JP3904021B2 - 電子線分析方法 - Google Patents
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図1に本発明の一実施例の電子線分析装置を示す。この実施例は電子源として電界放出電子源を用いた走査型透過電子顕微鏡を用いた実施例である。電界放出電子源1から放出された電子線は、静電レンズ2により所望の加速電圧まで加速された後、コンデンサーレンズ3,対物レンズ5で試料7へ照射される。電子線は偏向器4により、試料7上を二次元的に走査される。
、表示装置25には電子線走査と同期した偏向信号が供給され、試料走査像が表示装置25に形成される。以上は走査型透過電子顕微鏡の基本構成である。
X線検出器13で検出されて、例えば図5のような特性X線スペクトルが得られる。着目する元素に対応する特性X線の強度比より元素分布の情報が得られる。
リBに記憶された試料走査像の相互相関をとることによって、試料のドリフト量を計算することができる。
。この補正を10秒間の分析毎に行うことによって、位置ずれのない正確な分析を行うことができる。
第二実施例はX線の面分析の位置補正に関するものである。図3を用いて、本発明による分析手順について述べる。
第三実施例はX線の面分析の位置補正に関するものである。図4を用いて、本発明による分析手順について述べる。
査像が128画素×128画素のビデオメモリAnに、X線像が128画素×
128画素のビデオメモリMnに、それぞれ格納される(図4(c))。
12をX線検出器13で検出して用いていたが、試料より発生したオージェ電子18をオージェ電子検出器19で検出して得られるスペクトルを用いても、同様な構成で本発明を実施することができる。
、5…対物レンズ、6…絞り、7…試料、8…高圧電源、9…コンデンサーレンズ駆動電源、10…偏向信号発生器、11…対物レンズ駆動電源、12…X線、13…X線検出器、14…透過電子、15…透過電子検出器、16…二次電子、17…二次電子検出器、18…オージェ電子、19…オージェ電子検出器、20…増幅器、21…増幅器、22…増幅器、23…増幅器、24…制御部、25…表示部。
Claims (5)
- 試料上に一次電子線を偏向走査し、当該偏向走査により試料を透過した透過電子を検出して映像信号を出力する走査透過電子顕微鏡と、当該走査透過電子顕微鏡を制御する制御部とを備えた電子線分析装置において、
前記一次電子線の照射によって試料から発生するX線を検出するX線検出器を有し、
前記制御部は、試料上の所望分析位置を含む領域に一次電子線を偏向走査させて第1の透過走査像を取得し、
前記一次電子線を前記所望分析位置に静止したまま照射して、当該照射により発生するX線を前記X線検出器で検出し、
前記所望分析位置を含む領域を再度一次電子線で偏向走査して第2の透過走査像を取得し、
前記第1の走査透過像と第2の走査透過像から試料のドリフト量を計算し、
当該計算されたドリフト量を元に、X線を検出するための一次電子線照射位置を補正することを特徴とする電子線分析装置。 - 請求項1に記載の電子線分析装置において、
前記制御部は、検出されたX線のX線スペクトルにより前記分析位置の元素分布情報を取得することを特徴とする電子線分析装置。 - 請求項1に記載の電子線分析装置において、
前記制御部は、前記第1の透過走査像と第2の透過走査像との相互相関をとることによって、前記ドリフト量を計算することを特徴とする電子線分析装置。 - 請求項1に記載の電子線分析装置において、
前記第1の透過走査像および第2の透過走査像が表示される表示装置を備え、
当該表示装置には、前記所望分析位置を示すクロスマーカが表示されることを特徴とする電子線分析装置。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の電子線分析装置において、
前記X線検出器に替えてオージェ電子検出器を備えたことを特徴とする電子線分析装置。
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