JP3900996B2 - 電子線照射処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子線を照射することによって、表面改質、薄膜形成、電子線硬化、ドライ洗浄等の処理を行う電子線照射処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図7は、従来技術に係わる被処理物を加熱するための加熱装置を備える電子線照射処理装置の一例を示す図である。
この電子線照射処理装置は、高電圧直流電源から供給される直流高電圧を、電子線管のフィラメントと電子線出射窓間に印加することにより、電子線出射窓から電子線を出射させている。出射した電子線は被処理物を照射するとともに、電子線の一部は電子線出射窓の前方に設けられた電子線出力検出センサによって検出される。検出された電流信号は電流/電圧変換器によって電圧信号に変換された後、制御部に入力され、制御部によってフィラメント電源を制御し、電子線管から所定の電子線を出力するようにフィラメント電流を制御している。
【0003】
一方、図示するように、電子線によって照射処理される被処理物の背面側には、電子線による照射処理を効果的に行うために、また高速処理するために、チャンバー内に電力を供給して、被処理物を加熱するための電力稼動部であるヒータが設けられている。
このヒータは、商用交流電源に接続された電力供給線が、チャンバーに設けられる電力供給部を介してチャンバー内に導入され、ヒータに接続されて被処理物を加熱するように構成されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような電子線照射処理装置においては、ヒータ電源として100Vの商用交流電源が用いられる場合、通常、商用交流電源の電源端子の一方は接地され、また、チャンバーも接地されているため、チャンバー内に導入された一方の電力供給線とチャンバー間の電位差は0Vになるが、他方の電力供給線とチャンバー間には100Vの電位差を生じる。
【0005】
そのため、電力供給線がチャンバー内でヒータまでの部分が露出して設けられていると、電子線管から電子線が出射されているような状態では、電力供給線の通電露出部とチャンバー間に100Vの電位差があると、通電露出部とチャンバー間で異常放電が起こり、チャンバー内に異常プラズマが発生してしまう。
【0006】
異常プラズマが発生すると、異常プラズマによって生成された電子が電子線出力検出センサーによって検出されてしまい、本来、検出すべき電子線の出力値を正確に測定できないという問題を生じる。特に、チャンバー内が減圧状態にあるような場合は、この現象は顕著に現れる。
【0007】
なお、上述した例においては、電力稼動部としてヒータを用いた場合について説明したが、電力稼動部として、ヒータに限らず、例えば、電子線を照射させながら被処理物を回転させる回転モータや、被処理物を移動させる移動モータが用いられる場合においても、電力供給線がチャンバー内で露出して設けられていると、チャンバー内に異常プラズマが発生し、ヒータの場合と同様の現象が発生する。
【0008】
本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、電力稼動部に電力を供給するための電力供給線をチャンバー内に導入したことによって生ずるチャンバー内の異常プラズマの発生を抑制し、電子線管から出射される電子線量を正確に測定することを可能にした電子線照射処理装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するために、次のような手段を採用した。
第1の手段は、交流電源からチャンバー内の電力稼動部に電力を供給し、電子線管からチャンバー内に出射される電子線によって被処理物を照射処理し、出射される電子線の一部を検出して前記電子線管から出射される電子線を制御する電子線照射処理装置において、前記交流電源からシールドトランスを介して前記電力稼動部に電力を供給するようにしたことを特徴とする。
【0010】
第2の手段は、第1の手段において、前記電子線の一部を検出する電子線検出回路に、前記交流電源の周波数と略同周波数の周波数成分を遮断するローパスフイルターを設けたことを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の第1の実施形態を図1および図2を用いて説明する。
図1は、本実施形態の発明に係る電子線照射処理装置の構成を示す図である。同図において、1は電子線管、101は熱電子を放射するためのフィラメント、102はフィラメント101から放射された電子を加速制御するグリッド、103は電子線管1の外部に電子線を透過出射させる電子線出射窓、2はフィラメント用電源、3はフィラメント用電源トランス、4はグリッド用電源、5はグリッド用電源トランス、6は一端が電子線管1の高電圧印加部に接続され、他端がアースに接続されて、電子線管1に直流高電圧を印加する高電圧直流電源、7は電子線出射窓103の前方近傍に設けられ、電子線出射窓103から出射される電子線の一部を検出する電子線出力検出センサー、8は電子線出力検出センサー7によって検出された電流信号を電圧信号に変換する電流/電圧変換器、9は検出された電圧信号に基づいて、フィラメント用電源2を制御し、電子線管1から所定の電子線が出力されるようにフィラメント電流を制御する制御部、10はチャンバー、11は加熱装置、111は加熱装置11の商用交流電源、112は電力供給線、113はチャンバー10内に電力供給線112を導入する電力供給部、114は商用交流電源111と電力供給部113間に設けられるシールドトランス、115,116は電力供給線112とアース間に分布する漂遊分布容量、117,118は電力供給線112のチャンバー10内における通電露出部、119は電力稼動部であるヒータ、12はチャンバー10内に減圧槽を形成するために設けられる真空ポンプ、13はヒータ119によって加熱されながら電子線照射処理される被処理物である。
【0012】
なお、上記電子線照射処理装置では、制御部9によってフィラメント電流を制御するように構成したが、フィラメント電流に代えてまたはフィラメント電流とともに、グリッド電圧を制御するようにしても良い。
【0013】
図2は、ヒータ119の具体的構成の一例を示す図である。
同図に示すように、ヒータ119本体は巻線抵抗で構成され、その表面は熱伝導性の良い、例えば、Al2O3やAlN等の材料で被覆される。
この電子線照射処理装置において、フィラメント101で発生した熱電子は、グリッド102による高電圧により電界集中部に引き出された後に、電子線出射窓103の方向に向かって加速され、電子線出射窓103から出射する。電子線出射窓103から出射した電子線は、ヒータ119によって加熱されている被処理物13を照射処理するとともに、電子線出射窓12から出射した電子線の一部が、電子線出力検出センサー7によって検出され、制御部9によって電子線管1から所定の電子線が出力されるようにフィラメント電流が制御される。
【0014】
また、本実施形態の電子線照射処理装置では、上記に示すごとく、商用交流電源111と電力供給部113間にシールドトランス114が設けられているので、シールドトランス114と電力供給部113間の電力供給線112には漂遊分布容量115,116が存在するが、この漂遊分布容量115と漂遊分布容量116とはほぼ等しいので、シールドトランス114の2次側電圧が、漂遊分布容量115と漂遊分布容量116によってほぼ等しく分圧される。そのため、商用交流電源111の電圧が100Vで、シールドトランス114の昇圧比が1の場合、接地されているチャンバー10に対する、両通電露出部117,118の電位は、それぞれ略50Vとなる。これはシールドトランス114が設けられていない場合の一方の通電露出部とチャンバー間に生じていた略100Vの電位に比べて、約半分に低下させることができる。
【0015】
本実施形態の発明によれば、通電露出部117,118とチャンバー10間の電位差を従来のものと比べて約半分に低下させることができるので、電子線が照射されている状態において、通電露出部117,118とチャンバー10間において発生する可能性のあった異常プラズマの発生を抑制することができる。その結果、電子線出力検出センサー7においては、異常プラズマの発生によって生じる電子線の検出を抑制することができるので、電子線出射窓103から出射される電子線のみを効果的に検出することが可能となる。
【0016】
次に、本発明の第2の実施形態を図3および図4を用いて説明する。
図3は、本実施形態に係る電子線照射処理装置の構成を示す図である。
同図において、14は電流/電圧変換器8から出力される電圧信号に含まれる商用交流電源111の周波数と略同周波数の周波数成分をカットするために設けられるローパスフィルタ、15はローパスフィルタ14から出力される電圧信号を所定の大きさに増幅する増幅器であり、ここで、電子線検出回路は電流/電圧変換器8、ローパスフィルタ14、増幅器15から構成される。
なお、その他の構成は図1に示す同符号の構成に対応するので説明を省略する。
【0017】
図4(a)、(b)、(c)は、それぞれ電流/電圧変換器8、ローパスフィルタ14、および増幅器15の各出力信号波形を示す図である。
【0018】
本実施形態の電子線照射処理装置によれば、チャンバー10内の減圧状態が高い状態では、仮に、チャンバー10に対する通電露出部117,118の電位が50Vと低い状態にあっても、被処理物の処理に影響を与えない程度の弱い異常プラズマが発生する可能性がある。そのため、電子線出力検出センサー7がこのような異常プラズマ内の電子を検出すると、図4(a)に示すように、電流/電圧変換器8からは、電子線管1から出射された電子線を検出した検出信号に、異常プラズマによって生成された商用交流電源周波数と略同周波数の脈流成分が重畳された電圧信号が出力されてしまう。しかし、本実施形態の発明では、この脈流成分は、商用交流電源の周波数と略同周波数のローパスフィルタ114を通すことにより、図4(b)に示すように、カットすることが可能となる。
【0019】
このように、本実施形態の発明によれば、仮に、電子線出力検出センサー7において異常プラズマによって発生した商用交流電源と同周波数のノイズとなる脈流電流が検出されるようなことがあっても、ローパスフィルタ114によってこの脈流成分を除去することができるので、制御部9では電子線管1から出射された電子線のみを検出することが可能となり、電子線管1から出射される電子線を精度良く制御することが可能となる。
【0020】
次に、本発明の第3の実施形態を図5を用いて説明する。
図5は、本実施形態に係る電子線照射処理装置の構成を示す図である。
同図において、120は電力稼動部であるヒータとして用いられるハロゲンランプである。なお、その他の構成は図3に示す同符号の構成に対応するので説明を省略する。
【0021】
本実施形態の発明では、第2の実施形態が電力稼動部であるヒータ119として巻線抵抗を用いていたのに対してハロゲンランプ120を用いている点で相違する。ハロゲンランプ120を用いた場合も、第2の実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【0022】
なお、第1の実施形態および第2の実施形態では、交流電源からチャンバー内の電力稼動部であるヒータに電力を供給する場合について説明したが、電力供給部として、ヒータに代えて、電子線を照射させながら被処理物を回転させる回転モータや、被処理物を移動させる移動モータ等を用い、それらの電力稼動部に交流電源から電力を供給するようにした場合においても、第1の実施形態や第2の実施形態の場合と同様の作用効果を奏することができる。
【0023】
次に、本発明の第4の実施形態を図6を用いて説明する。
図6は、本実施形態に係る電子線照射処理装置の構成を示す図である。
同図において、1−1,1−2,1−3,1−4・・・は同一チャンバー10内に設けられる複数の電子線管である。各電子線管1−1,1−2,1−3,1−4・・・の構成および各電子線管1−1,1−2,1−3,1−4・・・に係わる各回路構成は図1に示すものと同じであり、また、その他の構成も図3に示す同符号の構成に対応するので説明を省略する。
【0024】
本実施形態の電子線照射処理装置では、大面積の被処理物13を均一に処理するために、同一方チャンバー10内に、複数個の電子線管1−1,1−2,1−3,1−4・・・を配置した場合を示すものであり、また、ヒータ119も大面積の被処理物13を均一に加熱するために大面積のヒータが用いられる。
本実施形態の発明においても、第2の実施形態の発明と同様の作用効果を奏することができる。
【0025】
【発明の効果】
請求項1に記載の発明によれば、交流電源からシールドトランスを介してチャンバー内の電力稼動部に電力を供給するようにしたので、シールドトランスとチャンバー間の電力供給線には漂遊分布容量が存在しても、両漂遊分布容量はほぼ等しいので、シールドトランスの2次側出力電圧が、両漂遊分布容量によって分圧され、接地されているチャンバーに対する、チャンバー内の電力供給線の通電露出部の電位が、シールドトランスを設けていない場合に比べて、約半分に低下させることができる。その結果、通電露出部とチャンバー間に発生する可能性のある異常プラズマの発生を抑制することができ、電子線管から出射される電子を精度良く検出することが可能となる。
【0026】
請求項2に記載の発明によれば、電子線の一部を検出する電子線検出回路に、交流電源の周波数と略同周波数の周波数成分を遮断するローパスフイルターを設けたので、電子線検出回路に、異常プラズマの発生により交流電源と略同周波数の脈流成分が検出されても、脈流成分を除去することができるので、電子線管から出射される電子線のみを精度良く検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1の実施形態の発明に係る電子線照射処理装置の構成を示す図である。
【図2】図1に示すヒータ119の具体的構成の一例を示す図である。
【図3】第2の実施形態の発明に係る電子線照射処理装置の構成を示す図である。
【図4】図3に示す電流/電圧変換器8、ローパスフィルタ14、および増幅器15の各出力信号波形を示す図である。
【図5】第3の実施形態の発明に係る電子線照射処理装置の構成を示す図である。
【図6】第4の実施形態の発明に係る電子線照射処理装置の構成を示す図である。
【図7】従来技術に係る電子線照射処理装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
1 電子線管
101 フィラメント
102 グリッド
103 電子線出射窓
2 フィラメント用電源
3 フィラメント用電源トランス
4 グリッド用電源
5 グリッド用電源トランス
6 高電圧直流電源
7 電子線出力検出センサー
8 電流/電圧変換器
9 制御部
10 チャンバー
11 加熱装置
111 商用交流電源
112 電力供給線
113 電力供給部
114 シールドトランス
115,116 漂遊分布容量
117,118 通電露出部
119 ヒータ
120 ハロゲンランプ
12 真空ポンプ
13 被処理物
14 ローパスフィルタ
15 増幅器
1−1,1−2,1−3,1−4 電子線管
Claims (2)
- 交流電源からチャンバー内の電力稼動部に電力を供給し、電子線管からチャンバー内に出射される電子線によって被処理物を照射処理し、出射される電子線の一部を検出して前記電子線管から出射される電子線を制御する電子線照射処理装置において、
前記交流電源からシールドトランスを介して前記電力稼動部に電力を供給するようにしたことを特徴とする電子線照射処理装置。 - 前記電子線の一部を検出する電子線検出回路に、前記交流電源の周波数と略同周波数の周波数成分を遮断するローパスフイルターを設けたことを特徴とする請求項1に記載の電子線照射処理装置。
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