復力をもつ弾性体を使用しているため、フィルム等と異なり複数回の使用が可能で、低コスト化及び装置の単純化が実現可能である。
【0009】
弾性体の組込みは多様な形態が考えられる。例えば、前記弾性体に前記キャビティの壁面の一部を構成させると共に、前記弾性体が介在された側の金型が、この弾性体の反キャビティ側に当接・離反可能な突起部を有する底部と、該突起部の外周に嵌合すると共に同様に該弾性体の反キャビティ側に当接・離反可能な枠部と、を有し、前記枠部を前記弾性体に当接させた状態で前記底部の突起部を前記弾性体から離反させることによって形成される空間を密閉空間とする構成が採用できる。なお、この場合に、該密閉空間内の空気を該金型の外部へ排出可能なゲートを設ければ、該密閉空間の圧力を調整し、弾性体を変形させることにより容易にキャビティ内の容量を変化させることができ、その結果、該キャビティ内に投入する樹脂量を変化させることが可能となる。特に、粉粒状の樹脂を用いた場合には、圧縮の前後で樹脂の体積が大きく変化するが、圧縮前にキャビティ内に投入する樹脂量を多くすることができ、樹脂の不足による成形不良等の発生を未然に防止することが可能となる。
【0011】
前記弾性体に前記キャビティの壁面の一部を構成させると共に、更に該弾性体の弾性を利用して、前記樹脂を投入するキャビティの容積を縮小する方向に該キャビティの壁面の一部を変形可能な離型手段を備えれば、弾性体の弾性回復力によって弾性体が平板成形品から徐々に剥離することになるため、平板成形品の取り出しの際に平板成形品の傷つきを防止することができるようになる。
【0012】
又、弾性体の他の介在形態として、成形しようとする形状のキャビティ孔が形成された中間板の上下に、前記弾性体としての上面シート及び下面シートを備えてなる成形型を、前記上型と下型との間に、該上型及び下型から分離可能に介在させる構成も採用できる。この場合も同様に、金型と平板成形品との間には弾性体が介在することなり、平板成形品の取り出しの際に該平板成形品を傷つけることなく、金型から容易に取り出すことができる。しかも、弾性回復力をもつ弾性体を使用しているため、フィルム等と異なり複数回の使用が可能で、低コスト化及び装置の単純化が実現可能である。また、該成形型以外の装置が共用可能となり、低コスト化を図ることが出来る。
【0013】
更に、前記熱硬化された樹脂を冷却する冷却機構が付設されると共に、該冷却機構がペルチェ素子からなる冷却部を有することとすれば、冷却効果の向上を図ることが出来ると共に、冷却時間の短縮によって生産性の向上をも実現可能となる。
【0014】
弾性体の更に他の組み込み形態として、前記弾性体に前記キャビティの壁面の一部を構成させると共に、更に自身の端部において該弾性体の反キャビティ側の端部を吸着可能な吸着パッドを有し、該吸着パッドをスプリングを介して自身の他端側に変位自在に支持すると共に、該他端側を支点にして回動可能とされたスィングアームを有する弾性体剥離機構を付設する構成も採用できる。この場合には、弾性体が変形しながら平板成形品から剥離する事により、弾性体から平板成形品に加わる張力が緩和され、平板成形品が傷つくのを防止することが可能となる。
【0015】
なお、本発明に係る半硬化の平板樹脂の成形方法の一例としては、成形しようとする形状のキャビティ孔が形成された中間板の上下に弾性体としての上面シート及び下面シートを備えてなる成形型を、前記上型と下型との間に介在させる工程と、該成形型の前記下面シートを反中間板側に変形させてキャビティ容積を拡大させる工程と、該拡大されたキャビティ内に樹脂を投入する工程と、前記上面及び下面シートを介して投入された樹脂を前記上型及び下型によって加熱・押圧して平板に成形する工程と、成形後の平板を前記成形型ごと冷却する工程と、冷却後の成形型の前記上面シートを、弾性変形させながら中間板から剥離する工程と、前記下面シートを反中間板側から押圧することにより該中間板の前記キャビティ孔から半硬化の平板樹脂を成型品として取り出す工程と、を含む成形方法が考えられる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態の例を図面に基づいて説明する。
【0017】
図1は、本発明の実施形態の例に係る半硬化の平板樹脂の成形装置(以下、単に成形装置と称す。)に適用される成形型10の断面を模式的に示したものであり、該成形型10は、上面シート11と、中間板12と、下面シート13とを備えている。
【0018】
該中間板12は板状の部材からなり、該中間板12の略中央部には、成形しようとする形状のキャビティ孔12aが形成されている。又、上面シート11及び下面シート13はシリコンシート等の弾性回復力のある弾性体からなり、前記中間板12を挟むように積層されている。即ち、この上面シート11及び下面シート13は、中間板12に形成されたキャビティ孔12aの壁面の一部を構成している。
【0019】
図2〜4は、本発明の実施形態の例に係る成形装置100を模式的に示したものであり、該成形装置100は、図2に示す圧縮機構20と、図3に示す冷却機構30と、図4に示す弾性体剥離機構40と、から構成されている。
【0020】
最初に、図2を用いて圧縮機構20について説明する。
【0021】
該圧縮機構20は、上型21と下型29(22、23)とを有する金型から構成されており、該上型21と下型29との間には、前記成形型10を介在可能である。又、圧縮機構20は、上型21と下型29との間で、成形型10のキャビティ孔12a内に投入された熱硬化の樹脂を圧縮可能である。
【0022】
前記上型21は、図示しない駆動装置によって前記下型29と密着・離反可能である。なお、該上型21は、自身の内部に加熱用のヒータ28aを備えている。
【0023】
一方、前記下型29は、突起部22aを有する底部22と、該突起部22aの外周に嵌合する枠部23とから構成されている。
【0024】
該底部22は、シリンダ27によって図中H1方向に進退動可能であり、下面シート(弾性体)13の反キャビティ側13aに当接・離反が可能である。なお、該底部22も前記上型21と同様に、自身の内部に加熱用のヒータ28bを備えている。
【0025】
前記枠部23は、前記底部22にスプリング24を介して連結されており、該底部22に対して図中上下方向に進退動可能である。又、枠部23には、ゲート26が設けられており、該ゲート26は、枠部23を下面シート13に当接させた状態で底部22の突起部22aを下面シート13から離反(図中下側へ移動)させることによって形成される空間(密閉空間)29a内の空気を枠部23の外部へ排出可能である。更に、該枠部23と底部22の突起部22aとの間にはシール部材25が設けられており、前記密閉空間29a内部は密閉された状態に保持されている。なお、前記ゲート26は、図示しない真空源Vacに接続されている。
【0026】
次に、図3を用いて冷却機構30について説明する。
【0027】
該冷却機構30は、上除熱板31と、下除熱板32とを備えている。該上除熱板31は、自身の上部にペルチェ素子からなる冷却板(冷却部)34を備えている。又、下除熱板32は、シリンダ33によって図中H2方向に進退動可能である。冷却機構30は、上除熱板31と下除熱板32との間に成形型10を介在可能であり、平板成形品を成形型10ごと冷却可能である。
【0028】
次に、図4を用いて弾性体剥離機構40について説明する。
【0029】
該弾性体剥離機構40は、回転駆動部41、50と、スィングアーム42と、固定台43と、離型アーム49とを備えている。
【0030】
該スィングアーム42は、自身の端部において上面シート11(弾性体)の反キャビティ側11aの端部を吸着可能な吸着パッド44を有している。又、該スィングアーム42は、吸着パッド44をスプリング45を介して自身の他端側に変位自在に支持すると共に、前記回転駆動部41によって該他端側を支点にして図中R1方向に回動可能である。
【0031】
前記固定台43は前記成形型10を搭置可能であり、該固定台43には、成形型10の下面シート13を吸着可能な吸着孔46が形成されている。なお、吸着孔46は図示しない真空源Vacに接続されている。又、固定台43は、下面シート13(弾性体)の弾性を利用して、樹脂を投入するキャビティ12aの容積を縮小する方向(図中上側)に下面シート13の一部を変形可能な離型手段47を備えている。該離型手段47は、シリンダ47bと、該シリンダ47bによって進退動可能に支持された突き上げ部47aとで構成されている。
【0032】
前記離型アーム49は、回転駆動部50によって自身の一端側を支点に図中R2方向に回転可能で、その先端には平板成形品を吸着する吸着パッド49aが取り付けられている。
【0033】
次に、図5、6を用いて、本発明の実施形態の例に係る成形装置100による半硬化の平板樹脂の成形方法について説明する。
【0034】
まず、前記成形型10を圧縮機構20の上型21と下型29との間に介在する。次に、図5に示すように、成形型10の下面シート13、枠部23の内面23a及び底部22の上面22bによって形成された密閉空間29a内の空気をゲート26から吸引することによって、成形型10の下面シート13を反中間板12側(図中下側)に変形させてキャビティ12aの容積を拡大する。更に、上面シート11を上部へめくり、拡大されたキャビティ12a内に樹脂51を投入した後、再び中間板12上に戻す。この状態から該樹脂51を、上面及び下面シート11、13を介して上型21及び下型29によって加熱・押圧して平板に成形する。なお、加熱・押圧の際の、上型21及び下型29における成形型10との接触面21a、23bの温度は約80度程度が望ましい。
【0035】
このように圧縮機構20によって成形された平板を、該圧縮機構20から成形型10ごと取り出し、図3に示した前記冷却機構30の下除熱板32に搭置する。この際、上除熱板31及び下除熱板32における成形型10との接触面31a、32aが結露しない程度(約15度)に、冷却板34を冷却しておく。次に、シリンダ33を駆動し、成形型10を上除熱板31と下除熱板32で挟み込み、成形型10内の樹脂51の温度が30度程度となるまで(時間にして約20秒程度)冷却する。
【0036】
冷却機構30によって冷却された成形型10を、図6の(A)に示すように、弾性体剥離機構40の固定台43に搭置する。該固定台43に搭置された成形型10の下面シート13は、吸着孔46によって固定台43側(図面下側)に吸着・固定される。その後、スィングアーム42の吸着パッド44によって成形型10の上面シート11を吸着し、回転駆動部41を駆動することによって、上面シート11を弾性変形させながら中間板12から剥離する。この時、スプリング45が伸縮することによって、上面シート11の剥離の進行に従って変動する剥離点(線)を中心としたシート端部の軌跡の変動が吸収される。この結果、平板成形品61に加わる張力の作用点(線)を円滑に移動できる。更に、図6の(B)に示すように、離型アーム49によって平板成形品61を上部から押さえると共に、ブレイク機構47によって下面シート13を反中間板12側(図面下側)から、即ちキャビティ12aの容積を縮小する方向に押圧し、中間板12のキャビティ孔12aから半硬化の平板樹脂を離型させて成型品61として取り出す。
【0037】
本発明の実施形態の例に係る成形装置100によれば、上型21及び下型29と平板成形品61の間には弾性体である上面及び下面シート11、13が介在することになり、平板成形品61の取り出しの際に該平板成形品61を傷つけることなく、金型から容易に取り出すことができる。しかも、弾性回復力をもつ弾性体を使用しているため、フィルム等と異なり複数回の使用が可能で、低コスト化及び装置の単純化が実現可能である。
【0038】
又、成形型10の下面シート13、枠部23の内面23a及び底部22の上面22bによって形成された密閉空間29a内の空気を該密閉空間29aの外部へ排出可能なゲート26を設けたため、該密閉空間29aの圧力を調整し、下面シート13を変形させることにより容易にキャビティ12a内の容量を変化させることができ、その結果、該キャビティ12a内に投入する樹脂量を変化させることが可能となる。特に、粉粒状の樹脂を用いた場合には、圧縮の前後で樹脂の体積が大きく変化するが、圧縮前にキャビティ12a内に投入する樹脂量を多くすることができ、樹脂51の不足による成形不良等の発生を防止することが可能となると共に、加圧中に樹脂51が型からはみ出すという不具合も未然に防止できる。
【0039】
熱硬化された樹脂を冷却する冷却機構30を付設すると共に、該冷却機構30はペルチェ素子からなる冷却板34を有するため、冷却効果の向上を図ることが出来ると共に、冷却時間の短縮によって生産性の向上をも実現可能である。
【0040】
又、前記上面シート11に前記キャビティ12aの壁面の一部を構成させると共に、更に自身の端部において該上面シート11の反キャビティ12a側の端部11aを吸着可能な吸着パッド44を有し、該吸着パッド44をスプリング45を介して自身の他端側に変位自在に支持すると共に、該他端側を支点にして回動可能とされたスィングアーム42を有する弾性体剥離機構40を付設したため、上面シート11が変形しながら平板成形品61から剥離する事により、上面シート11から平板成形品61に加わる張力が緩和され、平板成形品61が傷つくのを防止することが可能となる。
【0041】
又、該弾性体剥離機構40に、樹脂を投入するキャビティ12aの容積を縮小する方向に該キャビティ12aの壁面の一部を変形可能な離型手段47を備えたため、下面シート13の弾性回復力によって下面シート13が平板成形品61から徐々に剥離することになるため、平板成形品61の取り出しの際に該平板成形品61の傷つきを防止することができる。
【0042】
なお、上記実施形態の例においては、中間板12の上下に上面シート11及び下面シート13を備えてなる成形型10を用いたが、本発明はこれに限定されず、前記上型21又は下型29の少なくとも一方の少なくとも一部とキャビティとの間に弾性体を介在させてもよい。
【0043】
即ち、例えば上型21側又は下型29側の一方のみに弾性体を配置しても配置した側においてこれまで説明したような相応の効果が得られる。又、キャビティ12aの容積の調整は上面シート11の側(上型21側)に、あるいは上型21、下型29の双方の側に持たせてもよい。
【0044】
、例えば成形品の一面側に平滑性が要求されるときには、一方については非弾性体としたり、掘り込み部により硬度の高いプレートを嵌め込むようにしたりする構成とすることもできる。
【0045】
又、成形装置100を、圧縮機構20、冷却機構30及び弾性体剥離機構40で構成したが、本発明はこれに限定されるものではない。
【0046】
【発明の効果】
本発明によれば、装置の単純化及び低コスト化を実現しながら、同時に、平板成形品を傷つけることなく、金型から容易に取り出すことのできる半硬化の平板樹脂の成形装置及びその成形方法が提供可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の例に係る成形装置に利用される成形型の断面を示す模式図
【図2】本発明の実施形態の例に係る成形装置の圧縮装置を示す模式図
【図3】本発明の実施形態の例に係る成形装置の冷却装置を示す模式図
【図4】本発明の実施形態の例に係る成形装置の弾性体剥離装置を示す模式図
【図5】本発明の実施形態の例に係る成形装置を用いた成形方法のうち圧縮工程を示す模式図
【図6】本発明の実施形態の例に係る成形装置を用いた成形方法のうち弾性体剥離工程を示す模式図
【図7】本発明の実施形態の他の例に係る弾性体を示す模式図
【符号の説明】
10…成形型
11…上面シート
12…中間板
13…下面シート
20…圧縮機構
21…上型
22…底部
23…枠部
24、45…スプリング
25…シール部材
26…ゲート
27、33、47b…シリンダ
28a、28b…ヒータ
29…下型
29a…密閉空間
30…冷却機構
31…上除熱板
32…下除熱板
34…冷却板
40…弾性体剥離機構
41、50…回転駆動部
42…スイングアーム
43…固定台
44、49a…吸着パッド
46…吸着孔
47…離型手段
47a…突き上げ部
49…離型アーム
51…粉粒樹脂
61…平板成形品(平板樹脂)
70…弾性体
72…型

Claims (6)

  1. 熱硬化性の樹脂を加熱・押圧し、半硬化の平板成形品を成形する半硬化の平板樹脂の成形装置において、
    上型と下型とを有する金型からなり、該上型と下型との間に形成されたキャビティ内に投入した前記樹脂を圧縮可能な圧縮機構を備えると共に、
    前記上型又は下型の少なくとも一方の少なくとも一部と前記キャビティとの間に弾性体を介在させ、
    前記弾性体に前記キャビティの壁面の少なくとも一部を構成させると共に、
    前記弾性体が介在された側の金型が、この弾性体の反キャビティ側に当接・離反可能な突起部を有する底部と、該突起部の外周に嵌合すると共に同様に該弾性体の反キャビティ側に当接・離反可能な枠部と、を有し、且つ
    前記枠部を前記弾性体に当接させた状態で前記底部の突起部を前記弾性体から離反させることによって形成される空間を、密閉空間とした
    ことを特徴とする半硬化の平板樹脂の成形装置。
  2. 請求項1において、更に
    該弾性体の弾性を利用して、前記樹脂を投入するキャビティの容積を縮小する方向に該キャビティの壁面の一部を変形可能な離型手段を備えた
    ことを特徴とする半硬化の平板樹脂の成形装置。
  3. 熱硬化性の樹脂を加熱・押圧し、半硬化の平板成形品を成形する半硬化の平板樹脂の成形装置において、
    上型と下型とを有する金型からなり、該上型と下型との間に形成されたキャビティ内に投入した前記樹脂を圧縮可能な圧縮機構を備え、
    前記上型又は下型の少なくとも一方の少なくとも一部と前記キャビティとの間に弾性体を介在させ、
    成形しようとする形状のキャビティ孔が形成された中間板の上下に、前記弾性体としての上面シート及び下面シートを備えてなる成形型を、前記上型と下型との間に、該上型及び下型から分離可能に介在させた
    ことを特徴とする半硬化の平板樹脂の成型装置。
  4. 請求項1〜3のいずれかにおいて、更に、
    前記熱硬化された樹脂を冷却する冷却機構が付設されると共に、該冷却機構がペルチェ素子からなる冷却部を有する
    ことを特徴とする半硬化の平板樹脂の成形装置。
  5. 熱硬化性の樹脂を加熱・押圧し、半硬化の平板成形品を成形する半硬化の平板樹脂の成形装置において、
    上型と下型とを有する金型からなり、該上型と下型との間に形成されたキャビティ内に投入した前記樹脂を圧縮可能な圧縮機構を備えると共に、
    前記上型又は下型の少なくとも一方の少なくとも一部と前記キャビティとの間に弾性体を介在させ、
    該弾性体に前記キャビティの壁面の少なくとも一部を構成させ、更に
    自身の端部において該弾性体の反キャビティ側の端部を吸着可能な吸着パッドを有し、該吸着パッドをスプリングを介して自身の他端側に変位自在に支持すると共に、該他端側を支点にして回動可能とされたスィングアームを有する弾性体剥離機構を付設した
    ことを特徴とする半硬化の平板樹脂の成形装置。
  6. 熱硬化性の樹脂を上型及び下型にて加熱・押圧し、半硬化の平板成形品を成形する半硬化の平板樹脂の成形方法において、
    成形しようとする形状のキャビティ孔が形成された中間板の上下に弾性体としての上面シート及び下面シートを備えてなる成形型を、前記上型と下型との間に介在させる工程と、
    該成形型の前記下面シートを反中間板側に変形させてキャビティ容積を拡大させる工程と、
    該拡大されたキャビティ内に樹脂を投入する工程と、
    前記上面及び下面シートを介して投入された樹脂を前記上型及び下型によって加熱・押圧して平板に成形する工程と、
    成形後の平板を前記成形型ごと冷却する工程と、
    冷却後の成形型の前記上面シートを、弾性変形させながら中間板から剥離する工程と、
    前記下面シートを反中間板側から押圧することにより該中間板の前記キャビティ孔から半硬化の平板樹脂を成型品として取り出す工程と、を含む
    ことを特徴とする半硬化の平板樹脂の成形方法。
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